JP2011526981A5 - 極低温ユニットおよびその構成品 - Google Patents
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Description
本発明を、実施形態に基づいて詳細に図示かつ説明したが、当業者であれば本発明の範囲を逸脱することなく形態や細部に対して様々な変更が可能であり、そのような変更は、添付の特許請求の範囲に包含される。上記の実施形態はつぎの態様1〜45を含む。
[態様1](出願当初の請求項1)
冷凍機と、
少なくとも1つの極低温排気面と、
前記排気面に接続された、少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
[態様2](同請求項2)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記排気面の温度を制御する、極低温ユニット。
[態様3](同請求項3)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記排気面に取り付けられている、極低温ユニット。
[態様4](同請求項4)
態様1において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温ユニット。
[態様5](同請求項5)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記排気面に対して電気的に絶縁されている、極低温ユニット。
[態様6](同請求項6)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
[態様7](同請求項7)
態様6において、重力センサが、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
[態様8](同請求項8)
態様1において、さらに、
前記少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって当該極低温ユニットの温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
[態様9](同請求項9)
態様8において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
[態様10](同請求項10)
態様1において、さらに、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって前記極低温排気面の温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
[態様11](同請求項11)
態様1において、前記薄層の加熱素子が、前記冷凍機のヒートステーションに位置している、極低温ユニット。
[態様12](同請求項12)
態様1において、さらに、輻射シールド、を備え、
前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの温度を制御する、極低温ユニット。
[態様13](同請求項13)
態様12において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
[態様14](同請求項14)
態様13において、重力センサが、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
[態様15](同請求項15)
態様12において、さらに、前記輻射シールドに位置する少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって前記輻射シールドの温度を制御するコントローラ、を備える、極低温ユニット。
[態様16](同請求項16)
態様15において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
[態様17](同請求項17)
態様15において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
[態様18](同請求項18)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、当該極低温ユニットにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
[態様19](同請求項19)
態様1において、複数の温度段を備える、極低温ユニット。
[態様20](同請求項20)
少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様21](同請求項21)
態様20において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様22](同請求項22)
態様20において、少なくとも2つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様23](同請求項23)
少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様24](同請求項24)
態様23において、前記薄層の電気的な加熱素子が、当該輻射シールドを形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様25](同請求項25)
態様23において、少なくとも2つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様26](同請求項26)
態様25において、さらに、高い抵抗を有する第3の薄層のシート材、を備え、
前記第3のシート材が、前記クラッドシート構造体における前記第1のシート材と第2のシート材との間に接合され、抵抗加熱体として構成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様27](同請求項27)
態様26において、前記第3のシート材が、前記第1と第2の2つのシート材に対して電気的に絶縁されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様28](同請求項28)
当該冷凍機に対して温度制御を行うように構成された薄層の加熱素子を備える、極低温冷凍機。
[態様29](同請求項29)
態様28において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温冷凍機。
[態様30](同請求項30)
冷凍機と、
少なくとも1つのクライオパネルと、
輻射シールドと、
を備え、
前記輻射シールドには、当該輻射シールドの温度を制御する少なくとも1つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
[態様31](同請求項31)
冷凍機と、
クライオアレイと、
を備え、
前記クライオアレイには、当該アレイの温度を制御する少なくとも1つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
[態様32](同請求項32)
第1のシート材と、
第2のシート材と、
を備え、
前記第1のシート材と第2のシート材とが互いに接合されてクラッドシート構造体を形成し、
前記第1のシート材は極低温に冷却された表面に面し、
前記第2のシート材は極低温に冷却された表面と反対側の表面に面している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様33](同請求項33)
態様32において、前記第2のシート材が前記第1のシート材の外側に位置したカップ状に形成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様34](同請求項34)
態様32において、前記第2のシート材が、低放射率の表面部を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様35](同請求項35)
態様34において、前記第2のシート材が、コーティングにより、低放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様36](同請求項36)
態様32において、前記第1のシート材が、高放射率の表面部を支持している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様37](同請求項37)
態様36において、前記第1のシート材が、コーティングにより、高放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様38](同請求項38)
態様32において、1つのシート材が高い熱伝導率を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様39](同請求項39)
態様32において、前記第1のシート材がアルミニウム製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様40](同請求項40)
態様32において、前記第1のシート材が銅製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様41](同請求項41)
態様32において、前記第2のシート材がステンレス鋼製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様42](同請求項42)
少なくとも1つの段を有する冷凍機と、
極低温排気面に対して温度制御および構造支持体の両方を行うように構成された加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
[態様43](同請求項43)
態様42において、前記加熱素子がセラミック加熱素子である、クライオポンプ。
[態様44](同請求項44)
態様42において、前記加熱素子が輻射シールドを支持している、クライオポンプ。
[態様45](同請求項45)
態様42において、前記加熱素子がクライオアレイを支持している、クライオポンプ。
[態様1](出願当初の請求項1)
冷凍機と、
少なくとも1つの極低温排気面と、
前記排気面に接続された、少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
[態様2](同請求項2)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記排気面の温度を制御する、極低温ユニット。
[態様3](同請求項3)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記排気面に取り付けられている、極低温ユニット。
[態様4](同請求項4)
態様1において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温ユニット。
[態様5](同請求項5)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記排気面に対して電気的に絶縁されている、極低温ユニット。
[態様6](同請求項6)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
[態様7](同請求項7)
態様6において、重力センサが、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
[態様8](同請求項8)
態様1において、さらに、
前記少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって当該極低温ユニットの温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
[態様9](同請求項9)
態様8において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
[態様10](同請求項10)
態様1において、さらに、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって前記極低温排気面の温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
[態様11](同請求項11)
態様1において、前記薄層の加熱素子が、前記冷凍機のヒートステーションに位置している、極低温ユニット。
[態様12](同請求項12)
態様1において、さらに、輻射シールド、を備え、
前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの温度を制御する、極低温ユニット。
[態様13](同請求項13)
態様12において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
[態様14](同請求項14)
態様13において、重力センサが、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
[態様15](同請求項15)
態様12において、さらに、前記輻射シールドに位置する少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節することによって前記輻射シールドの温度を制御するコントローラ、を備える、極低温ユニット。
[態様16](同請求項16)
態様15において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
[態様17](同請求項17)
態様15において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
[態様18](同請求項18)
態様1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が、当該極低温ユニットにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
[態様19](同請求項19)
態様1において、複数の温度段を備える、極低温ユニット。
[態様20](同請求項20)
少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様21](同請求項21)
態様20において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様22](同請求項22)
態様20において、少なくとも2つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
[態様23](同請求項23)
少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様24](同請求項24)
態様23において、前記薄層の電気的な加熱素子が、当該輻射シールドを形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様25](同請求項25)
態様23において、少なくとも2つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様26](同請求項26)
態様25において、さらに、高い抵抗を有する第3の薄層のシート材、を備え、
前記第3のシート材が、前記クラッドシート構造体における前記第1のシート材と第2のシート材との間に接合され、抵抗加熱体として構成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様27](同請求項27)
態様26において、前記第3のシート材が、前記第1と第2の2つのシート材に対して電気的に絶縁されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様28](同請求項28)
当該冷凍機に対して温度制御を行うように構成された薄層の加熱素子を備える、極低温冷凍機。
[態様29](同請求項29)
態様28において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温冷凍機。
[態様30](同請求項30)
冷凍機と、
少なくとも1つのクライオパネルと、
輻射シールドと、
を備え、
前記輻射シールドには、当該輻射シールドの温度を制御する少なくとも1つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
[態様31](同請求項31)
冷凍機と、
クライオアレイと、
を備え、
前記クライオアレイには、当該アレイの温度を制御する少なくとも1つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
[態様32](同請求項32)
第1のシート材と、
第2のシート材と、
を備え、
前記第1のシート材と第2のシート材とが互いに接合されてクラッドシート構造体を形成し、
前記第1のシート材は極低温に冷却された表面に面し、
前記第2のシート材は極低温に冷却された表面と反対側の表面に面している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様33](同請求項33)
態様32において、前記第2のシート材が前記第1のシート材の外側に位置したカップ状に形成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様34](同請求項34)
態様32において、前記第2のシート材が、低放射率の表面部を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様35](同請求項35)
態様34において、前記第2のシート材が、コーティングにより、低放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様36](同請求項36)
態様32において、前記第1のシート材が、高放射率の表面部を支持している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様37](同請求項37)
態様36において、前記第1のシート材が、コーティングにより、高放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様38](同請求項38)
態様32において、1つのシート材が高い熱伝導率を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様39](同請求項39)
態様32において、前記第1のシート材がアルミニウム製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様40](同請求項40)
態様32において、前記第1のシート材が銅製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様41](同請求項41)
態様32において、前記第2のシート材がステンレス鋼製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
[態様42](同請求項42)
少なくとも1つの段を有する冷凍機と、
極低温排気面に対して温度制御および構造支持体の両方を行うように構成された加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
[態様43](同請求項43)
態様42において、前記加熱素子がセラミック加熱素子である、クライオポンプ。
[態様44](同請求項44)
態様42において、前記加熱素子が輻射シールドを支持している、クライオポンプ。
[態様45](同請求項45)
態様42において、前記加熱素子がクライオアレイを支持している、クライオポンプ。
Claims (17)
- 冷凍機と、
前記冷凍機によって冷却される構成品と、
前記冷却される構成品に接続された、少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。 - 請求項1において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記冷却される構成品の温度を制御する、極低温ユニット。
- 請求項1または2において、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が極低温排気面を有する冷却される構成品に取り付けられている、極低温ユニット。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、前記冷却される構成品が輻射シールド、を備え、
前記少なくとも1つの薄層の加熱素子が前記輻射シールドに接続されている、極低温ユニット。 - 請求項1において、前記少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子が、前記冷凍機に対して温度制御を行うように構成された、極低温ユニット。
- 請求項1〜5のいずれか一項において、当該極低温ユニットの向きを入力として受け取り、前記少なくとも1つの薄層の加熱素子を調節するコントローラを備える、極低温ユニット。
- 請求項1〜6のいずれか一項において、前記薄層の加熱素子が、前記冷凍機のヒートステーションに位置している、極低温ユニット。
- 請求項1〜7のいずれか一項において、当該極低温ユニットにおける別個の領域に設けられた前記薄層の加熱素子に選択的に通電するように構成されている、コントローラを備える、極低温ユニット。
- 請求項1〜8のいずれか一項において、前記冷凍機が複数の段を備える、極低温ユニット。
- 少なくとも1つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプの冷却される構成品。
- 請求項10において、クライオアレイ部材と輻射シールドとのいずれか一つを備える、クライオポンプの冷却される構成品。
- 請求項1〜9のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、または抵抗パターンを有する、極低温ユニット。
- 請求項1〜9および12のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、抵抗層を有する、極低温ユニット。
- 請求項1〜9,12および13のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、前記冷却される構成品の重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
- 請求項1〜9および12〜14のいずれか一項において、 前記冷却される構成品の重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定する重力センサを備える、極低温ユニット。
- 請求項10または11において、前記薄層の電気的な加熱素子が、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、または抵抗パターンを有する、クライオポンプの冷却される構成品。
- 請求項10、11および16のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、抵抗層を有する、クライオポンプの冷却される構成品。
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