JP2012233880A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012233880A5 JP2012233880A5 JP2012082640A JP2012082640A JP2012233880A5 JP 2012233880 A5 JP2012233880 A5 JP 2012233880A5 JP 2012082640 A JP2012082640 A JP 2012082640A JP 2012082640 A JP2012082640 A JP 2012082640A JP 2012233880 A5 JP2012233880 A5 JP 2012233880A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sensor camera
- line sensor
- area
- microcavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 133
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 60
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012082640A JP6004517B2 (ja) | 2011-04-19 | 2012-03-30 | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
| KR1020120035282A KR101374509B1 (ko) | 2011-04-19 | 2012-04-05 | 기판 검사 장치, 기판 검사 방법 및 이 기판 검사 장치의 조정 방법 |
| TW101112614A TWI456189B (zh) | 2011-04-19 | 2012-04-10 | 基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法 |
| CN201210115341.4A CN102749334B (zh) | 2011-04-19 | 2012-04-18 | 基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011093378 | 2011-04-19 | ||
| JP2011093377 | 2011-04-19 | ||
| JP2011093378 | 2011-04-19 | ||
| JP2011093377 | 2011-04-19 | ||
| JP2012082640A JP6004517B2 (ja) | 2011-04-19 | 2012-03-30 | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016062104A Division JP6110538B2 (ja) | 2011-04-19 | 2016-03-25 | 基板検査装置及び基板検査装置の調整方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012233880A JP2012233880A (ja) | 2012-11-29 |
| JP2012233880A5 true JP2012233880A5 (enExample) | 2015-05-07 |
| JP6004517B2 JP6004517B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=47029696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012082640A Expired - Fee Related JP6004517B2 (ja) | 2011-04-19 | 2012-03-30 | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6004517B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101374509B1 (enExample) |
| CN (1) | CN102749334B (enExample) |
| TW (1) | TWI456189B (enExample) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013003090A1 (de) * | 2013-02-25 | 2014-08-28 | Texmag Gmbh Vertriebsgesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Faltzuschnitten |
| JP6330211B2 (ja) * | 2013-10-06 | 2018-05-30 | 株式会社山梨技術工房 | 平板基板の表面状態検査方法及びそれを用いた平板基板の表面状態検査装置 |
| KR101619149B1 (ko) * | 2014-01-22 | 2016-05-10 | 주식회사 브이원텍 | 칩온글래스 본딩 검사장치 |
| JP6126183B2 (ja) * | 2015-10-05 | 2017-05-10 | ファナック株式会社 | ターゲットマークを撮像するカメラを備えたロボットシステム |
| CN106248681A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-12-21 | 南通大学 | 基于机器视觉的立体对象多类缺陷检测装置及方法 |
| EP3532429B1 (en) * | 2016-10-26 | 2025-08-06 | Board of Regents, The University of Texas System | High throughput, high resolution optical metrology for reflective and transmissive nanophotonic devices |
| CN110178014B (zh) * | 2016-11-14 | 2023-05-02 | 美国西门子医学诊断股份有限公司 | 用于使用图案照明表征样本的方法和设备 |
| SG11201909436WA (en) * | 2017-04-11 | 2019-11-28 | Muehlbauer Gmbh & Co Kg | Component receiving device with optical sensor |
| JP6884082B2 (ja) * | 2017-10-11 | 2021-06-09 | 株式会社Screenホールディングス | 膜厚測定装置、基板検査装置、膜厚測定方法および基板検査方法 |
| CN114258482A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-03-29 | 东京毅力科创株式会社 | 检查装置的自我诊断方法和检查装置 |
| CN111272709B (zh) * | 2020-02-25 | 2021-02-12 | 中国矿业大学 | 一种矿物与气泡或油滴间液膜薄化装置 |
| CN112362667B (zh) * | 2020-11-04 | 2021-07-06 | 广东鑫光智能系统有限公司 | 一种改进型板材生产用六面检测装置及其检测方法 |
| JP2022191675A (ja) * | 2021-06-16 | 2022-12-28 | 株式会社ミツトヨ | 光学式プローブ及び形状測定装置 |
| JP7709877B2 (ja) * | 2021-09-15 | 2025-07-17 | 株式会社Screenホールディングス | 端部状態確認装置 |
| KR102766128B1 (ko) * | 2024-10-23 | 2025-02-12 | 주식회사 비즈포스 | 2.5차원 이미지 스캔 방법 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139237A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-11 | Toshiba Corp | 半導体基板の欠陥検査装置 |
| JPH0346314A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 半導体基板の接合時又は研磨時前の処理方法 |
| US6411377B1 (en) * | 1991-04-02 | 2002-06-25 | Hitachi, Ltd. | Optical apparatus for defect and particle size inspection |
| JP2000121326A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ギャップ検出方式 |
| JP2001005964A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | デジタル画像読取装置用形状検査装置および形状検査方法 |
| JP2002250695A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Sekisui Chem Co Ltd | 多層フィルム欠陥検出装置 |
| JP4709432B2 (ja) * | 2001-06-27 | 2011-06-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板の検査方法及び検査装置並びに電子機器用製品の製造方法 |
| JP3629244B2 (ja) * | 2002-02-19 | 2005-03-16 | 本多エレクトロン株式会社 | ウエーハ用検査装置 |
| JP2007107945A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| KR100793182B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2008-01-10 | 주식회사 한택 | 라인센서 카메라를 이용한 반도체 기판의 결함검출장치 및방법 |
| JP2008032433A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| US8107064B2 (en) * | 2006-08-10 | 2012-01-31 | Shibaura Mechatronics Corporation | Disc wafer inspecting device and inspecting method |
| JP5128920B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2013-01-23 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板表面検査装置及び基板表面検査方法 |
| JP4358889B1 (ja) * | 2008-06-27 | 2009-11-04 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 | ウエーハ欠陥検査装置 |
| CN101887030A (zh) * | 2009-05-15 | 2010-11-17 | 圣戈本玻璃法国公司 | 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统 |
-
2012
- 2012-03-30 JP JP2012082640A patent/JP6004517B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-04-05 KR KR1020120035282A patent/KR101374509B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2012-04-10 TW TW101112614A patent/TWI456189B/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-04-18 CN CN201210115341.4A patent/CN102749334B/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012233880A5 (enExample) | ||
| TWI456189B (zh) | 基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法 | |
| WO2012047774A3 (en) | Shape measuring apparatus and shape measuring method | |
| WO2012142064A3 (en) | Six degree-of-freedom laser tracker that cooperates with a remote line scanner | |
| CN107735645B (zh) | 三维形状测量装置 | |
| WO2008120457A1 (ja) | 非静止物体の三次元画像計測装置、三次元画像計測方法および三次元画像計測プログラム | |
| WO2012096847A3 (en) | Apparatus for euv imaging and methods of using same | |
| CN113646627B (zh) | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 | |
| WO2012012265A3 (en) | 3d microscope and methods of measuring patterned substrates | |
| TWI567364B (zh) | 結構光產生裝置、量測系統及其方法 | |
| WO2008046663A3 (de) | Vorrichtung und verfahren zum berührungs losen erfassen einer dreidimensionalen kontur | |
| JP2016529959A5 (enExample) | ||
| WO2009078617A3 (en) | Surface shape measuring system and surface shape measuring method using the same | |
| JP2017126870A5 (enExample) | ||
| JP2012517907A5 (enExample) | ||
| JP2013218395A5 (enExample) | ||
| EP2669739A3 (en) | Measuring method, and exposure method and apparatus | |
| JP2008185511A (ja) | タイヤのrro計測方法とその装置 | |
| TW201241420A (en) | Tire shape testing device and tire shape testing method | |
| KR20110089506A (ko) | 3차원 형상 측정장치의 높이 측정방법 및 이를 이용한 3차원 형상 측정장치 | |
| JP6085188B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JP2013258500A5 (ja) | 撮像装置及びその制御方法 | |
| JP2013092465A (ja) | 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 | |
| JP2016058452A5 (enExample) | ||
| JP2015108582A (ja) | 3次元計測方法と装置 |