JPH0518356A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0518356A JPH0518356A JP17256091A JP17256091A JPH0518356A JP H0518356 A JPH0518356 A JP H0518356A JP 17256091 A JP17256091 A JP 17256091A JP 17256091 A JP17256091 A JP 17256091A JP H0518356 A JPH0518356 A JP H0518356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- shield
- cold
- cryopump
- flow down
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シールド内の不活性ガス及び気化ガスの流下
を促進し、再生効率を向上する。 【構成】 シールド５内のコールドパネル６に複数のガ
ス流下孔６ａを形成すると共に、シールド５の底壁にガ
ス流下孔５Ａを形成し、不活性ガスの吐出口９Ａをシー
ルド５内に設け、吐出口９Ａから吐出した不活性ガスは
気化ガスと共にコールドパネル６のガス流下孔６ａを通
り下方へ流れ、更に、ガス流下孔５Ａからシールド５の
外へ流れ、不活性ガス及び気化ガスの滞溜を回避して各
ガスの流下を促進し、吐出口９Ａから吐出してガス流下
孔６ａを流下する不活性ガスによってコールドパネル６
の加熱を促進し、再生効率を向上し、再生時間を短縮す
る。
を促進し、再生効率を向上する。 【構成】 シールド５内のコールドパネル６に複数のガ
ス流下孔６ａを形成すると共に、シールド５の底壁にガ
ス流下孔５Ａを形成し、不活性ガスの吐出口９Ａをシー
ルド５内に設け、吐出口９Ａから吐出した不活性ガスは
気化ガスと共にコールドパネル６のガス流下孔６ａを通
り下方へ流れ、更に、ガス流下孔５Ａからシールド５の
外へ流れ、不活性ガス及び気化ガスの滞溜を回避して各
ガスの流下を促進し、吐出口９Ａから吐出してガス流下
孔６ａを流下する不活性ガスによってコールドパネル６
の加熱を促進し、再生効率を向上し、再生時間を短縮す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクライオポンプに関し、
特に再生効率の向上を図るクライオポンプに関する。
特に再生効率の向上を図るクライオポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば特公昭６３−３４３１６号公報に
は、排気口に向って開口した筒状のシールド内に複数枚
の凝縮パネルを設け、極低温化した凝縮パネルが凝縮温
度が低いＡｒ，Ｎ2，Ｏ2等を吸着するクライオポンプが
開示されている。このクライオポンプを再生活性化する
場合にはシールド内にヘリウムガス等の不活性ガスを導
入し、凝縮パネルに溜め込まれている気体を加熱して気
化して外部へ排出する。
は、排気口に向って開口した筒状のシールド内に複数枚
の凝縮パネルを設け、極低温化した凝縮パネルが凝縮温
度が低いＡｒ，Ｎ2，Ｏ2等を吸着するクライオポンプが
開示されている。このクライオポンプを再生活性化する
場合にはシールド内にヘリウムガス等の不活性ガスを導
入し、凝縮パネルに溜め込まれている気体を加熱して気
化して外部へ排出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て、導入した不活性ガスがシールド及び凝縮パネルを加
熱再生するが、そのとき、気化した再生ガスはシールド
内に停滞し、かつ、自然対流がないため、不活性ガスに
よるシールド及び凝縮パネルの加熱効率及び再生ガスの
排出効率が低下するという問題が発生する。
て、導入した不活性ガスがシールド及び凝縮パネルを加
熱再生するが、そのとき、気化した再生ガスはシールド
内に停滞し、かつ、自然対流がないため、不活性ガスに
よるシールド及び凝縮パネルの加熱効率及び再生ガスの
排出効率が低下するという問題が発生する。
【０００４】本発明はクライオポンプの加熱効率及び排
出効率を向上し、再生効率を良くすることを目的とす
る。
出効率を向上し、再生効率を良くすることを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、コールドパネル６と、このコールドパネル
６を収納する筒状のシールド５と、このシールド５を収
納するポンプケース１とを備えたクライオポンプにおい
て、複数のガス流下孔６ａを形成したコールドパネル６
と、底壁にガス流下孔５Ａを形成したシールド５と、こ
のシールド５内に設けられた不活性ガスの吐出口９Ａと
を備えたクライオポンプを提供し、クライオポンプの再
生効率を向上し再生時間を短縮するものである。
するために、コールドパネル６と、このコールドパネル
６を収納する筒状のシールド５と、このシールド５を収
納するポンプケース１とを備えたクライオポンプにおい
て、複数のガス流下孔６ａを形成したコールドパネル６
と、底壁にガス流下孔５Ａを形成したシールド５と、こ
のシールド５内に設けられた不活性ガスの吐出口９Ａと
を備えたクライオポンプを提供し、クライオポンプの再
生効率を向上し再生時間を短縮するものである。
【０００６】又、複数のガス流下孔６ａを形成したコー
ルドパネル６と、底壁にガス流下孔５Ａを形成したシー
ルドとを備えたクライオポンプを提供し、クライオポン
プの再生効率を向上し、再生時間を短縮するものであ
る。
ルドパネル６と、底壁にガス流下孔５Ａを形成したシー
ルドとを備えたクライオポンプを提供し、クライオポン
プの再生効率を向上し、再生時間を短縮するものであ
る。
【０００７】
【作用】クライオポンプの再生時、シールド５内の吐出
口９Ａから吐出した不活性ガスはコールドパネルから気
化した気化ガスと共に最上段のコールドパネル６のガス
流下孔６ａを通り下方のコールドパネルへ流下し、同様
に各コールドパネル６のガス流下孔６ａを通り流下し、
各コールドパネル６は流下する不活性ガスによって内部
から加熱されると共に、気化ガスも滞溜することなく流
下し、シールド５のガス流下孔５Ａからシールド５の外
へ流下して再生効率を向上し、再生時間を短縮すること
が可能になる。
口９Ａから吐出した不活性ガスはコールドパネルから気
化した気化ガスと共に最上段のコールドパネル６のガス
流下孔６ａを通り下方のコールドパネルへ流下し、同様
に各コールドパネル６のガス流下孔６ａを通り流下し、
各コールドパネル６は流下する不活性ガスによって内部
から加熱されると共に、気化ガスも滞溜することなく流
下し、シールド５のガス流下孔５Ａからシールド５の外
へ流下して再生効率を向上し、再生時間を短縮すること
が可能になる。
【０００８】又、シールド５の上部から下方へ流れる不
活性ガスは各コールドパネル６のガス流下孔６ａを通り
下方へ流れ、気化ガス及び不活性ガスの流下が促進さ
れ、又、気化ガス及び不活性ガスはシールド５のガス流
下孔からシールド５の外へ流れ、各ガスの滞溜を回避し
て再生効率を向上することが可能になる。
活性ガスは各コールドパネル６のガス流下孔６ａを通り
下方へ流れ、気化ガス及び不活性ガスの流下が促進さ
れ、又、気化ガス及び不活性ガスはシールド５のガス流
下孔からシールド５の外へ流れ、各ガスの滞溜を回避し
て再生効率を向上することが可能になる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】１はクライオポンプのポンプケース、２は
ポンプケース１の側壁の外面に設けられた加熱ヒータな
どの加熱装置、３は排気口、４は排気口に設けられたバ
ッフル、５はポンプケース１の上部に収納されて排気口
３に向って開口した円筒状のラジエーションシールド
（以下シールドという）、５Ａはシールド５の底壁に形
成したガス流下孔、６はシールド５内に収納されたコー
ルドパネルである。コールドパネル６は円形であり平坦
である上壁６Ａとこの上壁６Ａの周縁から傾め下方へ延
びる傾斜壁６Ｂとから構成されている。そして、複数枚
のコールドパネル６…が重ねられ断面Ｕ字状の支持部材
６Ｃに等間隔に支持されている。最上段のコールドパネ
ル６の上壁６Ａには複数のガス、流下孔６ａが形成され
ている。又、上から２段目以下のコールドパネル６の上
壁６Ａの上面には活性炭６Ｄが接着されており、活性炭
６Ｄと上壁６Ａとにはそれぞれを連通した複数のガス流
下孔６ａが形成されている。各コールドパネル６のガス
流通孔６ａはそれぞれ千鳥状に形成されている。
ポンプケース１の側壁の外面に設けられた加熱ヒータな
どの加熱装置、３は排気口、４は排気口に設けられたバ
ッフル、５はポンプケース１の上部に収納されて排気口
３に向って開口した円筒状のラジエーションシールド
（以下シールドという）、５Ａはシールド５の底壁に形
成したガス流下孔、６はシールド５内に収納されたコー
ルドパネルである。コールドパネル６は円形であり平坦
である上壁６Ａとこの上壁６Ａの周縁から傾め下方へ延
びる傾斜壁６Ｂとから構成されている。そして、複数枚
のコールドパネル６…が重ねられ断面Ｕ字状の支持部材
６Ｃに等間隔に支持されている。最上段のコールドパネ
ル６の上壁６Ａには複数のガス、流下孔６ａが形成され
ている。又、上から２段目以下のコールドパネル６の上
壁６Ａの上面には活性炭６Ｄが接着されており、活性炭
６Ｄと上壁６Ａとにはそれぞれを連通した複数のガス流
下孔６ａが形成されている。各コールドパネル６のガス
流通孔６ａはそれぞれ千鳥状に形成されている。
【００１１】７はポンプケース１に収納された第１段の
コールドヘッド、８は第１段のコールドヘッド７に接続
された第２段のコールドヘッドである。そして、シール
ド５の底壁は第１段のコールドヘッド７に熱的に接続さ
れている。又、第２段のコールドヘッド８の上部は上部
のコールドパネル６…に熱的に接続されている。
コールドヘッド、８は第１段のコールドヘッド７に接続
された第２段のコールドヘッドである。そして、シール
ド５の底壁は第１段のコールドヘッド７に熱的に接続さ
れている。又、第２段のコールドヘッド８の上部は上部
のコールドパネル６…に熱的に接続されている。
【００１２】９は例えば窒素ガス等の不活性ガスである
再生ガス（以下導入ガスという）の導入管であり、この
導入管９は図２に示したようにポンプケース１の底壁を
貫通して上方へ延び、更にシールド５の底壁を貫通して
シールド５内を上方へ延び、上端の開口９Ａはシールド
５の側壁とコールドパネル６との間の空間１０に位置し
ている。
再生ガス（以下導入ガスという）の導入管であり、この
導入管９は図２に示したようにポンプケース１の底壁を
貫通して上方へ延び、更にシールド５の底壁を貫通して
シールド５内を上方へ延び、上端の開口９Ａはシールド
５の側壁とコールドパネル６との間の空間１０に位置し
ている。
【００１３】１１は冷凍機モータ、１２は冷凍機駆動
部、１３はヘリウムガスの流入口、１４はヘリウムガス
の流出口である。又、１５は矢印１６方向のみにガスを
流す安全弁１７を備えた再生ガスの排出管接続装置であ
り、この接続装置１５は例えば再生ガスの処理槽（図示
せず）に配管接続されている。
部、１３はヘリウムガスの流入口、１４はヘリウムガス
の流出口である。又、１５は矢印１６方向のみにガスを
流す安全弁１７を備えた再生ガスの排出管接続装置であ
り、この接続装置１５は例えば再生ガスの処理槽（図示
せず）に配管接続されている。
【００１４】上記クライオポンプの運転時、従来のクラ
イオポンプと同様に冷凍機モータ１１が運転し、シール
ド５及びバッフル４の温度が低下して、排気口３から流
れて来た気体中の例えば水蒸気がシールド５及びバッフ
ル４に吸着する。又、コールドパネル６…が極低温に冷
却され、例えばＡｒ，Ｎ2，Ｏ2などのガスがコールドパ
ネル６…に吸着する。
イオポンプと同様に冷凍機モータ１１が運転し、シール
ド５及びバッフル４の温度が低下して、排気口３から流
れて来た気体中の例えば水蒸気がシールド５及びバッフ
ル４に吸着する。又、コールドパネル６…が極低温に冷
却され、例えばＡｒ，Ｎ2，Ｏ2などのガスがコールドパ
ネル６…に吸着する。
【００１５】時間が経過し、コールドパネル６…の吸着
量が飽和状態になり、クライオポンプの活性化（再生
化）を行う場合には、冷凍機モータ１１が停止し、加熱
装置２が作動すると共に、例えば４０℃〜５０℃の導入
ガスが導入管９からシールド５内に吐出する。開口９Ａ
から吐出した導入ガスは、図１に実線矢印で示したよう
に上方へ流れ、バッフル４と最上段のコールドパネル６
との間の空間をほぼ水平方向に流れる。そして、導入ガ
スはコールドパネル６…の周囲を下方へ流れると共に、
コールドパネル６…に形成されたガス流下孔６ａを通り
下方のコールドパネル６の上面に流れ、更にガス流下孔
６ａを通り下方のコールドパネル６の上面に流れる。導
入ガスが各コールドパネル６の流下孔６ａを通り下方へ
流れるときに、各コールドパネル６はガス流下孔６ａの
周囲から加熱され、コールドパネル６に吸着していたガ
スが気化して気化ガスが導入ガスと共に流下する。
量が飽和状態になり、クライオポンプの活性化（再生
化）を行う場合には、冷凍機モータ１１が停止し、加熱
装置２が作動すると共に、例えば４０℃〜５０℃の導入
ガスが導入管９からシールド５内に吐出する。開口９Ａ
から吐出した導入ガスは、図１に実線矢印で示したよう
に上方へ流れ、バッフル４と最上段のコールドパネル６
との間の空間をほぼ水平方向に流れる。そして、導入ガ
スはコールドパネル６…の周囲を下方へ流れると共に、
コールドパネル６…に形成されたガス流下孔６ａを通り
下方のコールドパネル６の上面に流れ、更にガス流下孔
６ａを通り下方のコールドパネル６の上面に流れる。導
入ガスが各コールドパネル６の流下孔６ａを通り下方へ
流れるときに、各コールドパネル６はガス流下孔６ａの
周囲から加熱され、コールドパネル６に吸着していたガ
スが気化して気化ガスが導入ガスと共に流下する。
【００１６】最下段のコールドパネル６から流下した導
入ガスなどはシールド５の底壁に形成されたガス流下孔
５Ａを通り、ポンプケース１内から排出管接続装置１５
を介して外部へ排出される。
入ガスなどはシールド５の底壁に形成されたガス流下孔
５Ａを通り、ポンプケース１内から排出管接続装置１５
を介して外部へ排出される。
【００１７】したがって、コールドパネル６…での導入
ガス及び気化ガスの流下を促進し、気化ガスがコールド
パネル６…の周囲及びシールド５の下部に滞溜すること
を回避できると共に、導入ガスによるコールドパネル６
…の加熱を内部から行い促進することができ、この結
果、再生効率を向上することができ、再生時間を短縮す
ることができる。
ガス及び気化ガスの流下を促進し、気化ガスがコールド
パネル６…の周囲及びシールド５の下部に滞溜すること
を回避できると共に、導入ガスによるコールドパネル６
…の加熱を内部から行い促進することができ、この結
果、再生効率を向上することができ、再生時間を短縮す
ることができる。
【００１８】又、上記実施例において、複数のコールド
パネル６…を備えたクライオポンプについて説明した
が、下面を開口した筒状のコールドパネルを備えたクラ
イオポンプにおいても、コールドパネルの上壁にガス流
下孔を形成することによって上記実施例と同様に導入ガ
ス及び気化ガスの流下を促進して再生効率を向上するこ
とができる。
パネル６…を備えたクライオポンプについて説明した
が、下面を開口した筒状のコールドパネルを備えたクラ
イオポンプにおいても、コールドパネルの上壁にガス流
下孔を形成することによって上記実施例と同様に導入ガ
ス及び気化ガスの流下を促進して再生効率を向上するこ
とができる。
【００１９】更に、導入管９の開口９Ａをシールド５内
ではなく、図１に破線にて示したようにシールド５の側
壁とポンプケース１１の側壁との間の空間に設けた場合
にも、導入ガスはシールド５の外周の通路を上方へ流
れ、バッフル４を通りシールド５内へ流入し、各コール
ドパネル６…のガス流下孔６ａ…を通り下方へ流れ、シ
ールド５のガス流下孔５Ａを通りシールド５外へ流出す
るので、再生効率を向上することができる。
ではなく、図１に破線にて示したようにシールド５の側
壁とポンプケース１１の側壁との間の空間に設けた場合
にも、導入ガスはシールド５の外周の通路を上方へ流
れ、バッフル４を通りシールド５内へ流入し、各コール
ドパネル６…のガス流下孔６ａ…を通り下方へ流れ、シ
ールド５のガス流下孔５Ａを通りシールド５外へ流出す
るので、再生効率を向上することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されたクラ
イオポンプであり、コールドパネルの上壁には複数の孔
が形成されると共に、シールドの底壁にも孔が形成され
ているので、シールド内に流入した導入ガス及びコール
ドパネルからの気化ガスの流下をスムーズに行うことが
でき、又、コールドパネルの加熱を促進することがで
き、再生効率を向上し、再生時間を短縮することができ
る。
イオポンプであり、コールドパネルの上壁には複数の孔
が形成されると共に、シールドの底壁にも孔が形成され
ているので、シールド内に流入した導入ガス及びコール
ドパネルからの気化ガスの流下をスムーズに行うことが
でき、又、コールドパネルの加熱を促進することがで
き、再生効率を向上し、再生時間を短縮することができ
る。
【００２１】又、シールド内に導入ガスの吐出口を設け
た場合には、吐出口から流出した温度の高い導入ガスが
コールドパネルの孔を通り流下するので、一層、再生効
率を向上することができる。
た場合には、吐出口から流出した温度の高い導入ガスが
コールドパネルの孔を通り流下するので、一層、再生効
率を向上することができる。
【図１】クライオポンプの要部構成の説明するための縦
断面図である。
断面図である。
【図２】クライオポンプの概略構成図である。
１ ポンプケース
５ シールド
５Ａ ガス流下孔
６ コールドパネル
６ａ ガス流下孔
９Ａ 不活性ガスの吐出孔
Claims (2)
- 【請求項１】 コールドパネルと、このコールドパネル
を収納する筒状のシールドと、このシールドを収納する
ポンプケースとを備えたクライオポンプにおいて、複数
の孔を上壁に形成したコールドパネルと、底壁に孔を形
成したシールドと、このシールド内に設けられた不活性
ガスの吐出口とを備えたことを特徴とするクライオポン
プ。 - 【請求項２】 コールドパネルと、このコールドパネル
を収納する筒状のシールドとを備えたクライオポンプに
おいて、複数の孔を上壁に形成したコールドパネルと、
底壁に孔を形成したシールドとを備えたことを特徴とす
るクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17256091A JPH0518356A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17256091A JPH0518356A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518356A true JPH0518356A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15944121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17256091A Pending JPH0518356A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518356A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009057957A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-03-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオパネル及びこれを用いたクライオポンプ |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP17256091A patent/JPH0518356A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009057957A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-03-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオパネル及びこれを用いたクライオポンプ |
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