JP2007120994A - パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成した装置であって、前記パネル部材を載置するためのパネル載置台3と、前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器6と、複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台3と前記検査機器6との相対移動を制御する移動制御部8bと、複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器6にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部8cとを具備して成るようにした。
【選択図】図2
Description
2・・・・ベース
3・・・・パネル載置台
4・・・・ヘッド支持体
5・・・・検査機器支持用ヘッド
6・・・・検査機器
6a・・・膜厚検査機器(光干渉式膜厚計)
6b・・・膜厚検査機器(エリプソメータ)
6c・・・膜歪検査機器(ラマン分光計)
6d・・・抵抗検査機器(四探針計)
6e・・・洗浄度検査機器(接触角計)
8a・・・検査レシピ受付部
8b・・・移動制御部
8c・・・検査レシピ実行制御部
G・・・・検査レシピ受付画面
Claims (8)
- パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成した装置であって、
前記パネル部材を載置するためのパネル載置台と、
前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器と、
複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台と前記検査機器との相対移動を制御する移動制御部と、
複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部とを具備して成ることを特徴とするパネル部材検査装置。 - 前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材の抵抗を測定する抵抗検査レシピ実行用の抵抗検査機器とを具備し、
前記検査レシピ実行制御部を、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピを実行させた後に、前記抵抗検査機器に抵抗検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜厚検査レシピで得た膜厚実測値を、前記抵抗検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とする請求項1記載のパネル部材検査装置。 - 前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器とを具備し、
前記検査レシピ実行制御部を、前記膜歪検査機器に膜歪検査レシピを実行させた後に、前記膜厚検査機器に膜厚検査レシピの実行をさせるように動作させることで、前記膜歪検査レシピで得た膜歪実測値を、前記膜厚検査レシピで利用できるようにしていることを特徴とする請求項1または2記載のパネル部材検査装置。 - 前記実行すべき検査レシピが、検査レシピの指定を受け付ける検査レシピ受付部で受け付けたものであることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載のパネル部材検査装置。
- 前記検査レシピ受付部を、検査レシピの指定及びその実行順を編集可能な検査レシピ受付画面を利用して構成していることを特徴とする請求項4記載のパネル部材検査装置。
- 前記パネル載置台を、略矩形状を成すベース上の長手方向へ移動可能に設けるとともに、前記ベース上に長手方向と直交して跨るように門型を成すヘッド支持体を設け、さらにこのヘッド支持体に、各検査機器の取付用の複数の検査機器支持用ヘッドを、個々若しくは一体的に長手方向と直交する方向に移動可能に支持させるように構成し、
前記移動制御部が、パネル載置台と検査機器支持用ヘッドとの相対移動を制御するようにしていることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載のパネル部材検査装置。 - 前記パネル部材の膜厚を測定する膜厚検査レシピ実行用の膜厚検査機器と、前記パネル部材の抵抗を測定する抵抗検査レシピ実行用の抵抗検査機器と、前記パネル部材の膜の歪を測定する膜歪検査レシピ実行用の膜歪検査機器と、前記パネル部材の洗浄度を測定する洗浄度検査レシピ実行用の洗浄度検査機器とのうちの少なくとも2つ以上の異なる検査機器を、各検査機器に対応して設けた前記検査機器支持用ヘッドにそれぞれ取り付けていることを特徴とする請求項6記載のパネル部材検査装置。
- パネル部材に行う複数の検査レシピを、そのパネル部材を所定の収容場所から搬入して搬出するまでの一度の搬入出工程の間で行うように構成され、且つ、前記パネル部材を載置するためのパネル載置台と、前記複数の検査レシピをそれぞれ実行可能な複数の異なる検査機器とを具備するパネル部材検査装置に適用されるプログラムであって、
複数の実行すべき検査レシピに応じて、前記パネル載置台と前記検査機器との相対移動を制御する移動制御部としての機能と、
複数の実行すべき検査レシピを、対応する検査機器にそれぞれ実行させるための制御を行う検査レシピ実行制御部としての機能とをコンピュータに発揮させることを特徴とするパネル部材検査用プログラム。
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