JP2000121326A - ギャップ検出方式 - Google Patents
ギャップ検出方式Info
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- JP2000121326A JP2000121326A JP10298143A JP29814398A JP2000121326A JP 2000121326 A JP2000121326 A JP 2000121326A JP 10298143 A JP10298143 A JP 10298143A JP 29814398 A JP29814398 A JP 29814398A JP 2000121326 A JP2000121326 A JP 2000121326A
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- slit light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶セル内部構造の有無に関係なく、どの位
置でも画素電極間のギャップを検出できるようにする。 【解決手段】 照明系はスリット光を液晶セルの表面に
所定の傾斜角で投射する。検出系は液晶セル内部の各面
で反射する反射スリット光を受光する。照明系によって
投射されたスリット光は、液晶セルに内部構造が存在し
ない場合にはそのまま連続したスリット光の状態を維持
しながら、各面で反射し、検出系に取り込まれる。一
方、内部構造が存在する場合には、そのスリット光は分
断されて島状の短いスリット光となり、同じく検出系に
取り込まれる。画像処理手段は検出系からの検出信号を
スリット光の長軸方向に投影することによって、各面で
反射したスリット光による投影パターンを抽出する。検
出手段は画像処理手段によって作成された投影パターン
間の距離を測定することによって、液晶セル内部構造の
光学定数が不明な場合でも液晶セル内の画素電極板及び
対向電極板間のギャップを検出することができる。
置でも画素電極間のギャップを検出できるようにする。 【解決手段】 照明系はスリット光を液晶セルの表面に
所定の傾斜角で投射する。検出系は液晶セル内部の各面
で反射する反射スリット光を受光する。照明系によって
投射されたスリット光は、液晶セルに内部構造が存在し
ない場合にはそのまま連続したスリット光の状態を維持
しながら、各面で反射し、検出系に取り込まれる。一
方、内部構造が存在する場合には、そのスリット光は分
断されて島状の短いスリット光となり、同じく検出系に
取り込まれる。画像処理手段は検出系からの検出信号を
スリット光の長軸方向に投影することによって、各面で
反射したスリット光による投影パターンを抽出する。検
出手段は画像処理手段によって作成された投影パターン
間の距離を測定することによって、液晶セル内部構造の
光学定数が不明な場合でも液晶セル内の画素電極板及び
対向電極板間のギャップを検出することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶セルの重ね
合わせ工程時における液晶セルの電極間同士のギャップ
を検出するギャップ検出方式に関する。
合わせ工程時における液晶セルの電極間同士のギャップ
を検出するギャップ検出方式に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイ(LCD:Liqui
d Crystal Display)は、CRT(C
athode Ray Tube)に比べて薄型化、軽
量化が可能であるため、CTV(Color Tele
vision)やOA機器等のディスプレイ装置として
採用され、画面サイズも10型以上の大形化が図られ、
より一層の高精細化及びカラー化が押し進められてい
る。液晶ディスプレイには、TN(Twisted N
ematic)型、STN(Super Twiste
d Neatic)型、及びTFT(Thin Fil
m Transistor)型などの種類がある。これ
らの液晶ディスプレイの中で、特にカラー液晶ディスプ
レイは、各画素電極に対応してパターン化されたカラー
フィルタ基板が張り合わせられている。このカラーフィ
ルタ基板と画素電極板とによって、液晶ディスプレイの
カラー表示が可能である。
d Crystal Display)は、CRT(C
athode Ray Tube)に比べて薄型化、軽
量化が可能であるため、CTV(Color Tele
vision)やOA機器等のディスプレイ装置として
採用され、画面サイズも10型以上の大形化が図られ、
より一層の高精細化及びカラー化が押し進められてい
る。液晶ディスプレイには、TN(Twisted N
ematic)型、STN(Super Twiste
d Neatic)型、及びTFT(Thin Fil
m Transistor)型などの種類がある。これ
らの液晶ディスプレイの中で、特にカラー液晶ディスプ
レイは、各画素電極に対応してパターン化されたカラー
フィルタ基板が張り合わせられている。このカラーフィ
ルタ基板と画素電極板とによって、液晶ディスプレイの
カラー表示が可能である。
【0003】液晶ディスプレイの液晶セル内の液晶は、
画素電極板と対向電極板との間の印加電圧の変化に応じ
てその透過率が変化するので、印加電圧の変化に対する
透過率の変化特性が急峻な方が電圧が感度がよくて、液
晶セルの構造としては望ましいものである。この透過率
の変化特性の急峻度は液晶材の種類により異なると共に
画素電極と対向電極板とのギャップに大きく依存するも
のである。従って、画素電極と対向電極板とのギャップ
が最適な値でない場合、その液晶セルは不良品となる。
ギャップ検出方式はこのような液晶セルを重ね合わせた
時点でこのギャップが所定範囲内にあるか否かを検査す
るためのものである。
画素電極板と対向電極板との間の印加電圧の変化に応じ
てその透過率が変化するので、印加電圧の変化に対する
透過率の変化特性が急峻な方が電圧が感度がよくて、液
晶セルの構造としては望ましいものである。この透過率
の変化特性の急峻度は液晶材の種類により異なると共に
画素電極と対向電極板とのギャップに大きく依存するも
のである。従って、画素電極と対向電極板とのギャップ
が最適な値でない場合、その液晶セルは不良品となる。
ギャップ検出方式はこのような液晶セルを重ね合わせた
時点でこのギャップが所定範囲内にあるか否かを検査す
るためのものである。
【0004】従来は、液晶セルを構成するガラス基板の
表面に適当な傾斜角(例えば45°)で直径数μmの白
色光を投射する。投射された白色光は、ガラス基板、画
素電極板、配向膜、対向電極板、カラーフィルタなどを
通過する。この通過の途中で各部材の表面で正反射方向
に反射した光をCCD受光素子で受光している。このと
き、画素電極はギャップ測定の邪魔になるので、白色光
の投射はこの画素電極を避けて行う必要がある。
表面に適当な傾斜角(例えば45°)で直径数μmの白
色光を投射する。投射された白色光は、ガラス基板、画
素電極板、配向膜、対向電極板、カラーフィルタなどを
通過する。この通過の途中で各部材の表面で正反射方向
に反射した光をCCD受光素子で受光している。このと
き、画素電極はギャップ測定の邪魔になるので、白色光
の投射はこの画素電極を避けて行う必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来は、投射位置に画
素電極が存在しないようにするために、ブラックマトリ
クス、配向膜、画素電極(ITO)などの液晶セル内部
構造の光学定数(屈折率、反射率、透過率、厚さ)を考
慮して、投射位置に画素電極が存在するか否かを検出し
ていた。従って、この検出処理は、液晶セル同士を重ね
合わせた後でないと画素電極が存在するか否かが分から
ないため、重ね合わせの加圧途中でギャップを検出する
ことはできなかった。また、液晶セル内部構造の光学定
数が不明の場合には、検出すら行うことができなかっ
た。
素電極が存在しないようにするために、ブラックマトリ
クス、配向膜、画素電極(ITO)などの液晶セル内部
構造の光学定数(屈折率、反射率、透過率、厚さ)を考
慮して、投射位置に画素電極が存在するか否かを検出し
ていた。従って、この検出処理は、液晶セル同士を重ね
合わせた後でないと画素電極が存在するか否かが分から
ないため、重ね合わせの加圧途中でギャップを検出する
ことはできなかった。また、液晶セル内部構造の光学定
数が不明の場合には、検出すら行うことができなかっ
た。
【0006】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
であり、液晶セル内部構造の有無に関係なく、どの位置
でも画素電極間のギャップを検出することのできるギャ
ップ検出方式を提供することを目的とする。
であり、液晶セル内部構造の有無に関係なく、どの位置
でも画素電極間のギャップを検出することのできるギャ
ップ検出方式を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】出願時の請求項1に記載
された本発明に係るギャップ検出方式は、スリット光を
液晶セルの表面に所定の傾斜角で投射する照明系と、前
記液晶セル内部の各面で反射する反射スリット光を受光
する検出系と、前記検出系からの検出信号を画像処理し
て各反射スリット光の投影パターンを作成する画像処理
手段と、前記画像処理手段によって作成された投影パタ
ーン間の距離を測定することによって、前記液晶セル内
の画素電極板及び対向電極板間のギャップを検出する検
出手段とを備えたものである。照明系によって投射され
たスリット光は、液晶セルに内部構造が存在しない場合
にはそのまま連続したスリット光の状態を維持しなが
ら、各面で反射し、検出系に取り込まれる。一方、内部
構造が存在する場合には、そのスリット光は分断されて
島状の短いスリット光となり、同じく検出系に取り込ま
れる。検出系からの検出信号をスリット光の長軸方向に
投影することによって、各面で反射したスリット光によ
る投影パターンを抽出することができる。この投影パタ
ーン間の距離を測定することによって、液晶セル内部構
造の光学定数が不明な場合でも画素電極板及び対向電極
板間のギャップを容易に検出することができる。
された本発明に係るギャップ検出方式は、スリット光を
液晶セルの表面に所定の傾斜角で投射する照明系と、前
記液晶セル内部の各面で反射する反射スリット光を受光
する検出系と、前記検出系からの検出信号を画像処理し
て各反射スリット光の投影パターンを作成する画像処理
手段と、前記画像処理手段によって作成された投影パタ
ーン間の距離を測定することによって、前記液晶セル内
の画素電極板及び対向電極板間のギャップを検出する検
出手段とを備えたものである。照明系によって投射され
たスリット光は、液晶セルに内部構造が存在しない場合
にはそのまま連続したスリット光の状態を維持しなが
ら、各面で反射し、検出系に取り込まれる。一方、内部
構造が存在する場合には、そのスリット光は分断されて
島状の短いスリット光となり、同じく検出系に取り込ま
れる。検出系からの検出信号をスリット光の長軸方向に
投影することによって、各面で反射したスリット光によ
る投影パターンを抽出することができる。この投影パタ
ーン間の距離を測定することによって、液晶セル内部構
造の光学定数が不明な場合でも画素電極板及び対向電極
板間のギャップを容易に検出することができる。
【0008】出願時の請求項2に記載された本発明に係
るギャップ検出方式は、前記照明系に、前記検出系から
の検出信号に基づいて前記照明系から投射されるスリッ
ト光のフォーカス位置を制御するオートフォーカス手段
を備えたものである。この発明では、検出系によって検
出された検出信号、すなわちギャップ検出に用いられる
2つの反射スリット光の画像の特性が互いに等しくなる
ように照明系のフォーカス位置を制御している。2つの
反射スリット光の画像特性が等しくなることによって、
ギャップ検出手段によるギャップ検出精度が向上する。
るギャップ検出方式は、前記照明系に、前記検出系から
の検出信号に基づいて前記照明系から投射されるスリッ
ト光のフォーカス位置を制御するオートフォーカス手段
を備えたものである。この発明では、検出系によって検
出された検出信号、すなわちギャップ検出に用いられる
2つの反射スリット光の画像の特性が互いに等しくなる
ように照明系のフォーカス位置を制御している。2つの
反射スリット光の画像特性が等しくなることによって、
ギャップ検出手段によるギャップ検出精度が向上する。
【0009】出願時の請求項3に記載された本発明に係
るギャップ検出方式は、前記検出手段によって検出され
たギャップに基づいてその検出位置近傍における前記液
晶セルに対する加圧力を制御する加圧力制御手段を備え
たものである。従来は、加圧手段は1つであり、ギャッ
プ検出は加圧処理された後の液晶セルのギャップ不良を
検出するためのものに過ぎなかった。この発明では、重
ね合わせ処理の加圧途中でギャップを検出し、最適なギ
ャップとなるように加圧手段を制御するようにした。な
お、液晶セルに加圧する手段は複数存在し、これらの加
圧手段を適宜制御することによって、所望のギャップを
得られるようにする必要がある。
るギャップ検出方式は、前記検出手段によって検出され
たギャップに基づいてその検出位置近傍における前記液
晶セルに対する加圧力を制御する加圧力制御手段を備え
たものである。従来は、加圧手段は1つであり、ギャッ
プ検出は加圧処理された後の液晶セルのギャップ不良を
検出するためのものに過ぎなかった。この発明では、重
ね合わせ処理の加圧途中でギャップを検出し、最適なギ
ャップとなるように加圧手段を制御するようにした。な
お、液晶セルに加圧する手段は複数存在し、これらの加
圧手段を適宜制御することによって、所望のギャップを
得られるようにする必要がある。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
1に従って説明する。図1は、本発明のギャップ検出方
式の概略構成を示す図である。図1には、液晶セル1の
断面構造と、この液晶セル1の電極板同士のギャップを
検出する検出方式の概略構成が示されている。液晶セル
1は、第1のガラス基板11の裏面(下)側に順次積層
された透明な画素電極板12と配向膜13と、第2のガ
ラス基板17の表面(上)側に順次積層されたカラーフ
ィルタ16と透明な対向電極板15と配向膜14とを所
定のギャップで重ね合わせることによって形成されるも
のである。配向膜13と配向膜14との間に液晶材が注
入される。ガラス基板11,17の厚さは液晶パネルの
サイズにより異なるが約1mm前後であり、両電極板1
2,15の厚さは約数μm以下であり、両配向膜13,
14の厚さは約500nm程度である。なお、画素電極
板12には、カラーフィルタ16の各カラー素子RGB
に対応した画素電極18a,18bが配列されている。
1に従って説明する。図1は、本発明のギャップ検出方
式の概略構成を示す図である。図1には、液晶セル1の
断面構造と、この液晶セル1の電極板同士のギャップを
検出する検出方式の概略構成が示されている。液晶セル
1は、第1のガラス基板11の裏面(下)側に順次積層
された透明な画素電極板12と配向膜13と、第2のガ
ラス基板17の表面(上)側に順次積層されたカラーフ
ィルタ16と透明な対向電極板15と配向膜14とを所
定のギャップで重ね合わせることによって形成されるも
のである。配向膜13と配向膜14との間に液晶材が注
入される。ガラス基板11,17の厚さは液晶パネルの
サイズにより異なるが約1mm前後であり、両電極板1
2,15の厚さは約数μm以下であり、両配向膜13,
14の厚さは約500nm程度である。なお、画素電極
板12には、カラーフィルタ16の各カラー素子RGB
に対応した画素電極18a,18bが配列されている。
【0011】照明系2は、半導体レーザ(LD)21、
集光レンズ22、シリンドリカルレンズ23、集光レン
ズ24及びオートフォーカス機構25から構成される。
半導体レーザ21の出射光は集光レンズ22、シリンド
リカルレンズ23及び集光レンズ24を介してスリット
光に変換され、液晶セル1に所定の傾斜角(約45°)
で投射される。オートフォーカス機構25は、画像処理
装置4からの信号に応じて各レンズの位置(集光レンズ
系のワーキングディスタンス)を調整して、その結像位
置を制御する。
集光レンズ22、シリンドリカルレンズ23、集光レン
ズ24及びオートフォーカス機構25から構成される。
半導体レーザ21の出射光は集光レンズ22、シリンド
リカルレンズ23及び集光レンズ24を介してスリット
光に変換され、液晶セル1に所定の傾斜角(約45°)
で投射される。オートフォーカス機構25は、画像処理
装置4からの信号に応じて各レンズの位置(集光レンズ
系のワーキングディスタンス)を調整して、その結像位
置を制御する。
【0012】検出系3は、検出レンズ31及びCCD受
光素子32から構成される。検出レンズ31は、液晶セ
ル1の各境界面で反射した光をCCD受光素子32上に
結像する。CCD受光素子32は液晶セル1の各境界面
からの反射光による結像を受光する。図2は受光素子3
2の受光画面の概念を示す図である。図2(A)は内部
構造のうちブラックマトリクスや画素電極(ITO)1
8a,18bなどが存在する部分をスリット光が通過し
た場合の検出画像であり、図2(B)は内部構造の存在
しない、図1のような部分をスリット光が通過した場合
の検出画像である。これから明らかなように、内部構造
の存在しない部分をスリット光が通過した場合には、ス
リット光は分断されることなく連続した理想的な形状を
している。これに対して、内部構造が存在する場合に
は、図2(A)や図2(D)のように線状のスリット光
が分断されて、島状のスリット光の集合となる。
光素子32から構成される。検出レンズ31は、液晶セ
ル1の各境界面で反射した光をCCD受光素子32上に
結像する。CCD受光素子32は液晶セル1の各境界面
からの反射光による結像を受光する。図2は受光素子3
2の受光画面の概念を示す図である。図2(A)は内部
構造のうちブラックマトリクスや画素電極(ITO)1
8a,18bなどが存在する部分をスリット光が通過し
た場合の検出画像であり、図2(B)は内部構造の存在
しない、図1のような部分をスリット光が通過した場合
の検出画像である。これから明らかなように、内部構造
の存在しない部分をスリット光が通過した場合には、ス
リット光は分断されることなく連続した理想的な形状を
している。これに対して、内部構造が存在する場合に
は、図2(A)や図2(D)のように線状のスリット光
が分断されて、島状のスリット光の集合となる。
【0013】画像処理装置4はCCD受光素子32から
の映像信号を入力し、それを画像処理して、図2
(A)、(B)又は(D)のような映像をモニタ5に出
力する。モニタ5にはこのような映像が表示されるの
で、オペレータはこの映像を確認しながら、内部構造の
存在しない箇所に照明系2からのスリット光が投射され
るように液晶セル1と照明系2との間のXY平面におけ
る相対的な位置関係を修正することができる。また、画
像処理装置4は、図2(A)、(B)又は(D)の検出
画像に基づいて、そのスリット光の強度が等しくなるよ
うに照明系2のオートフォーカス機構25に両スリット
光の強度の差分信号を出力して、照明系2のフォーカス
位置を調整している。
の映像信号を入力し、それを画像処理して、図2
(A)、(B)又は(D)のような映像をモニタ5に出
力する。モニタ5にはこのような映像が表示されるの
で、オペレータはこの映像を確認しながら、内部構造の
存在しない箇所に照明系2からのスリット光が投射され
るように液晶セル1と照明系2との間のXY平面におけ
る相対的な位置関係を修正することができる。また、画
像処理装置4は、図2(A)、(B)又は(D)の検出
画像に基づいて、そのスリット光の強度が等しくなるよ
うに照明系2のオートフォーカス機構25に両スリット
光の強度の差分信号を出力して、照明系2のフォーカス
位置を調整している。
【0014】また、画像処理装置4は、図2(A)又は
(B)の検出画像に基づいて、スリットの長手方向に図
2(C)のようなスリット光の投影図を求め、両スリッ
ト光の間隔から画素電極12と画素電極15との間のギ
ャップgを算出し、そのギャップgを加圧力制御手段6
に供給する。なお、図2(D)のように、スリット光が
分断された場合には、図2(E)のような投影図に基づ
いて内側のピーク間距離をギャップgとして算出する。
(B)の検出画像に基づいて、スリットの長手方向に図
2(C)のようなスリット光の投影図を求め、両スリッ
ト光の間隔から画素電極12と画素電極15との間のギ
ャップgを算出し、そのギャップgを加圧力制御手段6
に供給する。なお、図2(D)のように、スリット光が
分断された場合には、図2(E)のような投影図に基づ
いて内側のピーク間距離をギャップgとして算出する。
【0015】加圧力制御手段6は、第1及び第2のガラ
ス基板11及び17に加える圧力を調整する。すなわ
ち、本発明の実施の形態では、図示していないが、第1
及び第2のガラス基板11及び17に加える圧力をガラ
ス基板の所定領域で種々異ならせることができるよう
に、複数の加圧手段によってガラス基板に圧力を加える
ようになっており、画像処理手段4からのギャップgを
検出しながら、適当なギャップgとなるように複数の加
圧手段を加圧力制御手段6で制御するようになってい
る。
ス基板11及び17に加える圧力を調整する。すなわ
ち、本発明の実施の形態では、図示していないが、第1
及び第2のガラス基板11及び17に加える圧力をガラ
ス基板の所定領域で種々異ならせることができるよう
に、複数の加圧手段によってガラス基板に圧力を加える
ようになっており、画像処理手段4からのギャップgを
検出しながら、適当なギャップgとなるように複数の加
圧手段を加圧力制御手段6で制御するようになってい
る。
【0016】なお、上述の実施の形態では、モニタを使
用してオペレータが目視で内部構造の存在の有無を確認
する場合について説明したが、モニタを見ながら内部構
造の存在しない部分のギャップを測定するようにしても
よい。また、モニタを省略して画像処理装置4で検出画
像及びその投影図に基づいてギャップを検出するように
してもよいことは言うまでもない。
用してオペレータが目視で内部構造の存在の有無を確認
する場合について説明したが、モニタを見ながら内部構
造の存在しない部分のギャップを測定するようにしても
よい。また、モニタを省略して画像処理装置4で検出画
像及びその投影図に基づいてギャップを検出するように
してもよいことは言うまでもない。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、液晶セル内部構造の有
無に関係なく、どの位置でも画素電極間のギャップを検
出することができるという効果がある。
無に関係なく、どの位置でも画素電極間のギャップを検
出することができるという効果がある。
【図1】 本発明のギャップ検出方式の概略構成を示す
図である。
図である。
【図2】 図1のモニタに表示される検出画像の一例を
示す図である。
示す図である。
1…液晶セル、11,17…ガラス基板、12,15…
画素電極板、13,14…配向膜、16…カラーフィル
タ膜、2…照明系、21…半導体レーザ、22,24…
集光レンズ、23…シリンドリカルレンズ、25…オー
トフォーカス機構、3…検出系、31…検出レンズ、3
2…CCD受光素子、4…画像処理装置、5…モニタ、
6…加圧力制御装置
画素電極板、13,14…配向膜、16…カラーフィル
タ膜、2…照明系、21…半導体レーザ、22,24…
集光レンズ、23…シリンドリカルレンズ、25…オー
トフォーカス機構、3…検出系、31…検出レンズ、3
2…CCD受光素子、4…画像処理装置、5…モニタ、
6…加圧力制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA22 BB02 BB22 CC25 FF01 FF04 FF41 GG06 HH05 HH12 JJ02 JJ03 JJ25 JJ26 LL08 LL22 NN20 QQ29 QQ31 SS02 SS13
Claims (3)
- 【請求項1】 スリット光を液晶セルの表面に所定の傾
斜角で投射する照明系と、 前記液晶セル内部の各面で反射する反射スリット光を受
光する検出系と、 前記検出系からの検出信号を画像処理して各反射スリッ
ト光の投影パターンを作成する画像処理手段と、 前記画像処理手段によって作成された投影パターン間の
距離を測定することによって、前記液晶セル内の画素電
極板及び対向電極板間のギャップを検出する検出手段と
を備えたことを特徴とするギャップ検出方式。 - 【請求項2】 前記照明系は、前記検出系からの検出信
号に基づいて前記照明系から投射されるスリット光のフ
ォーカス位置を制御するオートフォーカス手段を備えた
ことを特徴とする請求項1に記載のギャップ検出方式。 - 【請求項3】 前記検出手段によって検出されたギャッ
プに基づいてその検出位置近傍における前記液晶セルに
対する加圧力を制御する加圧力制御手段を備えたことを
特徴とする請求項1に記載のギャップ検出方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10298143A JP2000121326A (ja) | 1998-10-20 | 1998-10-20 | ギャップ検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10298143A JP2000121326A (ja) | 1998-10-20 | 1998-10-20 | ギャップ検出方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000121326A true JP2000121326A (ja) | 2000-04-28 |
Family
ID=17855762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10298143A Pending JP2000121326A (ja) | 1998-10-20 | 1998-10-20 | ギャップ検出方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000121326A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012233880A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-29 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
JP2016156830A (ja) * | 2011-04-19 | 2016-09-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板検査装置及び基板検査装置の調整方法 |
-
1998
- 1998-10-20 JP JP10298143A patent/JP2000121326A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012233880A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-29 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
JP2016156830A (ja) * | 2011-04-19 | 2016-09-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板検査装置及び基板検査装置の調整方法 |
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