JP2011505318A - 低い膨張係数勾配を有する低膨張性ガラス材料 - Google Patents
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Abstract
Description
48 シリカ前駆体
50 ,64 キャリアガス
54,66 分配システム
56 ミキシング・マニホルド
58 チタニア前駆体供給源
60 チタニア前駆体
68,99 ヒュ−ムライン
70 バーナー
72 炉の頂部
74 蒸着キャビティ
76 炉
78 炉の固定壁
80 収容槽
82 炉の基部
84 振動テ−ブル
86 炉の浮動壁
93 燃料
95 酸素
Claims (10)
- チタニアおよびシリカを含有する低膨張性ガラス基板であって、使用温度において、1ppb/℃/℃未満の平均熱膨張率勾配を有する熱膨張特性を備えていることを特徴とする低膨張性ガラス基板。
- 前記熱膨張特性が、30℃を超えるゼロCTEクロスオーバー温度とともに、1ppb/℃/℃未満の平均熱膨張率勾配を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 30℃を超えるゼロCTEクロスオーバー温度とともに、表面または近表面において20ppb/℃未満の熱膨張率(CTE)を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 25℃を超えるゼロ熱膨張率クロスオーバー温度を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 70〜90℃のゼロ熱膨張率クロスオーバー温度を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 40〜70℃のゼロ熱膨張率クロスオーバー温度を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 使用温度において、0±5ppb/℃の平均熱膨張率を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 7.4重量%を超えるチタニア含有量を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 7.5重量%から9重量%の範囲内のチタニア含有量を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
- 8重量%から8.5重量%の範囲内のチタニア含有量を有することを特徴とする請求項1記載の低膨張性ガラス基板。
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