JP2012032379A - 物体検出装置および情報取得装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】情報取得装置1は、波長830nm程度のレーザ光を出射するレーザ光源111と、偏光ビームスプリッタ(PBS)113と、1/4波長板114と、DOE116と、PD117を備えている。DOE116は、レーザ光を所定のドットパターンにて目標領域に照射する。PD117は、DOE116によって回折および反射されたレーザ光の一部を受光する。
【選択図】図4
Description
射され、その反射光がCMOSイメージセンサ等の受光素子により受光される。距離画像センサとして、種々のタイプのものが知られている。
モリ25を備えている。
たとえば、図示しないドライブ装置によってCD−ROMから読み取られ、メモリ33にインストールされる。
ータレンズ112は、レーザ光源111から出射されたレーザ光を平行光に変換する。PBS113は、コリメータレンズ112側から入射されたレーザ光を反射する。レーザ光源111は、PBS113の偏光面に対してレーザ光がS偏光となるように位置調整されている。
ーザ光がDOE116に入射すると、0次の反射回折光は、同図(a)のビームサイズと略同じサイズで、PD117に向かって照射される。この他、DOE116によって回折された1次以上の反射回折光も、PD117に向かって照射される。1次以上の反射回折光は、回折により広がっているため、同図(b)のように、0次の反射回折光の領域を含む広い領域に照射される。なお、0次の反射回折光の領域にも1次以上の反射回折光が照射される。
11から上記パワーのレーザ光を出射させたまま、上記オフセット0の位置から同図左方向(Y軸負方向)に1mm、2mm、3mm、4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mmに変位した位置にPD117を移動させ、これら各位置において、それぞれ、PD117の受光パワーを測定した。
の他、正常時の検出信号よりも高い閾値S2を設定し、PD信号が閾値S1、S2の範囲内にないときに異常と判定することにより検出され得る。したがって、図6(a)の制御によれば、多様な形態で起こり得るDOE116の異常を的確に検出することができる。
2 情報処理装置
11 投射光学系
111 レーザ光源
113 PBS(光路分岐部)
114 1/4波長板(光路分岐部)
116 DOE(回折光学素子)
117 PD(光検出器)
122 ハーフミラー(無偏光ビームスプリッタ)
21a レーザ制御部(制御部)
Claims (6)
- 光を用いて目標領域の情報を取得する情報取得装置において、
レーザ光源と、
前記レーザ光源の光軸から離れる方向に配置された回折光学素子と、
前記光軸を挟んで前記回折光学素子に対向するように配置された光検出器と、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光を前記回折光学素子に導くとともに、前記回折光学素子によって反射された前記レーザ光を前記光検出器に導く光路分岐部と、を備え、
前記回折光学素子は、前記レーザ光を所定のパターンにて前記目標領域に照射し、
前記光検出器は、前記回折光学素子によって回折および反射された前記レーザ光の一部を受光する、
ことを特徴とする情報取得装置。 - 請求項1に記載の情報取得装置において、
前記光路分岐部は、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光を反射する偏光ビームスプリッタと、前記回折光学素子と前記偏光ビームスプリッタとの間に配置された1/4波長板とを有する、
ことを特徴とする情報読取装置。 - 請求項1に記載の情報取得装置において、
前記光路分岐部は、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光の一部を反射し、一部を透過する無偏光ビームスプリッタを有し、
前記レーザ光源から出射された前記レーザ光は、前記無偏光ビームスプリッタにより反射されて、前記回折光学素子へ向かう、
ことを特徴とする情報取得装置。 - 請求項3に記載の情報取得装置において、
前記無偏光ビームスプリッタは、ハーフミラーである、
ことを特徴とする情報取得装置。 - 請求項1ないし4の何れか一項に記載の情報取得装置において、
前記レーザ光源を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記光検出器からの出力信号が所定の閾値範囲から外れると、前記レーザ光源を停止させる、
ことを特徴とする情報取得装置。 - 請求項1ないし5の何れか一項に記載の情報取得装置を有する物体検出装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
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JP2014126836A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 照明装置、投射装置、スキャナおよび露光装置 |
JP2014202918A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 古河機械金属株式会社 | 回折光学素子、回折光学素子の製造方法、回折光学素子の設計装置および物体の検出装置 |
WO2015030127A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-05 | 旭硝子株式会社 | 回折光学素子、投影装置及び計測装置 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6852455B2 (ja) * | 2017-02-23 | 2021-03-31 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
CN107870273A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-04-03 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 衍射光学元件监测控制装置及方法 |
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CN107884157A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-04-06 | 维沃移动通信有限公司 | 一种光学衍射元件的异常检测方法、移动终端 |
CN110308568B (zh) * | 2018-03-20 | 2022-03-18 | 宁波盈芯信息科技有限公司 | 避免人眼受到结构光深度相机的激光伤害的方法及装置 |
CN108344378B (zh) * | 2018-04-04 | 2020-08-28 | Oppo广东移动通信有限公司 | 激光投射模组及其损坏的检测方法、深度相机和电子装置 |
CN109212763B (zh) * | 2018-09-27 | 2020-06-05 | Oppo广东移动通信有限公司 | 光发射模组及其损坏的检测方法、深度获取装置和电子设备 |
WO2020164346A1 (zh) * | 2019-02-14 | 2020-08-20 | 杭州驭光光电科技有限公司 | 分束光学模组及其制造方法 |
CN109917809B (zh) * | 2019-03-25 | 2022-03-22 | Oppo广东移动通信有限公司 | 飞行时间组件的控制系统及终端 |
CN109917807B (zh) * | 2019-03-25 | 2022-03-22 | Oppo广东移动通信有限公司 | 飞行时间组件的控制系统及控制方法、终端 |
CN109917808A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-21 | Oppo广东移动通信有限公司 | 飞行时间组件、终端及飞行时间组件的控制方法 |
CN109861756A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-07 | Oppo广东移动通信有限公司 | 飞行时间组件的控制系统及终端 |
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EP3788545B1 (en) | 2019-03-26 | 2022-12-07 | Shenzhen Goodix Technology Co., Ltd. | Multizone illumination for optical face identification |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62269036A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 回折格子の回折効率分布自動測定方式 |
JPH02129844U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-25 | ||
JPH06201329A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Anritsu Corp | 画像センサ |
JP2002022426A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Asahi Optical Co Ltd | 3次元画像入力装置 |
WO2007034824A1 (ja) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角度測定装置及び方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09145922A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 回折用光学素子およびこれを用いた光ピックアップ装置 |
JP3384393B2 (ja) * | 1999-12-15 | 2003-03-10 | 日本電気株式会社 | 光ヘッド装置及び光学式情報記録再生装置並びにラジアルチルト検出方法 |
US7567495B2 (en) * | 2006-10-18 | 2009-07-28 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Optical pickup apparatus and optical disc apparatus using same |
-
2011
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2012
- 2012-12-31 US US13/731,535 patent/US20130153756A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62269036A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 回折格子の回折効率分布自動測定方式 |
JPH02129844U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-25 | ||
JPH06201329A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Anritsu Corp | 画像センサ |
JP2002022426A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Asahi Optical Co Ltd | 3次元画像入力装置 |
WO2007034824A1 (ja) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角度測定装置及び方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014127449A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 照明装置、投射装置、スキャナおよび露光装置 |
JP2014126836A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 照明装置、投射装置、スキャナおよび露光装置 |
JP2014202918A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 古河機械金属株式会社 | 回折光学素子、回折光学素子の製造方法、回折光学素子の設計装置および物体の検出装置 |
WO2015030127A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-05 | 旭硝子株式会社 | 回折光学素子、投影装置及び計測装置 |
JPWO2015030127A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-03-02 | 旭硝子株式会社 | 回折光学素子、投影装置及び計測装置 |
US9897438B2 (en) | 2013-09-02 | 2018-02-20 | Asahi Glass Company, Limited | Diffraction optical element, projection device, and measurement device |
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