JP2012064749A - 2次元フォトニック結晶面発光レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性層と、該活性層の近傍に設けられた2次元的に周期的な屈折率分布を有する2次元フォトニック結晶と、を備えた2次元フォトニック結晶面発光レーザであって、
前記2次元フォトニック結晶は、面内の2つの基本並進ベクトルの長さが異なる格子構造を備え、
前記格子構造の単位格子に含まれる格子点を構成する部材の形状が、前記2つの基本並進ベクトルの方向に対して異方性を有し、
前記格子点を構成する部材の形状の異方性によって、前記格子点を構成する部材の形状が等方的である場合に比べて結合係数の差が小さくなる構成とされている。
【選択図】 図1
Description
これは分布帰還型面発光レーザの一種である。この2次元フォトニック結晶は、半導体層に円柱状の空孔等が周期的に設けられており、2次元的に周期的な屈折率分布を持っている。
この周期的な屈折率分布により、活性層で生成される光が共振し、定在波を形成してレーザ発振する。
これら2つの格子構造では、面内の基本並進ベクトルの長さ(つまり格子定数)が等しいので、面内のいくつかの方向への回折が等価である。
そのため、異なる方向への回折光が互いに結合し、2次元的に位相のそろったコヒーレントなレーザ発振が起こる。
このレーザ発振した光は、フォトニック結晶による1次回折によって面垂直方向に取り出される。以上の原理より、特許文献1に記載の半導体レーザは2次元的にコヒーレントな光を出射する面発光レーザとして動作する。
例えば、特許文献2には、長方格子を使用した2次元フォトニック結晶面発光レーザが提案されている。
すなわち、長方格子のように面内の2つの基本並進ベクトルの長さが異なる格子構造(以下、異方性を持つ格子構造あるいは異方的な格子構造と記す)を使用した場合、2次元的に対称な強度分布を持つレーザ光を実現することが難しい。
ここで言う2次元的に対称な強度分布というのは、出射面における出射光の強度分布が、面内の直交する方向に対してほぼ同一であると見なせるような場合を言う。
つぎに、以上のような課題が生じる理由について説明する。
異方性を持つ格子構造では、光が回折する方向によって結合係数に差が生じる。ここで、2次元フォトニック結晶面内での各々の回折の起こりやすさは、結合係数の大小と関連があり、結合係数の絶対値が大きいほど回折が起こりやすい。
つまり、異方的な格子構造では、面内の回折の起こりやすさに異方性が生じ、特定の方向の1次元的な共振(分布帰還)だけが強くなり、2次元的に対称なレーザ発振が起こり難くなると考えられる。
図7は実空間の格子構造を示す模式図である。格子構造は長方格子であり、x方向の格子定数a1がy方向の格子定数a2に比べて長くなっている。
図8は図7の格子構造に対応する逆格子空間と、光の回折の様子を示す模式図である。
図8(a)は、回折前の波数ベクトルkに、1次回折により逆格子ベクトルG1,0およびG0,1が加わる回折を表している。
回折により面内の波数がゼロになり、回折後の波数ベクトルk’は面垂直方向を向く。その結果、光は面にほぼ垂直な方向に放射される。
図8(c)は、回折前の波数ベクトルkに、2次回折により逆格子ベクトルG2,0が加わる回折を表している。
図8(d)は、回折前の波数ベクトルkに、2次回折により逆格子ベクトルG0,2が加わる回折を表している。
図8(c)および図8(d)によって表される回折は、実空間においてそれぞれx方向、y方向の回折に相当する。
この2種類の回折によって光は2次元的に回折され、2次元的に結合したモードを生じる。この2種類の回折の起こりやすさが大きく異なる場合、特定方向への回折だけが強くなり、1次元的な分布帰還によるレーザ発振を生じる。
その結果、2次元的に結合した2次元的に対称なモードでのレーザ発振が起こり難くなると考えられる。
図9(a)は格子構造が異方性を持たない例であり、ホスト材料90中に円形の孔91が正方格子状に配列された2次元フォトニック結晶構造を示している。
x方向の格子定数a1=226nm、y方向の格子定数a2=226nm、孔の直径d=110nm、導波モードの実効屈折率neff=2.5、ホスト材料90と孔91の実効的な誘電率差Δε=0.2として、波長400nmでの結合係数を計算により求めた。
その結果、x方向への回折に関する結合係数κ2,0と、y方向への回折に関する結合係数κ0,2がどちらも243cm-1であり、等しいことが確認された。
a1=200nm、a2=267nmとし、それ以外の構造は図9(a)と等しいものとして計算を行った。
その結果、κ2,0=101cm-1、κ0,2=409cm-1となり、x方向に比べてy方向の結合係数がはるかに大きくなることがわかった。
つまり、y方向により強く回折が起こってしまう構造であると考えられる。したがって、上記したように、2次元的に対称な発振が生じ難いという課題が生じる。
前記2次元フォトニック結晶は、面内の2つの基本並進ベクトルの長さが異なる格子構造を備え、
前記格子構造の単位格子に含まれる格子点を構成する部材の形状が、前記2つの基本並進ベクトルの方向に対して異方性を有し、
前記格子点を構成する部材の形状の異方性によって、前記格子点を構成する部材の形状が等方的である場合に比べて結合係数の差が小さくなる構成とされていることを特徴とする。
最初に、本実施形態の2次元フォトニック結晶面発光レーザを構成する、2次元フォトニック結晶(2次元回折格子)における格子構造の単位格子について説明する。
単位格子とは、それ自身を平行移動させることで格子構造を表現できる単位のことである。
単位格子は同一の格子構造に対して無数に選択することが可能であるが、ここでは単位格子のうち最小単位のものを基本単位格子と記す。
基本単位格子は、格子の面積が最小で、それに含まれる格子点の数や各辺の長さが最小になるように選ばれる。
また、慣用単位格子と呼ばれる単位格子もある。慣用単位格子とは、非基本単位格子であるが、対称性が良く格子点の位置関係を把握しやすいので一般的に用いられる単位格子である。
2次元の格子構造(ブラベー格子)は、斜方格子(平行四辺形格子と呼ばれることもある)、長方格子、面心長方格子、正方格子、六方格子(三角格子と呼ばれることもある)の5種類に分類される。
2次元の格子構造は、2つの基本並進ベクトルの組み合わせで表現できる。前述したブラベー格子のうち、2つの基本並進ベクトルの長さが等しい格子構造は、正方格子、六方格子、面心長方格子である。
基本並進ベクトルの長さが等しくない格子構造は、斜方格子、長方格子である。ここで、長方格子とは、基本単位格子が長方形である格子構造を指す。面心長方格子のように、慣用単位格子は長方形であるが基本単位格子が長方形でない格子構造は長方格子に含まない。
ホスト材料10中に長方形の孔11が長方格子状に配列された2次元フォトニック結晶である。
孔11のx−y座標におけるx方向の幅d1=60nm、y方向の幅d2=80nmとし、それ以外の構造は図9(b)と等しいものとして結合係数の計算を行った。
その結果、x方向への回折に関する結合係数κ2,0と、y方向への回折に関する結合係数κ0,2がどちらも285cm-1となり等しいことが確認された。したがって、本構造は図9(b)の構造に比べて2次元的に対称なレーザ発振を起こしやすい構造であると言える。
本発明の本質は、格子構造の異方性を、格子点を構成する部材の形状の異方性で補償できることを見出した点にある。
ここで言う補償とは、格子点を構成する部材の形状に異方性を持たせることで、格子点を構成する部材の形状が等方的である場合に比べて結合係数の差を小さくすることを意味する。
ここで、格子点を構成する部材の形状が等方的というのは、格子点を構成する部材の重心から縁までの距離が測長する方向を変えても等しいという意味で使用している。
特に、本明細書中では、2次元フォトニック結晶面内の2つの基本並進ベクトルが示す2方向に対して、格子点を構成する部材の重心から縁までの距離が等しいかどうかによって格子点を構成する部材の形状が等方的かどうかを判断する。
格子点を構成する部材の形状が円形である場合は、格子点を構成する部材の重心から縁までの距離はいかなる方向に対しても等しい。
そのため、あらゆる格子構造に対して格子点を構成する部材の形状は等方的である。
格子点を構成する部材の形状が円形でない場合は、全ての方向に対しては等距離ではないが、2つの基本並進ベクトルの方向に対して等距離であれば、本明細書中の定義では等方的な形状であるとみなす。
例えば、図1の構造では、基本並進ベクトルはx方向とy方向を向いている。それぞれの方向に対する、格子点を構成する部材の重心から縁までの距離は、それぞれd1とd2の半分の30nmおよび40nmである。よって、異方的な形状であると言える。
回折の起こりやすさを議論する際には、結合係数の大きさが指標となる。
なお、回折の起こりやすさを比較する際、結合係数の正負が異なるような場合には、結合係数の差ではなく結合係数の絶対値の差を見るべきである。
また、結合係数の差そのものよりも、比率で表現した方が実効的な差を理解しやすい。
そのため、ここでは、2つの結合係数をκa、κbとすると、その差を比較するために規格化結合係数差を、つぎの数式1のように定義する。
[数式1]
本発明を適用していない図9(b)の構造では、x方向とy方向の回折に関する規格化結合係数差を計算すると0.6になる。これを基準とすると、規格化結合係数差が0.6より小さくなる構造で本発明の効果を奏していると言える。
図2(a)は、図1に示した構造の孔の各辺の長さd1およびd2を0から格子定数に一致(つまり、隣接する孔が接触)するまで変化させた場合の、x方向とy方向への回折に関する結合係数の差を計算した結果である。
前述した規格化結合係数差の大小を明暗で表示している。色が暗いほど差が小さい、つまり結合係数の異方性が小さいことを表している。
例えば、格子点を孔で構成し、孔の形状をd1=60nm(=0.3×a1)、d2=80nm(=0.3×a2)とした場合、規格化結合係数差は0となる。すなわち、x方向への回折に関する結合係数κ2,0=285cm-1、y方向への回折に関する結合係数κ0,2=285cm-1となり、その差は0である。
また、孔の形状をd1=60nm(=0.3×a1)、d2=107nm(=0.4×a2)とした場合は、結合係数はκ2,0=381cm-1、κ0,2=175cm-1である。
規格化結合係数差は0.37となり、図9(b)の構造における差より小さい。一方、孔の形状をd1=60nm(=0.3×a1)、d2=120nm(=0.45×a2)とした場合、結合係数はκ2,0=427cm-1、κ0,2=94cm-1であり、規格化結合係数差は0.64となる。
これは、図9(b)の構造よりも差が大きくなっている。つまり、本発明の効果を奏しない構造であると言える。
このように、格子点を構成する部材の形状に、ただ異方性を持たせれば本発明の効果を奏するわけではなく、両者の関係を適切に設計する必要がある。
計算結果自体は図2(a)と全く同じであるが、表示するスケールの上限を0.6にしているので、差が0.6より大きい領域は全て白く表示されている。
色のついている部分が本発明の効果を奏する範囲であり、色が濃いほど本発明の効果が大きい領域であると言える。
図2(b)の色がついた領域を、つぎの数式で表すことができる。
すなわち、2つの結合係数を[数式2−2]で表せるκ2,0とκ0,2とすると、その差を比較するための規格化結合係数差が、以下における[数式2−1]の関係を満たす。
Δε:実効的な誘電率変調の大きさであり、ホスト材料と格子点を形成する部材との誘電率差に2次元フォトニック結晶層への光閉じ込め係数を乗じた値
λ:レーザ発振波長
neff:導波モードの実効屈折率
a1、a2:格子定数(図1参照)
d1、d2:格子点の大きさ(図1参照)
図2(b)中の色の濃い部分は、数本の線状の領域に沿って分布している。例えば、図2(b)中に示した点線20に沿った領域では結合係数差が小さい傾向にある。
この点線20に沿った領域は、格子構造の2つの基本並進ベクトルの長い側と短い側の異方性と、格子点の断面形状における長方形の長辺側と短辺側との長さによる異方性が比例関係、つまりa1:a2=d1:d2となる構造に相当する。
異方的な格子点を構成する部材の形状の例としては、図1に示した長方形以外にも、図3(a)に示す楕円形、図3(b)に示す三角形、図3(c)に示す菱形などが挙げられる。
また、格子点は単一の孔だけで形成されているものに限らず、格子点を複数の部材を近接して配置するようにしてもよい。
例えば、図3(d)に示すように、複数の孔が近接して並べられているものでもよい。
図2(b)と同様の計算によって求めた、格子点形状が楕円形の場合に本発明の効果を奏する範囲を図4に示す。
図4の色がついた領域を、つぎの数式で表すことができる。
すなわち、2つの結合係数を[数式3−2]で表せるκ2,0とκ0,2とすると、その差を比較するための規格化結合係数差が、以下における[数式3−1]の関係を満たす。
J1(x):1次の第1種ベッセル関数
Δε:実効的な誘電率変調の大きさであり、ホスト材料と格子点を形成する部材との誘電率差に2次元フォトニック結晶層への光閉じ込め係数を乗じた値
λ:レーザ発振波長
neff:導波モードの実効屈折率
a1、a2:格子定数(図3参照)
d1、d2:格子点の大きさ(図3参照)
なお、図4中の色の濃い部分は、図2(b)と同様に、格子点の断面形状における楕円形の長軸側と短軸側との長さによる異方性が、2つの基本並進ベクトルの長い側と短い側の異方性と比例関係となる領域に沿って分布している。
本実施形態のレーザ構造における活性層は、一般の半導体レーザに使用されるものを使用することができる。
例えば、GaAs/AlGaAs、GaInP/AlGaInP、GaN/InGaNなどの材料を用いた多重量子井戸構造である。
また、本実施形態に係る面発光レーザにおいては、光励起方式、あるいは電流注入方式により駆動することができる。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用した2次元フォトニック結晶面発光レーザの構成例について、図5を用いて説明する。
図5(a)に、本実施例のレーザ構造を説明する断面模式図を示す。
本実施例のレーザ構造は、波長405nmでレーザ発振するように設計されている。
GaN基板40上に、n−GaN層41、n−AlGaNクラッド層42、n−GaNガイド層43、活性層44、ud−GaNガイド層45が積層されている。
さらに、ud−GaNガイド層45上に、p−AlGaN電子ブロック層46、p−GaN層47、p−AlGaNクラッド層49、p+−GaN層50が、以上の順に積層されている。
p−GaN層47中には2次元フォトニック結晶48が埋め込まれている。
2次元フォトニック結晶48は、直方体状の孔53がp−GaN層47中に2次元的に配列されて形成されている。格子構造は長方格子であり、x方向の格子定数a1=200nm、y方向の格子定数a2=276nmである。
孔の断面形状は長方形で、x方向の幅d1=50nm、y方向の幅d2=69nmである。
2次元フォトニック結晶48は、電子ビームリソグラフィーとドライエッチングを用いたパターニングと、再成長技術を用いてp−GaN層内に埋め込んで形成した。
活性層44は3周期のIn0.08Ga0.92N/In0.01Ga0.99N多重量子井戸からなる。
レーザ構造の表面には、NiとAuで構成されたp電極51およびTiとAlで構成されたn電極52が配置されており、そこから電流注入することによりレーザ発振する。
本実施例のレーザ構造の結合係数の計算結果は、x方向への回折に関する結合係数κ2,0=247cm-1、y方向への回折に関する結合係数κ0,2=247cm-1となり、その差は0である。
結合係数が等方的なので、2次元的に対称な発振を起こすことができる。
実施例2として、実施例1とは異なる形態の2次元フォトニック結晶面発光レーザの構成例を、図6を用いて説明する。
図6(a)に、本実施例のレーザ構造を説明する断面模式図を示す。
本実施例のレーザ構造は、波長405nmでレーザ発振するように設計されている。2次元フォトニック結晶構造以外の構成は実施例1と同様である。
図6(b)に、基板面に平行なB−B´における断面を示す。
2次元フォトニック結晶58は、楕円柱状の孔59がp−GaN層47中に2次元的に配列されて形成されている。
格子構造は長方格子であり、x方向の格子定数a1=200nm、y方向の格子定数a2=276nmである。孔の断面形状は楕円形で、x方向の直径d1=110nm、y方向の直径d2=152nmである。
x方向への回折に関する結合係数κ2,0=133cm-1、y方向への回折に関する結合係数κ0,2=133cm-1であり、その差は0である。結合係数が等方的なので、実施例1と同様に2次元的に対称な発振を起こすことができる。
フォトニック結晶の形状や材料や大きさ、活性層やクラッド層や電極を構成する材料は本発明の範囲内で適宜変更できる。
また、上記実施例では、レーザ発振波長として405nmのものを示したが、適切な材料・構造の選択により、任意の波長での動作も可能である。
また、本発明の面発光レーザを同一平面上に複数配列してアレイ光源として使用してもよい。
以上説明した本発明の面発光レーザは、複写機、レーザプリンタなどの画像形成装置が有する感光ドラムへ描画を行うための光源としても利用することができる。
11:孔(格子点を構成する部材)
44:活性層
48:2次元フォトニック結晶(2次元回折格子)
Claims (11)
- 活性層と、該活性層の近傍に設けられた2次元的に周期的な屈折率分布を有する2次元フォトニック結晶と、を備えた2次元フォトニック結晶面発光レーザであって、
前記2次元フォトニック結晶は、面内の2つの基本並進ベクトルの長さが異なる格子構造を備え、
前記格子構造の単位格子に含まれる格子点を構成する部材の形状が、前記2つの基本並進ベクトルの方向に対して異方性を有し、
前記格子点を構成する部材の形状の異方性によって、前記格子点を構成する部材の形状が等方的である場合に比べて結合係数の差が小さくなる構成とされていることを特徴とする2次元フォトニック結晶面発光レーザ。 - 前記2次元フォトニック結晶が、長方格子であることを特徴とする請求項1に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点を構成する部材の基板面に平行な断面形状が、長方形であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点の断面形状における長方形の長辺側と短辺側との長さによる異方性が、前記2つの基本並進ベクトルの長い側と短い側の異方性と比例関係となる構成を備えていることを特徴とする請求項3に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点を構成する部材の基板面に平行な断面形状が、楕円形であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点の断面形状における楕円形の長軸側と短軸側との長さによる異方性が、前記2つの基本並進ベクトルの長い側と短い側の異方性と比例関係となる構成を備えていることを特徴とする請求項6に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記楕円形の格子点のx−y座標におけるx方向への回折に関する結合係数κ2,0と、y方向への回折に関する結合係数κ0,2は、[数式3−2]で表され、κ2,0とκ0,2との差を比較するための規格化結合係数差が、以下における[数式3−1]の関係を満たすことを特徴とする請求項6に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
但し、
J1(x):1次の第1種ベッセル関数
Δε:実効的な誘電率変調の大きさであり、ホスト材料と格子点を形成する部材との誘電率差に2次元フォトニック結晶層への光閉じ込め係数を乗じた値
λ:レーザ発振波長
neff:導波モードの実効屈折率
a1、a2:格子定数(図3参照)
d1、d2:格子点の大きさ(図3参照) - 前記格子点を構成する部材の基板面に平行な断面形状が、三角形であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点を構成する部材の基板面に平行な断面形状が、菱形であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記格子点が、複数の部材を近接して配置することによって構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
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