JP2012087392A - 窒化アルミニウム膜の成膜方法 - Google Patents

窒化アルミニウム膜の成膜方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 CVD法によって、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜する窒化アルミニウム膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】 アルミニウム原子(Al)を含むガスおよび窒素原子(N)を含むガスに、酸素原子(O)を含むガスを混合し、窒化アルミニウム膜によって被覆されるべき被処理物に向けて供給する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、半導体製造プロセスなどで使用される部材の表面に、窒化アルミニウム膜を成膜する窒化アルミニウム膜の成膜方法に関するものである。
半導体製造におけるドライプロセスにおいては、エッチング、クリーニング用のガスとして、反応性の高いフッ素系、塩素系などのハロゲン系腐食性ガスが多用されており、これら腐食性ガスに接触する部材には、高い耐食性が要求されている。
従来、被処理物以外の部材で、これらの腐食性ガスに接触する部材としては、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムまたは酸窒化アルミニウムの焼結体などが、ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性が高く、好ましいことが確認されている。
また、近年では、金属やカーボンなどの安価な部材の表面に、酸化アルミニウム、窒化アルミニウムまたは酸窒化アルミニウムの膜を、溶射法、スパッタリング法、化学気相蒸着法(CVD)などによって、成膜する技術も発展を遂げている。
酸化アルミニウムや酸窒化アルミニウムは、窒化アルミニウムよりもフッ素系のガスに対して、高い耐食性を示すことが知られており、特許第3024712号明細書(特許文献1)には、窒化アルミニウム(AlN)の結晶と、酸化アルミニウム(AlxOy)の結晶と、アルミニウムオキシナイトライド(AlxNyOz)の結晶を有するAl−O−N系コンポジット材料とその合成方法が開示されている。
しかしながら、窒化アルミニウムに比して、熱膨張率が高い酸化アルミニウムや酸窒化アルミニウムは、耐熱衝撃性が低く、膜にひびや割れが発生しやすいという欠点がある。特開2007−16272号公報(特許文献2)は、熱分解窒化ホウ素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)及び/またはカーボンをドーピングした窒化ホウ素からなる基板上に、窒化アルミニウム(AlN)、酸化アルミニウム(Al)、酸窒化アルミニウム(AlON)またはそれらの組み合わせのいずれか一からなる保護膜を形成し、保護膜に圧縮応力を作用させることによって、寸法安定性及び機械的強度を維持するとともに、クラック数を減少させることができる旨を開示している。しかし、膜に作用する応力が圧縮応力か引っ張り応力かは、成膜される基材の熱膨張率によって異なるため、特許文献2の教示は、一定の熱膨張率を有する基材にしか効果がない。
特許第3024712号明細書 特開2007-16272号公報
近年、半導体製造プロセスにおいて用いられるサセプターや、クランプリング、ヒーターなどの部材は、φ300mm(12インチ)以上に大型化されており、大型化に伴って、部材にかかる熱応力も同様に増大するため、窒化アルミニウムよりもフッ素系のガスに対して高い耐食性を示すが、耐熱衝撃性が低い酸化アルミニウムや酸窒化アルミニウムの焼結体は、これらの材料として使用することは困難である。
また、通常の窒化アルミ膜によって、半導体製造プロセスに使用される被処理物以外の部材の表面に被覆する場合においても、ウエハの大型化に伴い、基材も大型化が進み、成膜装置のチャンバー空間も大型する必要がある。そのため、窒化アルミニウム膜となる原料ガスが、被覆すべき部材に到達するまでの距離が長くなり、原料ガスが被覆すべき部材に到達する前に反応し、窒化アルミニウム粒子を形成してしまう。その結果、従来の成膜条件では、被覆すべき部材の表面に成膜された窒化アルミニウム膜は、パウダー状の膜となってしまい、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することができなかった。
したがって、本発明は、CVD法によって、窒化アルミニウム膜を成膜する方法であって、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜する窒化アルミニウム膜の成膜方法を提供することを目的とするものである。
本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、アルミニウム原子(Al)を含むガスおよび窒素原子(N)を含むガスに、酸素原子(O)を含むガスを混合し、窒化アルミニウム膜によって被覆されるべき被処理物に向けて供給することによって、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜できることを見出した。
本発明は、かかる知見に基づくものであり、本発明の前記目的は、アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスと、酸素原子(O)を含むガスとを、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給することを特徴とする窒化アルミニウム膜の成膜方法によって達成される。
アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスと、酸素原子(O)を含むガスとを供給することによって、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することができる理由は必ずしも定かではないが、アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスに、酸素原子(O)を含むガスを混合することによって、アルミニウム原子(Al)と窒素原子(N)を含むガスの反応が抑制され、窒化アルミニウムの生成が時間的に遅れるためではないかと推測される。
本発明において、好ましくは、アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスとが、異なる流路を介して、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給される。
本発明において、酸素原子(O)を含むガスは、窒素原子(N)を含むガスの流路またはアルミニウム原子(Al)を含むガスの流路とは異なる流路を通って、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給されても、窒素原子(N)を含むガスの流路内で、窒素原子(N)を含むガスと混合されて、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給されても、アルミニウム原子(Al)を含むガスの流路内で、アルミニウム原子(Al)を含むガスと混合されて、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給されてもよい。
本発明において、好ましくは、アルミニウム原子を含むガスおよび酸素原子を含むガスが、アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が1≦Al/O≦100となるように、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給される。より好ましくは、5≦Al/O≦30である。
本発明において、好ましくは、アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスと、酸素原子(O)を含むガスとを窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給する供給管が二重構造または三重構造をなしている。
本発明において、好ましくは、酸素原子(O)を含むガスとして、Oガス、HOガス、NOxガス、COxガスよりなる群から選ばれるガスが用いられる。
本発明において、好ましくは、アルミニウム原子(Al)を含むガスとして、トリメチルアルミニウムガス(TMA)および塩化アルミニウムガスよりなる群から選ばれるガスが用いられる。
本発明において、窒化アルミニウム膜の成膜装置内の酸素原子(O)を含むガスと接触する部材がカーボンによって作られているときは、酸素原子(O)を含むガスを窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給するのに先立って、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)よりなる群から選ばれる化合物を含むガスで、酸素原子を含まないガスを前記窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給して、前記カーボンによって作られた部材の表面を前記酸素原子を含まないガスに含まれる前記化合物によって被覆するように構成されている。
本発明によれば、CVD法によって、窒化アルミニウム膜を成膜する方法であって、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜する窒化アルミニウム膜の成膜方法を提供することが可能になる。
図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置の略縦断面図である。 図2は、図1に示される窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管の略正面図である。 図3は、図1に示される窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管の略縦断面図である。 図4は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管の略正面図である。 図5は、図4に示されたガス供給管の略縦断面図である。 図6は、本発明の他の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置の略縦断面図である。 図7は、実施例1によって成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを示すグラフである。
図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置の略縦断面図である。
図1に示されるように、本発明の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置は縦型構造をなし、カーボン製の外筒1と、カーボン製の内筒2と、外筒1と内筒2との間に配置されたカーボン製のヒーター3と、窒化アルミニウム膜で被覆されるべき被処理物を載置するカーボン製の載置台4と、被処理物の表面に成膜された窒化アルミニウム膜の膜厚分布が均一になるように、載置台4を回転させる回転機構5と、原料ガスを内筒2内に供給するガス供給管6を備えている。
図2は、図1に示される窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管6をその長さ方向から見た略正面図であり、図3は、ガス供給管6の略縦断面図である。
図2および図3に示されるように、本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管6は、外管6aと、内管6bの二重管構造をなしている。
本実施態様において、窒化アルミニウム膜の成膜装置の内部の温度は、たとえば1000℃に制御され、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含む高温のガスと、Oガス、HOガス、NOxガス、COxガスなどの酸素原子(O)を含む高温のガスとの混合ガスがガス供給管6の外管6aから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給され、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムなどのアルミニウム原子(Al)を含む高温のガスが内管6bから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給されるように構成されている。
このように、ガス供給管6からは、高温のガスが供給されるため、ガス供給管6の外管6aおよび内管6bは、熱分解窒化硼素(pBN)、炭化ケイ素(SiC)、酸化ケイ素(SiO)や、高融点金属など、耐熱性の高い材料によって作られている。
図1ないし図3に示された本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置においては、外筒1と、内筒2と、ヒーター3と、被処理物を載置する載置台4はいずれも、安価なカーボンによって作られているため、高温で、内筒2内に酸素原子(O)を含むガスを供給すると、ガスに含まれる酸素と、カーボン製の外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4とが、反応して、消耗してしまい、したがって、窒化アルミニウム膜の成膜装置内に、酸素原子(O)を含む高温のガスを供給することできない。
そこで、本実施態様においては、窒化アルミニウムの成膜に先立って、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)などの酸素原子を含まないガスを、内筒2内に供給し、カーボン製の外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4の表面を被覆した後、酸素原子(O)を含むガスを、内筒2内に供給するように構成されている。
以上のように構成された本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置を用いて、窒化アルミニウム膜によって被処理物の表面を被覆するにあたっては、まず、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)などの酸素原子を含まないガスが内筒2内に供給されて、カーボン製の外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4の表面が、熱分解窒化硼素(pBN)などの酸素原子を含まないガスに含まれる成分によって被覆される。
次いで、窒化アルミニウム膜によって被覆されるべき被処理物が、載置台4上に載置される。
こうして、カーボン製の外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4の表面が被覆されると、回転機構5によって、被処理物が載置された載置台4が回転され、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスと、酸素ガスなどの酸素原子(O)を含むガスとの混合ガスが、ガス供給管6の外管6aから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給され、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが、内管6bから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給される。
その結果、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガス、Oガス、HOガス、NOxガス、COxガスなどの酸素原子(O)を含むガスおよびトリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが混合された上で、被処理物の表面に達するから、混合ガス中の窒素原子(N)、酸素原子(O)およびアルミニウム原子(Al)の組成比を一定に制御することができ、したがって、被処理物の表面に組成比が一定の窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になる。
ここに、ガス供給管6の外管6aから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給されるアルミニウム原子(Al)を含むガスと、酸素原子(O)を含むガスとに含まれるアルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)とのモル比(Al/O)は、1≦Al/O≦100であることが好ましい。窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給されるアルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)とのモル比(Al/O)が1未満の場合には、窒素原子を含むガスとアルミニウム原子を含むガスに加えて、酸素原子を含むガスを供給することの影響が強くなり過ぎて、被処理物の表面に形成される窒化アルミニウム膜内に、酸化アルミニウム結晶相または酸窒化アルミニウム結晶相が生成して、耐熱衝撃性が低下するために好ましくない。一方、アルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)とのモル比(Al/O)が100を越えている場合には、窒素原子を含むガスとアルミニウム原子を含むガスに加えて、酸素原子を含むガスを供給することの影響が小さ過ぎて、被処理物の表面に形成される窒化アルミニウム膜がパウダー状になるため好ましくない。アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が、5≦Al/O≦30であると、より一層緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することができ、より好ましい。
以上のように、本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置においては、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスがガス供給管6の外管6aから内筒2内に供給され、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが内管6cから内筒2内に供給されるように構成されているから、窒化アルミニウム膜の成膜装置の載置台4上に載置された被処理物に到達する前に、窒素とアルミニウムとが反応して、窒化アルミニウム粒子を形成し、被処理物の表面に成膜された窒化アルミニウム膜がパウダー状になることを効果的に防止することが可能になる。
また、本実施態様によれば、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスと、酸素ガスなどの酸素原子(O)を含むガスとの混合ガスが、ガス供給管6の外管6aから窒化アルミニウム膜の成膜装置の内筒2内に供給され、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが、内管6bから内筒2内に供給されるから、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になる。
図4は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管6の略正面図、図5は、ガス供給管6の略縦断面図であって、本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置は、ガス供給管6の構造が異なる点を除き、図1に示された窒化アルミニウム膜の成膜装置と同様の構成を有している。
図4および図5に示されるように、本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置に設けられたガス供給管6は、外管6aと中央管6cと内管6bの三重管構造をなしている。
本実施態様においては、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスがガス供給管6の外管6aから内筒2内に、Oガス、HOガス、NOxガス、COxガスなどの酸素原子(O)を含むガスが中央管6cから内筒2内に、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが内管6bから内筒2内に、それぞれ、供給されるように構成されている。
本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置においても、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスがガス供給管6の外管6aから内筒2内に供給され、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが内管6bから内筒2内に供給されるように構成されているから、窒化アルミニウム膜の成膜装置の載置台4上に載置された被処理物に到達する前に、窒素とアルミニウムとが反応して、窒化アルミニウム粒子を形成し、被処理物の表面に成膜された窒化アルミニウム膜がパウダー状になることを効果的に防止することが可能になる。
また、本実施態様においても、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスがガス供給管6の外管6aから内筒2内に、酸素ガスなどの酸素原子(O)を含むガスが中央管6cから内筒2内に、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが内管6bから内筒2内に、それぞれ、供給されるから、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になる。
図6は、本発明の他の好ましい実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置の略縦断面図である。
図6に示されるように、本実施態様にかかる窒化アルミニウム膜の成膜装置は横型構造をなし、カーボン製の円筒11を備え、円筒11内には、カーボン製のヒーター12と、被処理物を載置するカーボン製の載置台13および原料ガスを円筒11内に供給するガス供給管14が配置されている。
図6には図示されていないが、ガス供給管14は、図2および図3に示されるガス供給管6と同様に、二重管構造をなし、あるいは、図4および図5に示されるガス供給管6と同様に、三重管構造をなしている。
ガス供給管14が二重管構造をなしているときは、図1ないし図3に示された窒化アルミニウム膜の成膜装置と同様に、酸素原子(O)を含むガスおよびアルミニウム原子(Al)を含むガスが混合されて生成された混合ガスが、ガス供給管6の外管から円筒11内に供給され、窒素原子(N)を含むガスがガス供給管6の内管から円筒11内に供給されて、載置台13上に載置された被処理物の表面に、窒化アルミニウム膜が形成される。
一方、ガス供給管14が三重管構造をなしているときは、図4および図5に示された窒化アルミニウム膜の成膜装置と同様に、アンモニアガスなどの窒素原子(N)を含むガスがガス供給管14の図示しない外管から円筒11内に、酸素ガスなどの酸素原子(O)を含むガスが図示しない中央管から円筒11内に、トリメチルアルミニウムガスや塩化アルミニウムガスなどのアルミニウム原子(Al)を含むガスが図示しない内管から円筒11内に、それぞれ、供給されて、載置台13上に載置された被処理物の表面に、窒化アルミニウム膜が形成される。
本実施態様においても、窒素原子(N)を含むガスと、アルミニウム原子(Al)を含むガスは、ガス供給管14内の互いに仕切られた空間を通って、窒化アルミニウム膜の成膜装置の円筒11内に供給されるから、円筒11内に供給される前に、窒素とアルミニウムとが反応して、窒化アルミニウム粒子を形成し、被処理物の表面に成膜された窒化アルミニウム膜がパウダー状になることを効果的に防止することが可能になる。
また、本実施態様においても、窒素原子(N)を含むガスおよびアルミニウム原子(Al)を含むガスに加えて、酸素原子(O)を含むガスが、窒化アルミニウム膜の成膜装置の円筒11内に供給されるから、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になる。
以下、本発明の効果を明らかにするため、実施例および比較例を掲げる。
実施例1
図1ないし図3に示される二重管構造のガス供給管を備え、φ500mm×1500mmの縦型に構成された窒化アルミニウムの成膜装置を用いて、載置台に載置された50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、以下のようにして、窒化アルミニウム膜を成膜した。
まず、ガス供給管から、窒化アルミニウム(AlN)ガスを成膜装置内に供給して、窒化アルミニウムの成膜装置に設けられたカーボン製の外筒と、カーボン製の内筒と、カーボン製のヒーターの表面に窒化アルミニウム膜を形成し、その後、窒化アルミニウムの成膜装置の載置台に、被処理物をセットした。
次いで、窒化アルミニウムの成膜装置内の温度を1000℃に設定するとともに、窒化アルミニウムの成膜装置内の圧力を100Paに設定した後に、アンモニアガスと酸素ガスを混合した混合ガスをガス供給管の外管から、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給し、トリメチルアルミニウム(TMA)ガスをガス供給管の内管から窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給して、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
ここに、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)は10に設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定した。
その結果、図7に示される窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルが得られた。
図7に示されるように、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
比較例1
実施例1で用いたのと同じ窒化アルミニウムの成膜装置を用いて、アンモニアガスと酸素ガスを混合した混合ガスに代えて、酸素ガスを窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給せず、アンモニアガスのみをガス供給管の外管から、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給した点を除き、実施例1と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
こうして得られた窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、窒化アルミニウム膜はパウダー状であり、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することはできなかった。
実施例2
図4および図5示される外管6a、中央管6cおよび内管6bを備えた三重管構造のガス供給管を備え、図1に示されるように、φ500mm×1500mmの縦型に構成された窒化アルミニウムの成膜装置を用いて、載置台に載置された50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、以下のようにして、窒化アルミニウム膜を成膜した。
まず、ガス供給管から、窒化アルミニウム(AlN)ガスを成膜装置内に供給して、窒化アルミニウムの成膜装置に設けられたカーボン製の外筒と、カーボン製の内筒と、カーボン製のヒーターの表面に窒化アルミニウム膜を形成し、その後、窒化アルミニウムの成膜装置の載置台に、被処理物をセットした。
次いで、窒化アルミニウムの成膜装置内の温度を1000℃に設定するとともに、窒化アルミニウムの成膜装置内の圧力を100Paに設定した後に、アンモニアガスを、ガス供給管の外管から窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給し、酸素ガスを、ガス供給管の中央管から窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給し、トリメチルアルミニウム(TMA)ガスを、ガス供給管の内管から窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給して、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
ここに、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)は1に設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例3
窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)を10に設定した点を除き、実施例2と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例4
窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)を100に設定した点を除き、実施例2と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
比較例2
窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)を0.1に設定した点を除き、実施例2と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークだけでなく、酸窒化アルミニウムのピークも確認された。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であったが、酸窒化アルミニウムが生成したためか、熱衝撃に弱くなり、膜は割れてしまっていた。
比較例3
窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給されるトリメチルアルミニウム(TMA)ガスに含まれるアルミニウム原子(Al)と、窒化アルミニウムの成膜装置の内筒内に供給される酸素ガスに含まれる酸素原子(O)のモル比(Al/O)を150に設定した点を除き、実施例2と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークだけでなく、酸窒化アルミニウムのピークも確認された。
こうして得られた窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、比較例1と同様に、窒化アルミニウム膜はパウダー状であり、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することはできなかった。
実施例5
酸素ガスに代えて、二酸化窒素(NO)ガスを用いた点を除き、実施例1と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。ここに、二酸化窒素ガスの流量は、その酸素原子量が、実施例1の酸素ガスに含まれる酸素原子量と同一になるように設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例6
酸素ガスに代えて、二酸化炭素(CO)ガスを用いた点を除き、実施例1と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。ここに、二酸化炭素ガスの流量は、その酸素原子量が、実施例1の酸素ガスに含まれる酸素原子量と同一になるように設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例7
酸素ガスに代えて、水蒸気(HO)を用いた点を除き、実施例1と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。ここに、水蒸気の流量は、その酸素原子量が、実施例1の酸素ガスに含まれる酸素原子量と同一になるように設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例8
トリメチルアルミニウムガスに代えて、塩化アルミニウムガスを用いた点を除き、実施例1と同様にして、50mm×50mm×1mmの窒化アルミニウム基材の表面に、100μmの膜厚を有する窒化アルミニウム膜を成膜した。ここに、塩化アルミニウムガスの流量は、そのアルミニウム原子量が、実施例1のトリメチルアルミニウムガスに含まれるアルミニウム原子量と同一になるように設定した。
こうして成膜された窒化アルミニウム膜のX線回折プロファイルを、株式会社リガク製の「X線回折RINT−2500VHF」(商品名)にて、2θ=20°ないし80°の範囲で測定したところ、X線回折プロファイルには、窒化アルミニウムのピークのみが現われ、他の構成相によるピークは確認されなかった。
さらに、窒化アルミニウム膜の断面を株式会社キーエンス製の電子顕微鏡「VE-8800」(商品名)を用いて観察したところ、実施例1と同様に、窒化アルミニウム膜の断面は柱状で、緻密質であった。
実施例1と比較例1から、窒化アルミニウムの成膜装置に、酸素原子(O)を含むガスを供給せず、窒素原子(N)を含むガスとアルミニウム原子(Al)を含むガスのみを供給した場合には、ガスが被処理物に到達する前に、窒素とアルミニウムとが反応して、窒化アルミニウム粒子が形成されるため、被処理物の表面に形成された窒化アルミニウム膜はパウダー状であり、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することできなかったのに対し、窒素原子(N)を含むガスおよびアルミニウム原子(Al)を含むガスに加えて、窒化アルミニウムの成膜装置に、酸素原子(O)を含むガスを供給したときには、ガスが被処理物に到達する前に、窒素とアルミニウムとが反応して、窒化アルミニウム粒子を形成することを効果的に防止することができ、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になることが判明した。
また、実施例2ないし4ならびに比較例2および3から、アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が1、10または100になるように、アルミニウム原子を含むガスと酸素原子を含むガスを、窒化アルミニウムの成膜装置に供給した場合には、耐熱衝撃性が高く、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することが可能になるが、アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が150になるように、アルミニウム原子を含むガスと酸素原子を含むガスを、窒化アルミニウムの成膜装置に供給した場合には、成膜された窒化アルミニウム膜はパウダー状であり、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することができず、アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が0.1になるように、アルミニウム原子を含むガスと酸素原子を含むガスを、窒化アルミニウムの成膜装置に供給した場合には、緻密質な窒化アルミニウム膜を成膜することはできたが、酸窒化アルミニウムが生成したためか、熱衝撃に弱くなり、窒化アルミニウム膜が割れてしまった。したがって、アルミニウム原子と酸素原子とのモル比(Al/O)が1≦Al/O≦100になるように、アルミニウム原子を含むガスと酸素原子を含むガスを、窒化アルミニウムの成膜装置に供給することが好ましいことが見出された。
さらに、実施例1および実施例2ないし4から、窒素原子を含むガスと、アルミニウムを含むガスとが異なった流路を通って、窒化アルミニウムの成膜装置に供給されるように構成されていれば、窒化アルミニウムの成膜装置にガスを供給するガス供給管の構造はとくに限定されるものではなく、二重管構造でも、三重管構造でもよい。
また、実施例1、実施例2ならびに実施例5ないし7から、酸素原子を含むガスの種類はとくに限定されるものではなく、また、実施例8から、アルミニウム原子を含むガスの種類もとくに限定されるものでないことが判明した。
本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
たとえば、前記実施態様においては、窒化アルミニウム膜の成膜装置は、カーボン製の外筒1と、カーボン製の内筒2と、外筒1と内筒2との間に配置されたカーボン製のヒーター3と、カーボン製の載置台4を備えているが、外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4がカーボン製であることは必ずしも必要でない。
また、前記実施態様においては、被処理物の表面に窒化アルミニウム膜を成膜するのに先立って、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)などの酸素原子を含まないガスが内筒2内に供給されて、カーボン製の外筒1、内筒2およびヒーター3の表面が、ガスに含まれる成分によって被覆されるように構成されているが、外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4が耐酸化性の高い材料によって形成されているときには、被処理物の表面に窒化アルミニウム膜を成膜するのに先立って、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)などの酸素原子を含まないガスを窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給して、外筒1、内筒2、ヒーター3および載置台4の表面を、酸素原子を含まないガスに含まれる成分によって被覆することは必ずしも必要でない。
さらに、図1ないし図5に示された実施態様においては、載置台4を回転させる回転機構5を備えているが、載置台4を回転させる回転機構5を設けることは必ずしも必要でない。
また、図1ないし図3に示される実施態様においては、外管6aと内管bを備えた二重構造を有するガス供給管6が用いられ、図4および図5に示される実施態様においては、外管6a、内管6bおよび中央管6cを備えた三重構造を有するガス供給管6が用いられているが、二重構造を有するガス供給管6または三重構造を有するガス供給管6を用いることは必ずしも必要でなく、ガス供給管6から窒化アルミニウムの成膜装置の内筒2に供給される前に、窒素原子(N)を含むガスとアルミニウム原子(Al)を含むガスが接触しないように構成されていれば、ガス供給管6の構造はとくに限定されるものではなく、複数のガス供給管6を用いてもよい。
1 外筒
2 内筒
3 ヒーター
4 載置台
5 回転機構
6 ガス供給管
6a ガス供給管の外管
6b ガス供給管の内管
6c ガス供給管の中央管
11 円筒
12 ヒーター
13 載置台
14 ガス供給管

Claims (9)

  1. アルミニウム原子(Al)を含むガスと、窒素原子(N)を含むガスと、酸素原子(O)を含むガスとを、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給することを特徴とする窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  2. 前記アルミニウム原子(Al)を含むガスと、前記窒素原子(N)を含むガスとを、異なる流路を介して、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給することを特徴とする請求項1に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  3. 前記酸素原子を含むガスを、前記窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給するのに先立って、前記窒素原子(N)を含むガスまたは前記アルミニウム原子(Al)を含むガスと混合することを特徴とする請求項1または2に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  4. 前記アルミニウム原子(Al)を含むガスおよび前記酸素原子(O)を含むガスを、アルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)とのモル比(Al/O)が1≦Al/O≦100となるように、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  5. 前記アルミニウム原子(Al)を含むガスおよび前記酸素原子(O)を含むガスを、アルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)とのモル比(Al/O)が5≦Al/O≦30となるように、窒化アルミニウム膜の成膜装置に供給することを特徴とする請求項4に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  6. 二重構造または三重構造をなした供給管によって、前記アルミニウム原子(Al)を含むガスと、前記窒素原子(N)を含むガスと、前記酸素原子(O)を含むガスを前記窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  7. 前記酸素原子(O)を含むガスとして、Oガス、HOガス、NOxガス、COxガスよりなる群から選ばれるガスを用いることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  8. 前記アルミニウム原子(Al)を含むガスとして、トリメチルアルミニウムガスおよび塩化アルミニウムよりなる群から選ばれるガスを用いることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。
  9. 前記窒化アルミニウム膜の成膜装置内の前記アルミニウム原子(Al)を含むガスと、前記窒素原子(N)を含むガスと、前記酸素原子(O)を含むガスと接触する部材がカーボンによって作られ、前記酸素原子(O)を含むガスを前記窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給するのに先立って、熱分解窒化硼素(pBN)、熱分解黒鉛(PG)、硼素含有熱分解黒鉛(B−PG)、窒化アルミニウム(AlN)および炭化ケイ素(SiC)よりなる群から選ばれる化合物を含むガスで、酸素原子を含まないガスを前記窒化アルミニウム膜の成膜装置内に供給して、前記カーボンによって作られた部材の表面を前記酸素原子を含まないガスに含まれる前記化合物によって被覆することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム膜の成膜方法。

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