JP2012038387A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】データ書き込み/消去時のメモリセルの異常な状態変化を検知する半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体記憶装置は、第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、前記データ書き込み部が前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させる際に、前記可変抵抗素子の抵抗値が第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路を有する抵抗状態検知部とを備えることを特徴とする。
【選択図】図7
【解決手段】実施形態に係る半導体記憶装置は、第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、前記データ書き込み部が前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させる際に、前記可変抵抗素子の抵抗値が第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路を有する抵抗状態検知部とを備えることを特徴とする。
【選択図】図7
Description
実施形態は、半導体記憶装置に関する。
従来、電気的に書き換え可能な不揮発性メモリとしては、フローティングゲート構造を有するメモリセルをNAND接続又はNOR接続してメモリセルアレイを構成したフラッシュメモリが周知である。また、不揮発性で且つ高速なランダムアクセスが可能なメモリとして、強誘電体メモリも知られている。
一方、メモリセルの更なる微細化を図る技術として、可変抵抗素子をメモリセルに使用した抵抗変化型メモリが提案されている。可変抵抗素子としては、カルコゲナイド化合物の結晶/アモルファス化の状態変化によって抵抗値を変化させる相変化メモリ素子、トンネル磁気抵抗効果による抵抗変化を用いるMRAM素子、導電性ポリマーで抵抗素子が形成されるポリマー強誘電RAM(PFRAM)のメモリ素子、電気パルス供給によって抵抗変化を起こすReRAM素子等が知られている。
しかし、例えば、ReRAM素子を用いたメモリセルの場合、メモリセルの有する不安定性のため、単純に電気パルスを供給しただけでは、抵抗変化が生じないばかりでなく、意図とは逆方向の抵抗変化を引き起こす場合もある。このような逆方向の抵抗変化を放置した場合、メモリセルの寿命が短くなる等の悪影響が懸念される。
実施形態は、データ書き込み/消去時のメモリセルの異常な状態変化を検知する半導体記憶装置を提供することを目的とする。
実施形態に係る半導体記憶装置は、第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、前記データ書き込み部が前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させる際に、前記可変抵抗素子の抵抗値が第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路を有する抵抗状態検知部とを備えることを特徴とする。
実施形態に係る半導体記憶装置は、第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、前記データ書き込み部が前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させる際に、前記可変抵抗素子の抵抗値が第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路を有する抵抗状態検知部とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
以下、図面を参照しながら実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。
[第1の実施形態]
<半導体記憶装置の構成>
先ず、第1の実施形態に係る半導体記憶装置のメモリセルアレイについて説明する。
<半導体記憶装置の構成>
先ず、第1の実施形態に係る半導体記憶装置のメモリセルアレイについて説明する。
図1は、メモリセルアレイ111の一部を示す図である。メモリセルアレイ111は、図1に示すように、互いに交差するワード線WL(第1の配線)及びビット線BL(第2の配線)の各交差部に可変抵抗素子VRを有するメモリセルMCを備える。メモリセルMCには、可変抵抗素子VRの他、この可変抵抗素子VRと直列接続された整流素子として、例えば、ダイオードDiを有する。ここでは前提として、ダイオードDiのアノード側にビット線BL、カソード側にワード線WLが接続されているものとする。なお、メモリセルMCを構成するダイオードDi及び可変抵抗素子VRの配置、極性は、図示のものに限定されない。
可変抵抗素子VRは、例えば、電極/遷移金属酸化物/電極からなる構造を有するもの等であり、電圧、電流、熱等の印加条件によって金属酸化物の抵抗値変化をもたらし、その抵抗値の異なる状態を情報として不揮発に記憶する。この可変抵抗素子VRとしては、具体的には、カルコゲナイド等のように結晶状態と非晶質状態の相転移により抵抗値を変化させるもの(PCRAM)、金属陽イオンを析出させて電極間に架橋(Conducting Bridge)を形成したり、析出した金属をイオン化して架橋を破壊したりすることで抵抗値を変化させるもの(CBRAM)、電圧あるいは電流印加によって抵抗値が変化するもの(ReRAM)等を用いることができる。
次に、メモリセルMCに対するデータの書き込み/消去、及びメモリセルMCからのデータの読み出しについて説明する。
メモリセルMCに対するデータの書き込みは、可変抵抗素子VRに例えば3.5V(ダイオードDiの電圧降下分を含めると実際には4.5V程度)の電圧、10nA程度の電流を10ns〜100ns程度の時間印加することにより行う。これによって、可変抵抗素子VRが高抵抗状態(第1の抵抗値を持つ状態)から低抵抗状態(第2の抵抗値を持つ状態)へと変化する。
一方、メモリセルMCに対するデータの消去は、セット動作後の低抵抗状態の可変抵抗素子VRに対し、例えば0.8V(ダイオードDiの電圧降下分を含めると実際には1.8V程度)の電圧、1μA〜10μA程度の電流を500ns〜2μs程度の時間印加することにより行う。これにより、可変抵抗素子VRが低抵抗状態(第1の抵抗値を持つ状態)から高抵抗状態(第2の抵抗値を持つ状態)へと変化する。
なお、以下において、可変抵抗素子VRが高抵抗状態から低抵抗状態に遷移する動作を「セット動作」、可変抵抗素子VRが低抵抗状態から高抵抗状態に遷移する動作を「リセット動作」、可変抵抗素子VRが高抵抗状態にあるメモリセルMCの状態を「リセット状態」、可変抵抗素子VRが低抵抗状態にあるメモリセルMCの状態を「セット状態」、可変抵抗素子VRの抵抗状態が増加していく方向を「リセット方向」、可変抵抗素子VRの抵抗状態が低下していく方向を「セット方向」と呼ぶこともある。
メモリセルMCの読み出し動作は、可変抵抗素子VRに例えば0.4V(ダイオードDiの電圧降下分を含めると実際には1.4V程度)の電圧を与え、可変抵抗素子VRを介して流れる電流をセンスアンプにてモニタすることにより行う。これによって、可変抵抗素子VRが低抵抗状態にあるか高抵抗状態にあるかを判定する。
次に、メモリセルアレイ111を備える本実施形態に係る半導体記憶装置の全体構成について説明する。
図2は、本実施形態に係る半導体記憶装置を示すブロック図である。
半導体記憶装置は、メモリコア部100と、このメモリコア部100に対するデータのリード/ライトを制御する周辺回路120とを有する。
メモリコア部100は、複数のバンク110(Bank_0〜Bank_m)から構成されている。各バンク110は、複数のメモリセルアレイ111を有する。各バンク110において、複数のメモリセルアレイ111は、これらに共通に設けられたカラムデコーダ114によってビット線BLが選択されるものとなっている。カラムデコーダ114は、ビット線BLを、抵抗状態検知部を含むセンスアンプ112及びラッチ113に選択的に接続する。複数のセンスアンプ112はそれぞれ読み出されたデータを検出し、複数のラッチ113は読み出されたデータ及び書き込みデータを一時的に保持する。センスアンプ112及びラッチ113も、複数のメモリセルアレイ111により共有されている。カラムデコーダ114は、例えば、16本のビット線BLを同時選択するデコーダ回路及びビット線スイッチ回路からなる複数のカラム回路ユニットを備える。以下では、センスアンプ112の個数は、カラムデコーダ114がビット線BLを同時選択する数に対応して16個であるものとして説明を行う。
ラッチ113は、周辺回路120のページバッファ130に接続されており、読み出し動作時や書き込み動作時にセンスアンプ112とページバッファ130との間で送受信される読み出しデータや書き込みデータを一時的に保持する。ページバッファ130は、データ処理の単位となる1ページのデータ(例えば、2Kバイト)を一時的に保持できるデータレジスタである。ページバッファ130に複数ページ分のデータが保持されるように構成すると、ページバッファ130をキャッシュメモリとして機能させることもできる。
また、各バンク110において、複数のメモリセルアレイ111は、これらに共通に設けられたメインロウデコーダ115及びそれぞれに設けられたサブロウデコーダ116を介してワード線WLが選択され、共通に設けられたロウドライバ117によって上記選択されたワード線WLが駆動されるものとなっている。すなわち、ロウデコーダは、複数のメモリセルアレイ111により共有されるメインロウデコーダ115と、各メモリセルアレイ111に付随するサブロウデコーダ116との階層構造になっている。選択ワード線WLには所定の選択ワード線電圧、非選択ワード線WLには所定の非選択ワード線電圧がそれぞれワード線駆動回路117から供給される。
周辺回路120は、データ入出力バッファ121、入出力制御回路122、アドレスレジスタ123、コマンドレジスタ124、動作制御回路125、パラメータレジスタ126、内部電圧生成回路127、コア制御バッファ128、リダンダンシアドレスレジスタ129、及びページバッファ130を備える。
データ入出力バッファ121は、I/Oパッドに接続されて、この半導体記憶装置に対するデータの入出力を行う。図2の場合、半導体記憶装置の動作に供されるコマンド、アドレス、及びデータが全てI/Oパッドから与えられるマルチプレクス方式が示されている。例えば、データを書き込む場合には、データ書き込みコマンド、選択メモリセルMCの場所を示すアドレス、及び書き込むデータが、データ入出力バッファ121を介して半導体記憶装置に与えられる。また、データを読み出す場合には、データ読み出しコマンド、選択アドレスが半導体記憶装置に与えられる。これらのコマンド、アドレスに基づきメモリコア部100からページバッファ130に読み出しデータが格納された後、データ入出力バッファ121を介して外部にデータが出力される。
入出力制御回路122は、I/Oパッドから入出力されるデータ等の識別や、データ出力を制御する。入出力制御回路122には外部からライトイネーブル信号、リードイネーブル信号、コマンドラッチイネーブル信号、アドレスラッチイネーブル信号等の各種の制御信号が与えられている。入出力制御回路122は、これらの各信号の状態の組み合わせ、及びタイミングの規定に基づいて、入出力データを制御する。
入出力制御回路122は、コマンド入力時にはデータ入出力バッファ121から入力されるデータをコマンドと認識して、コマンドレジスタ124に格納する。同様に、入出力制御回路122は、アドレス入力時には入力されるデータをアドレスと認識して、アドレスレジスタ123に格納する。入出力制御回路122は、データ入力時には入力されるデータをページバッファ130に格納し、データ出力時には逆にページバッファ130がデータを出力できる状態にする。
その他、データ入出力線には、カラムリダンダンシーセルやロウリダンダンシーセルへのアクセス制御に必要となる救済・置換アドレスを記憶するリダンダンシアドレスレジスタ129や、種々の電圧設定パラメータなどを記憶するパラメータレジスタが接続されており、必要に応じてそれらのデータの入出力ができるように構成されている。
その他、データ入出力線には、カラムリダンダンシーセルやロウリダンダンシーセルへのアクセス制御に必要となる救済・置換アドレスを記憶するリダンダンシアドレスレジスタ129や、種々の電圧設定パラメータなどを記憶するパラメータレジスタが接続されており、必要に応じてそれらのデータの入出力ができるように構成されている。
図示は省略するが、入出力制御回路122は、半導体記憶装置の動作状態を示すステータスの出力制御や、IDコード出力等を司る構成としても良い。
読み出し動作時には、コマンドが入力されて内部制御クロックが起動されるとともに、動作制御回路125が動作を開始する。また、種々の動作に応じた内部電圧を発生する内部電圧制御回路127も起動する。読み出し動作時には、動作制御回路125はメモリコア部100で所望の読み出し動作が行われるように、ワード線WLやビット線BLの充放電、センスアンプ112のプリチャージやセンス動作を制御するタイミング信号をコア制御バッファ128に出力する。また、内部電圧制御回路127も、メモリコア部100及びコア制御バッファ128に所定の電圧を供給する。
ここで、コア制御バッファ128は、各バンク110に設けられているため、同時に動作させるバンク110を自在に制御することができる。例えば、読み出し動作や書き込み動作のデータ処理速度を上げる場合には、同時に活性化させるバンク数を増やせば良い。一方、消費電流を抑えたい場合、同時に活性化させるバンク数を減らすこともできる。
<センスアンプ>
次に、センスアンプ112について詳しく説明する。
次に、センスアンプ112について詳しく説明する。
上述の通り、リセット動作(消去動作)は、メモリセルMCの可変抵抗素子VRに対し、例えば、電圧0.8V、電流1μA〜10μA程度のリセットパルスを500ns〜2μs程度印加することで実現できる。しかし、実際には、メモリセルMCが持つ不安定要因によって、可変抵抗素子VRの抵抗状態がセット方向に遷移してしまうことがある。図3は、この様子を示す図である。リセット動作により、メモリセルMCに流れるセル電流ICELLは、本来減少し、レファレンス電流IREF_RSTWD以下になるはずであるが、メモリセルMCの中には、リセット動作によって、却ってセル電流ICELLが増加してしまうメモリセルMCが発生することがある。このような異常動作を放置した場合、メモリセルMCにダメージが生じ、メモリセルMCの寿命を縮めることになる。
そこで、本実施形態では、このようなリセット動作時の異常動作を検知すべく、センサアンプ112にセット方向検知回路(異常検知回路)を備える。セット方向検知回路は、セル電流ICELLが、図3におけるレファレンス電流TREF_SETWDを超えたときに異常であるとしてこれを検知する回路である。
図4は、センスアンプ112の一部を示す回路図である。
センスアンプ112は、セット方向検知回路112cの他、ビット線選択電圧供給回路112a、リセット方向検知回路112bを備える。
ビット線選択電圧供給回路112aは、リセット動作時に必要なビット線選択電圧VBL_SELを選択ビット線BLに供給する回路である。
ビット線選択電圧供給回路112aは、セット又はリセット動作時にビット線BLに十分な電圧を印加するための電圧が供給されるVSEL端子とノードDSAとの間に、直列接続されたトランジスタQ101、Q102と、VSEL端子及びノードN101間に直列接続されたトランジスタQ104、Q105とを有する。
トランジスタQ101、Q104のゲートには、演算増幅器OP101の出力端子が接続されている。演算増幅器OP101は、クランプ電圧VCLAMPと、ノードDSAの電圧との差に応じてトランジスタQ101及びQ104を制御する。これによって、ノードDSAの電位はクランプ電圧VCLAMPと同電位になるように制御されるので、ビット線選択電圧供給回路112aは、カラムデコーダ114を介して所望のビット線選択電圧VBL_SELをビット線BLに供給することができる。
トランジスタQ103は、ビット線BLにつながるノードDSAの電荷を放電するためのトランジスタである。
トランジスタQ103及び演算増幅器OP101は、それぞれ後述するセンスアンプ制御部U101からの制御信号PULSE_ENB、BL_DISによって制御される。
トランジスタQ101、Q102、Q104、及びQ105は、トランジスタQ101及びQ102側を入力、トランジスタQ104及びQ105側を出力とするカレントミラー回路CM101を構成する。ここで、カレントミラー回路CM101の入力は、メモリセルMCに流れるセル電流ICELLになる。このセル電流ICELLは、ノードN101及び接地間に接続されたトランジスタQ109にも流れる。なお、トランジスタQ109に流れる電流は、このトランジスタQ109と並列に接続された電流調整用のトランジスタQ108に一部流れることにより調整されるようにしても良い。
リセット方向検知回路112bは、リセット動作において、メモリセルMCの状態がリセット方向に遷移していることを検知する回路である。
リセット方向検知回路112bは、所定の電圧V0端子及び接地線間に、直列接続されたトランジスタQ110及びQ111と、同じく直列接続されたトランジスタQ112及びQ113とを有する。また、トランジスタQ110及びQ111間にあるノードN103が第1入力に接続され、第2入力にリセット動作の検知を許可する制御信号DETが入力されるANDゲートG101を有する。ANDゲートG101の出力は、メモリセルMCの状態がリセット方向に遷移していることを示すフラグFLG_RSTWDになる。
トランジスタQ111は、ビット線選択電圧供給回路112aのトランジスタQ109と共に、トランジスタQ109側を入力とし、トランジスタQ111側を出力とするカレントミラー回路CM102を構成する。これによって、カレントミラー回路CM101を介してセル電流ICELLがリセット方向検知回路112bに流れる。
トランジスタQ113は、ゲートにレファレンス電圧VIREF_RSTWDが供給されることにより、レファレンス電流IREF_RSTWDの電流源として働く。このレファレンス電流IREF_RSTWDは、セット状態のメモリセルMCに流れるセル電流ICELLよりも小さく、リセット状態のメモリセルMCに流れるセル電流ICELL以上の大きさの電流であり、セット状態のメモリセルMCが正常にリセット方向に遷移していることの基準となる電流である。
トランジスタQ110及びQ112は、トランジスタQ112側を入力とし、トランジスタQ110側を出力とするカレントミラー回路CM103を構成する。ノードN103は、レファレンス電流IREF_RSTWDとセル電流ICELLの大小関係によって決まる電圧値となる。これによって、ANDゲートG101の第1入力は、IREF_RSTWD>ICELLを条件として“H”になる。これは、セル電流ICELLがセット状態の時よりも低下していることを意味するものであり、メモリセルMCの状態が正常にリセット方向に遷移していることを意味する。この時、制御信号DETが“H”であることを条件に、フラグFLG_RSTWDが“H”になる。
セット方向検知回路112cは、リセット動作において、メモリセルMCの状態がセット方向に遷移していることを検知する回路である。
セット方向検知回路112cは、所定の電圧V0端子及び接地線間に、直列接続されたトランジスタQ114及びQ115と、同じく直列接続されたトランジスタQ116及びQ117とを有する。また、トランジスタQ114及びQ115間にあるノードN104が第1入力に接続され、第2入力にインバータIV101を介して制御信号DETが入力されるNORゲートG102(電流比較回路)を有する。NORゲートG102の出力は、メモリセルMCの状態がセット方向に遷移していることを示すフラグFLG_SETWDになる。
トランジスタQ115は、ビット線選択電圧供給回路112aのトランジスタQ109と共に、トランジスタQ109側を入力とし、トランジスタQ115側
を出力とするカレントミラー回路CM104を構成する。これによって、カレントミラー回路CM101を介してセル電流ICELLがセット方向検知回路112cに流れる。
を出力とするカレントミラー回路CM104を構成する。これによって、カレントミラー回路CM101を介してセル電流ICELLがセット方向検知回路112cに流れる。
トランジスタQ117は、ゲートにレファレンス電圧VIREF_SETWDが供給されることにより、レファレンス電流IREF_SETWDの電流源として働く。このレファレンス電流IREF_SETWDは、メモリセルMCがセット状態よりも低い抵抗値(第3の抵抗値)を持つ場合に流れるセル電流ICELLと実質的に同じ大きさを持つ電流であり、セット状態のメモリセルMCがセット方向に遷移していることの基準となる電流である。
トランジスタQ114及びQ116は、トランジスタQ116側を入力とし、トランジスタQ114側を出力とするカレントミラー回路CM105を構成する。ノードN104は、レファレンス電流IREF_SETWDとセル電流ICELLの大小関係によって決まる電圧値となる。これによって、NORゲートG102の第1入力は、IREF_SETWD<ICELLを条件として“L”になる。これは、セル電流ICELLがセット状態の時よりも上昇していることを意味するものであり、メモリセルMCの状態がセット方向に遷移していることを意味する。この時、制御信号DETが“H”であることを条件に、フラグFLG_SETWDが“H”になる。
次に、センスアンプ制御部U102の回路構成について図5を参照しながら説明する。
センスアンプ制御部U102は、インバータIV151、IV152の入力と出力を相互に接続してなるラッチLT151を有する。インバータIV151の入力側のノードDCには、データ入出力DINOUTからデータパスU151を介して入力されたデータが保持される。インバータIV152の入力側のノードDCnには、ノードDCが保持するデータの逆論理のデータが保持される。
ノードDCは、トランジスタQ151を介して接地線に接続される。このトランジスタQ151は制御信号ALL_ACTで制御される。制御信号ALL_ACTが“H”になることで、ノードDCは入力データに関わらず“L”になる。一方、ノードDCnは、トランジスタQ152を介して接地線に接続される。
また、センスアンプ制御部U101は、制御信号SET_MODE及びフラグFLG_SETWDを入力とするANDゲートG151、制御信号RST_MODE及びフラグFLG_RSTWDを入力とするANDゲートG152、ANDゲートG151の出力及びANDゲートG152の出力を入力とするORゲートG153、制御信号ALL_INACT及びORゲートG153の出力であるフラグFLG_NMLを入力とするORゲートG154を有する。トランジスタG152は、このORゲートG154の出力によって制御される。
さらに、センスアンプ制御部U101は、ノードDCn、制御信号SELECT、及びBLSELを入力とする3入力のNANDゲートG155、制御信号RST_MODE及びフラグFLG_SETWDを入力とするANDゲートG156、制御信号SET_MODE及びフラグFLG_RSTWDを入力とするANDゲートG157、ANDゲートG156の出力及びANDゲートG157の出力を入力とするORゲートG158、NANDゲートG155の出力及びORゲートG158の出力であるフラグFLG_OPPを入力とするNORゲートG159を有する。このNORゲートG159の出力が制御信号PULSE_ENBとなり、NORゲートG159の出力をインバータIV153で逆論理にしたものが制御信号BL_DISになる。
<リセット動作>
次に、上述したセンスアンプ112を備える半導体記憶装置のリセット動作について説明する。
次に、上述したセンスアンプ112を備える半導体記憶装置のリセット動作について説明する。
図6は、本実施形態に係る半導体記憶装置のリセット動作のフローチャートである。
リセット動作開始前、必要に応じて、メモリセルMCのディスターブを回避すべく、選択メモリセルMCに対する事前読み出し動作を実行する。この事前読み出し動作は、選択メモリセルMCからデータの読み出しを行い、現時点におけるメモリセルMCのデータを確認する動作であり、リセット動作が必要な選択メモリセルMCを抽出するために行う。この事前読み出しを実行するか否かは、例えば、半導体記憶装置のチップ内のレジスタ等に記憶しておけば良い。
始めに、ステップs101において、チップ内のレジスタ等の情報をもとに事前読み出し動作を実行するか否かの判断を行う。事前読み出し動作を実行する場合には、後述するステップs102に遷移する。一方、事前読み出し動作を実行しない場合には、後述するステップs105まで処理をスキップする。
続いて、ステップs102において、事前読み出し動作に必要な電圧や電流の初期値を設定する。
続いて、ステップs103において、選択メモリセルMCに対する事前読み出し動作を実行する。
続いて、ステップs104において、ステップs103での事前読み出し動作の結果をチェックする。ここで、同時に事前読み出し動作やリセット動作を行う選択メモリセルMCと、この選択メモリセルMCに対応するセンスアンプ112は、1個以上の所定数であるものとする。チェックの結果、全ての選択メモリセルMCがリセット状態である場合、あらためてリセット動作を実行する必要がないため完了しても良い(ステップs105)。この判断は、例えば、事前読み出し動作後のセンスアンプ112のセンスアンプ制御部U101のノードDCが全て“H”であるか否かのチェックで行うことができる。一方、セット状態のメモリセルMCが在る場合、リセット動作を実行すべくステップs106に遷移する。
続いて、ステップs106において、リセット動作に必要な電圧や電流の初期値を設定する。ここでは、例えば、電圧に関しては、最初のリセットパルス印加動作のための選択ビット線電圧VBL_SELや非選択ワード線電圧VUXを設定する。また、電流に関しては、センスアンプ112で2レベルの検知動作を行うため、レファレンス電流IREF_RSTWD及びIREF_SETWDを流すレファレンス電圧VIREF_RSTWD及びVIREF_SETWDを設定する。ここで、初回のリセットパルス印加動作時のレファレンス電流IREF_SETWDをIREF_SETWD0と表記する。
続いて、ステップs107において、選択メモリセルMCに対してリセットパルス印加動作を実行する。リセットパルス印加動作時の動作波形を図7に示す。
始めに、タイミングt100において、全てのワード線WLに非選択ワード線電圧VUXを供給する。また、非選択ビット線BLには、非選択ビット線電圧VUBを供給する。
続いて、タイミングt101において、ビット線を選択する制御信号BLSELを“H”にし、センスアンプ112から選択ビット線BLにビット線選択電圧VBL_SELを供給する。制御信号BLSELが“H”になると、センスアンプ制御部U101のノードDCが“L”の場合、制御信号PULSE_ENBが“H”、制御信号BL_DISが“L”になる。その結果、ノードDSA及びビット線BLの電圧は、演算増幅器OP101によってクランプ電圧VCLAMPと等しい電圧になるように制御される。
続いて、タイミングt102において、選択ワード線WLを非選択ワード線電圧VUXから選択ワード線電圧VWL_SELに降圧する。この時点から、選択メモリセルMCに対し、VBL_SEL−VWL_SELの電位差が印加される。センスアンプ112は、ノードDSAをクランプ電圧VCLAMPに保持するように制御しながら、選択ビット線BLに流れるセル電流ICELLを取り込む。
ここで、2レベルの検知動作では、センスアンプ112に取り込むセル電流ICELLが、2つの検知レベルに対応するレファレンス電流IREF_RSTWDとレファレンス電流IREF_SETWDの間に在る状態から検知を開始しなければならない。そこで、続くタイミングt103において、制御信号DETを“H”にする。制御信号DETが“H”になると、リセット方向検知回路112b及びセット方向検知回路112cがセル電流ICELLの変化を検知可能な状態となる。
例えば、タイミングt103aにおいて、選択メモリセルMCの状態が望ましくないセット方向に遷移してしまう場合には、図7中波形wraで示すように、リセット状態の場合に比べセル電流ICELLが増加する。セル電流ICELLがレファレンス電流IREF_SETWDを超えると、フラグFLG_SETWDが“H”になる。このフラグFLG_SETWDは、センスアンプ制御部U101に入力されている。また、リセット動作中は、制御信号RST_MODEが“H”なので、フラグFLG_OPPが“H”になる。その結果、制御信号PULSE_ENBが“L”、制御信号BL_DISが“H”になるため、図4に示すトランジスタQ103がオンし、波形wra´で示すようにビット線BL及びノードDSAが放電され、選択メモリセルMCへのリセットパルスの印加が終了する。この場合、フラグFLG_NMLは“L”のままなので、センスアンプ制御部U101のノードDC、DCnは変更されないまま、リセットパルスの印加が終了する。
また、続くタイミングt103bにおいて、選択メモリセルMCの状態が正常にリセット方向に遷移する場合には、図7中波形wrbで示すように、セル電流ICELLが減少してレファレンス電流IREF_RSTWDより低くなり、フラグFLG_RSTWDが“H”になる。この場合、センスアンプ制御部U101において、フラグFLG_NMLが“H”、フラグFLG_OPPが“L”になるので、ノードDCnが“H”から“L”に変化し、ノードDCが“L”から“H”に変化する。その結果、制御信号PULSE_ENBが“L”、制御信号BL_DISが“H”になるため、波形wrb´で示すようにノードDSA及びビット線BLが放電され、選択メモリセルMCへのリセットパルスの印加が終了する。
続いて、タイミングt104において、選択メモリセルMCの状態が遷移しなかった場合、制御信号BLSELが“L”になるため、制御信号PULSE_ENBが“L”、制御信号BL_DISが“H”になってノードDSA及び選択ビット線BLが放電される。
最後に、タイミングt105において、非選択ワード線WL及び非選択ビット線BLが放電されて、リセットパルスの印加が終了する。
以上の図7に示す動作によって、ステップs107におけるリセットパルスの印加が終了する。
続いて、ステップs108において、センスアンプ制御部U101のラッチLT151のデータをチェックする。ここで、全てのセンスアンプ制御部U101のノードDCが“H”であった場合、全ての選択メモリセルMCのリセット動作が完了したと判断できるので、この場合は、リセット動作を終了する(ステップs109)。一方、一部でもセンスアンプ制御部U101のノードDCが“L”であった場合、ステップs110に遷移する。
続いて、ステップs110において、リセットパルス印加動作が所定の最大回数に達しているかどうかをチェックする。もし、リセットパルス印加動作が最大回数に達していた場合、リセット動作をフェイルしたとして終了する(ステップs111)。一方、リセットパルス印加動作が最大回数に達していなかった場合、ステップs112に遷移する。
なお、図示していないが、リセットパルス印加動作が最大回数に達していた場合に、リセット動作が完了しなかった(フェイルした)メモリセル数を数えて、それが所定数以下ならば、判定基準を緩和した擬似パスという形で終了させることもできる。
続いて、ステップs112において、リセットパルス印加回数をインクリメントする。
続いて、ステップs113において、次のリセットパルス印加動作に備えて、必要な電圧や電流を設定する。次のリセットパルス印加動作では、今回のリセットパルス印加動作よりもいくらかリセットしやすい条件となるように、例えば、選択ビット線電圧VBL_SELを所定値だけ上昇させても良いし、同じ条件でリトライしても良い。また、1回目のリセットパルス印加動作でセット方向に遷移した選択メモリセルMCの場合、レファレンス電流IREF_SETWDを少し上昇させないと、リセット動作のためのストレスが掛からないままリセットパルス印加動作が終了してしまうことが考えられる。
図8は、リセットパルス印加動作の回数とレファレンス電流IREF_SETWDとの関係を示す具体例である。ここでは、リセット動作時における4パターンのメモリセルMCに流れるセル電流ICELLの変化を示している。
図8の場合、レファレンス電流IREF_SETWDは、1回目のリセットパルス印加動作c101ではIREF_SETWD0、2回目のリセットパルス印加動作c102では、IREF_SETWD0+ISTEP×1、3回目のリセットパルス印加動作c103では、IREF_SETWD0+ISTEP×2、4回目のリセットパルス印加動作c104では、IREF_SETWD0+ISTEP×3と、1回毎に所定のステップ幅ISTEPずつ上昇させている。
1つ目のパターンは、矢印a111で示すように、1回のリセットパルス印加動作でメモリセルMCがリセット状態に遷移した場合である。
2つ目のパターンは、矢印a121、a122で示すように、2回のリセットパルス印加動作c101、c102でメモリセルMCの状態が遷移しなかったものの、矢印a123で示すように、3回目のリセットパルス印加動作c103でメモリセルMCがリセット状態に遷移した場合である。
以上の2つのパターンについては、正常にリセット動作しているため問題ではない。
3つ目のパターンは、1回目のリセットパルス印加動作c101で、セル電流ICELLが矢印a131のように上昇したものの、2回目のリセットパルス印加動作c102で、レファレンス電流IREF_SETWD0+ISTEPが矢印a132で示すセル電流ICELLを上回った場合である。この場合、選択メモリセルMCには、リセットパルス印加動作c102、c103でリセットパルス印加がされるため、リセット状態に遷移させることができる。
4つ目のパターンは、1回目のリセットパルス印加動作c101で、セル電流ICELLが矢印a141のように大きく上昇し、2回目のリセットパルス印加動作c102で、セル電流ICELLがレファレンス電流IREF_SETWD0+ISTEPを上回ってしまった場合である。この場合、リセットパルス印加動作c102において、選択メモリセルMCの状態のセット方向への遷移が検知されるため、リセットパルス印加動作がすぐに終了してしまうと考えられる。しかし、更に後のリセットパルス印加動作で、レファレンス電流IREF_SETWDを増加させていくと、この図の場合には3回目のリセットパルス印加動作c103で選択メモリセルMCにリセットパルスが印加されるようになり、正常にリセット状態に遷移するための機会を与えることができる。
ここで、留意すべきは、レファレンス電流IREF_SETWDは、そもそも、メモリセルMCへのダメージを回避すべく、メモリセルMCの状態がセット方向に大きく変化しないようにするための判定値であるということである。したがって、レファレンス電流IREF_SETWDは、メモリセルMCにダメージを及ぼす危険領域に差し掛からない範囲で、図8に示すように段階的に増加させることが望ましい。このようにレファレンス電流IREF_SETWDの増加範囲を制限した場合であっても、選択メモリセルMCの一部のみがセット方向に状態遷移してしまいリセット動作が完了しなくても上述の通り、擬似パスという形でリセット動作を終了することができ、また、ECCによって救済することもできる。更に、擬似パスで終了できないほどの多数のフェイルビットがある場合には、その選択ワード線WLは不良ワード線として扱えば良い。
以上、本実施形態に係る半導体記憶装置によれば、リセット動作時において、メモリセルの状態が更にリセット方向に遷移した場合であっても、このような異常動作を検知することができる。そのため、異常動作中のメモリセルに対するリセット動作を停止する等の処理を行うことができ、メモリセルに対するダメージを低減することができる。
なお、本実施形態におけるセンスアンプ112において、リセット方向検知回路112bを異常検知回路、セット方向検知回路112cを正常検知回路に使用すれば、セット動作においても、上述したリセット動作と同様の検出動作が可能である。
[第2の実施形態]
第1の実施形態では、リセット動作時の正常なセル電流の変化と異常なセル電流の変化を2つのレファレンス電流を用いた電流比較によって検知する半導体記憶装置について説明したが、第2の実施形態では、所定のレファレンス電流とセル電流の比較の結果として現れるセンスノードの電位変化を2つのレファレンス電圧を用いて検知する半導体記憶装置について説明する。
第1の実施形態では、リセット動作時の正常なセル電流の変化と異常なセル電流の変化を2つのレファレンス電流を用いた電流比較によって検知する半導体記憶装置について説明したが、第2の実施形態では、所定のレファレンス電流とセル電流の比較の結果として現れるセンスノードの電位変化を2つのレファレンス電圧を用いて検知する半導体記憶装置について説明する。
ここでは、セット動作を中心に説明する。
本実施形態に係る半導体記憶装置の全体構成は図2と同様であるが、図2に示すセンスアンプ112に替えて、センスアンプ212を備える。
図9は、センスアンプ212の一部を示す回路図である。
センスアンプ212は、ビット線選択電圧供給回路212aの他、セット方向検知回路212b(正常検知回路)、及びリセット方向検知回路212c(異常検知回路)を備える。
ビット線選択電圧供給回路212aは、セット動作時に必要な電圧VCLAMPをビット線BLに印加する回路である。すなわち、ビット線選択電圧供給回路212aは、センスノードNSEN及びノードDSA間に電圧クランプ用のNMOSトランジスタQ205を有する。このトランジスタQ205は、ビット線BL及びノードDSAの電圧が所定の電流が流れた状態でクランプ電圧VCLAMPと等しくなるようにソースフォロワの形態で制御される。
また、センスノードNSENには、スイッチSW201が接続されている。このスイッチSW201がオンすると、センスノードNSENは、所定の電圧印加回路からセット動作開始時の初期電圧V_NSEN_INIにプリチャージされる。
また、ビット線選択電圧供給回路212aは、VSEL端子及び接地線間に設けられた直列接続されたトランジスタQ201及びQ202を有する。このうちトランジスタQ202は、制御信号VILOADで制御され、定電流回路として機能する。更に、ビット線選択電圧供給回路212aは、この定電流回路と並列に、VSEL端子及びセンスノードNSEN間に直列接続されたトランジスタQ203及びQ204を有する。このうちトランジスタQ203は、トランジスタQ201と共に、トランジスタQ201側を入力とし、トランジスタQ203側を出力とするカレントミラー回路CM201を構成する。これによって、メモリセルMCに対し、トランジスタQ203、Q204、センスノードNSEN、及びビット線BLに繋がるノードDSAを介して定電流である比較電流ICOMPを流すことができる。このように、メモリセルMCに対し一定の比較電流ICOMPを流すことで、センスノードNSENには、メモリセルMCの可変抵抗素子VRの状態変化に応じた電圧変化が現れる。
セット方向検知回路212bは、セット動作において、メモリセルMCの状態がセット方向に遷移していることを検知する回路である。
セット方向検知回路212bは、演算増幅器OP201を有する。この演算増幅器OP201の非反転入力端子には、セット動作時においては、スイッチSW203を介してクランプ電圧VCLAMPが供給されている。クランプ電圧VCLAMPは、選択ビット線BLの設定電圧であり、初期電圧V_NSEN_INIより低い電圧であり、リセット状態にあったメモリセルMCがセット方向に遷移したことを検知するための基準となる電圧(第1のレファレンス電圧)である。
前述のようにビット線BLの電位は、ビット線BLに比較電流ICOMPが流れる場合にビット線BLの電位がクランプ電圧VCLAMPと等しくなるように制御されるので、選択メモリセルMCが所望のセット状態になって比較電流ICOMP以上の電流を流す状態になった場合には、ビット線BL及びセンスノードNSENの電位は、クランプ電圧VCLAMPよりも低下する。
また、演算増幅器OP201の反転入力端子には、センスノードNSENが接続されている。これによって、セット動作時においては、クランプ電圧VCLAMPとセンスノードNSENの電圧とを比較することができる。その結果、センスノードNSENの電圧がクランプ電圧VCLAMPよりも低くなった場合、つまり、メモリセルMCの状態がセット方向に遷移した場合、演算増幅器OP201の出力OUT_Sは、正常にセット動作が検知されたことを意味する“H”になる。この結果は、演算増幅器OP201の出力端子に接続されたラッチLT201によって取り込まれて保持されると共に、センスアンプ制御部U101を介して出力される制御信号BL_DISによってノードDSAおよびビット線BLはVSSに放電される。
一方、リセット方向検知回路212cは、セット動作において、メモリセルMCの状態が本来望ましくないリセット方向に遷移していることを検知する回路である。
リセット方向検知回路212cは、演算増幅器OP202を有し、その反転入力端子には、第2のレファレンス電圧として用いるVREF_AMPが供給されている。レファレンス電圧VREF_AMPは、初期電圧V_NSEN_INIよりも高い電圧である。
一方、演算増幅器OP202の非反転入力端子には、センスノードNSENが接続されている。これによって、セット動作時においては、演算増幅器OP202は、レファレンス電圧VREF_AMPとセンスノードNSENの電圧を比較する。その比較の結果、センスノードNSENの電圧がレファレンス電圧VREF_AMPよりも高くなった場合、演算増幅器OP202の出力OUT_Rは“H”になる。この演算増幅器OP202の出力OUT_Rは、ラッチLT202を介して逆方向検知の信号FLG_RSTWD“H”を出すことにつながり、センスアンプ制御部U101から出力される制御信号BL_DISによってノードDSA及びビット線BLはVSSに放電される。この場合は、セットパルス印加の制御を行うデータラッチLT201のデータ書き換えはしないので、次のパルス印加がある場合には、リトライの対象にすることができる。
次に、上述したセンスアンプ212を備える半導体記憶装置のセット動作について図10を用いて説明する。
始めに、タイミングt200において、全てのワード線WLに非選択ワード線電圧VUXを供給する。
続いて、タイミングt201において、スイッチSW201をオンし、センスノードNSENを初期電圧V_NSEN_INIでプリチャージする。また、ビット線BLは、クランプ電圧VCLAMP相当の電圧に充電される(タイミングt202)。
続いて、タイミングt203において、選択ワード線WLを選択ワード線電圧VWL_SELに降圧する。これによって選択メモリセルMCはセット動作を開始する。
その後、例えば、タイミングt204で、選択メモリセルMCの状態が“所望の状態ではない”リセット方向に遷移した場合、セル電流ICELLは初期の状態より減少するので、センスノードNSENの電位は、より早く波形wsaのように上昇する。センスノードNSENの電位がレファレンス電圧VREF_AMPを超えると、演算増幅器OP202からのOPPOSIT FLGが“H”になる。これを受けると、波形wsa´のようにビット線BLやセンスノードNSENは放電され、メモリセルMCに対するセットパルスの供給が停止される。
一方、選択メモリセルMCの状態が正常にセット方向に遷移した場合、センスノードNSENが、クランプ電圧VCLAMPよりも下回ったところで、演算増幅器OP201の出力が“H”になる。つまり、メモリセルMCの状態の正常なセット方向への遷移を検知する。この場合は、パルス印加制御を行うデータラッチを書き換えた上で、セットパルスの印加が停止される。
なお、この動作方法においては、選択メモリセルの初期状態と比較電流ICOMPとの大小関係により、逆方向に変化しないまでも元々抵抗の高いメモリセルやセット状態への変化の遅いメモリセルは、波形wscのようにいずれセンスノードNSENの電位がレファレンス電圧VREF_AMPに到達するので、逆方向に状態遷移したメモリセルのように見える。しかし、前述のように、逆方向フラグが出た場合には、パルス印加を制御するラッチのデータを書き換えることはないので、次回のリトライパルスでの書き込みの対象になるため機能上問題はない。最初から通常より高抵抗になっているメモリセルは波形wsc´のようにより速く逆方向フラグで検知されるので、所望範囲を外れたメモリセルへのセットパルス印加を早く停止するという目的は達成されている。
以上、本実施形態に係る半導体記憶装置によれば、セット動作時において、メモリセルの状態が更にセット方向に遷移した場合であっても、このような異常動作を検知することができる。そのため、異常動作中のメモリセルに対するセット動作を停止する等の処理を行うことができ、メモリセルに対するダメージを低減することができる。
なお、リセット動作時には、スイッチSW202、SW205をオン、スイッチSW203、SW204をオフにすることにより、セット方向検知回路212bは、検知ノードNSENとレファレンス電圧VREF_AMPとを比較し、リセット方向検知回路212cは、ノードNSENとクランプ電圧VCLAMPとを比較するようにすれば良い。
すなわち、正常にリセット状態となる場合にはセル電流ICELLが比較電流ICOMPより小さくなるため、センスノードNSENの電位が上昇し、これが所定のVREF_AMPのレベルより高くなったときに、正常な終了を示す信号を出力してデータラッチLT201をセットすればよい。この場合、演算増幅器OP201の出力OUT_Sは正常な終了時に“L”となるが、切り替え制御を追加して正しくデータラッチ201を制御することができる。
一方で、低抵抗のリセット状態が異常な変化をしてさらに低抵抗化した場合には、センスノードNSENの電位が低下するので、演算増幅器OP202の出力OUT_Rはこのとき“L”となる。ここにも適切な切り替え制御を追加して、逆方向フラグが出力されるようにすることができる。
[その他]
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
100・・・メモリコア部、110・・・バンク、111・・・メモリセルアレイ、112・・・センスアンプ、113・・・ラッチ、114・・・カラムデコーダ、115・・・メインロウデコーダ、116・・・サブロウデコーダ、117・・・ワード線駆動回路、120・・・周辺回路、121・・・データ入出力バッファ、122・・・入出力制御回路、123・・・アドレスレジスタ、124・・・コマンドレジスタ、125・・・動作制御回路、126・・・パラメータレジスタ、127・・・内部電圧生成回路、128・・・コア制御バッファ、129・・・リダンダンシアドレスレジスタ、130・・・ページバッファ、212・・・センスアンプ。
Claims (5)
- 第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、
前記データ書き込み部が前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させる際に、前記可変抵抗素子の抵抗値が第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路を有する抵抗状態検知部と
を備えることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記異常検知回路は、
前記可変抵抗素子が前記第3の抵抗値であった場合に前記メモリセルに流れる電流と実質的に同じレファレンス電流を流すレファレンス電流回路と、
前記レファレンス電流と前記メモリセルに流れるセル電流を比較する電流比較回路と
を有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記データ書き込み部は、前記第1及び第2の配線を介して前記メモリセルに繰り返し電圧パルスを供給して前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させ、
前記異常検知回路は、前記メモリセルが前記第3の抵抗値に遷移したことを検知した場合、前記データ書き込み部による前記電圧パルスの供給を停止する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体記憶装置。 - 前記データ書き込み部は、前記第1及び第2の配線を介して前記メモリセルに繰り返し電圧パルスを供給して前記可変抵抗素子を前記第1の抵抗値から前記第2の抵抗値に遷移させ、
前記レファレンス電流回路は、前記電圧パルスの繰り返し回数の増加に伴い、前記レファレンス電流を所定のステップ幅で変化させる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項の半導体記憶装置。 - 第1の配線、前記第1の配線に交差する第2の配線、並びに、前記第1及び第2の配線の交差部に設けられた可変抵抗素子からなるメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記可変抵抗素子を第1の抵抗値から前記第1の抵抗値とは異なる第2の抵抗値に遷移させるデータ書き込み部と、
前記可変抵抗素子の抵抗値が遷移したことを検知する抵抗状態検知部と
を備え、
前記抵抗状態検知部は、
所定のレファレンス電流及び前記メモリセルに流れる電流の差に応じて現れるセンスノードの電圧と所定の第1のレファレンス電圧とを比較し、前記可変抵抗素子が第1の抵抗値から第2の抵抗値に遷移したことを検知する正常検知回路と、
前記センスノードに現れる電圧と所定の第2のレファレンス電圧とを比較し、前記可変抵抗素子の抵抗値が前記第3の抵抗値(但し、第3の抵抗値<第1の抵抗値<第2の抵抗値、又は、第3の抵抗値>第1の抵抗値>第2の抵抗値)に遷移したことを検知する異常検知回路と
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
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