JP2020131294A - 廃液処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜3に示す略直方体の箱状の液槽2は、例えば、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されており、平面視矩形の底板21(図2、3参照)と、底板21の外周から一体的に+Z方向に立ち上がる4枚の側壁とからなり、図2に示すように底板21と各側壁とで囲まれた空間に加工屑(例えばシリコン屑)を含む加工廃液を溜めることができる。図1〜3でX軸方向において対向する2枚の側壁を側壁22aとして、Y軸方向において対向する2枚の側壁を側壁22b(図3では不図示)とする。
また、液槽2の側壁22aの上部には、加工廃液が液槽2から溢れることを防止するオーバーフロー孔222aが設けられている。オーバーフロー孔222aは図示しないタンクに連通しており、したがって、液槽2から廃液処理装置1の筐体10内へ水が溢れることが防止されている。
1は、液槽2に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板30と、陰極板30にY軸方向において対面して陰極板30と所定の間隔で離間して液槽2に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板31と、陽極板31の上部を保持し液槽2から陽極板31を抜き出し又は液槽2に差し込みする抜き差し手段32と、を備えている。
例えば、図2に示すように、液槽2のX軸方向において対向する二枚の側壁22aの内側面には、陽極板支持溝222が形成されており、陽極板31は、X軸方向に所定間隔を空けて該各陽極板支持溝222に挿嵌された状態で、液槽2内に配設されている。即ち、複数の陽極板31は、その表面が液槽2の長手方向(Y軸方向)と直交する状態、言い換えると、液槽2の幅方向(X軸方向)と平行な状態で、互いに間隔をあけて配置されている。
また、取水口390は、陽極板31と陽極板31との中間に配設することが好ましい。
さらに、加工屑がシリコンなどのように水に沈んでしまう場合は、本実施例のように水面近くに取水口390を配設することが好ましい。しかし、加工屑に水に浮かぶ材質が含まれている場合には、取水口390を水中に配設してもよい。
連結パイプ392は、例えば、浄水吸引パイプ391の上方に延びた後に側壁22a側に曲がり、側壁22aの上方において−X方向に延在した後、下方に向かって屈曲して−Z方向に延在している。
浄水タンク60には、図1に示すポンプ69が連通管690を介して連通しており、ポンプ69が駆動することで浄水を液槽2から取水する吸引力が取水管39に伝達される。ポンプ69には、浄水送出管694が連通しており、浄水送出管694に送出される浄水は、その後、加工装置に供給されて加工水として再利用される。
検知部75は、例えば、発光部750(+X方向側)と受光部751(−X方向側)とを備える透過型の光センサであり、カップ70の上方において発光部750と受光部751とが確認管71を挟むように配設されている。受光部751は、CPU及び記憶素子等からなる判断部79に無線又は有線の通信経路790を介して確認管71の水位についての検出信号を送信する。なお、図1においては1つの受光部751のみが判断部79に通信経路790を介して接続されているが、実際は他の各受光部751も判断部79に通信経路を介して個別に接続されている。したがって、判断部79は、どの検知部75が検知信号を送信したのかを判断することができる。
なお、図2においては、浄水タンク60やポンプ69等を簡略化して示している。
図1〜3においては、液槽2に図2、3に示す供給口223から流入した加工廃液L(図3参照)が、各陰極板30の下端及び各陽極板31の下端と液槽2の底板21との間の隙間を通り、陰極板30と陽極板31との間を上昇していく。そして、加工屑を含む加工廃液Lが液槽2に貯液されていき、加工廃液Lに陽極板31及び陰極板30が着液する。そして、陽極板31に図2に示す直流電源DCのプラス(+)を通電する一方、陰極板30に直流電源DCのマイナス(−)を通電する。この結果、陽極板31と陰極板30との間には電界が形成される。そして、加工廃液Lに混入されてマイナス(−)に帯電されている加工屑は、電気泳動によって、マイナス(−)に帯電された陰極板30から反発し、プラス(+)に帯電された陽極板31に吸着される。
2:液槽 21:底板 22a:側壁 222:陽極板支持溝 222a:オーバーフロー孔 225:陰極板支持溝 22b:側壁 223:供給口
30:陰極板
31:陽極板 310:被係合部 310a:被係合孔
32:抜き差し手段
320:保持部 320d:板状部材 320c:一対のチャックシリンダ 320a:係合ピン 320b:シリンダ本体 329:鉛直板 321:鉛直ボールネジ 322:一対のガイドレール
34:Y軸方向移動手段 340:水平ボールネジ 341:ガイドレール 342:可動部材
39:取水管 390:取水口 391:浄水吸引パイプ 392:連結パイプ
69:ポンプ 60:浄水タンク
7:確認手段 70:カップ 70a: 開口 700:オーバーフロー孔 71:確認管
75:検知部 79:判断部 74:カップ
50:分離部 500:ハウジング 56:加工屑タンク 57:水素ガス排出手段
Claims (3)
- 加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、該加工屑を含まない浄水を取水する廃液処理装置であって、
該加工屑を含む該加工廃液を溜める液槽と、該液槽とポンプとを接続し該ポンプを駆動させ該液槽から該浄水を取水する取水口を有する取水管と、該浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段とを備え、
該確認手段は、水を溜めたカップと、該取水管から分岐し該カップの水に先端を水没させる確認管と、を備え、該ポンプを駆動させ該取水口から該浄水を取水させている際に、該確認管内の圧力が低下することで該カップの水を吸い上げた該確認管の水位によって該取水口から該浄水を取水しているか否かを確認可能とする廃液処理装置。 - 前記確認管は、水位が確認可能な透明部材で形成される請求項1記載の廃液処理装置。
- 前記確認管の水位を検知する検知部と、該検知部の検知により前記取水口から取水しているか否かを判断する判断部と、を備えた請求項1又は2記載の廃液処理装置。
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