JP2007248714A - 複数ヘッド顕微鏡装置 - Google Patents
複数ヘッド顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007248714A JP2007248714A JP2006070852A JP2006070852A JP2007248714A JP 2007248714 A JP2007248714 A JP 2007248714A JP 2006070852 A JP2006070852 A JP 2006070852A JP 2006070852 A JP2006070852 A JP 2006070852A JP 2007248714 A JP2007248714 A JP 2007248714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- inspection
- head
- heads
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】複数ヘッド顕微鏡装置1は、ガラス基板Wを搬送するステージ6を有し、ステージ6を跨ぐように門型フレーム20が設置されている。門型フレーム20には、2つの顕微鏡ヘッド30,40が移動自在に設けられている。各顕微鏡ヘッド30,40は、観察範囲45内で移動可能であると共に、顕微鏡ヘッド30は退避領域46に、顕微鏡ヘッド40は退避領域47にそれぞれ移動させることができる。
【選択図】図4
Description
この発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その主な目的は、検査工程において装置を停止させる頻度を低下させて生産効率を向上させることである。
図1及び図2に示すように、複数ヘッド顕微鏡装置1は、ベース2を有し、ベース2上には一軸方向(以下、X方向という)に一対のガイドレール3が平行に敷設されている。これらガイドレール3の間には、モータ4の動力を伝達するボールネジ5が平行に配置されている。ボールネジ5には、ステージ6が連結されており、モータ4を駆動させると、ステージ6がガイドレール3に沿ってX方向に移動する。基板搬送部であるステージ6の上面には、例えば、1000mm×1500mmのLCD用のガラス基板Wを位置決めして載置する位置決めピン9と、位置決めピン9にガラス基板Wを押し付けるように移動自在な押し付けピン10とがそれぞれ複数突設されている。位置決めピン9と押し付けピン10とは、ガラス基板W上のパターンの中心間を結ぶ線分が、X方向、又はX方向に直交するY方向(他軸方向)に平行になるように配置されている。また、ステージ6の一端部には、リフトピン11が所定の間隔で突没自在に配設されている。これらリフトピン11は、ガラス基板Wを搬入搬出する際に持ち上げるリフターを構成する。
メイン画面80は、顕微鏡ヘッド30のライブ画像を表示する画像表示領域81を有する。画像表示領域81の下には、切り離しボタン82と、復旧ボタン83とが配設されている。切り離しボタン82は、顕微鏡ヘッド30の観察を中止して退避領域46(図4参照)に切り離して運用する際に選択される。復旧ボタン83は、切り離し後に顕微鏡ヘッド30での観察を再開するときに選択される。ここでは、顕微鏡ヘッド30が観察中であるので、復旧ボタン83は操作できない状態になっている。復旧ボタン83は、切り離しボタン82を選択して切り離し運用中には、有効になる。また、顕微鏡ヘッド40についても同様に、画像表示領域85と、切り離しボタン86と、復旧ボタン87とが配設されている。
図8に示すように、検査を開始したら、検査準備を実施する(ステップS201)。ここでの検査準備は、第1の実施の形態のステップS101からステップS104の処理に相当する。ガラス基板Wの検査が可能な状態になったら、検査が完了していない検査ポイントが存在するか否か調べる(ステップS202)。未完了の検査ポイントが存在しない場合には(ステップS202でNo)、検査準備(ステップS201)に戻る。ただし、検査終了の場合は、第1の実施の形態のステップS112からステップS115が行われて終了する。検査ポイントが存在する場合には(ステップS202でYes)、顕微鏡ヘッド30が有効であるか判断する(ステップS203)。顕微鏡ヘッド30が無効である場合には(ステップS203でNo)、既に切り離しが行われ、顕微鏡ヘッド40のみで検査を継続している状態である。この場合には、後述するステップS209に進む。
例えば、X軸方向やY軸方向への移動が不能になった場合のように、継続不能なエラーが生じたときには、ステップS213の復旧不能オペレータコールを実行し、オペレータに異常発生を報告し、オペレータによる復旧を促す。異常発生の報告は、モニタ54や、警報機などの通知手段によってなされる。
例えば、顕微鏡との通信エラーやオートフォーカスの失敗が生じた場合のように、リトライ可能なエラーが生じたときには、ステップS204に戻り、検査準備動作を再度実施する。
例えば、顕微鏡ヘッド30の移動は可能であるが、顕微鏡ヘッド40の切り替えや、ピント調整に不具合が発生し、リトライをしたが同じエラーが繰り返される場合には、顕微鏡ヘッド30の切り離しを行うためにステップS207に移動して顕微鏡ヘッド30の退避位置移動を実施する。
光学ヘッドである顕微鏡ヘッドの数は、3つ以上でも良い。
顕微鏡ヘッドの構成は、実施の形態に示すものに限定されない。標本もガラス基板Wに限定されない。
基板搬送部は、X方向にスライド移動するステージ6に限定されない。例えば、ガラス基板Wをエアーの吹き出しによって浮上させるベース部をX方向に沿って設けると共に、エアー浮上させたガラス基板Wを保持し、X方向に沿って移動させるスライダを配設したエアー浮上ステージであっても良い。
4 モータ(基板搬送部)
5 軸(基板搬送部)
6 ステージ(基板搬送部)
20 門型フレーム(支持部材)
30,40 顕微鏡ヘッド
21 リニアガイド(駆動部)
45 観察範囲
46,47 退避領域
50 基板検査装置
54 モニタ(通知手段)
57,58 モータドライバ(駆動部)
W ガラス基板(基板)
Claims (4)
- 一平面内において、一軸方向に基板を移動可能な基板搬送部と、
一軸方向に略直交する他軸方向に前記基板搬送部を跨いで配置される支持部材と、
前記支持部材に他軸方向に沿って移動自在に複数配置される顕微鏡ヘッドと、
前記顕微鏡ヘッドのそれぞれを前記基板上の観察対象となる範囲内に移動させる駆動部と、
観察を停止した前記顕微鏡ヘッドが観察を継続する他の前記顕微鏡ヘッドの移動可能範囲から退避できる退避領域と、
を有することを特徴とする複数ヘッド顕微鏡装置。 - 前記退避領域は、前記基板の搬送経路外に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の複数ヘッド顕微鏡装置。
- 前記退避領域にある前記顕微鏡ヘッドによる検査を任意のタイミングで再開できるように構成された検査制御装置を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の複数ヘッド顕微鏡装置。
- 前記退避位置にある前記顕微鏡ヘッドをオペレータに通知する通知手段を有することを特徴とする請求項1から請求項3にいずれか一項に記載の複数ヘッド顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070852A JP2007248714A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 複数ヘッド顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070852A JP2007248714A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 複数ヘッド顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007248714A true JP2007248714A (ja) | 2007-09-27 |
JP2007248714A5 JP2007248714A5 (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=38593099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006070852A Pending JP2007248714A (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 複数ヘッド顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007248714A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016045428A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | オリンパス株式会社 | 門型観察装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63106591A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-11 | Seikosha Co Ltd | はかま付き指針の製造方法 |
JPH08286718A (ja) * | 1995-04-17 | 1996-11-01 | Nippon Steel Corp | 故障ロボットの作業代替方法 |
JPH10197221A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-31 | Topcon Corp | 測定顕微鏡 |
JP2000184596A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | 電力系統監視制御装置及びその装置の処理プログラムを記録する記録媒体 |
JP2000249662A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Nippon Steel Corp | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の位置合わせ方法 |
JP2002082706A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Niigata Eng Co Ltd | 工作機械の復旧支援システム |
JP2003139721A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
-
2006
- 2006-03-15 JP JP2006070852A patent/JP2007248714A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63106591A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-11 | Seikosha Co Ltd | はかま付き指針の製造方法 |
JPH08286718A (ja) * | 1995-04-17 | 1996-11-01 | Nippon Steel Corp | 故障ロボットの作業代替方法 |
JPH10197221A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-31 | Topcon Corp | 測定顕微鏡 |
JP2000184596A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | 電力系統監視制御装置及びその装置の処理プログラムを記録する記録媒体 |
JP2000249662A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Nippon Steel Corp | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の位置合わせ方法 |
JP2002082706A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Niigata Eng Co Ltd | 工作機械の復旧支援システム |
JP2003139721A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016045428A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | オリンパス株式会社 | 門型観察装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4468696B2 (ja) | 半導体ウエハ検査装置 | |
US7583099B2 (en) | Method for re-registering an object to be aligned by re-capturing images using previously registered conditions and storage medium storing a program for executing the method | |
JP2008091476A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2006266722A (ja) | 基板検査システム及び基板検査方法 | |
KR20100023258A (ko) | 평판디스플레이 패널 검사 장비 및 방법 | |
JP2007234932A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008089351A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
TW201915441A (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
CN112204384B (zh) | 切割芯片检查装置 | |
JP2005266083A (ja) | 観察装置及び観察方法 | |
US20050121429A1 (en) | Apparatus and method for inspecting and repairing a circuit defect | |
JP4560898B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2007248714A (ja) | 複数ヘッド顕微鏡装置 | |
KR20220044741A (ko) | 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법 | |
JP2004179581A (ja) | 半導体ウエハ検査装置 | |
JP2007240503A (ja) | 顕微鏡撮像装置及び寸法測定装置 | |
JP2007033372A (ja) | 外観検査装置 | |
KR100690210B1 (ko) | 모니터 패널용 글라스의 복합 표면검사 시스템 | |
JP4875900B2 (ja) | 複数ヘッド顕微鏡装置および複数ヘッド顕微鏡装置の制御方法 | |
JP2008014650A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
KR100921710B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 검사방법 | |
CN113568277A (zh) | 信息处理装置、显示控制方法、存储介质、基板处理系统和物品制造方法 | |
JP2013123721A (ja) | 欠陥修正装置、欠陥修正方法および欠陥修正プログラム | |
CN108291879B (zh) | 基板缺陷检测装置及利用它的检测方法 | |
KR100847989B1 (ko) | 현미경 촬상 장치 및 치수측정 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090313 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20111018 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |