JP3645629B2 - 液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する。)の2枚のガラス基板間隔を制御するスペーサの分布を測定する液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、LCDパネルの2枚のガラスの間隔は、TFT−LCDなら5μm、位相差を利用したSTN−LCDでは1μm程度であり、この間隔は、最適の値に保てないとLCDパネルの表示性能に著しい影響が出るため、厳しく管理されている。
【0003】
このことから、LCDパネルの製造過程で、ガラス基板の間隔を制御するためガラスや樹脂からなる同一径の球状または糸状のスペーサを基板上全面に散布するようにしているが、かかるスペーサの分布状態をチェックし、スペーサが固まっていないか、凝集していないかなどを確認することが重要である。
【0004】
そこで、従来では、顕微鏡により標本を観察しながら作業者がスペースの数を計数することが行われていたが、スペーサ数が多い場合は時間がかかり、また数え間違えることも多かった。
【0005】
そのため、顕微鏡からの観察像をモノクロのCCDカメラより撮像することで取り込み、この撮像画像を処理し、スペーサのみを取り出しマップ状に表わしたり、画面中のスペーサ数を計測したりする方法が実用化されている。
【0006】
このような方法をLCDパネルの製造過程に適用すると、まず、LCDの片側電極を構成するガラス基板にスペーサが散布された状態を計測するような場合、照明として落射の暗視野やリング照明を用いると、図6に示すようにモニター1の画面中にスペーサ2が暗い背景の中に明るく光ってみえる。
【0007】
そして、このようなモニター1の画面中のスペーサ2をカウントする最も簡単な処理として2値化法が用いられる。図7は、上述の図6に示す画面中のA−A上での明るさの変化を示すもので、ここで、所定の2値化レベルLを設定することにより所定輝度以上の明点のみを残すようにし、次いで、スペーサ2の大きさを考慮して、ある一定ドット以上と以下を切り取ることにより、図8に示すようにスペーサ2のドットのみを残し、これをカウントするようにしている。
【0008】
しかして、このような方法は、例えば、STN−LCDのように電極が透明で、構成の簡単なものについては有効であるが、TFT−LCDのようにガラス基板上に形成されるトランジスタ部の形状が複雑で、かつ高さ寸法も大きくなるもので、さらに、配線を構成するAlやCrにノイズの明点が多く発生するものでは、スペーサとノイズの区別が極めて難しくなり、スペーサの正確な分布測定が難しくなる。
【0009】
そこで、このようなTFT−LCDについては、一般に透過明視野を用いることにより図9に示すような撮像画像を得るようにしている。同図において、3は配線部、4はトランジスタ部で、これら配線部3およびトランジスタ部4の斜線部は暗部で表示され、残りの明部にスペーサ2が暗点として表示される。
【0010】
ところが、このようにすると暗部となる配線部3およびトランジスタ部4に重なる部分のスペーサ2は見えないことになるため、この状態で実際のスペーサ分布数を求めるには、全体面積を考慮する必要があり、このため、下式により求めるようにしている。
【0011】
実際の分布数=スペーサ2のカウント数×(全体の面積−斜線部)
なお、透過偏光の場合は、スペーサ2が透過明視野とは逆に光ってみえるが、この場合、配線部3部分も真黒になり、面積計算をすることができない。
【0012】
次に、2枚のガラス基板が貼り合わされた状態で、スペーサの散布状態を計測する場合は、落射の暗視野では、図10に示すように2枚のガラス基板5、6の間の空気層のため、落射暗視野照明光7がスペーサ2に届きにくくなり、スペーサ2での散乱光がとれないため使用できず、この場合は、透過の明視野が採用される。
【0013】
そして、液晶が封入されたのちにスペーサの散布状態を計測する場合は、スペーサ2と液晶の屈折率があまり変わらないので落射でみても透過で見てもスペーサ2のコントラストが低下して、画像処理の2値化レベルが微妙なものになるが、ここまでは充分に処理できる範囲にある。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
ところで最近のLCDパネルは、特にTFT−LCDについては、ほとんどカラーになっており、このため、カラーフィルタを形成したガラス基板(CF基板)に散布されたスペーサや、片方のガラス基板にCF基板を用いたLCDパネルのスペーサの分布を測定することが増えている。
【0015】
ところが、CF基板でのRGBの各フィルタは、光源の波長特性により透過率や反射率が異なるため、各フィルタ部の色によって明るさに大きな差が生じてしまうことがある。このため、例えば、図11に示すように、ブラックマトリクス71による暗部(斜線部)、RGBの各カラーフィルタ8、9、10による明部、そして、これら各フィルタ8、9、10の明部に暗点で表されるスペーサ2からなる画面が得られたような場合、同画面中のB−B上での明るさの変化は、図12に示すようになることがある。
【0016】
このような場合は、2値化を行うときの2値化レベルをどのように設定してもスペーサを取り残すことになり、また、2値化レベルを設定可能な場合でも、その設定可能な2値化レベルの範囲が狭くなるため、最適な2値化レベルを決定するのが困難になる。さらに、2値化レベルの設定可能範囲が狭いと、照明光の強さなどの測定条件の変化により取り込む画像の状態が変化する度に2値化レベルの設定をやり直ししなければならない。
【0017】
このため、各フィルタ部を含めた視野全体のスペーサ数を計数するには、2値化レベルを変えて数回に分けて計測を行うか、2値化レベルを頻繁に変更しながら計測を行うなど面倒な操作を必要とする問題点があった。
【0018】
また、LCDパネルとして特に液晶が封入された後は、さらにスペーサ像のコントラストが悪化し、2値化処理が難しくなるという問題点もあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、RGBの各カラーフィルタでのコントラストを整え、スペーサ分布の安定した測定を実現できる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法は、RGBのカラーフィルタを形成したガラス基板と透明電極を形成したガラス基板との間にスペーサを散布してなる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法において、透過照明光源より検査対象である前記液晶ディスプレイに対して透過照明を照射し、前記透過照明光源の光路中に挿入されたカラーバランスフィルタにより前記各RGBのカラーフィルタの透過光量がほぼ一定になるように調整した状態で前記各RGBを透過した光をCCDカメラで撮像し、前記CCDカメラからの画像を画像処理して前記透明基板上の背景や配線パターンを除去して前記スペーサを分離するようにしている。
【0020】
また、本発明の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法は、RGBのカラーフィルタを形成したガラス基板と透明電極を形成したガラス基板との間にスペーサを分布してなる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法において、
透過照明光源より検査対象である前記液晶ディスプレイに対して透過照明を照射し、前記透過照明光源の光路中に挿入されたカラーバランスフィルタにより前記各RGBのカラーフィルタの透過光量がほぼ一定になるように調整した状態で前記各RGBのカラーフィルタを透過した光をカラーCCDカメラで撮像し、これらRGBの3画像を合成した画像に対して画像処理して前記透明基板上の背景や配線パターンを除去して前記スペーサを分離するようにしている。
【0022】
この結果、本発明によれば、光源の分光特性を補償し、RGBの各フィルタでのコントラストを整えることが可能になり、画像処理の際の2値化レベルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
【0023】
また、本発明によれば、偏光子と検光子により封入された液晶内のスペーサがコントラストよく表われるようになり、2値化処理が容易になり、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
【0024】
また、本発明によれば、RGBの3画像の明るさがほぼ揃うように各RGBの画像の各明るさを調整し、撮像画像をRGBの3画像として取り込み合成することで、RGBの各フィルタでの明るさを揃えることができ、画像処理の際の2値化レベルの設定が容易になり、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明が適用される偏光観察顕微鏡の概略構成を示している。図において、11は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体11には、観察像を撮像するCCDカメラ12を有し、このCCDカメラ12に画像処理装置13を接続し、この画像処理装置13にモニター14を接続している。
【0026】
顕微鏡本体11は、透過光源15と落射光源16を有している。この場合、これら透過光源15および落射光源16には、ハロゲンランプが用いられる。
透過光源15からの光束を視野絞り(FS)を介してミラー17で反射させ、開口絞り(AS)、コンデンサ18を介してステージ19上の標本20に照射するようにしている。そして、標本20を透過した光束を対物レンズ21に与え、この対物レンズ21からの観察光をハーフミラー22、結像レンズ23を介して接眼レンズ24およびCCDカメラ12に与えるようにしている。一方、落射光源16からの光束を開口絞り(AS)、視野絞り(FS)を介してハーフミラー22で反射させ、対物レンズ21を介してステージ19上の標本20に照射するようにしている。そして、標本20で反射された光束を対物レンズ21に与え、この対物レンズ21からの観察光をハーフミラー22、結像レンズ23を介して接眼レンズ24およびCCDカメラ12に与えるようにしている。
【0027】
しかして、顕微鏡本体11のステージ19上に標本20としてRGBのカラーフィルタを形成したガラス基板(CF基板)や片方のガラス基板にCF基板を用いたLCDパネルが載置されると、まず、CCDカメラ12が受けるRGBの各フィルタからの光量Lは、
L=光源の分光光量×R、G、Bの分光透過率×CCDの感光特性
として求められる。
【0028】
従って、RGBの各フィルタからの光量Lは、これら光源の分光光量、RGBの各フィルタの分光透過率およびCCDの感光特性により影響を受けることになるが、このうちのCCDカメラ12の感光特性については、RGBそれぞれに対して一定になっているので、これ以外の光源の分光光量とRGBの各フィルタの分光透過率が問題になる。
【0029】
そして、RGBの各フィルタの分光透過率は、図2に示すようになり、これらの積算透過率も同図に示すようになっている。また、光源の分光光量については、透過光源15にハロゲンランプを使用していることから、その分光特性は、図3に示すようになっている。
【0030】
しかして、図2からも明らかなように積算透過率は、可視域でほぼ一定になるのに対し、光源の分光光量については、図3に示すハロゲンランプの場合、可視領域0.4〜0.8μmでは、波長の短い方から長い方に対して直線的に光量が上昇することから、このようなハロゲンランプの分光特性が、RGBの各フィルタからの光量の一定化に障害になっていることが理解できる。
【0031】
そこで、本発明では、このようなハロゲンランプの特性を補償してCCDカメラ12でRGBの各フィルタからの光量が一定になるようなフィルタを透過光源15の光路に挿入することで、この問題を解決している。具体的には、透過光源15からの光路上のミラー17とコンデンサ18の間に、RGBの各フィルタの透過率と光源の分光特性を勘案したカラー(ライト)バランスフィルタ25を挿入可能にしている。この場合のカラーバランスフィルタ25としては、図4中(a)で示すような特性を有するLB−200を採用すればよい。
【0032】
これにより、透過光源15をなすハロゲンランプの分光特性を補償し、RGBの各フィルタでのコントラストを整えることが可能となることから、画像処理の際の2値化レベルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定した測定を実現できる。
【0033】
次に、LCDパネルに液晶が封入されると、スペーサ像のコントラストが悪化して2値化処理が難しくなることは、先に述べた通りであるが、この場合、スペーサは、球または円柱状をなしていて、強い偏光特性を持っていることと、液晶自体が封入された状態で偏光軸(方向)を持つことから、これらを利用することで高いコントラストのスペーサ像が得られる。
【0034】
そこで、本発明では、透過光源15からの光路上のミラー17とコンデンサ18の間に、偏光子(POL)26を挿入可能にするとともに、ハーフミラー22と結像レンズ23の間に検光子(ANA)27を挿入可能にしている。そして、偏光子(POL)26の偏光方向とLCDパネルの偏光方向を合わせた上で、検光子(ANA)27を回転させて、この検光子(ANA)27の偏光方向と偏光子(POL)26の偏光方向を合わせるようにする。すると、明るいバックに暗いスペーサがコントラストよく表われるようになり、その後の2値化処理をスムーズに行うことができる。
(第2の実施の形態)
この場合、顕微鏡本体11は、図1で述べたと同様なものが用いられ、また、CCDカメラ12には、カラーCCDカメラが用いられ、このカラーCCDカメラ12より画像処理装置13に対してRGBの3画像を各別に取り込むようにしている。
【0035】
しかして、図示しないスペーサを散布されたガラス基板や、ガラス基板を張り合わせたLCDパネルなどの標本20が、顕微鏡本体11のステージ19上に載置され、作業者が接眼レンズ24またはモニター14を見ながら、透過照明15または落射照明16によって標本のスペーサを観察可能な状態にする。
【0036】
この時、標本20のスペーサは、透過照明15の場合は、明るい背景に黒い点として、また、落射照明16の場合は、暗い背景に白く光って見える。
この状態から、画像処理装置13の制御用のパソコンにより画像処理を開始すると、画像処理装置13は、カラーCCD12からの画像をRGBの3画面として取り込むようになる。
【0037】
この場合、画像処理装置13に取り込まれる3つの画像は、R画面では、Rフィルタ部がコントラストのよい画像になっており、G画面では、Gフィルタ部がコントラストのよい画像になっており、そして、B画面では、Bフィルタ部がコントラストのよい画像になっている。
【0038】
つまり、RGBの3画面は、それぞれRGBフィルタ部に対する明るさが図5(a)〜(c)に示すようになる。そして、これら取り込んだ3画像の各明るさを、例えば、R画像は1倍、G画像はm倍、B画像はn倍とし、このようにして得られた3画面を足し合わせて合成し、図5(d)に示すような1画面とする。この場合、各画像の倍数1、m、nを旨く選ぶことによって、カラーフィルタの各フィルタ部の明るさを揃えることができる。
【0039】
これによって、画像処理の際の2値化レベルの設定が容易になって、スペーサ分布の安定した測定を実現できることになる。つまり、このようにして合成された画像を用いて、画像のフィルタリングや2値化などの画像処理を行い、背景やごみ、配線パターンなどを取り除いて、スペーサの部分だけが残るようにし、そして、残った部分の数をカウントし、この結果を出力する。
【0040】
従って、このようにすれば、取り込んだRGBの3画像を用い、カラーフィルタ標本の各フィルタ部の明るさの揃った画像を合成することにより、画像処理の際の2値化レベルが設定可能になるので、カラーフィルタ標本のスペーサ分布の安定した測定を実現できる。また、2値化レベルの設定可能範囲が広がるため、2値化レベルの設定が容易になり、さらに照明光の強度の変化などの測定条件の変化にも強くなる。その上、色合いの違うカラーフィルタ標本を測定する場合、光学部品やハードウェアの追加、交換なしにソフトウェア的に変更(倍数1、m、nの変更)するだけで対応できる。
【0041】
なお、この実施の形態では、画像処理装置への取り込みは、RGBの3画像を取り込んでいるが、カラー画像として取り込んだ後に、画像処理装置内部で、3画像に分離するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に適用される顕微鏡の概略構成を示す図。
【図2】 CF基板のRGBの各フィルタの分光透過率を示す図。
【図3】 光源としてのハロゲンランプの分光特性を示す図。
【図4】 第1の実施の形態に適用されるカラーバランスフィルタの特性を示す図。
【図5】 本発明の第2の実施の形態を説明するための図。
【図6】 従来のモニター画面中に表示されるスペーサの状態を示す図。
【図7】 図6に示す画面中のA−A上での明るさの変化を示す図。
【図8】 処理画像の一例を示す図。
【図9】 TFT−LCDについて透過明視野を用いた場合の画像を示す図。
【図10】 2枚のガラス基板が貼り合わされた状態での落射の暗視野を説明する図。
【図11】 CF基板でのRGBの各フィルタ上に表示されるスペーサの状態を示す図。
【図12】 図11に示す画面中のB−B上での明るさの変化を示す図。
【符号の説明】
11…顕微鏡本体、
12…CCDカメラ、
13…画像処理装置、
14…モニター、
15…透過光源、
16…落射光源、
17…ミラー、
18…コンデンサ、
19…ステージ、
20…標本、
21…対物レンズ、
22…ハーフミラー、
23…結像レンズ、
24…接眼レンズ、
25…カラー(ライト)バランスフィルタ、
26…偏光子(POL)、
27…検光子(ANA)。
Claims (6)
- RGBのカラーフィルタを形成したガラス基板と透明電極を形成したガラス基板との間にスペーサを散布してなる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法において、
透過照明光源より検査対象である前記液晶ディスプレイに対して透過照明を照射し、前記透過照明光源の光路中に挿入されたカラーバランスフィルタにより前記各RGBのカラーフィルタの透過光量がほぼ一定になるように調整した状態で前記各RGBを透過した光をCCDカメラで撮像し、前記CCDカメラからの画像を画像処理して前記透明基板上の背景や配線パターンを除去して前記スペーサを分離することを特徴とする液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。 - 液晶が封入された前記液晶ディスプレイを測定する際には、この液晶ディスプレイを透過照明する透過光源側と前記液晶ディスプレイのカラーフィルタを透過した光を撮像するCCDカメラ側に偏光手段を挿入し、前記一方の偏光手段の偏光方向と前記液晶ディスプレイの偏光方向とを合わせた後、前記他方の偏光手段の偏光方向を前記一方の偏光手段の偏光方向に合わせることを特徴とする請求項1に記載の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。
- 前記CCDカメラにより前記各RGBのカラーフィルタのR画像、G画像、B画像の3画像を各別に撮像し、これら3画像を画像処理して1画面に合成することを特徴とする請求項1に記載の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。
- 前記カラーバランスフィルタは、前記透過照明光源の分光特性を補償して前記各RGBのカラーフィルタを透過する透過光量が一定になるように調整することを特徴とする請求項1に記載の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。
- RGBのカラーフィルタを形成したガラス基板と透明電極を形成したガラス基板との間にスペーサを分布してなる液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法において、
透過照明光源より検査対象である前記液晶ディスプレイに対して透過照明を照射し、前記透過照明光源の光路中に挿入されたカラーバランスフィルタにより前記各RGBのカラーフィルタの透過光量がほぼ一定になるように調整した状態で前記各RGBのカラーフィルタを透過した光をカラーCCDカメラで撮像し、これらRGBの3画像を合成した画像に対して画像処理して前記透明基板上の背景や配線パターンを除去して前記スペーサを分離することを特徴とする液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。 - 前記各RGBの3画像の明るさにほぼ揃うように各画像の明るさの倍率を設定することを特徴とする請求項5に記載の液晶ディスプレイのスペーサ分布測定方法。
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