JP2003139721A

JP2003139721A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2003139721A
Application number: JP2001339938A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Fujisaki; 暢夫藤崎
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-11-05
Filing date: 2001-11-05
Publication date: 2003-05-14
Anticipated expiration: 2021-11-05
Also published as: JP3929285B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基板検査に要する測定タクトタイムの短縮化、
及び装置本体の小型化を図ること。【解決手段】大型ガラス基板６を載置するステージ４１
と、このステージ４１上に載置される大型ガラス基板６
を跨いで設けられ、かつステージ１に対してＹ方向に移
動可能に設けられた検査ヘッド移動ステージ４６と、こ
の検査ヘッド移動ステージ４６の移動方向に対して垂直
方向（Ｘ方向）に移動可能に設けられ、かつ検査ヘッド
移動ステージ４６の移動方向と同一方向に所定の間隔で
配置された２つの検査ヘッド４７、４８とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイ
（ＦＰＤ）のガラス基板、カラーフィルタなどの大型ガ
ラス基板の欠陥検査に用いられる基板検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイのガラス基板は、年々
大型化が進んでおり、最近では１０００ｍｍを超えるサ
イズが出現している。この大型ガラス基板は、同一パネ
ルサイズに対する使用効率を高めるために、パネルサイ
ズに応じて９面、６面、４面など複数に多面取りされて
いる。

【０００３】このような大型ガラス基板の基板検査装置
には、例えば特願平６−３１４８５２号に記載されたも
のがある。この基板検査装置は、図６に示すようにベー
ス１上にＸ方向のガイドレール２を介して下ステージ３
が移動可能に設けられている。この下ステージ３上に
は、Ｙ方向のガイドレール４を介して上ステージ５が移
動可能に設けられている。この上ステージ５上には、大
型ガラス基板６が載置される。

【０００４】又、ベース１には、アーム７が設けられ、
このアーム７に対してガイドレール８を介して２つの光
学ヘッド９、１０が移動可能に設けられている。これら
光学ヘッド９、１０には、それぞれテレビジョンカメラ
（ＴＶカメラ）１１、１２が取付けられている。

【０００５】このような基板検査装置であれば、大型ガ
ラス基板６が面取りする個数やそのパターン間隔によっ
てサイズが変化するので、各光学ヘッド９、１０の間隔
が適宜パターン間隔等に合致するように調整される。

【０００６】各光学ヘッド９、１０の間隔がセットされ
ると、下ステージ３、上ステージ５のみを移動させるこ
とにより、大型ガラス基板６のおける隣り合う２つのパ
ターンの同一部分を同時に観察する。

【０００７】近年、液晶ディスプレイの生産量の急速な
伸びと共に、基板検査に要する測定タクトタイムの短縮
化、装置本体の小型化の要求が高まっている。さらに、
ユーザからは、設備投資額を抑えるために、装置本体の
小型化が要求されている。ディスプレイの大型化に伴っ
て大型ガラス基板の短辺サイズが１０００ｍｍを超える
大型ガラス基板が出現してきたため、検査装置本体の小
型化は、輸送上、コスト面上から必須となっている。

【０００８】このような観点から見ると、上記基板検査
装置は、下ステージ３、上ステージ５を移動させるため
のスペースが必要となり、このスペースの分だけ装置本
体が大型化する。

【０００９】装置本体の小型化及び測定タイトタイムの
短縮を図った基板検査装置として例えば特開平１１−９
４７５６号公報に記載された技術がある。この基板検査
装置は、図７に示すようにステージベース２０上に大型
ガラス基板６を載置するホルダ２１が設けられている。

【００１０】又、ステージベース２０の両側には、それ
ぞれガイドレール２３が設けられ、これらガイドレール
２３上に門型の顕微鏡ヘッド移動ステージ２４がＹ方向
に移動可能に設けられている。この顕微鏡ヘッド移動ス
テージ２４の水平ビームには、顕微鏡ヘッド２５がＸ方
向に移動可能に設けられている。又、顕微鏡ヘッド２５
の底板には透過ライン照明２２が設けられている。この
顕微鏡ヘッド２５は、ミクロ観察ユニット２６に対物レ
ンズ２７及び接眼レンズ２８が設けられている。顕微鏡
ヘッド２５には、マクロ照明２９及び指標用照明３０が
設けられている。

【００１１】ミクロ観察ユニット２６には、ＴＶカメラ
３１が取り付けられ、このＴＶカメラ３１により撮像さ
れた大型ガラス基板６の観察像がＴＶモニタ３２に表示
される。

【００１２】制御部３５は、欠陥の位置座標の管理や顕
微鏡ヘッド移動ステージ２４、顕微鏡ヘッド２５の移動
制御を行なう。

【００１３】このような基板検査装置であれば、顕微鏡
ヘッド２５を顕微鏡ヘッド移動ステージ２４に沿ってＸ
方向に直線移動させ、さらに顕微鏡ヘッド移動ステージ
２４を各ガイドレール２３に沿ってＹ方向に直線移動さ
せてラスタスキャン走査することにより、大型ガラス基
板６の全面について検査を行なうことが可能となる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示す装置では、顕微鏡ヘッド移動ステージ２４に顕微鏡
ヘッド２５を設けて大型ガラス基板６の全面を観察する
必要があることからステージベース２０には、ホルダ２
１から外れる位置に顕微鏡ヘッド移動ステージ２４の移
動スペースＡが必要になり、この移動スペースＡの分だ
けステージベース２０が大型化する。

【００１５】又、基板検査に要する測定タクトタイムの
短縮化が要求されているが、１０００ｍ角のサイズの大
型ガラス基板６を１つの顕微鏡ヘッド２５で測定するた
めに、測定タクトタイムの短縮には限度がある。測定タ
クトタイムを短縮するために図６に示すように顕微鏡ヘ
ッド２５を顕微鏡ヘッド移動ステージ２４の水平ビーム
の片面にヘッド先端を対向させて設けることが考えられ
るが、これでも顕微鏡ヘッド移動ステージ２４の移動ス
ペースＡが必要となり、さらに顕微鏡ヘッド後端がホル
ダ２１の外側に移動する移動スペースが新たに必要とな
り、ステージベース２０が大型化する。

【００１６】そこで本発明は、基板検査に要する測定タ
クトタイムの短縮化、及び装置本体の小型化を図ること
ができる基板検査装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、被検査体を載
置する固定ステージと、この固定ステージ上に載置され
る被検査体を跨いで設けられ、かつ固定ステージに対し
て一方向に移動可能に設けられた門型アームと、この門
型アームの移動方向に対して垂直方向に移動可能に設け
られ、かつ門型アームの移動方向と同一方向に所定の間
隔で配置された少なくとも２つの検査ヘッドとを具備し
たことを特徴とする基板検査装置である。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１９】図１及び図２は基板検査装置の構成図であ
って、図１は外観斜視図、図２は側面図である。ステー
ジベース４０上には、大型ガラス基板６を載置するステ
ージ（固定ステージ）４１が固定して設けられている。
このステージ４１には、基板押え部材４２が所定箇所に
複数設けられ、大型ガラス基板６を例えば吸着保持する
ものとなっている。又、ステージベース４０の前後に
は、ステージ４１をステージベース４０の上面から所定
距離だけ浮かせるステージ支持部材４４が設けられてい
る。

【００２０】又、ステージベース４０の左右両側には、
それぞれガイドレール４５が設けられている。これらガ
イドレール４５上には、門型の検査ヘッド移動ステージ
（門型アーム）４６がステージ４１を跨いで、かつＹ方
向に移動可能に設けられている。

【００２１】この検査ヘッド移動ステージ４６の水平ビ
ームには、２つの検査ヘッド４７、４８が検査ヘッド移
動ステージ４６の水平ビームを挟んで背中合わせにＸ方
向に移動可能に設けられている。検査ヘッド４７、４８
としては、欠陥やパターンを拡大視したり、パターン形
状を計測又はカラーフィルタの分光測光する各種の検査
ヘッドがある。この一実施の形態では、検査ヘッド４
７、４８には、それぞれ対物レンズ４９と連結用鏡筒５
０を介して各ＴＶカメラ５２、５３が取り付けられてい
る。

【００２２】これら検査ヘッド４７、４８は、検査ヘッ
ド移動ステージ４６の移動方向（Ｙ方向）に対して垂直
方向（Ｘ方向）に移動可能に設けられ、かつ検査ヘッド
移動ステージ４６の移動方向と同一方向に水平ビームを
挟んで所定の間隔で配置されている。

【００２３】これら検査ヘッド４７、４８の対物系光軸
間距離Ｆは、図２に示すように各検査ヘッド４７、４８
の配列方向において、大型ガラス基板６のサイズＤの２
分の１以下に設定される。

【００２４】これら検査ヘッド４７、４８には、ステー
ジ４１上に保持された大型ガラス基板６の像を結像する
対物レンズ４９を含む結像光学系と、大型ガラス基板６
を照明する照明光学系と、大型ガラス基板６の像を観察
する観察系と、大型ガラス基板６にピントを合わせる焦
準装置等が組み込まれている。

【００２５】結像光学系は対物レンズ４９の転換機能
（回転レボルバ）と焦準機能（オートフォーカス）とを
有し、照明光学系は落射照明機能を有し、観察系には上
記ＴＶカメラ５２、５３が備えられている。対物レンズ
４９の転換機能と焦準機能とは、電動化され、制御部５
４からリモート制御できる。

【００２６】各ＴＶカメラ５２、５３は、それぞれ検査
ヘッド４７、４８により観察される大型ガラス基板６の
観察像を撮像してその各画像信号を出力する。これら画
像信号は、制御部５４に送られる。

【００２７】なお、ステージベース４０にはＹスケール
５５が設けられ、検査ヘッド移動ステージ４６にはＸス
ケール５６が設けられている。

【００２８】制御部５４は、Ｙスケール５５及びＸスケ
ール５６の位置座標の管理や検査ヘッド移動ステージ４
６、検査ヘッド４７、４８の移動制御を行なう機能と、
各ＴＶカメラ５２、５３から出力される各画像信号を入
力し、これら画像信号のうちいずれか一方又は両方の画
像信号を選択（選択手段）してその大型ガラス基板６の
観察像をＴＶモニタ（モニタ装置）５７に表示する機能
とを有する。

【００２９】又、制御部５４は、検査ヘッド移動ステー
ジ４６及び検査ヘッド４７、４８の移動制御を行なって
各検査ヘッド４７、４８の各観察領域を移動させた場
合、これら観察領域の境界においてその一部が互いにオ
ーバラップさせる機能を有する。

【００３０】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００３１】大型ガラス基板６の検査を行なう場合、ス
テージ４１上に大型ガラス基板６が供給されると、複数
の基板押え部材４２により位置決めされ、かつステージ
４１に対して吸着保持される。

【００３２】次に、制御部５４は、透過ライン照明４３
を点灯させ、かつ検査ヘッド移動ステージ４６をと検査
ヘッド５２、５３を図３に示す座標原点位置に移動させ
る。この後に、検査ヘッド移動ステージ４６及び検査ヘ
ッド４７、４８をＸ−Ｙ方向に移動制御して各検査ヘッ
ド４７、４８の各観察位置を移動させる。

【００３３】すなわち、検査ヘッド移動ステージ４６
は、ガイドレール４５に沿ってＹ方向に直線移動すると
共に、各検査ヘッド４７、４８が検査ヘッド移動ステー
ジ４６の水平ビームに沿ってＸ方向に直線移動する。

【００３４】このとき、各検査ヘッド４７、４８は、図
４(a)(b)に示すように大型ガラス基板６の全面に対して
それぞれ略２分の１の各ヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２内、
すなわち、一方の検査ヘッド４７の対物レンズ４９はヘ
ッド観察領域Ｐ_１内で移動し、他方の顕微鏡ヘッド４８
の対物レンズ４９はヘッド観察領域Ｐ_２内で移動する。

【００３５】従って、検査ヘッド移動ステージ４６及び
検査ヘッド４７、４８は、大型ガラス基板６の全面の２
分の１の領域内で移動する。

【００３６】なお、制御部５４は、検査ヘッド移動ステ
ージ４６及び検査ヘッド４７、４８の移動制御を行なっ
て各検査ヘッド４７、４８の光軸（対物レンズ４９）を
それぞれ各ヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２内で移動させた場
合、これらヘッド観察領域Ｐ _１、Ｐ_２の境界において一
部が互いにオーバラップする。

【００３７】これと共に、ＴＶカメラ５２は、検査ヘッ
ド４７の対物レンズ４９により観察されるヘッド観察領
域Ｐ_１内の大型ガラス基板６の観察像を撮像してその画
像信号を出力する。これと同時に、ＴＶカメラ５３は、
顕微鏡ヘッド４８の対物レンズ４９により観察されるヘ
ッド観察領域Ｐ_２内の大型ガラス基板６の観察像を撮像
してその画像信号を出力する。これら画像信号は、制御
部５４に送られる。

【００３８】この制御部５４は、各ＴＶカメラ５２、５
３から出力される各画像信号を入力し、これら画像信号
のうちいずれか一方又は双方の画像信号を選択してその
大型ガラス基板６の観察像をＴＶモニタ５７に表示す
る。なお、制御部５４は、各ＴＶカメラ５２、５３から
出力される各画像信号の両方を入力し、ＴＶモニタ５７
の画面上を２分割して各ヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２の大
型ガラス基板６の観察像を表示することもできる。

【００３９】又、他のマクロ検査装置により抽出された
大型ガラス基板６上の各欠陥座標データが読み出され、
かかる欠陥部の位置座標をＹスケール５５及びＸスケー
ル５６のデータに基づいて求め、検査ヘッド４７の光軸
が欠陥部に合致するように、検査ヘッド移動ステージ４
６及び検査ヘッド４７を移動制御する。

【００４０】これにより、検査ヘッド４７の対物レンズ
４９の視野内に欠陥部が入り、この欠陥部が対物レンズ
４９により拡大され。この像がＴＶカメラ５２により撮
像され、ＴＶモニタ５７に表示される。

【００４１】又、大型ガラス基板６の全面をラスタスキ
ャンする場合には、検査ヘッド移動ステージ４６及び検
査ヘッド４７をＸ−Ｙ方向に移動させ、同様に両検査ヘ
ッド４７、４８のＴＶカメラ５２、５３で取り込まれた
拡大画像データを入力することも可能である。

【００４２】このミクロ観察が終了して、制御部５４に
対して指示を与えると、検査ヘッド移動ステージ４６及
び検査ヘッド４７、４８は、初期位置に復帰する。そし
て、ステージ４１から検査済みの大型ガラス基板６が取
り外され、新たな未検査の大型ガラス基板６がステージ
４１上に載置される。

【００４３】このように上記一実施の形態においては、
大型ガラス基板６を載置するステージ４１と、このステ
ージ４１上に載置される大型ガラス基板６を跨いで設け
られ、かつステージ１に対してＹ方向に移動可能に設け
られた検査ヘッド移動ステージ４６と、この検査ヘッド
移動ステージ４６の移動方向に対して垂直方向（Ｘ方
向）に移動可能に設けられ、かつ検査ヘッド移動ステー
ジ４６の移動方向と同一方向に所定の間隔で配置された
２つの検査ヘッド４７、４８とを備えたので、ステージ
４１のスペースに対して各ガイドレール４５を設けるス
ペース分程度だけ増やしたスペース内に、検査ヘッド移
動ステージ４６及び２つの検査ヘッド４７、４９を収め
ることができ、装置本体のサイズを極限までコンパクト
化できる。具体的には、図２及び図３に示すように大型
ガラス基板６のＹ方向のサイズＤよりも僅かに大きい装
置本体奥行きサイズＳまで縮小できる。

【００４４】又、装置本体の幅サイズを図３に示すよう
に大型ガラス基板６の幅サイズに検査ヘッド移動ステー
ジ４６の支柱幅を加えたよりも僅かに大きい装置本体幅
サイズＳ_２まで縮小できる。

【００４５】又、２つの検査ヘッド４７、４８は、図４
(a)(b)に示すように大型ガラス基板６の全面に対してそ
れぞれ略２分の１の各ヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２内で移
動すればよいので、検査ヘッド移動ステージ４６の上方
向の移動ストロークを２分の１に短くすることができ、
測定タクトタイムを短縮できる。これだけでなく、移動
距離の短縮に加え、検査ヘッド移動ステージ４６のの水
平ビームに対する検査ヘッド４７、４８のバランスが改
善されるので、駆動系への負荷を軽減できると共に高価
なガイドレール４５、ＸＹスケール５５、５６を短くで
き、価格的にも有利になる。

【００４６】従って、液晶ディスプレイの生産量の急速
な伸びと共に、基板検査に要する測定タクトタイムの短
縮化、さらには、ユーザからの設備投資額を抑えるため
の装置本体の小型化という要求を全て満足できる。

【００４７】又、２つの検査ヘッド４７、４８の対物系
光軸間距離Ｆを、大型ガラス基板６のサイズの２分の１
以下に設定し、かつ検査ヘッド４７、４８を背中合わせ
に配置したことにより、両検査ヘッド４７、４８が大型
ガラス基板６の外に大きく突出することなく大型ガラス
基板６の全面を確実に観察できる。

【００４８】又、２つの検査ヘッド４７、４８をそれぞ
れ各ヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２内で移動させた場合、こ
れらヘッド観察領域Ｐ_１、Ｐ_２の境界において一部が互
いにオーバラップさせることで、ヘッド観察領域Ｐ_１、
Ｐ_２の境界も確実に検査することができる。

【００４９】次に本発明の他の実施の形態について図面
を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符
号を付してある。

【００５０】図５はＴＶカメラを１台にした場合の光学
系の構成図である。２つの検査ヘッド４７、４８は、そ
れぞれ同一構成である。例えば一方の検査ヘッド４７を
例にして構成を説明すると、落射用照明６０が設けら
れ、この落射用照明６０から出力される落射用照明光の
光路上にレンズ６１を介してハーフミラー６２が設けら
れている。このハーフミラー６２の反射光路上には、対
物レンズ６３が設けられている。この対物レンズ６３か
らハーフミラー６２に至り、このハーフミラー６２の透
過光路上には、光路折り曲げミラー６４が設けられてい
る。他方の検査ヘッド４８の構成の説明は、省略する。

【００５１】これら検査ヘッド４７、４８における各光
路折り曲げミラー６４の間には、光路選択ミラー（選択
手段）６５が設けられている。この光路選択ミラー６５
は、回転することによって各検査ヘッド４７、４８のう
ちいずれか一方の検査ヘッド４７又は４８からの像を結
像レンズ６６を通して１台のＴＶカメラ５２に反射する
ものである。

【００５２】このＴＶカメラ５２は、検査ヘッド移動ス
テージ４６の水平ビームから外れる検査ヘッド４７又は
４８の一方に上面に設けることができる。

【００５３】このような構成であれば、各検査ヘッド４
７、４８では、それぞれ落射用照明６０から出力された
落射用照明光は、レンズ６１を介してハーフミラー６２
に入射し、このハーフミラー６２で反射して対物レンズ
６３により大型ガラス基板６の面上に照射される。

【００５４】この大型ガラス基板６の面上からの像は、
対物レンズ６３からハーフミラー６２に入射し、このハ
ーフミラー６２を透過して光路折り曲げミラー６４に入
射し、ここで反射して光路選択ミラー６５に入射する。

【００５５】この光路選択ミラー６５は、回転すること
によって各検査ヘッド４７、４８からの像のうちいずれ
か一方の像を結像レンズ６６を通して１台のＴＶカメラ
５２に向って反射する。

【００５６】このＴＶカメラ５２は、入射した大型ガラ
ス基板６の面上からの像を撮像してその画像信号を出力
する。

【００５７】制御部５４は、ＴＶカメラ５２から出力さ
れる画像信号を入力し、この画像信号を画像処理して大
型ガラス基板６の観察像をＴＶモニタ５７に表示する。

【００５８】このように他の実施の形態によれば、光路
選択ミラー６５によって一方の検査ヘッド４７又は４８
からの像が結像レンズ６６を通して１台のＴＶカメラ５
２に入射するので、１台のＴＶカメラ５２を設けるだけ
でよく、さらに装置の構成を簡単化できる。

【００５９】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００６０】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００６１】例えば、上記一実施の形態では、２つの検
査ヘッド４７、４８を設けた場合について説明したが、
２つの検査ヘッド４７、４８を一対とする複数の検査ヘ
ッドを検査ヘッド移動ステージ４６に対して移動可能に
設けることも可能である。例えば２組の検査ヘッドを設
けることにより、１つの検査ヘッドの観察領域が大型ガ
ラス基板６の全面の４分の１に縮小でき、さらに測定タ
クトタイムを短縮できる。

【００６２】又、液晶ディスプレイの大型ガラス基板６
に限らず、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガ
ラス基板、カラーフィルタなどの大型ガラス基板の欠陥
検査に適用できる。

【００６３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、基
板検査に要する測定タクトタイムの短縮化、及び装置本
体の小型化を図ることができる基板検査装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
示す外観斜視図。

【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
示す側面図。

【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける検査ヘッドの移動を示す図。

【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける検査ヘッドでの観察領域を示す図。

【図５】本発明に係わる基板検査装置の他の実施の形態
を示す構成図。

【図６】従来の基板検査装置の構成図。

【図７】従来の基板検査装置の構成図。

【符号の説明】

６：大型ガラス基板４０：ステージベース４１：ステージ４２：基板押え部材４３：透過ライン照明４４：ステージ押え部材４５：ガイドレール４６：検査ヘッド移動ステージ４７，４８：検査ヘッド４９：対物レンズ５０，５１：連結用鏡筒５２，５３：ＴＶカメラ５４：制御部５５：Ｙスケール５６：Ｘスケール５７：ＴＶモニタ６０：落射用照明６１：レンズ６２：ハーフミラー６３：対物レンズ６４：光路折り曲げミラー６５：光路選択ミラー６６：結像レンズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体を載置する固定ステージと、この固定ステージ上に載置される前記被検査体を跨いで
設けられ、かつ前記固定ステージに対して一方向に移動
可能に設けられた門型アームと、この門型アームの移動方向に対して垂直方向に移動可能
に設けられ、かつ前記門型アームの移動方向と同一方向
に所定の間隔で配置された少なくとも２つの検査ヘッド
と、を具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】２つの前記検査ヘッドのヘッド間距離
は、前記各検査ヘッドの配列方向において前記被検査体
サイズの２分の１以下であることを特徴とする請求項１
記載の基板検査装置。
【請求項３】前記各検査ヘッドにそれぞれ取付けられ
た各撮像装置と、これら撮像装置のいずれか一方又は両方を選択する選択
手段と、この選択手段により選択された前記撮像装置から出力さ
れる画像信号を入力して前記被検査体の画像を表示する
モニタ装置と、を備えたことを特徴とする請求項１記載
の基板検査装置。
【請求項４】前記各検査ヘッドの各観察像を選択する
選択手段と、この選択手段により選択された前記観察像を撮像する撮
像手段と、この選択手段により選択された前記撮像装置から出力さ
れる画像信号を入力して前記被検査体の画像を表示する
モニタ装置と、を備えたことを特徴とする請求項１記載
の基板検査装置。
【請求項５】前記各検査ヘッドをそれぞれ移動したと
きの前記被検査体に対する各観察領域は、互いに一部の
観察領域がオーバラップすることを特徴とする請求項１
記載の基板検査装置。