JP2006090744A - 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 - Google Patents
光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006090744A JP2006090744A JP2004273637A JP2004273637A JP2006090744A JP 2006090744 A JP2006090744 A JP 2006090744A JP 2004273637 A JP2004273637 A JP 2004273637A JP 2004273637 A JP2004273637 A JP 2004273637A JP 2006090744 A JP2006090744 A JP 2006090744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measurement
- optical
- angle
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【課題】 装置の大型化を招くことなく、光学部品の角度ならびに位置測定等が可能な光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学測定装置21はレーザ光源22、コリメートレンズ23、収束レンズ25、撮像素子27、28、CPU35を主体として構成され、撮像素子27、28からの撮像信号Sc、Sdに基づいて、測定用ワークWの角度・位置を算出する。ここで、角度測定用撮像素子27には角度測定用レーザ光源22から出射され測定用ワークWに向けて照射された光のうち測定用ワークWで正反射した正反射光が入光されるようになっている。一方、位置測定用撮像素子28には角度測定用レーザ光源22から出射され測定用ワークWに向けて照射された光のうち測定用ワークWの側方を通過した通過光が入光されるようになっている。このように、共通のレーザ光源22から投光された光により、測定用ワークWの取り付け角度並びに位置を測定する構成であれば、光学測定装置21の大型化が既存のものに比べて大型化することがない。
【選択図】 図1
Description
尚、ここでいう光学部分によって遮られずに進んだ光とは、光学部品を透過した透過光並びに光学部品の側方を通過した通過光の双方が含まれる。
請求項1及び請求項12の発明によれば、一の投光手段によって光学部品(光ピックアップレンズ)の角度測定・位置測定を行うことが出来る。
<請求項2及び請求項13の発明>
請求項2及び請求項13の発明によれば、角度測定の際の投光量を小さく設定することで、エネルギー飽和に起因する測定誤差を排除出来る。
請求項3及び請求項14の発明によれば、角度・位置の測定に加えて距離の測定も出来る。
<請求項4及び請求項15の発明>
請求項4及び請求項15の発明によれば、出射された光が発散光である場合に比べて、撮像手段から出力レベルの高い信号が得られる。
請求項5及び請求項16の発明によれば、光路が傾いているから光学部品が鏡面体(光が正反射するもの)であっても、距離測定出来る。
<請求項6及び請求項17の発明>
請求項6及び請求項17の発明によれば、正反射光を収束させつつ距離測定用撮像手段に入光させるから、装置を構成する撮像手段等の小型化に寄与する。
請求項7及び請求項18の発明によれば、角度測定と距離測定を同時に行うから、測定精度が高まる。
請求項8及び請求項19の発明によれば、距離光が位置測定用撮像手段の撮像面に入光することがない。従って、測定誤差が排除され信頼性の高い測定結果が得られる。
<請求項9及び請求項20の発明>
請求項9及び請求項20の発明によれば、光学的な損失を低減出来るからSN比を向上させることが可能となる。
請求項10及び請求項21の発明によれば、直線偏光の光を取り出すためのフィルタを必要としないから部品点数を削減出来る。
<請求項11及び請求項22の発明>
請求項11及び請求項22の発明によれば、角度測定用撮像手段と距離測定用撮像手段とを兼用出来るから、部品点数が削減され装置の小型化に寄与する。
本実施形態の光ピックアップレンズ調整装置20は、CD(Compact Disk)やDVD(Digital Versatile Disk)等に搭載されている光ピックアップ装置10の光ピックアップレンズに関し、その取り付け角度及び取り付け位置の調整を行うことを目的とするものである。なお、図1において、図面横方向をX軸、紙面と直交する方向をY軸、図面上下方向をZ軸と定めるものとし、以下、取りつけ位置の調整とは光ピックアップレンズの光軸(レンズに対する直交軸)L1と直交する方向(図1におけるX、Y軸方向)に関する位置の調整を示すものとする。
光ピックアップ装置10は図1に示すように上下に分割された一対の上下ケーシング10A、10Bを備えてなる。このうち下ケーシング10Bには投受光素子11(本発明の光源に相当)、1/4波長板12、反射ミラー13並びにコリメートレンズ14が収容されている。一方、上ケーシング10Aにはレンズユニット15が収容されている。このレンズユニット15には光ピックアップレンズが装着される取り付け具16が内蔵されている。これら上下ケーシング10A、10Bは後記する光ピックアップレンズ調整装置20によって光ピックアップレンズの取り付け角度・位置の調整を行った後に組み合わされるようになっている。
光ピックアップレンズ調整装置20は光ピックアップレンズ(後に述べるが、測定用ワークWにて代用)の取りつけ角度及び取りつけ位置を測定する光学測定装置21と、測定結果に基づいて光ピックアップレンズ(測定用ワークW)が正規角度並びに正規位置となるように調整を行うレンズ調整部41とを備えてなる。
尚、本実施形態では光学測定装置21による測定並びにレンズ調整部41による調整の際には、光ピックアップレンズに変えて表面が平らな部分透過ガラスよりなる測定用ワークW(ハーフミラー、光減衰板により構成してもよい)を取り付け具16に組み付けて測定・調整を行い、測定用ワークWが正規状態(所望の取り付け角度・位置)になったところで測定用ワークWを光ピックアップレンズに組み替えている。このように、直接的に光ピックアップレンズの測定・調整を行わず、測定用ワークWで代用させるのは、光ピックアップレンズの表面が曲面であるため、表面が平らな部分透過ガラスによって測定を行った方が測定の精度が高くなるからである。
光学測定装置21は図1に示すように、レーザ光源22(本発明の角度測定用の投光手段に相当)、その前方に配されるコリメートレンズ23、ビームスプリッタ(本発明の分岐手段に相当する)24、収束レンズ25、2次元CCDからなる角度測定用撮像素子(本発明の角度測定用撮像手段に相当する)27並びに位置測定撮像素子(本発明の位置測定用撮像手段に相当する)28、CPU35、メモリ(本発明の投光量設定手段に相当する)36を主体として構成されている。尚、角度測定用撮像素子27は図1において測定用ワークWの上方に配されているのに対して、位置測定用撮像素子28はこれとは反対側、すなわち測定用ワークWの下方(ビームスプリッタ24によって反射された反射光の進行方向前側)に配置されている。
中心心置={Σ(MI)/ΣM}
I:撮像面上における各画素の位置ベクトル
M:各画素のうちサンプル画素は1、そうでない画素は0
サンプル画素とは、撮像信号のうち信号の大きさが所定の基準値以上である出力信号の画素のことである。
光ピックアップ装置10のレンズユニット15には上ケーシング10Aに対する取り付け具16、ひいては測定用ワークWの取り付け角度を調整するためのチルト機構(本発明の第1の調整ステージに相当する)42並びに取り付け位置を調整するための調整ステージ機構(本発明の第2の調整ステージに相当する)44が付設されている。そして、CPU35から制御信号が送られると、ドライバ駆動回路43、45が通電されて両機構42、44に駆動電流が流される。これにより、両機構42、44が駆動して、測定用ワークWの取り付け角度並びに取り付け位置が所望の角度・位置(正規状態)となるように調整されるようになっている。尚、CPU35が本発明の制御手段に相当するものである。
尚、こうしたレンズ調整部41を駆動させるためのモータには、サーボモータが使用され、これをフィードバック制御している。これにより、測定用ワークWは光学測定装置21の測定結果に基づいて、所望の正規角度並びに位置となるように自動調整される。
光ピックアップレンズをレンズユニット15に組み付けるに先だって、まず、測定用ワークWを代用して、取り付け角度並びに取り付け位置の調整を行う。それには、取り付け具16に対して測定用ワークWを装着しておき、その状態から光学測定装置21を作動させる。すると、CPU35からの投光信号Saをうけて、レーザ光源22から光が出射される。出射された光はコリメートレンズ23により平行光とされた後に、測定用ワークWに向かって照射される。
実施形態2について図6ないし図10を参照して説明する。
実施形態2は、実施形態1の光学測定装置21に測定用ワークWの距離dを測定するための構成が付加されたものである。尚、測定用ワークWの距離dとは測定用ワークWの光軸L1に沿う方向であって、図6におけるZ軸方向に沿う変位である。以下、実施形態1と同一の構成に付いては同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。
尚、実施形態2において、測定用ワークWの位置測定は実施形態1と同様に、位置測定用撮像素子28から出力される撮像信号Sdに基づいて算出されるようになっている。
CPU35は投光信号Sa,Sbを同時に送信して両レーザ光源22、52から光を同時に出射させるとともに、これと同期して角度測定用撮像素子27からの撮像信号Scと距離測定用撮像素子57からの撮像信号Seを受け取るようになっている。これにより、測定用ワークWの角度測定と距離測定を同時に行うこととしている。このように、角度・距離を同時測定するのは、先に述べたように距離の算出は角度情報に基づいて補正を行う必要があるから、角度と距離を測定タイミングを異ならせて行うと、距離測定に関し測定誤差を生む要因となるからである。一方、位置測定に関しては実施形態1と同様に角度測定とは時分割で行われるようになっている(図10参照)。当然のことではあるが、位置測定の際には、距離測定用レーザ光源52から光は出射されないように制御されている。これにより、距離光Lbが位置測定用撮像素子28に入光することがなくなるため、光の干渉による測定誤差が排除される。
実施形態1において、調整ステージ機構44はX軸方向にスライド可能とされたX軸スライド機構と、Y軸方向にスライド可能とされたY軸スライド機構を上下に重ねて配置したが、本実施形態において調整ステージ機構58は実施形態1の構成に加えて、Z軸に沿って測定用ワークWを昇降させるハイト機構(例えば、互いに螺合するボール螺子とナットにより構成)を付設していており、モータ駆動用のドライバ駆動回路59によって停止・駆動が制御されるようになっている。尚、ハイト機構が本発明の第3の調整ステージに相当するものである。
角度測定用レーザ光源22及び距離測定用レーザ光源52から出射された光はダイクロイックミラー55で合流された後、ビームスプリッタ24で図示下方に反射される。その後、コリメートレンズ53によって平行光に変えられた後測定用ワークW上に照射され、そこで反射する。測定用ワークW上で反射した正反射光はコリメートレンズ53によって収束光に変えられた後、ダイクロイックミラー56に至る。そして、距離光Lbはダイクロイックミラー56で反射した後、距離測定用撮像素子57に入光され、角度光Laはダイクロイックミラー56を透過した後、角度測定用撮像素子27に入光される。
本発明の実施形態3を図11を参照して説明する。
実施形態2では距離光Lbをダイクロイックミラー56で反射させた後、距離測定用撮像素子57に直接入光させたが、本実施形態ではダイクロイックミラー56と距離測定用撮像素子57との間に発散レンズ61を配置している。このような構成とすることで、撮像面57A上には発散レンズ61を配置しない場合に比べて大きな光像が形成される。このように光像が大きく形成されれば、光像の中心位置を正確に算出することが可能となり、結果として高精度な距離測定が可能となる。尚、距離光Lbは発散レンズ61のうち周縁部分に照射させることが好ましい。これは、レンズの中心部分よりも周縁部分の方が収差が大きいから距離光Lbがより一層発散されるからである。
本発明の実施形態4を図12を参照して説明する。
本実施形態と実施形態2との相違点は、ビームスプリッタ24に代わってS偏光を反射しP偏光を透過させる偏光ビームスプリッタ64を配し、さらに、この偏光ビームスプリッタ64と測定用ワークWとの間に1/4波長板65を設け、両レーザ光源22、52からは同じ偏光方向(本実施形態ではS偏光)の偏光光を出射可能としてある。
また、レーザ光を平行光にするためのレンズ(コリメートレンズ23、67)と測定用ワークWで正反射した角度光La並びに距離光Lbを収束させるためのレンズ(収束レンズ25)とを個別に設けている(実施形態1と同様の構成)。
次に、本発明の実施形態5を図13を参照して説明する。実施形態2では、距離測定用レーザ光源52から出射された光をビームスプリッタ24で反射させるとともに、その正反射光を測定用ワークW上に照射させた。そして、測定用ワークWで正反射した距離光Lbを今度はダイクロイックミラー56で再び反射させ、距離測定用撮像素子57に入光させたが、実施形態5では、距離測定用レーザ光源52から照射された光を測定用ワークWに直接入光させ、更に、測定用ワークW上で反射された距離光Lbを距離測定用撮像素子57に直接入光させている。尚、レンズ81、82はレーザ光源52から出射された光を平行光にするためのコリメートレンズ並びに、測定用ワークWで正反射した距離光Lbを収束させるための収束レンズである。
次に、本発明の実施形態6を図14を参照して説明する。本実施形態は実施形態5に対して反射ミラー(本発明の距離用分岐手段に相当する)91を追加している。反射ミラー91は測定用ワークWで反射された距離光Lbの光路をビームスプリッタ24に向かう光路に変えている。これにより、距離光Lbは角度測定用撮像素子27に入光され、撮像面27A上に距離光Lbの光像が形成される。そして、角度測定用撮像素子27からは光像に応じた撮像信号Seが出力され、これに基づいて測定用ワークWの距離が算出されるようになっている。
このような構成とすることで、距離測定用撮像素子57を廃止することが出来るから部品点数が削減され、装置の簡素を図ることが可能となる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
23…コリメートレンズ
24…ビームスプリッタ(分岐手段)
25…収束レンズ
27…角度測定用撮像素子
28…位置測定用撮像素子
35…CPU
W…測定用ワーク
Claims (22)
- 光学部品に光を照射し、その反射光に基づいて前記光学部品の取り付け角度を測定する光学測定装置であって、
光を出射する角度測定用の投光手段と、
前記投光手段から出射された光を平行光にし、この平行光の照射領域内に収まる大きさの前記光学部品に前記平行光を照射するコリメートレンズと、
このコリメートレンズから照射されて前記光学部品上で正反射した正反射光を前記投光手段とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記光学部品上で反射された正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズによって収束された収束光が入光される撮像面を有する角度測定用撮像手段と、
前記コリメートレンズから照射されて前記光学部品によって遮られずに進んだ平行光が入光される撮像面を有する位置測定用撮像手段と、
前記角度測定用撮像手段の撮像面における入光位置に基づいて前記光学部品の取り付け角度を決定するとともに、前記位置測定用撮像手段の撮像面における入光位置に基づいて前記光学部品の光軸と直交する方向に関する位置を決定する決定手段と、を備えていることを特徴とする光学測定装置。 - 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記位置測定用撮像手段による位置測定を測定タイミングを異ならせて行う構成であり、
前記角度測定用の投光手段から出射される光の光量の大小を決定する投光量設定手段を備えるとともに、この投光量設定手段には、角度測定用投光モードとこの角度測定用投光モードより投光量の大きな位置測定用投光モードが設けられていることを特徴とする請求項1記載の光学測定装置。 - 前記光学部品に光を出射する距離測定用の投光手段と、
前記距離測定用の投光手段から出射され前記光学部品上で反射した反射光が入光される撮像面を有する距離測定用撮像手段と、を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光学測定装置。 - 前記距離測定用の投光手段は平行光を出射するように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の光学測定装置。
- 前記距離測定用の投光手段から出射され前記光学部品に向かう光の光路が前記光学部品の照射面に対して傾いていることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の光学測定装置。
- 前記光学部品上で反射した距離測定用の正反射光を収束させる距離測定用収束レンズを備え、この距離測定用収束レンズを通った収束光を前記距離測定用撮像手段に入光させるように構成されるとともに、
前記距離測定用撮像手段は前記距離測定用収束レンズを通った収束光が焦点を結ぶ位置よりも同収束光の進行方向に関し前・後方に位置をずらして配置されていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の光学測定装置。 - 前記角度測定用の投光手段と前記距離測定用の投光手段とから光を同時に出射して前記光学部品の角度測定並びに距離測定を同時に行うよう構成されていることを特徴とする請求項3ないし請求項6に記載の光学測定装置。
- 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記位置測定用撮像手段による位置測定を測定タイミングを異ならせて行う構成であり、
前記位置測定の際には、前記距離測定用の投光手段からの投光を停止させるよう構成されていることを特徴とする請求項3ないし請求項7に記載の光学測定装置。 - 前記光学部品が鏡面体であるものにおいて、
前記角度測定用の投光手段と距離測定用の投光手段とは同じ偏光方向の偏光光を出射可能とされ、
前記分岐手段は偏光ビームスプリッタよりなり、更に、前記偏光ビームスプリッタと前記光学部品との間に1/4波長板が配されていることを特徴とする請求項3ないし請求項8のいずれかに記載の光学測定装置。 - 前記角度測定用の投光手段と距離測定用の投光手段とは同じ偏光方向の偏光光を出射可能とされたレーザ光源であることを特徴とする請求項9に記載の光学測定装置。
- 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記距離測定用撮像手段による距離測定を測定タイミングを異ならせて行うものにおいて、
前記距離測定用の投光手段から出射され前記光学部品上で反射した反射光が前記角度測定用撮像手段に照射されるように同反射光を分岐させる距離用分岐手段を備えていることを特徴とする請求項3ないし請求項6に記載の光学測定装置。 - 光源からの光を収束して外部に出射させる光ピックアップレンズに光を照射し、その反射光に基づいて前記光ピックアップレンズの取り付け角度を測定する光学測定装置と、この光学測定装置による測定結果に基づいて前記光ピックアップレンズの取り付け角度を調整するレンズ調整部とを備えた光ピックアップレンズ調整装置であって、
前記レンズ調整部は前記光ピックアップレンズの取り付け角度を調整可能な第1の調整ステージと、
前記光ピックアップレンズの光軸と直交する方向に関する位置を調整可能な第2の調整ステージと、
前記両調整ステージを駆動制御する制御手段とを備えてなり、
前記光学測定装置は、
光を出射する角度測定用の投光手段と、
前記投光手段から出射された光を平行光にして、この平行光の照射領域内に収まる大きさの前記光ピックアップレンズに前記平行光を照射するコリメートレンズと、
このコリメートレンズから照射されて前記光ピックアップレンズ上で正反射した正反射光を前記投光手段とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記光ピックアップレンズ上で反射された正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズによって収束された収束光が入光される撮像面を有する角度測定用撮像手段と、
前記コリメートレンズから照射されて前記光ピックアップレンズに遮られずに進んだ平行光が入光される撮像面を有する位置測定用撮像手段と、
前記角度測定用撮像手段の撮像面における入光位置に基づいて前記光ピックアップレンズの取り付け角度を決定するとともに、前記位置測定用撮像手段の撮像面における入光位置に基づいて前記光ピックアップレンズの光軸と直交する方向に関する位置を決定する決定手段とを備え、
前記制御手段は前記決定手段より得られた光ピックアップレンズの角度・位置情報に基づいて前記両ステージを駆動させて前記光ピックアップレンズを正規の傾き及び位置に調整することを特徴とする光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記位置測定用撮像手段による位置測定を測定タイミングを異ならせて行う構成であり、
前記角度測定用の投光手段から出射される光の光量の大小を決定する投光量設定手段を備えるとともに、この投光量設定手段には、角度測定用投光モードとこの角度測定用投光モードより投光量の大きな位置測定用投光モードが設けられていることを特徴とする請求項12記載の光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記レンズ調整部は前記光ピックアップレンズの距離を調整可能な第3の調整ステージを備えるとともに、
前記光学測定装置は前記光ピックアップレンズに光を出射する距離測定用の投光手段と、
前記距離測定用の投光手段から出射され前記光ピックアップレンズ上で反射した反射光が入光される撮像面を有する距離測定用撮像手段とを備え、
前記決定手段は前記距離測定用撮像手段の撮像面における入光位置に基づいて前記光ピックアップレンズの距離を決定するとともに、
前記制御手段は前記決定手段より得られた光ピックアップレンズの距離情報に基づいて前記第3の調整ステージを駆動させて前記光ピックアップレンズの距離調整を行うよう構成されていることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記距離測定用の投光手段は平行光を出射するように構成されていることを特徴とする請求項12ないし請求項14に記載の光ピックアップレンズ調整装置。
- 前記距離測定用の投光手段から出射され前記光ピックアップレンズに向かう光の光路が前記光ピックアップレンズの照射面に対して傾いていることを特徴とする請求項14又は請求項15に記載の光ピックアップレンズ調整装置。
- 前記光ピックアップレンズ上で反射した距離測定用の正反射光を収束させる距離測定用収束レンズを備え、この距離測定用収束レンズを通った収束光を前記距離測定用撮像手段に入光させるように構成されるとともに、
前記距離測定用撮像手段は前記距離測定用収束レンズを通った収束光が焦点を結ぶ位置よりも同収束光の進行方向に関し前・後方に位置をずらして配置されていることを特徴とする請求項15又は請求項16に記載の光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記角度測定用の投光手段と前記距離測定用の投光手段とから光を同時に出射して前記光ピックアップレンズの角度測定並びに距離測定を同時に行うよう構成されていることを特徴とする請求項14ないし請求項17に記載の光ピックアップレンズ調整装置。
- 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記位置測定用撮像手段による位置測定を測定タイミングを異ならせて行う構成であり、
前記位置測定の際には、前記距離測定用の投光手段からの投光を停止させるよう構成されていることを特徴とする請求項14ないし請求項18に記載の光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記光ピックアップレンズが鏡面体であるものにおいて、
前記角度測定用の投光手段と距離測定用の投光手段とは同じ偏光方向の偏光光を出射可能とされ、
前記分岐手段は偏光ビームスプリッタよりなり、更に、前記偏光ビームスプリッタと前記光ピックアップレンズとの間に1/4波長板が配されていることを特徴とする請求項14ないし請求項19に記載の光ピックアップレンズ調整装置。 - 前記角度測定用の投光手段と距離測定用の投光手段とは同じ偏光方向の偏光光を出射可能とされたレーザ光源であることを特徴とする請求項20に記載の光ピックアップレンズ調整装置。
- 前記角度測定用撮像手段による角度測定と、前記距離測定用撮像手段による距離測定を測定タイミングを異ならせて行う構成であり、
前記距離測定用の投光手段から出射され前記光ピックアップレンズで反射した反射光が前記角度測定用撮像手段に照射されるように同反射光を分岐させる距離用分岐手段を備えていることを特徴とする請求項14ないし請求項17に記載の光ピックアップレンズ調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273637A JP4476760B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273637A JP4476760B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006090744A true JP2006090744A (ja) | 2006-04-06 |
JP4476760B2 JP4476760B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=36231891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004273637A Expired - Fee Related JP4476760B2 (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4476760B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009113484A1 (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-17 | 株式会社ニコン | 基準球検出装置、基準球位置検出装置、及び、三次元座標測定装置 |
WO2009119510A1 (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | 本田技研工業株式会社 | ワーク測定方法、サスペンションアッセンブリ取り付け方法、およびサスペンションアッセンブリ取り付け装置 |
JP2011033436A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Katsura Opto Systems:Kk | チルトセンサ |
KR20140019227A (ko) * | 2012-08-06 | 2014-02-14 | 엑시스 에이비 | 이미지 센서 포지셔닝 장치 및 방법 |
JP2014122962A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Fujitsu Ltd | 光ファイバの姿勢を検出する方法および装置 |
CN104570272A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置 |
CN104637500A (zh) * | 2013-11-11 | 2015-05-20 | 三菱电机株式会社 | 透镜位置检测方法和装置、以及透镜位置调整方法和装置 |
JP2015111483A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | 三菱電機株式会社 | レンズ位置検出方法および装置、並びに、レンズ位置調整方法および装置 |
CN105737764A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-07-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 摄像机安装仰角快速测定装置及测定方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103047945B (zh) * | 2012-12-17 | 2015-08-12 | 江苏万工科技集团有限公司 | 活动后梁外管角位移测量装置 |
-
2004
- 2004-09-21 JP JP2004273637A patent/JP4476760B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8314939B2 (en) | 2008-03-11 | 2012-11-20 | Nikon Corporation | Reference sphere detecting device, reference sphere position detecting device, and three-dimensional-coordinate measuring device |
WO2009113484A1 (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-17 | 株式会社ニコン | 基準球検出装置、基準球位置検出装置、及び、三次元座標測定装置 |
JP5440801B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2014-03-12 | 株式会社ニコン | 基準球検出装置、基準球位置検出装置、及び、三次元座標測定装置 |
US8712678B2 (en) | 2008-03-28 | 2014-04-29 | Honda Motor Co., Ltd. | Method of measuring a displacement amount for an automobile suspension assembly |
WO2009119510A1 (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | 本田技研工業株式会社 | ワーク測定方法、サスペンションアッセンブリ取り付け方法、およびサスペンションアッセンブリ取り付け装置 |
JP2011033436A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Katsura Opto Systems:Kk | チルトセンサ |
KR20140019227A (ko) * | 2012-08-06 | 2014-02-14 | 엑시스 에이비 | 이미지 센서 포지셔닝 장치 및 방법 |
KR101911006B1 (ko) * | 2012-08-06 | 2018-10-23 | 엑시스 에이비 | 이미지 센서 포지셔닝 장치 및 방법 |
JP2014122962A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Fujitsu Ltd | 光ファイバの姿勢を検出する方法および装置 |
CN104637500A (zh) * | 2013-11-11 | 2015-05-20 | 三菱电机株式会社 | 透镜位置检测方法和装置、以及透镜位置调整方法和装置 |
JP2015111483A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | 三菱電機株式会社 | レンズ位置検出方法および装置、並びに、レンズ位置調整方法および装置 |
CN104637500B (zh) * | 2013-11-11 | 2017-10-27 | 三菱电机株式会社 | 透镜位置检测方法和装置、以及透镜位置调整方法和装置 |
CN104570272A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置 |
CN105737764A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-07-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 摄像机安装仰角快速测定装置及测定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4476760B2 (ja) | 2010-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4476760B2 (ja) | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 | |
JP4500097B2 (ja) | 光学測定装置及び光学測定装置における距離算出方法 | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP2006003098A (ja) | 光波距離測定方法及び光波距離測定装置 | |
JP2021067540A (ja) | 測量装置 | |
JP2010032342A (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2008096197A (ja) | 偏心測定装置 | |
JP2022524308A (ja) | Lidar送信器/受信器の位置合わせ | |
JP2010019685A (ja) | 曲率半径測定装置 | |
JP2008256689A (ja) | 表面傾斜センサおよび検出方法 | |
JP2005017257A (ja) | 光学測定装置 | |
JP4682115B2 (ja) | 光ピックアップの光軸調整装置及び光軸調整方法 | |
KR20080033347A (ko) | 광 픽업 및/또는 기록장치 | |
JP2002286409A (ja) | 干渉計装置 | |
JP2003207323A (ja) | 光学式変位測定器 | |
JP2014145684A (ja) | 測定装置 | |
JP3728151B2 (ja) | 曲面形状測定装置 | |
JP2006010347A (ja) | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 | |
CN114333915B (zh) | 一种双伺服反馈光路的聚焦伺服信号生成装置与伺服方法 | |
JP2015004600A (ja) | 偏芯測定装置、偏芯測定方法およびレンズの製造方法 | |
JP5793355B2 (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2008122630A (ja) | 光学素子の調整方法 | |
JP2005147703A (ja) | 面間隔測定装置および面間隔測定方法 | |
JP2002286410A (ja) | 干渉計装置 | |
JP6804260B2 (ja) | 検査装置および変位量検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070709 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070710 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070726 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090924 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100310 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |