JP2011258880A5 - - Google Patents

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JP2014103385A (ja) * 2012-10-26 2014-06-05 Canon Inc 検出装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法及び検出方法
JP7292842B2 (ja) * 2018-09-21 2023-06-19 キヤノン株式会社 異物検査装置、露光装置、および物品製造方法
JP7778535B2 (ja) * 2021-11-10 2025-12-02 キヤノン株式会社 異物検査装置、露光装置、及び物品の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62274248A (ja) * 1986-05-23 1987-11-28 Canon Inc 表面状態測定装置
JPH0627027A (ja) * 1992-07-08 1994-02-04 Nikon Corp 異物検査装置
JP2601353Y2 (ja) * 1993-11-29 1999-11-15 株式会社ニコン 距離測定装置
JP2002057097A (ja) * 2000-05-31 2002-02-22 Nikon Corp 露光装置、及びマイクロデバイス並びにその製造方法
JP4002429B2 (ja) * 2001-12-18 2007-10-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 異物検査機能を備えた露光装置及びその装置における異物検査方法
JP5006513B2 (ja) * 2004-11-05 2012-08-22 キヤノン株式会社 露光装置及びデバイス製造方法
JP4668809B2 (ja) * 2006-02-24 2011-04-13 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面検査装置
JP2011174817A (ja) * 2010-02-24 2011-09-08 Canon Inc 異物検査装置、露光装置及びデバイス製造方法

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