JP2014202918A - 回折光学素子、回折光学素子の製造方法、回折光学素子の設計装置および物体の検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Nλ/d=sinθN (1)
ただし、λは光の波長、dは回折格子のピッチ長、干渉縞の生じるθNはN次光(ただし、Nは整数である。)における干渉縞の生じる角度を示す。
回折格子を備え、
前記回折格子は、単一波長の光が前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された場合に当該光の像が、前記一曲面で第1パターンと、第2パターンと、を形成するように設計され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光(ただし、mは0以外の正の整数である。)で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第1パターンと前記第2パターンとは、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように前記球面の前記所定方向に沿って配列されている回折光学素子が提供される。
本発明によれば、
回折格子を設計する工程と、
回折格子を設計する前記工程における回折格子の設計に基づいて、基板に回折格子を形成する工程と、
を含み、
回折格子を設計する前記工程では、前記回折格子は、単一波長の光が前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された場合に当該光の像が、前記一曲面で第1パターンと、第2パターンと、を形成するように設計され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光(ただし、mは0以外の正の整数である。)で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第1パターンと前記第2パターンとは、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように前記球面の前記所定方向に沿って配列されている回折光学素子の製造方法が提供される。
本発明によれば、
第1パターンを形成する回折格子を設計する設計部と、
前記設計部によって設計された前記回折格子により第2パターンが形成される位置を、検証する検証部と、
前記第1パターンと前記第2パターンとが形成される位置が調整されるように、前記設計部により設計された前記回折格子の設計を補正する補正部と、
を備え、
前記第1パターンおよび前記第2パターンは、前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された単一波長の光の像により形成され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記補正部は、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように、前記第1パターンと前記第2パターンとを、前記球面の前記所定方向に沿って配列させて前記回折格子の設計を補正する回折光学素子の設計装置が提供される。
本発明によれば、
前記回折光学素子により構成された回折部と、
前記回折光学素子に単一波長の光を照射する照射部と、
前記回折光学素子の前記回折格子によって回折された光のパターンが照射される投影部と、
前記回折光学素子から前記投影部に照射された光のパターンを時間的に連続して撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した前記光のパターンを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された一の時間における光のパターンが、前記記憶部に記憶された他の時間における光のパターンと異なるかを判定する判定部と、
前記判定部の判定結果に基づいて、前記回折光学素子の前記回折格子によって回折された光のパターンが照射された物体の存在、形状または位置を検出する検出部と、
を備える物体の検出装置が提供される。
図1は、第1の実施形態における光学系100を示す模式図である。光学系100は、光源102と、回折光学素子(回折光学素子:Diffractive Optical Element)104と、スクリーン106と、を備えている。光源102は、単一波長の光108を出射する。光源102は、レーザーまたは発光ダイオードでもよい。光108は、可視光または赤外線、紫外線であってもよい。回折光学素子104は、回折格子を備えている(回折光学素子104の回折格子の詳細については後述する。)。光学系100において、光源102から出射された光108は、図1に示されるように、回折光学素子104に達する。その後光108は、回折光学素子104の回折格子によって回折される。光108が回折光学素子104の回折格子によって回折された箇所は、図1では、箇所112として示されている。回折光110は、図1に示されるように、スクリーン106に向かって進行する。図1では、回折光110として、回折光110a、110bおよび110cが例示的に示されている。回折光110は、箇所112を中心とする球面波状に進行する。図1では、箇所112を中心とする球面114が示されている。回折光110a、110bおよび110cが同一の形状のパターンを球面114に形成する場合、回折光110は球面波状に進行しているため、球面114におけるこれらのパターンの大きさは同じとなる。回折光110のうち光108の同一直線上に進行している回折光は、0次光となる。0次光は、スクリーン106においてドット状のパターンを形成する。本実施形態における回折光110は、球面114においてパターンを形成することなく、スクリーン106においてパターンを形成する。スクリーン106において回折光のパターンが形成される表面は、平面状に形成されている。スクリーン106の表面が平面状に形成されている場合、スクリーン106に到達した回折光は、0次光から離れれば離れるほど、箇所112からスクリーン106までにおいて、より長い光路長を有する。この場合、スクリーン106において0次光がパターンを形成する位置からずれた位置に形成される回折光のパターンは、そのずれた方向に引き伸ばされた形状を有することとなる。
設計工程:回折格子を設計する工程
形成工程:設計工程における回折格子の設計に基づいて、基板200に回折格子を形成する工程
本実施形態における回折光学素子104の製造方法に含まれる設計工程では、回折格子は、光110が当該回折格子によって回折されて球面114に照射された場合に、当該光110の像が、球面114で第1パターンと、第2パターンと、を形成するように設計される。光110は単一波長の光である。球面114は、箇所112を中心とする球面である。箇所112は、回折光学素子104の回折格子において回折の生じた箇所である。第1パターンは、第1小パターンを含んでいる。第1小パターンは、回折光学素子104の回折格子におけるm次光で形成されている。また第1小パターンは、球面114の所定方向に沿って周期的に配列されている。第2パターンは、第2小パターンを含んでいる。第2小パターンは、回折光学素子104の回折格子における(m+1)次光で形成されている。また第2小パターンは、球面114所定方向に沿って周期的に配列されている。第1パターンと第2パターンとは、周期的な第3パターンが形成されるように球面114の所定方向に沿って配列されている。第3パターンは、第1小パターンと第2小パターンとを含んでいる。
次に、本実施形態における回折光学素子104の形成工程について、図14から図19を用いて説明する。図14から図18は、本実施形態における回折光学素子104の形成方法の第1例を示す工程断面図である。図19は、本実施形態における回折光学素子104の形成方法の第2例を示す工程断面図である。
第1の実施形態における回折光学素子104によれば、周期的なパターンを広範囲に照射することができる。第2の実施形態においては、回折光学素子104を、物体の検出装置に適用する。回折光学素子104を備えた物体の検出装置によれば、広範囲での物体の検出が可能となる。
Light Trans 社製 Version of VirtualLabTM advanced 5.3.3を用いて、回折光学素子104の回折格子を設計する。当該設計に基づいて形成された回折格子によってスクリーンに形成されるパターンを検証する。図21から図23は、回折光学素子104の回折格子によってスクリーンに形成されたパターンの写真を示す図である。
図21は、参考例のパターンの写真を示す図である。参考例では、式(1)について、N=m=1、d=1.6μm、λ=0.63μmとして回折格子を設計した。参考例において、0次光は、m=0、回折角度θ0=0で照射される。図21では、0次光が存在する中心には、撮影の便宜のため、黒丸の光吸収剤が置かれている(強度の高すぎる0次光が存在すると、1次光によるパターンが明瞭に確認されないためである。)。図21では、破線で囲まれた領域が形成領域A1となる。形成領域A1の外側には、外枠部ORが形成されている。外枠部ORには、1次光のパターンは形成されない。参考例では、1次回折角度θ1=11度の照射範囲で1次光のパターンが形成された。参考例では、回折光学素子104からスクリーンまでの距離が1mである場合、1辺0.48mの正方形の1次光の照射パターンが形成される。
図22は、実施例1の写真を示す図である。実施例1では、図21における外枠部ORをなくすように回折格子が設計された。実施例1では、式(1)について、d=1.6μm、λ=0.63μmとして回折格子を設計した。実施例1では、0次光により形成されるパターンと、1次光により形成されるパターンと、2次光により形成されるパターンとが一体となって、周期的な格子状のパターンを形成した(図22)。格子状のパターンは、複数のドット状のパターンが集まって形成されている。実施例1において、0次光は、m=0、回折角度θ0=0で照射される。図22では、0次光から白破線までに1次光によるパターンが形成されている。また白破線から右側に2次光によるパターンが形成されている。実施例1において、回折光学素子104からスクリーンまでの距離が1mである場合、周期的な格子状のパターンは0次光から図22の白丸印までの距離0.55mにおいて確認された。すなわち、直径1.1mの周期的な格子状のパターンが形成された。参考例と実施例1とでは回折格子のピッチ長dおよび波長λは同じであっても、実施例1では参考例に比べて広い照射範囲で周期的なパターンを形成することができた。
図23は、実施例2の写真を示す図である。実施例2でも、図21における外枠部ORをなくすように回折格子が設計された。実施例2でも、式(1)について、d=1.6μm、λ=0.63μmとして回折格子を設計した。実施例2では、0次光により形成されるパターンと、1次光により形成されるパターンと、2次光により形成されるパターンと、3次光により形成されるパターンとが一体となって、周期的なパターンを形成した(図23)。周期的なパターンは、複数のドット状のパターンにより形成されている。実施例2において、0次光は、m=0、回折角度θ0=0で照射される。図23では、0次光から左側の白破線までに1次光によるパターンが形成されている。また左側の白破線から右側の白破線までに2次光によるパターンが形成されている。さらに右側の白破線の右側に3次光によるパターンが形成されている。実施例2において、回折光学素子104からスクリーンまでの距離が1mである場合、周期的なパターンは0次光から図23の白丸印までの距離0.85mにおいて確認された。すなわち、直径1.7mの周期的な格子状のパターンが形成された。参考例と実施例2とでは回折格子のピッチ長dおよび波長λは同じであっても、実施例2では参考例に比べて広い照射範囲で周期的なパターンを形成することができた。
102 光源
104 回折光学素子
106 スクリーン
108 光
110 光
110a 光
110b 光
110c 光
112 箇所
114 球面
150 検出装置
152 照射部
154 回折部
156 投影部
158 撮像部
160 記憶部
162 判定部
164 検出部
166 光
168 光
200 基板
202a レジスト膜
202a´ レジスト膜
202b レジスト膜
204a フォトマスク
204b フォトマスク
500 設計装置
502 入力部
504 設計部
506 検証部
508 補正部
510 設計データ記憶部
P0 第0パターン
P1 第1パターン
P1a 第1小パターン
P1b 第1小パターン
P1c 第1小パターン
P1d 第1小パターン
P2 第2パターン
P2a 第2小パターン
P2b 第2小パターン
P2c 第2小パターン
P2d 第2小パターン
P3 第3パターン
P4 第4パターン
DR 方向
A1 形成領域
A2 形成領域
OR 外枠部
Claims (11)
- 回折格子を備え、
前記回折格子は、単一波長の光が前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された場合に当該光の像が、前記一曲面で第1パターンと、第2パターンと、を形成するように設計され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光(ただし、mは0以外の正の整数である。)で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第1パターンと前記第2パターンとは、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように前記球面の前記所定方向に沿って配列されている回折光学素子。 - 請求項1に記載の回折光学素子であって、
m=1である回折光学素子。 - 請求項1または2に記載の回折光学素子であって、
前記第1小パターンおよび前記第2小パターンは、1次元のパターンである回折光学素子。 - 請求項1または2に記載の回折光学素子であって、
前記第1小パターンおよび前記第2小パターンは、2次元のパターンである回折光学素子。 - 請求項4に記載の回折光学素子であって、
前記第1小パターンのうち前記第2小パターンに隣接する部分と前記第2小パターンのうち前記第1小パターンに隣接する部分とが一体となって、前記第3パターンにおける周期的なパターンの1周期のパターンを形成している回折光学素子。 - 請求項1に記載の回折光学素子であって、
前記第1パターンは、格子状に形成されており、
前記第2パターンは、格子状に形成されており、
前記第3パターンは、格子状に形成されている回折光学素子。 - 請求項2に記載の回折光学素子であって、
前記回折格子における0次光で形成された第0パターンと前記第1パターンと前記第2パターンとは、前記第0パターンと前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第4パターンが形成されるように前記球面の前記所定方向に沿って配列されている回折光学素子。 - 請求項1から7までのいずれか一項に記載の回折光学素子であって、
前記第1パターンおよび前記第2パターンが一平面に照射された場合、
前記第1小パターンは前記一平面の所定方向に沿って略周期的に配列され、
前記第2小パターンは前記一平面の前記所定方向に沿って略周期的に配列され、
前記第3パターンでは、前記第1小パターンと前記第2小パターンとが、前記一平面の前記所定方向に沿って配列された略周期的なパターンを形成している回折光学素子。 - 回折格子を設計する工程と、
回折格子を設計する前記工程における回折格子の設計に基づいて、基板に回折格子を形成する工程と、
を含み、
回折格子を設計する前記工程では、前記回折格子は、単一波長の光が前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された場合に当該光の像が、前記一曲面で第1パターンと、第2パターンと、を形成するように設計され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光(ただし、mは0以外の正の整数である。)で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第1パターンと前記第2パターンとは、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように前記球面の前記所定方向に沿って配列されている回折光学素子の製造方法。 - 第1パターンを形成する回折格子を設計する設計部と、
前記設計部によって設計された前記回折格子により第2パターンが形成される位置を、検証する検証部と、
前記第1パターンと前記第2パターンとが形成される位置が調整されるように、前記設計部により設計された前記回折格子の設計を補正する補正部と、
を備え、
前記第1パターンおよび前記第2パターンは、前記回折格子によって回折されて一曲面に照射された単一波長の光の像により形成され、前記一曲面は、前記回折格子で回折の生じた箇所を中心とする球面であり、
前記第1パターンは、前記回折格子におけるm次光で形成された第1小パターンを含み、前記第1小パターンは前記球面の所定方向に沿って周期的に配列され、
前記第2パターンは、前記回折格子における(m+1)次光で形成された第2小パターンを含み、前記第2小パターンは前記球面の前記所定方向に沿って周期的に配列され、
前記補正部は、前記第1小パターンと前記第2小パターンとを含む周期的な第3パターンが形成されるように、前記第1パターンと前記第2パターンとを、前記球面の前記所定方向に沿って配列させて前記回折格子の設計を補正する回折光学素子の設計装置。 - 請求項1から8までのいずれか一項に記載の回折光学素子により構成された回折部と、
前記回折光学素子に単一波長の光を照射する照射部と、
前記回折光学素子の前記回折格子によって回折された光のパターンが照射される投影部と、
前記回折光学素子から前記投影部に照射された光のパターンを時間的に連続して撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した前記光のパターンを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された一の時間における光のパターンが、前記記憶部に記憶された他の時間における光のパターンと異なるかを判定する判定部と、
前記判定部の判定結果に基づいて、前記回折光学素子の前記回折格子によって回折された光のパターンが照射された物体の存在、形状または位置を検出する検出部と、
を備える物体の検出装置。
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JP2012032379A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 物体検出装置および情報取得装置 |
JP2012058729A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-03-22 | Asahi Glass Co Ltd | 回折光学素子及び計測装置 |
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- 2013-04-04 JP JP2013078929A patent/JP6174355B2/ja active Active
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