JP3625888B2 - 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、2枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液晶パネルにおいて、これら2枚のガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼合せ精度測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルは、基本的タイプとしてAM(アクティブマトリクス)タイプのものとSM(単純マトリクス)タイプのものに分けられる。
このうち、AMタイプのものは、そのほとんどがカラー化しており、CFガラスと呼ばれる透明ガラスにBCrを蒸着したものに、無数の整列した透過窓を設けたブラックマトリクス(BM)とRGB三色のカラーフィルターを形成したガラス板と、TFTガラスと呼ばれる透明ガラスにIC製造とほぼ同様なフォトリソグラフィ加工によって作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ(TFT)と配線(ゲート線および信号線)を表面に作り込んだガラス板とを液晶を介在して貼合せるようにしている。
【0003】
他方、SMタイプのものは、2枚のガラスに直線の配線を一定のピッチで規則正しく作り、この配線が直交するようにして液晶を介在させて貼合せるようにしている。このSMタイプのカラーパネルの場合も、AMタイプのものと同様にして一方のガラス板にBCrを蒸着したCFガラスとブラックマトリクス(BM)を設けている。
【0004】
ところで、このような液晶パネルにおいて、ブラックマトリクス(BM)の役目は、(a)画素電極周辺で表示がコントロールできない部分を通過する光を遮蔽し、パネルのコントラスト(色付き、明るさなど)を向上させて、画像の品位を保つこと、(b)AMパネルではTFT部にあたる光がトランジスタ機能を阻害することからTFT部に光があたらないようにすることにある。
【0005】
そして、このようなブラックマトリクス(BM)の役目を満たすには、TFT部とブラックマトリクスの位置関係を正確に合致させて貼付ける必要がある。ところが、実際は、TFT部とブラックマトリクス(BM)の貼合せに誤差が発生するため、ブラックマトリクス側のBCr部(=不透過部)に貼合せシロを設けて、TFT部より大きくなるようにしている。このようにして貼合せシロを設ければ、貼合せ精度が多少落ちても良いことになるるが、貼合せシロを大きくとると、光の透過部面積(=開口率)が小さくなり、パネルを透過する光が減少しパネルが暗くなって画像品位を落とすことになる。
【0006】
今後、液晶パネルはVGAからSVGAに、さらにXGAへ移行し、益々画素数が多くなる傾向にあるが、これにともない1画素当たりの面積が小さくなると、現在のような貼合せ精度による貼合せシロでは、VGAもXGAでも同じ面積分を取ることになると、開口率は一拠に減少し、画像品位がさらに低下してしまうことになる。
【0007】
図6は、一般的な液晶パネルの断面を示すもので、CFガラスと呼ばれ無数の整列した透過窓を明けたブラックマトリクス(BM)2とRGB三色のカラーフィルター3を設けた透明板ガラス1とTFT(電極)ガラスと呼ばれフォトリソグラフィ加工などの工程によって作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ(TFT)5と該TFT5のゲート線6と信号線7を表面に作り込んだ透明板ガラス4を液晶8を介在して貼合せるようになっている。そして、この場合のパターン・レイアウトは、図7に示すように1画素3ドット構成で、信号線7の幅10μm、ITO9のエッジと信号線7の間隔5μm、ブラックマトリクス(BM)2の窓2aのエッジとITO9のエッジとの重なり、つまり貼合せシロを10μmにしており、VGAと呼ばれるパネルでは640×480画素で、1画素の大きさは、約100×300μmである。これがXGAのパネルになると、1024×768画素で、1画素の大きさは、70μ×200μmとなる。このことは、現在の開口率が35%程度出あるものが、貼合せ精度を現状通りとすると開口率は10%程度にもなってしまい、パネルとしては使いものにならない。
【0008】
このため、現状では、配線を細くすることやガラスの貼合せ精度をどのように上げていくかが大きな問題となっており、これの解決手段として、顕微鏡を使用してガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼合せ精度測定装置が考えられている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この貼合せ精度を顕微鏡を用いて測定すると、ガラス1または4が介在した状態でTFT5やブラックマトリクス(BM)2を観察するようになるため、これらガラス1、4による収差によって、対物レンズの倍率として、特に20×以上のものを用いると、像がぼけてしまい、また、焦点深度が浅いため、TFT5にピントを合わすとブラックマトリクス(BM)2が見えなくなってしまう。このため、対物レンズの倍率として、10×のものを使用している。しかし、10×のものは、収差の影響も小さく、かつTFT5やブラックマトリクス(BM)2がともに焦点深度内に位置するため像観察が可能になるが、倍率が低いことから、接眼の目盛で読むにしろ画像処理するにしろ測定が困難である。
【0010】
つまり、以上の点をまとめると、
(a)使用される対物レンズの倍率が低いことから、収差の影響も小さく、TFT5やブラックマトリクス(BM)2がともに焦点深度内に位置し、同時観察が可能であるが、如何せん倍率が低いことから測定となると困難があった。
【0011】
(b)顕微鏡として落射観察のものを用いると、TFT5部分は鮮明ではあるが、ブラックマトリクス(BM)2をCFガラス1を介して観察するためにブラックマトリクス(BM)のコントラストが悪くなり観察しずらかった。そこで、ブラックマトリクス(BM)2のコントラストを上げるには透過観察のものを用いるとよいが、このようにするとTFT5部分がブラックマトリクス(BM)2のCr部の影で見えなくなってしまう。このため、最初に落射観察によりTFT5部分にスケールを合せた後に、透過観察に切換えてブラックマトリクス(BM)2の窓にスケールを合せるような面倒な操作を行うことが必要となる。
【0012】
(c)像のボケを我慢して、対物レンズに20×以上のものを使うと、焦点深度が浅いためTFT5とブラックマトリクス(BM)2が同時に見えないことから、上述の落射と透過観察の組合せと同じような作業を必要としている。
【0013】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、精度の高い貼合せ精度の測定を実現することができる液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ブラックマトリックスを形成したガラス基板と薄膜トランジスタ及び配線を形成したガラス基板を貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記ガラス基板の厚みによる光学収差を補正した対物レンズと、前記対物レンズを通して前記液晶パネルに対して落射照明する落射照明手段と、前記対物レンズの反対側から前記液晶パネルに対してコンデンサレンズを通して透過照明する透過照明手段と、前記落射照明手段により上側の前記ガラス基板に落射照明を照射し、該上側のガラス基板に前記対物レンズをピント合わせして得られる画像と、前記透過照明手段により下側の前記ガラス基板に透過照明を照射し、該下側のガラス基板に前記対物レンズをピント合わせして得られた画像とを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記上側のガラス基板画像及び前記下側のガラス基板画像を重ね合わせて表示する画像重ね合せ手段とにより構成している。
【0017】
【作用】
この結果、本発明によれば、液晶パネルの貼り合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズを用いることにより、高倍率の対物レンズを使用して精度の高いピント合わせによる高品質の重ね合わせ画像を得ることができる。また、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察を切り換えることにより、コントラストの高い画像が得られ、高い測定精度を実現できる。しかも、これら落射観察及び透過観察による画像を重ね合わせて表示することにより、どの部分を計測しているかを目視で確認できる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を図面に従い説明する。
図1は同実施例の概略構成を示している。
11は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体11は、透過または落射観察を切換可能にしたものである。
【0019】
このような顕微鏡本体11の下部には、ベース12を有し、このベース12に透過照明用光源13を設け、また、顕微鏡本体11の上部には、落射照明用光源14を設けていている。これら光源13、14の点灯は、透過または落射観察に応じて切り換えられるようになっている。
【0020】
そして、顕微鏡本体11下部の透過照明用光源13からの光束は、ベース12内に取り込まれ、ミラー15を介して垂直方向の観察光軸に入射し、また、顕微鏡本体11上部の落射照明用光源14からの光束も後述する対物レンズ19を介して垂直方向の観察光軸に入射するようにしている。
【0021】
顕微鏡本体11の中間部に、コンデンサレンズ16とステージ17を配設している。そして、ミラー15を介して観察光軸に入射される光源13からの光束は、コンデンサレンズ16を通してステージ17上の標本18を透過照明し、また、対物レンズ19を介して観察光軸に入射される光源14からの光束は、ステージ17上の標本18を落射照明するようにしている。
【0022】
観察光軸上に配置される対物レンズ19は、レボルバ20に支持され、ステージ17上の標本18からの観察光を対物レンズ19を介して鏡筒21に与え、接眼レンズ22で拡大観察にするとともに、TVカメラ23により撮像可能にしている。
【0023】
この場合、レボルバ20は、対物レンズ19として、上述した液晶パネルの貼合せガラスの厚さによる光学収差を補正した20×、50×、100×のものと、補正しない観察用の5×、10×のものが設けられている。TVカメラ23は、高精細モノクロタイプのものが用いられる。
【0024】
そして、TVカメラ23で撮像された画像信号を画像重ね合せ装置24に入力するようにしている。この画像重ね合せ装置24には、モニタ25、線巾測定装置26を接続している。
【0025】
この場合、画像重ね合せ装置24は、TVカメラ23で撮像された画像全部または選択した一部画像を重ね合せてモニタ25に表示できるようにしている。線巾測定装置26は、モニタ25上に重ね合させ表示された画像の指定部分の距離を測定できるものである。
【0026】
しかして、このような貼合せ精度測定装置により貼合せ誤差を測定するには、まず、ステージ17上に、標本18として上述した図6に示す液晶パネルを電極基板側(TFTガラス4側)を上(対物レンズ19側)にして載置し、この状態で、顕微鏡本体11上部の落射照明用光源14を点灯して落射照明を行う。
【0027】
そして、レボルバ20を操作して測定に適した倍率の対物レンズ19を選択し、上述した図7に示すパターンのゲート線6にピントを合わせる。この時、接眼レンズ22での拡大観察で像がはっきり見えるのは、図2に示すようにゲート線6、TFT5、信号線7の部分が明部となり、ブラックマトリクス(BM)2は、焦点深度外にある。
【0028】
この状態から、TVカメラ23で撮像された画像信号を画像重ね合せ装置24に取り込み、画像の全部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ25に入力する。図2では、破線で囲んだ信号線7の一部のみを設定範囲としてモニタ25に入力している。
【0029】
次に、顕微鏡本体11下部の透過照明用光源13を点灯し、標本18に対し透過照明に切換える。そして、今度は、ブラックマトリクス(BM)2にピントを合わせる。この時、接眼レンズ22での拡大観察では、図3に示すようにブラックマトリクス(BM)2の窓2aのみが明るく、これ以外は真暗な像として見える。
【0030】
ここでも、TVカメラ23で撮像された画像信号を画像重ね合せ装置24に取り込み、画像の全部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ25に入力する。図3の場合は、破線で囲んだブラックマトリクス(BM)2の窓2aの一部のみを設定範囲としてモニタ25に入力している。
【0031】
これらモニタ25に入力された図2および図3の画像は、図4に示すようにモニタ25上で重ね合わされ表示される。
そして、モニタ25上でカーソルを作り、これを信号線7の一方端aに合わせ、線巾測定装置26でのスケールを0にセットし、その後にカーソルを信号線7の他方端b、ブラックマトリクス(BM)2の窓2aの一方端cおよび他方端dにそれぞれ合わせながら、a−b間の距離l1 、a−c間の距離l2 、a−d間の距離l3 を測定する。そして、これらの測定結果から信号線7の中心eとブラックマトリクス(BM)2の窓2aの中心fの間の距離Lを求め、これと本来あるべき値L0 と比較することにより貼合せ誤差を割り出すようになる。
【0032】
なお、ここでは、ブラックマトリクス(BM)2と信号線7のズレのみ測定しているが、本来は、ブラックマトリクス(BM)2とITO9のズレも測定する必要がある。ところが、ITO9は信号線7と同様にリソグラフィ工程で作られるため、これらのズレはコンマ数μm程度となり、敢えて測定しなくてともよい。
【0033】
従って、このような実施例によれば、ピント合わせに用いられる対物レンズ19として、液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正したものを用いることにより、高倍率のものを使用でき、精度の高いピント合わせによる高品質の画像を得られる。また、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察を切り換えるようにして、それぞれコントラストの高い画像が得られるので、これらの重ね合わせ画像から精度の高い測定が実現できる。さらに、これら落射観察および透過観察による画像を重ね合わせて表示すると、そのままこれら画像の距離関係の測定ができるので、どの部分を計測しているかを目視で確認しながら測定作業を進めることができ、作業の効率化を図ることができる。さらに、画像の一部について設定された画像範囲で互いの距離関係の測定を行うことができるので、測定しやすい部分での測定を行うことができる。
【0034】
なお、実際の貼合せ精度の測定では、かなりの部分が自動化される。例えば、TVカメラ23で撮像される画像中の取り込むべき範囲を設定しておけば、モニタ15に表示すべき画像範囲をTV画像から自動的に抽出することができ、しかも、ピント合せについても設定範囲の輝度分布をあらかじめ記憶しておくことにより、この輝度分布に最も近いピント位置にオートフォーカスするようにもできる。また、上述の距離l1 、l2 、l3 の測定は、図2および図3の画像より得られた図4に示すモニタ画像に対するCCDでの受光量によっても実現できる。この場合、図5(a)は、図4に示すモニタ画像のCCDの受光量グラフであり、この受光量グラフを微分することで、同図(b)に示すように信号線7およびブラックマトリクス(BM)2の窓2aの各エッジがf´(a)=0として表われることから、これらの部分を検出することで、それぞれの距離l1 、l2 、l3 を測定することもできる。
【0035】以上、実施例に基づいて説明したが、本発明中には以下の発明が含まれる。2枚のガラス基板を貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記ガラス基板の厚みによる光学収差を補正した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記液晶パネルに対して落射照明する落射照明手段と、前記対物レンズの反対側から前記液晶パネルに対して透過照明する透過照明手段と、前記落射照明手段により照射された落射照明の下で前記ガラス基板の一方に前記対物レンズをピント合わせして得られる画像と、前記透過照明手段により照射された透過照明の下で前記ガラス基板の他方に前記対物レンズをピント合わせして得られた画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記一方の画像及び前記他方の画像を重ね合わせて表示する画像重ね合わせ手段と、を具備したことを特徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
【0036】
このようにすれば、液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズを用いることにより、高倍率の対物レンズを使用することができ、精度の高いピント合わせによる高品質の画像を得られる。また、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察を切り換えることで、それぞれにより得られる画像コントラストを高めることができるので、これらの重ね合わせ画像から精度の高い測定が実現できる。さらに、これら落射観察および透過観察による画像を重ね合わせて表示することで、そのまま距離関係の測定ができることから、どの部分を計測しているかを目視で確認しながら作業を進めることができ、作業の効率化を図ることができる。
【0040】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、ピント合わせに用いられる対物レンズとして、高倍率のものを使用でき、精度の高いピント合わせによる高品質の画像を得られる。また、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察の切り換えにより、それぞれコントラストの高い画像が得られることから、これらの重ね合わせ画像から精度の高い測定が実現できる。さらに、これら落射観察および透過観察による画像を重ね合わせて表示することで、そのまま画像の距離関係の測定ができるので、どの部分を計測しているかを目視で確認しながら測定作業を進めることができ、作業の効率化を図ることができる。さらに、画像の一部について設定された画像範囲で互いの距離関係の測定を行うことができるので、測定しやすい部分での測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の概略構成を示す図。
【図2】一実施例の落射照明により得られた観察画像の一例を示す図。
【図3】一実施例の透過照明により得られた観察画像の一例を示す図。
【図4】一実施例の重ね合わせ画像を示す図。
【図5】重ね合わせ画像からの距離測定の一例を示す図。
【図6】一般的な液晶パネルの断面を示す図。
【図7】液晶パネルのパターン・レイアウトを示す図。
【符号の説明】
1…透明板ガラス、2…ブラックマトリクス(BM)、2a…窓、3…カラーフィルター、4…透明板ガラス、5…TFT、6…ゲート線、7…信号線、8…液晶、9…ITO、11…顕微鏡本体、12…ベース、13…透過照明用光源、14…落射照明用光源、15…ミラー、16…コンデンサレンズ、17…ステージ、18…標本、19…対物レンズ、20…レボルバ、21…鏡筒、22…接眼レンズ、23…TVカメラ、24…画像重ね合せ装置、25…モニタ、26…線巾測定装置。
Claims (5)
- ブラックマトリックスを形成したガラス基板と薄膜トランジスタ及び配線を形成したガラス基板を貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、
前記ガラス基板の厚みによる光学収差を補正した対物レンズと、
前記対物レンズを通して前記液晶パネルに対して落射照明する落射照明手段と、
前記対物レンズの反対側から前記液晶パネルに対してコンデンサレンズを通して透過照明する透過照明手段と、
前記落射照明手段により上側の前記ガラス基板に落射照明を照射し、該上側のガラス基板に前記対物レンズをピント合わせして得られる画像と、前記透過照明手段により下側の前記ガラス基板に透過照明を照射し、該下側のガラス基板に前記対物レンズをピント合わせして得られた画像とを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記上側のガラス基板画像及び前記下側のガラス基板画像を重ね合わせて表示する画像重ね合せ手段と、
を具備したことを特徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。 - 前記画像重ね合せ手段は、さらに前記撮像手段で撮像された前記各ガラス基板の配線画像とブラックマトリックス画像との重ね合せ画像の距離関係から上下2枚のガラス基板の貼合せ誤差を測定する測定手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
- 前記対物レンズは、焦点深度の短い20倍以上の高倍対物レンズであることを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
- 前記画像重ね合せ手段は、前記撮像手段で撮像した画像の一部の領域を設定して表示する機能を有することを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
- 前記対物レンズは、予め記憶された設定範囲の輝度精度に基づき、この輝度情報に最も近いピント位置にオートフォーカスすることを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
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JP04575395A JP3625888B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 |
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JPH08240410A JPH08240410A (ja) | 1996-09-17 |
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