JP2012024661A - 分離装置 - Google Patents
分離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012024661A JP2012024661A JP2010163279A JP2010163279A JP2012024661A JP 2012024661 A JP2012024661 A JP 2012024661A JP 2010163279 A JP2010163279 A JP 2010163279A JP 2010163279 A JP2010163279 A JP 2010163279A JP 2012024661 A JP2012024661 A JP 2012024661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- plate
- waste liquid
- waste
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】水にシリコン屑5が含まれる廃液4を溜める水槽2と、この水槽2内に配置されたシリコン分離機構3と、を備え、シリコン分離機構3は、水槽2内に配置され廃液4中でシリコン屑5を吸着する吸着板8と、吸着板8と対向するように離間して配置され、廃液4中の水4Aのみの通過を許容し、シリコン屑5の通過を規制する網目状のシリコン通過規制板9Aと、を備え、吸着板8を陽極、シリコン通過規制板9Aを陰極として、電界を形成させるために、電界形成手段としての電圧印加回路10が設けられている。
【選択図】図2
Description
図1および図2は、この発明の実施の形態1にかかる分離装置1を示している。図1は分離装置1の斜視図、図2は図1のII−II断面図である。この分離装置1は、水にシリコン屑5が含まれる廃液4を溜める水槽2と、この水槽2内に配置されたシリコン分離機構3と、を備えている。
図3〜5は、この発明の実施の形態2にかかる分離装置20を示している。図3は、分離装置20の分解斜視図、図4は、分離装置20の斜視図、図5は、図4のV−V断面図である。この分離装置20は、水にシリコン屑5が含まれる廃液4を溜める水槽21と、この水槽21内に配置されたシリコン分離機構22と、を備えている。
以上、この発明の実施の形態について説明したが、上記の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものではない。この開示から当業者に様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2,21 水槽
3,22 シリコン分離機構
4 廃液
4A 水
5 シリコン屑
7,26C 搬出部
8,25 吸着板
9A,26B シリコン通過規制板
26 シリコン通過規制手段
Claims (1)
- シリコン屑を含む廃液をシリコン屑とシリコンを含まない液体に分離する分離装置であって、
該廃液を溜める水槽と、
該水槽の中に配置されたシリコン分離機構と、を有し、
該シリコン分離機構は、
該廃液中でマイナスに帯電した該シリコン屑を吸着するプラスに帯電した吸着板と、
該吸着板に対向して配設され、該廃液の液体のみの通過を許容し、マイナスに帯電した該シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制板を含むシリコン通過規制手段と、を有し、
該シリコン通過規制手段は、
該シリコン通過規制板を通過した液体が存在する領域を区画する筺体と、
該筺体内に配置され、該シリコン通過規制板を通過した該廃液を該水槽外へ搬出する搬出部と、を有し、
該吸着板を陽極とし、該シリコン通過規制板を陰極とし、該吸着板と該シリコン通過規制板との間に電界を形成する電界形成手段を有する分離装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010163279A JP5638300B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 分離装置 |
TW100119564A TWI500442B (zh) | 2010-07-20 | 2011-06-03 | Separation device |
CN201110202517.5A CN102335639B (zh) | 2010-07-20 | 2011-07-19 | 分离装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010163279A JP5638300B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 分離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012024661A true JP2012024661A (ja) | 2012-02-09 |
JP5638300B2 JP5638300B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=45511731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010163279A Active JP5638300B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 分離装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5638300B2 (ja) |
CN (1) | CN102335639B (ja) |
TW (1) | TWI500442B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012081385A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Disco Corp | 分離装置 |
JP2013119050A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Disco Corp | 廃液処理装置 |
JP2013251435A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工廃液処理装置 |
JP2014124576A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 廃液処理装置 |
JP2015196148A (ja) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
JP2020131080A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20200086237A1 (en) * | 2017-03-14 | 2020-03-19 | National Research Council Of Canada | Electrosorptive Cavitation Devices and Methods for Phase Separation |
CN114950736A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-08-30 | 长沙理工大学 | 太阳能板清洗用静电吸附尘水分离装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5263177A (en) * | 1975-11-19 | 1977-05-25 | Shimizu Construction Co Ltd | Method and apparatus for separating muddy water |
US4372837A (en) * | 1979-10-16 | 1983-02-08 | Petrolite Corporation | Radial flow electrofilter |
JPH11253838A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-21 | Ishikawajima Hanyoki Service Co Ltd | シリコンウエハー製造工程における微粒混合液体の固液分離方法及び装置 |
US6126803A (en) * | 1998-10-19 | 2000-10-03 | Dow Corning Corporation | Method for removing particulate from a liquid silicon containing compound |
US6307170B1 (en) * | 1999-01-20 | 2001-10-23 | Secretary Of Agency Of Industrial Science And Technology | Separation of particles dispersed in liquid |
JP2007283248A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Sharp Corp | 分離回収装置および分離回収方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NO314138B1 (no) * | 2001-08-27 | 2003-02-03 | Elkem Materials | Fremgangsmåte for fjerning av forurensinger fra silisiuminneholdende residuer |
US6433205B1 (en) * | 2002-01-15 | 2002-08-13 | Dow Corning Corporation | Magnetic separation for silicon-containing materials |
TWI232127B (en) * | 2003-03-26 | 2005-05-11 | Sanyo Electric Co | Water treating apparatus and water treating method using such apparatus |
JP4668830B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2011-04-13 | 株式会社ブンリ | ダーティー液処理装置 |
WO2008048656A2 (en) * | 2006-10-18 | 2008-04-24 | Kinetico Incorporated | Electroregeneration apparatus and water treatment method |
JP2008115040A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Sharp Corp | シリコン再生装置、シリコン再生方法 |
JP5459943B2 (ja) * | 2007-08-29 | 2014-04-02 | 株式会社ブンリ | 濾過装置 |
-
2010
- 2010-07-20 JP JP2010163279A patent/JP5638300B2/ja active Active
-
2011
- 2011-06-03 TW TW100119564A patent/TWI500442B/zh active
- 2011-07-19 CN CN201110202517.5A patent/CN102335639B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5263177A (en) * | 1975-11-19 | 1977-05-25 | Shimizu Construction Co Ltd | Method and apparatus for separating muddy water |
US4372837A (en) * | 1979-10-16 | 1983-02-08 | Petrolite Corporation | Radial flow electrofilter |
JPH11253838A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-21 | Ishikawajima Hanyoki Service Co Ltd | シリコンウエハー製造工程における微粒混合液体の固液分離方法及び装置 |
US6126803A (en) * | 1998-10-19 | 2000-10-03 | Dow Corning Corporation | Method for removing particulate from a liquid silicon containing compound |
US6307170B1 (en) * | 1999-01-20 | 2001-10-23 | Secretary Of Agency Of Industrial Science And Technology | Separation of particles dispersed in liquid |
JP2007283248A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Sharp Corp | 分離回収装置および分離回収方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012081385A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Disco Corp | 分離装置 |
JP2013119050A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Disco Corp | 廃液処理装置 |
JP2013251435A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工廃液処理装置 |
JP2014124576A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 廃液処理装置 |
JP2015196148A (ja) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
JP2020131080A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
JP7245068B2 (ja) | 2019-02-15 | 2023-03-23 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5638300B2 (ja) | 2014-12-10 |
TWI500442B (zh) | 2015-09-21 |
CN102335639B (zh) | 2015-11-18 |
TW201208753A (en) | 2012-03-01 |
CN102335639A (zh) | 2012-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5638300B2 (ja) | 分離装置 | |
JP5868150B2 (ja) | 廃液処理装置 | |
JP2012081385A (ja) | 分離装置 | |
JP2009050829A (ja) | 濾過装置 | |
TW201609564A (zh) | 矽粉回收方法及矽粉回收裝置 | |
JP2001145878A (ja) | 異物除去装置 | |
JP5779081B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
WO2016005662A1 (en) | Ore treatment apparatus and method | |
JP7157605B2 (ja) | シリコン粉回収装置 | |
JP6328978B2 (ja) | 廃液処理装置 | |
JP5779083B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
JPH11253838A (ja) | シリコンウエハー製造工程における微粒混合液体の固液分離方法及び装置 | |
JP6078236B2 (ja) | 加工廃液処理装置 | |
KR101442143B1 (ko) | 금속 전해 회수 장치 | |
KR20110132946A (ko) | 유기 및 무기성 이물질 세정장치 | |
JPH01245868A (ja) | 排液処理方法 | |
JP2018034119A (ja) | 特定化学物質に汚染された汚染液から特定化学物質を分離回収するための分離装置 | |
JP2005334775A (ja) | 基板洗浄装置及びそれを用いた基板の洗浄方法 | |
JP2005074316A (ja) | コンプレッサードレンの処理装置 | |
JP2002239305A (ja) | クーラント濾過方法とその装置 | |
JP2017144353A (ja) | 廃液、廃水等の浄化装置用の電解油水金属分離槽 | |
JP3851175B2 (ja) | 磁気分離装置及び磁気分離方法 | |
JP2009166176A (ja) | 水溶性クーラント浄化装置 | |
JP2015044246A (ja) | クーラント清浄装置 | |
JP2016216800A (ja) | 金、銀の湿式電解採取方法および金、銀の湿式電解採取設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141007 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141022 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5638300 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |