JP7245068B2 - 廃液処理装置 - Google Patents
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Description
図1~3に示す略直方体の箱状の液槽2は、例えば、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されており、平面視矩形の底板21(図2、3参照)と、底板21の外周から一体的に+Z方向に立ち上がる4枚の側壁とからなり、図2に示すように底板21と各側壁とで囲まれた空間に加工屑(例えばシリコン屑)を含む加工廃液を溜めることができる。図1~3でX軸方向において対向する2枚の側壁を側壁22aとして、Y軸方向において対向する2枚の側壁を側壁22b(図3では不図示)とする。
また、液槽2の側壁22aの上部には、加工廃液が液槽2から溢れることを防止するオーバーフロー孔222aが設けられている。オーバーフロー孔222aは図示しないタンクに連通しており、これによって、液槽2から図1に示す廃液処理装置1の筐体10内へ水が溢れることが防止されている。
例えば、図2に示すように、液槽2のX軸方向において対向する二枚の側壁22aの内側面には、陽極板支持溝222が形成されており、陽極板31は、X軸方向に所定間隔を空けて該各陽極板支持溝222に挿嵌された状態で、液槽2内に配設されている。即ち、複数の陽極板31は、その表面が液槽2の長手方向(Y軸方向)と直交する状態、言い換えると、液槽2の幅方向(X軸方向)と平行な状態で、互いに間隔をあけて配置されている。
確認手段7は、U字管70と、U字管70の一方の端側に配設され液槽2の浄水を取水する取水口710と、取水口710より高い位置でU字管70の他方の端側に配設されU字管70内を大気開放させる開放口701aと、U字管70の一方の端側から分岐しポンプ69に接続される分岐接続部73と、を備えている。
また、加工屑がシリコンなどのように水に沈んでしまう場合は、本実施例のように水面近くに取水口710を配設することが好ましい。しかし、加工屑が水に浮かぶ材質が含まれる場合には、複数の取水口710を水中に配設しても良い。
連結パイプ712は、例えば、浄水吸引パイプ711の上方に延びた後に側壁22a側に曲がり、側壁22aの上方において-X方向に延在した後、U字管70の一方の端側に連通している。
検知部75は、例えば、発光部750(+X方向側)と受光部751(-X方向側)とを備える透過型の光センサであり、例えば図3に示すように取水口710よりも所定距離低い高さ位置において発光部750と受光部751とが水導入パイプ701の被検知部位701bを挟むように配設されている。なお、水導入パイプ701の被検知部位701bは、図3に示す例においては、水導入パイプ701の開放口701aから鉛直方向に延在する部位に設定されている。受光部751は、CPU及び記憶素子等からなる判断部79に無線又は有線の通信経路790を介してU字管70の他方の端側の水位、即ち、本実施形態においては水導入パイプ701の水位についての検出信号を送信する。なお、図1においては1つの受光部751のみが判断部79に通信経路790を介して接続されているが、実際は他の各受光部751も判断部79に通信経路を介して個別に接続されている。したがって、判断部79は、どの検知部75が検知信号を送信したのかを判断することができる。
また、透明部材で形成されたU字管70の水位をカメラで撮像して複数のU字管70の水位を同時に確認できるようにしてもよい。
図1~3においては、液槽2に図2、3に示す供給口223から流入した加工廃液L(図3参照)が、各陰極板30の下端及び各陽極板31の下端と液槽2の底板21との間の隙間を通り、陰極板30と陽極板31との間を上昇していく。そして、加工屑を含む加工廃液Lが液槽2に貯液されていき、加工廃液Lに陽極板31及び陰極板30が着液する。そして、陽極板31に図2に示す直流電源DCのプラス(+)を通電する一方、陰極板30に直流電源DCのマイナス(-)を通電する。この結果、陽極板31と陰極板30との間には電界が形成される。そして、加工廃液Lに混入されてマイナス(-)に帯電されている加工屑は、電気泳動によって、マイナス(-)に帯電された陰極板30から反発し、プラス(+)に帯電された陽極板31に吸着される。
その後、上記のようにポンプ69が再び駆動して、生み出された吸引力が取水管71の取水口710に伝達されることで、確認手段7による取水口710の取水の可否が確認可能な状態で廃液処理装置1が稼動する。
なお、U字管70内に入れる水は、例えば作業者が目視しやすいように所定の着色料(例えば、検知光を通さない黒色の顔料等)で着色されていてもよい。
なお、例えば、取水口710の取水の可否が確認可能な状態に準備されたU字管70の被検知部位701b内の水面を、図3と異なり、液槽2の水位Z0と同じ高さ、又はそれよりも高い位置としてもよい。
また、U字管70の他方の端側である開放口701aから水を入れても、被検知部位701b内の水位は、液槽2の液面の水位Z0と同じ高さとなる。また、開放口701aから入れる水が、例えば作業者が目視しやすいように所定の着色料で着色されていてもよい。
例えば、複数のU字管70の水位を同時に確認するべく、各U字管70の被検知部位701bの近傍に撮像手段を配設して、廃液処理装置1を稼動させている最中において該撮像手段により逐次被検知部位701bを撮像してU字管70の水位を撮像画像から確認可能としてもよい。
2:液槽 21:底板 22a:側壁 222:陽極板支持溝 222a:オーバーフロー孔 225:陰極板支持溝 22b:側壁 223:供給口
30:陰極板
31:陽極板 310:被係合部 310a:被係合孔
32:抜き差し手段
320:保持部 320d:板状部材 320c:一対のチャックシリンダ 320a:係合ピン 320b:シリンダ本体 329:鉛直板 321:鉛直ボールネジ 322:一対のガイドレール
34:Y軸方向移動手段 340:水平ボールネジ 341:ガイドレール 342:可動部材 343:モータ
69:ポンプ 60:浄水タンク 694:浄水送出管
7:確認手段
70:U字管 700:鉛直パイプ 701:水導入パイプ 701a:開放口
701b:被検知部位 701c:中間部位
71:取水管 710:取水口 711:浄水吸引パイプ 712:連結パイプ
73:分岐接続部
75:検知部 79:判断部
50:分離部 500:ハウジング 56:加工屑タンク 57:水素ガス排出手段
Claims (3)
- 加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、加工屑を含まない浄水を取水する廃液処理装置であって、
該加工屑を含む該加工廃液を溜める液槽と、
該液槽内に所定の間隔を設けて対面して配置する陰極板と陽極板と、
対面した該陰極板と該陽極板との間に直流電力を供給して該陽極板に該加工屑を付着させる直流電源と、
該陰極板の上部に配置し該加工屑を含まない浄水を取水する取水口と、
該取水口とポンプとを接続して、該ポンプによって該取水口から浄水を取水しているか否かを確認する確認手段と、を備え、
該確認手段は、一方の端を該取水口に接続するU字管と、該取水口より高い位置で該U字管の他方の端側に配設され該U字管内を大気開放させる開放口と、該U字管の該一方の端側から分岐し該ポンプに接続される分岐接続部と、を備え、
該U字管に水を入れ該U字管の全部又は一部に水を満たした後に該ポンプで吸引し、該U字管内の圧力が低下することで下がる該U字管の該他方の端側の水位で該取水口から取水しているか否かを確認可能とする廃液処理装置。 - 前記U字管の前記他方の端側は、水位が確認可能な透明部材で形成される請求項1記載の廃液処理装置。
- 前記U字管の前記他方の端側の水位を検知する検知部と、該検知部の検知により前記取水口から取水しているか否かを判断する判断部とを備えた請求項1、又は2記載の廃液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019025384A JP7245068B2 (ja) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | 廃液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019025384A JP7245068B2 (ja) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | 廃液処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP7245068B2 true JP7245068B2 (ja) | 2023-03-23 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2019025384A Active JP7245068B2 (ja) | 2019-02-15 | 2019-02-15 | 廃液処理装置 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012024661A (ja) | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Disco Corp | 分離装置 |
JP2015196148A (ja) | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
JP2020131294A (ja) | 2019-02-13 | 2020-08-31 | 株式会社ディスコ | 廃液処理装置 |
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