JPH0533766A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
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- JPH0533766A JPH0533766A JP18637291A JP18637291A JPH0533766A JP H0533766 A JPH0533766 A JP H0533766A JP 18637291 A JP18637291 A JP 18637291A JP 18637291 A JP18637291 A JP 18637291A JP H0533766 A JPH0533766 A JP H0533766A
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- cryopump
- gas
- pump case
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クライオポンプの再生時間を短縮して運転効
率を向上する。 【構成】 シールド５の周壁外面にシールド５の軸方向
に溝５Ｂを形成し、シールド５の下部に不活性ガス及び
気化ガスを流下するための孔５Ｄを形成すると共に、溝
５Ｂとポンプケース１の周壁との間の隙間１０に不活性
ガスの吐出口９Ａを設け、吐出口９Ａから不活性ガスが
乱れることなく溝５Ｂに沿って隙間１０を上昇し、シー
ルド５内に流入し、コールドパネル６を加熱して降下
し、気化ガスと共に孔５Ｄから流下する不活性ガスの対
流が発生し、シールド５及びコールドパネル６の加熱及
び気化ガスの排出を促進して再生時間を短縮し、クライ
オポンプの運転効率を向上する。
率を向上する。 【構成】 シールド５の周壁外面にシールド５の軸方向
に溝５Ｂを形成し、シールド５の下部に不活性ガス及び
気化ガスを流下するための孔５Ｄを形成すると共に、溝
５Ｂとポンプケース１の周壁との間の隙間１０に不活性
ガスの吐出口９Ａを設け、吐出口９Ａから不活性ガスが
乱れることなく溝５Ｂに沿って隙間１０を上昇し、シー
ルド５内に流入し、コールドパネル６を加熱して降下
し、気化ガスと共に孔５Ｄから流下する不活性ガスの対
流が発生し、シールド５及びコールドパネル６の加熱及
び気化ガスの排出を促進して再生時間を短縮し、クライ
オポンプの運転効率を向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクライオポンプに関し、
特に再生効率の向上を図るクライオポンプに関する。
特に再生効率の向上を図るクライオポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば特公昭６３−３４３１６号公報に
は、排気口に向って開口した筒状のシールド内に複数枚
の凝縮パネルを設け、極低温化した凝縮パネルが凝縮温
度が低いＡｒ，Ｎ2，Ｏ2等を吸着するクライオポンプが
開示されている。このクライオポンプを再生活性化する
場合にはシールド内にヘリウムガス等の不活性ガスを導
入し、凝縮パネルに溜め込まれている気体を加熱して気
化して外部へ排出する。
は、排気口に向って開口した筒状のシールド内に複数枚
の凝縮パネルを設け、極低温化した凝縮パネルが凝縮温
度が低いＡｒ，Ｎ2，Ｏ2等を吸着するクライオポンプが
開示されている。このクライオポンプを再生活性化する
場合にはシールド内にヘリウムガス等の不活性ガスを導
入し、凝縮パネルに溜め込まれている気体を加熱して気
化して外部へ排出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て、導入した不活性ガスがシールド及び凝縮パネルを加
熱再生するが、そのとき、気化した再生ガスはシールド
内に停滞し、かつ、自然対流がないため、不活性ガスに
よるシールド及び凝縮パネルの加熱効率及び再生ガスの
排出効率が低下するという問題が発生する。又、不活性
ガスの導入を停止してシールド及び凝縮パネルの再生を
行った場合には、不活性ガス及び再生ガスがシールド内
に停滞し、一層加熱効率及び排出効率が低下する。
て、導入した不活性ガスがシールド及び凝縮パネルを加
熱再生するが、そのとき、気化した再生ガスはシールド
内に停滞し、かつ、自然対流がないため、不活性ガスに
よるシールド及び凝縮パネルの加熱効率及び再生ガスの
排出効率が低下するという問題が発生する。又、不活性
ガスの導入を停止してシールド及び凝縮パネルの再生を
行った場合には、不活性ガス及び再生ガスがシールド内
に停滞し、一層加熱効率及び排出効率が低下する。
【０００４】本発明はクライオポンプの加熱効率及び排
出効率を向上し、再生効率を良くすることを目的とす
る。
出効率を向上し、再生効率を良くすることを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、コールドパネル６と、コールドパネル６を
収納する筒状のシールド５と、このシールド５を収納す
る筒状のポンプケース１と、このポンプケース１の周壁
外面に設けられた加熱装置２とを備えたクライオポンプ
において、シールド５の周壁外面に溝５Ｂをシールドの
軸方向に形成すると共に、シールド５の下部に孔５Ｄを
形成し、溝５Ｂとポンプケース１との間に不活性ガスの
吐出口９Ａを設けたクライオポンプを提供し、再生効率
を向上して再生時間を短縮するものである。
するために、コールドパネル６と、コールドパネル６を
収納する筒状のシールド５と、このシールド５を収納す
る筒状のポンプケース１と、このポンプケース１の周壁
外面に設けられた加熱装置２とを備えたクライオポンプ
において、シールド５の周壁外面に溝５Ｂをシールドの
軸方向に形成すると共に、シールド５の下部に孔５Ｄを
形成し、溝５Ｂとポンプケース１との間に不活性ガスの
吐出口９Ａを設けたクライオポンプを提供し、再生効率
を向上して再生時間を短縮するものである。
【０００６】又、シールド５の周壁外面のモータ軸１１
Ａと直角或いは平行の位置に溝５Ｂをシールド５の軸方
向に形成し、溝５Ｂのシールド底壁近傍に孔５Ｄを形成
し、溝５Ｂとポンプケース１との隙間１０のシールド底
壁近傍に不活性ガスの吐出口９Ａを設け、再生時間を短
縮すると共に汎用性が高いクライオポンプを提供するも
のである。
Ａと直角或いは平行の位置に溝５Ｂをシールド５の軸方
向に形成し、溝５Ｂのシールド底壁近傍に孔５Ｄを形成
し、溝５Ｂとポンプケース１との隙間１０のシールド底
壁近傍に不活性ガスの吐出口９Ａを設け、再生時間を短
縮すると共に汎用性が高いクライオポンプを提供するも
のである。
【０００７】
【作用】クライオポンプの再生運転のとき、吐出口９Ａ
から吐出した不活性ガスは溝５Ｂに沿って上方へ流れ、
加熱装置２によって加熱されているポンプケース１の周
壁から加熱されると共にシールド５の周壁に放熱しつつ
上昇し、シールド５内へ流入し、コールドパネル６の周
囲を下降して気化ガスと共に孔５Ｄから流出するので、
溝５Ｂによって不活性ガスの対流の乱れを防止し、シー
ルド５及びコールドパネル６の加熱及び気化ガスの排出
を促進することができ、再生時間を短縮し、クライオポ
ンプの運転効率を向上することが可能になる。
から吐出した不活性ガスは溝５Ｂに沿って上方へ流れ、
加熱装置２によって加熱されているポンプケース１の周
壁から加熱されると共にシールド５の周壁に放熱しつつ
上昇し、シールド５内へ流入し、コールドパネル６の周
囲を下降して気化ガスと共に孔５Ｄから流出するので、
溝５Ｂによって不活性ガスの対流の乱れを防止し、シー
ルド５及びコールドパネル６の加熱及び気化ガスの排出
を促進することができ、再生時間を短縮し、クライオポ
ンプの運転効率を向上することが可能になる。
【０００８】又、クライオポンプを横にして接続した場
合にも、モータ軸１１Ａと直角或いは平行の位置に溝５
Ｂ及び孔５Ｄを形成することによって、溝５Ｂ及び孔５
Ｄが下端になるようにクライオポンプを接続することが
でき、溝５Ｂ及びシールド５内を流れる不活性ガスの対
流を促進することができ、再生時間を短縮して運転効率
を向上することができると共に、汎用性の高いクライオ
ポンプを提供することが可能になる。
合にも、モータ軸１１Ａと直角或いは平行の位置に溝５
Ｂ及び孔５Ｄを形成することによって、溝５Ｂ及び孔５
Ｄが下端になるようにクライオポンプを接続することが
でき、溝５Ｂ及びシールド５内を流れる不活性ガスの対
流を促進することができ、再生時間を短縮して運転効率
を向上することができると共に、汎用性の高いクライオ
ポンプを提供することが可能になる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図面に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１０】図１、図２及び図３において１はクライオ
ポンプのポンプケース、２はポンプケース１の周壁の外
面に設けられた加熱ヒータなどの加熱装置、３は排気
口、４は排気口に設けられたバッフル、５はポンプケー
ス１の上部に例えば数ｍｍの隙間を存して収納されて排
気口３に向って開口した円筒状のラジエーションシール
ド（以下シールドという）、６はシールド５内に複数板
重ねて収納されたコールドパネルである。
ポンプのポンプケース、２はポンプケース１の周壁の外
面に設けられた加熱ヒータなどの加熱装置、３は排気
口、４は排気口に設けられたバッフル、５はポンプケー
ス１の上部に例えば数ｍｍの隙間を存して収納されて排
気口３に向って開口した円筒状のラジエーションシール
ド（以下シールドという）、６はシールド５内に複数板
重ねて収納されたコールドパネルである。
【００１１】上記シールド５の周壁５Ａ外面には軸方向
に例えば４本の溝５Ｂが等間隔に形成されている。又、
シールド５の底壁５Ｃ周縁部にはシールド５の内外を連
通して対流を促進する孔５Ｄが形成されている。
に例えば４本の溝５Ｂが等間隔に形成されている。又、
シールド５の底壁５Ｃ周縁部にはシールド５の内外を連
通して対流を促進する孔５Ｄが形成されている。
【００１２】７はポンプケース１に収納された第１段の
コールドヘッド、８は第１段のコールドヘッド７に接続
された第２段のコールドヘッドである。そして、シール
ド５の底壁は第１段のコールドヘッド７に熱的に接続さ
れている。又、第２段のコールドヘッド８の上部は上部
のコールドパネル６…に熱的に接続されている。
コールドヘッド、８は第１段のコールドヘッド７に接続
された第２段のコールドヘッドである。そして、シール
ド５の底壁は第１段のコールドヘッド７に熱的に接続さ
れている。又、第２段のコールドヘッド８の上部は上部
のコールドパネル６…に熱的に接続されている。
【００１３】９は例えば窒素ガス等の不活性ガスである
再生ガス（以下導入ガスという）の導入管である。この
導入管９はポンプケース１の底壁を貫通し、上端の吐出
口である開口９Ａは溝５Ｂとポンプケース１の周壁１Ａ
との隙間１０のシールド５の底壁５Ｃ近傍に設けられて
いる。ここで、隙間１０は溝５Ｂ以外の部分の隙間より
大きい。
再生ガス（以下導入ガスという）の導入管である。この
導入管９はポンプケース１の底壁を貫通し、上端の吐出
口である開口９Ａは溝５Ｂとポンプケース１の周壁１Ａ
との隙間１０のシールド５の底壁５Ｃ近傍に設けられて
いる。ここで、隙間１０は溝５Ｂ以外の部分の隙間より
大きい。
【００１４】１１は冷凍機モータ、１１Ａは冷凍機モー
タ１１の軸、１２は冷凍機駆動部、１３はヘリウムガス
の流入口、１４はヘリウムガスの流出口である。又、１
５は矢印１６方向のみにガスを流す安全弁１７を備えた
再生ガスの排出管接続装置であり、この接続装置１５は
例えば再生ガスの処理槽（図示せず）に配管接続されて
いる。
タ１１の軸、１２は冷凍機駆動部、１３はヘリウムガス
の流入口、１４はヘリウムガスの流出口である。又、１
５は矢印１６方向のみにガスを流す安全弁１７を備えた
再生ガスの排出管接続装置であり、この接続装置１５は
例えば再生ガスの処理槽（図示せず）に配管接続されて
いる。
【００１５】上記クライオポンプの運転（排気運転）
時、従来のクライオポンプと同様に冷凍機モータ１１が
運転し、シールド５及びバッフル４の温度が低下して、
排気口３から流れて来た気体中の例えば水蒸気がシール
ド５及びバッフル４に吸着する。又、コールドパネル６
…が極低温に冷却され、例えばＡｒ，Ｎ2，Ｏ2などのガ
スがコールドパネル６…に吸着する。
時、従来のクライオポンプと同様に冷凍機モータ１１が
運転し、シールド５及びバッフル４の温度が低下して、
排気口３から流れて来た気体中の例えば水蒸気がシール
ド５及びバッフル４に吸着する。又、コールドパネル６
…が極低温に冷却され、例えばＡｒ，Ｎ2，Ｏ2などのガ
スがコールドパネル６…に吸着する。
【００１６】時間が経過し、コールドパネル６…の吸着
量が飽和状態になり、クライオポンプの活性化（再生
化）を行う場合（再生運転）には、冷凍機モータ１１が
停止し、加熱装置２が作動すると共に、例えば４０℃〜
５０℃の導入ガスが導入管９の上端開口９Ａから隙間１
０に吐出する。開口９Ａから吐出した導入ガスは、図１
に実線矢印で示したように隙間１０を溝５Ｂに沿って上
方へ流れる。このとき、導入ガスは加熱装置２によって
加熱されているポンプケース１の周壁からの輻射熱によ
って加熱されると共に、シールド５に放熱しつつ上昇す
る。
量が飽和状態になり、クライオポンプの活性化（再生
化）を行う場合（再生運転）には、冷凍機モータ１１が
停止し、加熱装置２が作動すると共に、例えば４０℃〜
５０℃の導入ガスが導入管９の上端開口９Ａから隙間１
０に吐出する。開口９Ａから吐出した導入ガスは、図１
に実線矢印で示したように隙間１０を溝５Ｂに沿って上
方へ流れる。このとき、導入ガスは加熱装置２によって
加熱されているポンプケース１の周壁からの輻射熱によ
って加熱されると共に、シールド５に放熱しつつ上昇す
る。
【００１７】隙間１０を上昇した導入ガスはバッフル４
を通過してシールド５内へ流入する。導入ガスは各コー
ルドパネル６の外周部を流れ、コールドパネル６及びシ
ールド５に放熱して温度低下しつつ下降する。この間、
各コールドパネル６は導入ガスによって加熱され、コー
ルドパネル６に吸着していたガスが気化して各コールド
パネル６は再生される。気化した気化ガスは導入ガスと
共に下降する。そして、シールド５の下部まで下降した
気化ガス及び導入ガスはそれぞれの孔５Ｄから流出して
ポンプケース１内を通り、排出管接続装置１５を通り外
部へ排出される。又、開口９Ａに対応した孔５Ｄから流
出した導入ガスの一部は開口９Ａから吐出した導入ガス
と共に隙間１０を通り上昇する。開口９Ａに対応した孔
５Ｄ以外の孔５Ｄから流出した導入ガスの一部もポンプ
ケース１の周壁から加熱されると共に、シールド５に放
熱しつつ隙間１０を上昇する。そして、導入ガスはバッ
フルを通過してシールド５内へ流入する。
を通過してシールド５内へ流入する。導入ガスは各コー
ルドパネル６の外周部を流れ、コールドパネル６及びシ
ールド５に放熱して温度低下しつつ下降する。この間、
各コールドパネル６は導入ガスによって加熱され、コー
ルドパネル６に吸着していたガスが気化して各コールド
パネル６は再生される。気化した気化ガスは導入ガスと
共に下降する。そして、シールド５の下部まで下降した
気化ガス及び導入ガスはそれぞれの孔５Ｄから流出して
ポンプケース１内を通り、排出管接続装置１５を通り外
部へ排出される。又、開口９Ａに対応した孔５Ｄから流
出した導入ガスの一部は開口９Ａから吐出した導入ガス
と共に隙間１０を通り上昇する。開口９Ａに対応した孔
５Ｄ以外の孔５Ｄから流出した導入ガスの一部もポンプ
ケース１の周壁から加熱されると共に、シールド５に放
熱しつつ隙間１０を上昇する。そして、導入ガスはバッ
フルを通過してシールド５内へ流入する。
【００１８】したがって、開口９Ａから吐出した導入ガ
スが隙間１０を溝５Ｂに沿って上昇するので、導入ガス
の隙間１０での乱れを回避して、隙間１０を上昇する導
入ガスの対流を促進することができ、又、孔５Ｄから流
出し再び隙間１０を上昇する導入ガスの対流も促進する
ことができ、シールド５及びコールドパネル６の加熱を
促進することができると共に、気化ガスをシールド５内
から孔５Ｄを介して外部へスムーズに流出することがで
き、この結果、再生時間の短縮を図ることができ、この
結果、再生運転から排気運転に短時間で移行することが
でき、クライオポンプの運転効率を向上することができ
る。
スが隙間１０を溝５Ｂに沿って上昇するので、導入ガス
の隙間１０での乱れを回避して、隙間１０を上昇する導
入ガスの対流を促進することができ、又、孔５Ｄから流
出し再び隙間１０を上昇する導入ガスの対流も促進する
ことができ、シールド５及びコールドパネル６の加熱を
促進することができると共に、気化ガスをシールド５内
から孔５Ｄを介して外部へスムーズに流出することがで
き、この結果、再生時間の短縮を図ることができ、この
結果、再生運転から排気運転に短時間で移行することが
でき、クライオポンプの運転効率を向上することができ
る。
【００１９】又、導入ガスの節約のために、導入管９か
ら隙間１０への導入ガスの導入を再生運転初期にのみ実
施した場合にも、それぞれの孔５Ｄから流出した導入ガ
スの一部がそれぞれの溝５Ｂに沿って隙間１０を上昇
し、シールド５内を下降するという自然対流が発生す
る。このため、シールド５及びコールドパネル６の加熱
が促進され、再生時間を短縮することができる。
ら隙間１０への導入ガスの導入を再生運転初期にのみ実
施した場合にも、それぞれの孔５Ｄから流出した導入ガ
スの一部がそれぞれの溝５Ｂに沿って隙間１０を上昇
し、シールド５内を下降するという自然対流が発生す
る。このため、シールド５及びコールドパネル６の加熱
が促進され、再生時間を短縮することができる。
【００２０】図４及び図５は本発明の第２の実施例を示
したものであり、上記第１の実施例と同じ構成のものに
は同じ符号を付しその詳細な説明は省略する。図４、図
５において、溝５Ｂはシールド５の周壁外面のモータ軸
１１Ａと直角及び平行の位置にシールド５の軸方向に底
壁から開口端まで形成されている。そして、各溝５Ｂの
対角線はモータ軸１１Ａと直角或いは平行である。各溝
５Ｂの下部、即ち底壁近傍には、それぞれ孔５Ｄが形成
されている。
したものであり、上記第１の実施例と同じ構成のものに
は同じ符号を付しその詳細な説明は省略する。図４、図
５において、溝５Ｂはシールド５の周壁外面のモータ軸
１１Ａと直角及び平行の位置にシールド５の軸方向に底
壁から開口端まで形成されている。そして、各溝５Ｂの
対角線はモータ軸１１Ａと直角或いは平行である。各溝
５Ｂの下部、即ち底壁近傍には、それぞれ孔５Ｄが形成
されている。
【００２１】上記のように溝５Ｂ及び孔５Ｄが形成され
たシールド５を備えたクライオポンプを図４に示したよ
うに横にして接続するときには、モータ軸１１Ａと直角
或いは平行に位置したポンプケース１の周壁が下端にな
るように接続する。このように接続することによって、
外から見えないシールド５の溝５Ｂのうち１本が下端に
位置する。
たシールド５を備えたクライオポンプを図４に示したよ
うに横にして接続するときには、モータ軸１１Ａと直角
或いは平行に位置したポンプケース１の周壁が下端にな
るように接続する。このように接続することによって、
外から見えないシールド５の溝５Ｂのうち１本が下端に
位置する。
【００２２】このように接続したクライオポンプの再生
運転時、開口９Ａから吐出した導入ガスは溝５Ｂに沿っ
て流れてバッフル４を通りシールド５内へ流入する。そ
して、コールドパネル６の周囲を流れた導入ガス及び気
化ガスは下端の孔５Ｄから流出し、ポンプケース１内か
ら排出管接続装置１５から外部へ排出される。
運転時、開口９Ａから吐出した導入ガスは溝５Ｂに沿っ
て流れてバッフル４を通りシールド５内へ流入する。そ
して、コールドパネル６の周囲を流れた導入ガス及び気
化ガスは下端の孔５Ｄから流出し、ポンプケース１内か
ら排出管接続装置１５から外部へ排出される。
【００２３】孔５Ｄから流出した導入ガスの一部は溝５
Ｂに沿って隙間１０を加熱されながら流れ、再びバッフ
ルを通りシールド５内へ流入する。
Ｂに沿って隙間１０を加熱されながら流れ、再びバッフ
ルを通りシールド５内へ流入する。
【００２４】したがって、クライオポンプを横に寝かせ
て例えば水平方向に設ける場合にも、モータ軸１１Ａと
直角或いは平行に位置したところに溝５Ｂ及び孔５Ｄが
あることが容易にわかり、モータ軸１１Ａと直角或いは
平行に位置したポンプケース１の周壁が下端になるよう
にクライオポンプ１を接続することによって、下端に溝
５Ｂ及び孔５Ｄが位置するようにクライオポンプを接続
することができる。この結果、クライオポンプの再生運
転時、開口９Ａから吐出した導入ガスは溝５Ｂに沿って
隙間１０を流れ、シールド５内へ流入し、コールドパネ
ル６の周囲を流れてからシールド５の下端に設けられた
孔５Ｄから流出し、流出した導入ガスの一部は再び溝５
Ｂに沿ってバッフル４の方向へ流れ、導入ガスの対流に
よってシールド５及びコールドパネル６の加熱を促進す
ることができ、又、気化ガスの排出を下端の孔５Ｄから
スムーズに行うことができ、この結果再生時間を短縮す
ることができ、又、接続方向が限定されない、汎用性が
高いクライオポンプを提供することができる。
て例えば水平方向に設ける場合にも、モータ軸１１Ａと
直角或いは平行に位置したところに溝５Ｂ及び孔５Ｄが
あることが容易にわかり、モータ軸１１Ａと直角或いは
平行に位置したポンプケース１の周壁が下端になるよう
にクライオポンプ１を接続することによって、下端に溝
５Ｂ及び孔５Ｄが位置するようにクライオポンプを接続
することができる。この結果、クライオポンプの再生運
転時、開口９Ａから吐出した導入ガスは溝５Ｂに沿って
隙間１０を流れ、シールド５内へ流入し、コールドパネ
ル６の周囲を流れてからシールド５の下端に設けられた
孔５Ｄから流出し、流出した導入ガスの一部は再び溝５
Ｂに沿ってバッフル４の方向へ流れ、導入ガスの対流に
よってシールド５及びコールドパネル６の加熱を促進す
ることができ、又、気化ガスの排出を下端の孔５Ｄから
スムーズに行うことができ、この結果再生時間を短縮す
ることができ、又、接続方向が限定されない、汎用性が
高いクライオポンプを提供することができる。
【００２５】尚、シールド５の周壁に形成する溝５Ｂの
数は上記実施例に限定されるものではなく、例えば５本
以上の溝５Ｂを形成した場合にも上記実施例のように溝
５Ｂを設け、それぞれの溝５Ｂのシールド底壁近傍に孔
５Ｄを設けることによって上記実施例と同様の作用効果
を得ることができる。
数は上記実施例に限定されるものではなく、例えば５本
以上の溝５Ｂを形成した場合にも上記実施例のように溝
５Ｂを設け、それぞれの溝５Ｂのシールド底壁近傍に孔
５Ｄを設けることによって上記実施例と同様の作用効果
を得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されたクラ
イオポンプであり、シールドの周壁外面に溝をシールド
の軸方向に形成すると共に、シールドの下部に孔を形成
し、溝とポンプケースとの間に不活性ガスの吐出口を設
けたので、クライオポンプの再生運転時、吐出口から吐
出した不活性ガスが溝に沿って流れ、シールド内を下降
してから気化ガスと共に孔から流出する不活性ガスの流
れが形成され、シールド及びコールドパネルの加熱を促
進及び気化ガスの排出を促進することができ、この結
果、再生時間を短縮し、クライオポンプの運転効率を向
上することができる。
イオポンプであり、シールドの周壁外面に溝をシールド
の軸方向に形成すると共に、シールドの下部に孔を形成
し、溝とポンプケースとの間に不活性ガスの吐出口を設
けたので、クライオポンプの再生運転時、吐出口から吐
出した不活性ガスが溝に沿って流れ、シールド内を下降
してから気化ガスと共に孔から流出する不活性ガスの流
れが形成され、シールド及びコールドパネルの加熱を促
進及び気化ガスの排出を促進することができ、この結
果、再生時間を短縮し、クライオポンプの運転効率を向
上することができる。
【００２７】又、シールドの周壁外面のモータ軸と直角
或いは平行の位置に溝をシールドの軸方向に形成し、溝
のシールド底壁近傍に孔を形成し、溝とポンプケースと
の隙間のシールド底壁近傍に不活性ガスの吐出口を設け
たので、クライオポンプを横方向に設ける場合にも、モ
ータ軸の方向を確認して溝及び孔が下端になるようにク
ライオポンプを容易に接続することができ、この結果、
再生運転時、不活性ガスの対流及び気化ガスの排出を促
進することができると共に、接続方向に限定されない汎
用性が高いクライオポンプを提供することができる。
或いは平行の位置に溝をシールドの軸方向に形成し、溝
のシールド底壁近傍に孔を形成し、溝とポンプケースと
の隙間のシールド底壁近傍に不活性ガスの吐出口を設け
たので、クライオポンプを横方向に設ける場合にも、モ
ータ軸の方向を確認して溝及び孔が下端になるようにク
ライオポンプを容易に接続することができ、この結果、
再生運転時、不活性ガスの対流及び気化ガスの排出を促
進することができると共に、接続方向に限定されない汎
用性が高いクライオポンプを提供することができる。
【図１】クライオポンプの要部縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】クライオポンプの概略構成図である。
【図４】クライオポンプの要部縦断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
１ ポンプケース
２ 加熱装置
５ シールド
５Ｂ 溝
５Ｃ 底壁
５Ｄ 孔
６ コールドパネル
９Ａ 吐出口
Claims (2)
- 【請求項１】 コールドパネルと、このコールドパネル
を収納する筒状のシールドと、このシールドを収納する
ポンプケースと、このポンプケースの周壁外面に設けら
れた加熱装置とを備えたクライオポンプにおいて、シー
ルドの周壁外面に溝をシールドの軸方向に形成すると共
に、シールドの下部に孔を形成し、溝とポンプケースと
の間に不活性ガスの吐出口を設けたことを特徴とするク
ライオポンプ。 - 【請求項２】 コールドパネルと、このコールドパネル
を収納する筒状のシールドと、このシールドを収納する
筒状のポンプケースと、このポンプケースの周壁外面に
設けられた加熱装置と、ポンプケースの底壁に接続され
た冷凍機の駆動装置と、この駆動装置に接続されて駆動
装置を駆動するモータとを備え、モータの軸がシールド
の軸方向とほぼ直角になるようにモータを駆動装置に接
続したクライオポンプにおいて、シールドの周壁外面の
モータ軸と直角或いは平行の位置に溝をシールドの軸方
向に形成し、溝のシールド底壁近傍に孔を形成し、溝と
ポンプケースとの隙間のシールド底壁近傍に不活性ガス
の吐出口を設けたことを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18637291A JPH0533766A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18637291A JPH0533766A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0533766A true JPH0533766A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16187234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18637291A Pending JPH0533766A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533766A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100715934B1 (ko) * | 2000-05-15 | 2007-05-08 | 삼성전자주식회사 | 스퍼터링 장치 및 이의 재생방법 |
| WO2010002884A3 (en) * | 2008-07-01 | 2010-03-25 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for providing temperature control to a cryopump |
-
1991
- 1991-07-25 JP JP18637291A patent/JPH0533766A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100715934B1 (ko) * | 2000-05-15 | 2007-05-08 | 삼성전자주식회사 | 스퍼터링 장치 및 이의 재생방법 |
| WO2010002884A3 (en) * | 2008-07-01 | 2010-03-25 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for providing temperature control to a cryopump |
| KR101456892B1 (ko) * | 2008-07-01 | 2014-10-31 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 극저온 펌프에 대한 온도 제어를 제공하기 위한 방법 및 장치 |
| TWI490409B (zh) * | 2008-07-01 | 2015-07-01 | Brooks Automation Inc | 用於提供溫度控制給低溫泵之方法及裝置 |
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