JPH08240410A - 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 - Google Patents
液晶パネルの貼合せ精度測定装置Info
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- JPH08240410A JPH08240410A JP4575395A JP4575395A JPH08240410A JP H08240410 A JPH08240410 A JP H08240410A JP 4575395 A JP4575395 A JP 4575395A JP 4575395 A JP4575395 A JP 4575395A JP H08240410 A JPH08240410 A JP H08240410A
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- crystal panel
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Abstract
(57)【要約】
【目的】精度の高い貼合せ精度の測定を実現することが
できる液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供する。 【構成】液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収
差を補正した対物レンズ１９、液晶パネルに対して落射
照明を行う光源１４および透過照明を行う光源１３を有
する顕微鏡本体１を有し、液晶パネルに対する落射照明
の下で対物レンズ１９によりピント合わせされ得られた
配線の画像と透過照明の下で対物レンズ１９によりピン
ト合わせされ得られたブラックマトリクスの画像をＴＶ
カメラ２３で撮像し、この撮像された画像を画像重ね合
せ装置２４で重ね合わせてモニタ２５に表示し、この表
示された配線とブラックマトリクスのそれぞれの画像の
距離関係からガラスの貼合せ誤差を測定する。
できる液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供する。 【構成】液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収
差を補正した対物レンズ１９、液晶パネルに対して落射
照明を行う光源１４および透過照明を行う光源１３を有
する顕微鏡本体１を有し、液晶パネルに対する落射照明
の下で対物レンズ１９によりピント合わせされ得られた
配線の画像と透過照明の下で対物レンズ１９によりピン
ト合わせされ得られたブラックマトリクスの画像をＴＶ
カメラ２３で撮像し、この撮像された画像を画像重ね合
せ装置２４で重ね合わせてモニタ２５に表示し、この表
示された配線とブラックマトリクスのそれぞれの画像の
距離関係からガラスの貼合せ誤差を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２枚のガラスを液晶を
介し貼合せて製造される液晶パネルにおいて、これら２
枚のガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼合せ
精度測定装置に関するものである。
介し貼合せて製造される液晶パネルにおいて、これら２
枚のガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼合せ
精度測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液晶パネルは、基本的タイプと
してＡＭ（アクティブマトリクス）タイプのものとＳＭ
（単純マトリクス）タイプのものに分けられる。このう
ち、ＡＭタイプのものは、そのほとんどがカラー化して
おり、ＣＦガラスと呼ばれる透明ガラスにＢＣｒを蒸着
したものに、無数の整列した透過窓を設けたブラックマ
トリクス（ＢＭ）とＲＧＢ三色のカラーフィルターを形
成したガラス板と、ＴＦＴガラスと呼ばれる透明ガラス
にＩＣ製造とほぼ同様なフォトリソグラフィ加工によっ
て作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
と配線（ゲート線および信号線）を表面に作り込んだガ
ラス板とを液晶を介在して貼合せるようにしている。
してＡＭ（アクティブマトリクス）タイプのものとＳＭ
（単純マトリクス）タイプのものに分けられる。このう
ち、ＡＭタイプのものは、そのほとんどがカラー化して
おり、ＣＦガラスと呼ばれる透明ガラスにＢＣｒを蒸着
したものに、無数の整列した透過窓を設けたブラックマ
トリクス（ＢＭ）とＲＧＢ三色のカラーフィルターを形
成したガラス板と、ＴＦＴガラスと呼ばれる透明ガラス
にＩＣ製造とほぼ同様なフォトリソグラフィ加工によっ
て作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
と配線（ゲート線および信号線）を表面に作り込んだガ
ラス板とを液晶を介在して貼合せるようにしている。
【０００３】他方、ＳＭタイプのものは、２枚のガラス
に直線の配線を一定のピッチで規則正しく作り、この配
線が直交するようにして液晶を介在させて貼合せるよう
にしている。このＳＭタイプのカラーパネルの場合も、
ＡＭタイプのものと同様にして一方のガラス板にＢＣｒ
を蒸着したＣＦガラスとブラックマトリクス（ＢＭ）を
設けている。
に直線の配線を一定のピッチで規則正しく作り、この配
線が直交するようにして液晶を介在させて貼合せるよう
にしている。このＳＭタイプのカラーパネルの場合も、
ＡＭタイプのものと同様にして一方のガラス板にＢＣｒ
を蒸着したＣＦガラスとブラックマトリクス（ＢＭ）を
設けている。
【０００４】ところで、このような液晶パネルにおい
て、ブラックマトリクス（ＢＭ）の役目は、（ａ）画素
電極周辺で表示がコントロールできない部分を通過する
光を遮蔽し、パネルのコントラスト（色付き、明るさな
ど）を向上させて、画像の品位を保つこと、（ｂ）ＡＭ
パネルではＴＦＴ部にあたる光がトランジスタ機能を阻
害することからＴＦＴ部に光があたらないようにするこ
とにある。
て、ブラックマトリクス（ＢＭ）の役目は、（ａ）画素
電極周辺で表示がコントロールできない部分を通過する
光を遮蔽し、パネルのコントラスト（色付き、明るさな
ど）を向上させて、画像の品位を保つこと、（ｂ）ＡＭ
パネルではＴＦＴ部にあたる光がトランジスタ機能を阻
害することからＴＦＴ部に光があたらないようにするこ
とにある。
【０００５】そして、このようなブラックマトリクス
（ＢＭ）の役目を満たすには、ＴＦＴ部とブラックマト
リクスの位置関係を正確に合致させて貼付ける必要があ
る。ところが、実際は、ＴＦＴ部とブラックマトリクス
（ＢＭ）の貼合せに誤差が発生するため、ブラックマト
リクス側のＢＣｒ部（＝不透過部）に貼合せシロを設け
て、ＴＦＴ部より大きくなるようにしている。このよう
にして貼合せシロを設ければ、貼合せ精度が多少落ちて
も良いことになるるが、貼合せシロを大きくとると、光
の透過部面積（＝開口率）が小さくなり、パネルを透過
する光が減少しパネルが暗くなって画像品位を落とすこ
とになる。
（ＢＭ）の役目を満たすには、ＴＦＴ部とブラックマト
リクスの位置関係を正確に合致させて貼付ける必要があ
る。ところが、実際は、ＴＦＴ部とブラックマトリクス
（ＢＭ）の貼合せに誤差が発生するため、ブラックマト
リクス側のＢＣｒ部（＝不透過部）に貼合せシロを設け
て、ＴＦＴ部より大きくなるようにしている。このよう
にして貼合せシロを設ければ、貼合せ精度が多少落ちて
も良いことになるるが、貼合せシロを大きくとると、光
の透過部面積（＝開口率）が小さくなり、パネルを透過
する光が減少しパネルが暗くなって画像品位を落とすこ
とになる。
【０００６】今後、液晶パネルはＶＧＡからＳＶＧＡ
に、さらにＸＧＡへ移行し、益々画素数が多くなる傾向
にあるが、これにともない１画素当たりの面積が小さく
なると、現在のような貼合せ精度による貼合せシロで
は、ＶＧＡもＸＧＡでも同じ面積分を取ることになる
と、開口率は一拠に減少し、画像品位がさらに低下して
しまうことになる。
に、さらにＸＧＡへ移行し、益々画素数が多くなる傾向
にあるが、これにともない１画素当たりの面積が小さく
なると、現在のような貼合せ精度による貼合せシロで
は、ＶＧＡもＸＧＡでも同じ面積分を取ることになる
と、開口率は一拠に減少し、画像品位がさらに低下して
しまうことになる。
【０００７】図６は、一般的な液晶パネルの断面を示す
もので、ＣＦガラスと呼ばれ無数の整列した透過窓を明
けたブラックマトリクス（ＢＭ）２とＲＧＢ三色のカラ
ーフィルター３を設けた透明板ガラス１とＴＦＴ（電
極）ガラスと呼ばれフォトリソグラフィ加工などの工程
によって作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ（Ｔ
ＦＴ）５と該ＴＦＴ５のゲート線６と信号線７を表面に
作り込んだ透明板ガラス４を液晶８を介在して貼合せる
ようになっている。そして、この場合のパターン・レイ
アウトは、図７に示すように１画素３ドット構成で、信
号線７の幅１０μｍ、ＩＴＯ９のエッジと信号線７の間
隔５μｍ、ブラックマトリクス（ＢＭ）２の窓２ａのエ
ッジとＩＴＯ９のエッジとの重なり、つまり貼合せシロ
を１０μｍにしており、ＶＧＡと呼ばれるパネルでは６
４０×４８０画素で、１画素の大きさは、約１００×３
００μｍである。これがＸＧＡのパネルになると、１０
２４×７６８画素で、１画素の大きさは、７０μ×２０
０μｍとなる。このことは、現在の開口率が３５％程度
出あるものが、貼合せ精度を現状通りとすると開口率は
１０％程度にもなってしまい、パネルとしては使いもの
にならない。
もので、ＣＦガラスと呼ばれ無数の整列した透過窓を明
けたブラックマトリクス（ＢＭ）２とＲＧＢ三色のカラ
ーフィルター３を設けた透明板ガラス１とＴＦＴ（電
極）ガラスと呼ばれフォトリソグラフィ加工などの工程
によって作られる既窓と対応した薄膜トランジスタ（Ｔ
ＦＴ）５と該ＴＦＴ５のゲート線６と信号線７を表面に
作り込んだ透明板ガラス４を液晶８を介在して貼合せる
ようになっている。そして、この場合のパターン・レイ
アウトは、図７に示すように１画素３ドット構成で、信
号線７の幅１０μｍ、ＩＴＯ９のエッジと信号線７の間
隔５μｍ、ブラックマトリクス（ＢＭ）２の窓２ａのエ
ッジとＩＴＯ９のエッジとの重なり、つまり貼合せシロ
を１０μｍにしており、ＶＧＡと呼ばれるパネルでは６
４０×４８０画素で、１画素の大きさは、約１００×３
００μｍである。これがＸＧＡのパネルになると、１０
２４×７６８画素で、１画素の大きさは、７０μ×２０
０μｍとなる。このことは、現在の開口率が３５％程度
出あるものが、貼合せ精度を現状通りとすると開口率は
１０％程度にもなってしまい、パネルとしては使いもの
にならない。
【０００８】このため、現状では、配線を細くすること
やガラスの貼合せ精度をどのように上げていくかが大き
な問題となっており、これの解決手段として、顕微鏡を
使用してガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼
合せ精度測定装置が考えられている。
やガラスの貼合せ精度をどのように上げていくかが大き
な問題となっており、これの解決手段として、顕微鏡を
使用してガラスの貼合せ精度を測定する液晶パネルの貼
合せ精度測定装置が考えられている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この貼合せ
精度を顕微鏡を用いて測定すると、ガラス１または４が
介在した状態でＴＦＴ５やブラックマトリクス（ＢＭ）
２を観察するようになるため、これらガラス１、４によ
る収差によって、対物レンズの倍率として、特に２０×
以上のものを用いると、像がぼけてしまい、また、焦点
深度が浅いため、ＴＦＴ５にピントを合わすとブラック
マトリクス（ＢＭ）２が見えなくなってしまう。このた
め、対物レンズの倍率として、１０×のものを使用して
いる。しかし、１０×のものは、収差の影響も小さく、
かつＴＦＴ５やブラックマトリクス（ＢＭ）２がともに
焦点深度内に位置するため像観察が可能になるが、倍率
が低いことから、接眼の目盛で読むにしろ画像処理する
にしろ測定が困難である。
精度を顕微鏡を用いて測定すると、ガラス１または４が
介在した状態でＴＦＴ５やブラックマトリクス（ＢＭ）
２を観察するようになるため、これらガラス１、４によ
る収差によって、対物レンズの倍率として、特に２０×
以上のものを用いると、像がぼけてしまい、また、焦点
深度が浅いため、ＴＦＴ５にピントを合わすとブラック
マトリクス（ＢＭ）２が見えなくなってしまう。このた
め、対物レンズの倍率として、１０×のものを使用して
いる。しかし、１０×のものは、収差の影響も小さく、
かつＴＦＴ５やブラックマトリクス（ＢＭ）２がともに
焦点深度内に位置するため像観察が可能になるが、倍率
が低いことから、接眼の目盛で読むにしろ画像処理する
にしろ測定が困難である。
【００１０】つまり、以上の点をまとめると、 （ａ）使用される対物レンズの倍率が低いことから、収
差の影響も小さく、ＴＦＴ５やブラックマトリクス（Ｂ
Ｍ）２がともに焦点深度内に位置し、同時観察が可能で
あるが、如何せん倍率が低いことから測定となると困難
があった。
差の影響も小さく、ＴＦＴ５やブラックマトリクス（Ｂ
Ｍ）２がともに焦点深度内に位置し、同時観察が可能で
あるが、如何せん倍率が低いことから測定となると困難
があった。
【００１１】（ｂ）顕微鏡として落射観察のものを用い
ると、ＴＦＴ５部分は鮮明ではあるが、ブラックマトリ
クス（ＢＭ）２をＣＦガラス１を介して観察するために
ブラックマトリクス（ＢＭ）のコントラストが悪くなり
観察しずらかった。そこで、ブラックマトリクス（Ｂ
Ｍ）２のコントラストを上げるには透過観察のものを用
いるとよいが、このようにするとＴＦＴ５部分がブラッ
クマトリクス（ＢＭ）２のＣｒ部の影で見えなくなって
しまう。このため、最初に落射観察によりＴＦＴ５部分
にスケールを合せた後に、透過観察に切換えてブラック
マトリクス（ＢＭ）２の窓にスケールを合せるような面
倒な操作を行うことが必要となる。
ると、ＴＦＴ５部分は鮮明ではあるが、ブラックマトリ
クス（ＢＭ）２をＣＦガラス１を介して観察するために
ブラックマトリクス（ＢＭ）のコントラストが悪くなり
観察しずらかった。そこで、ブラックマトリクス（Ｂ
Ｍ）２のコントラストを上げるには透過観察のものを用
いるとよいが、このようにするとＴＦＴ５部分がブラッ
クマトリクス（ＢＭ）２のＣｒ部の影で見えなくなって
しまう。このため、最初に落射観察によりＴＦＴ５部分
にスケールを合せた後に、透過観察に切換えてブラック
マトリクス（ＢＭ）２の窓にスケールを合せるような面
倒な操作を行うことが必要となる。
【００１２】（ｃ）像のボケを我慢して、対物レンズに
２０×以上のものを使うと、焦点深度が浅いためＴＦＴ
５とブラックマトリクス（ＢＭ）２が同時に見えないこ
とから、上述の落射と透過観察の組合せと同じような作
業を必要としている。
２０×以上のものを使うと、焦点深度が浅いためＴＦＴ
５とブラックマトリクス（ＢＭ）２が同時に見えないこ
とから、上述の落射と透過観察の組合せと同じような作
業を必要としている。
【００１３】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、精度の高い貼合せ精度の測定を実現することができ
る液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供することを目
的とする。
で、精度の高い貼合せ精度の測定を実現することができ
る液晶パネルの貼合せ精度測定装置を提供することを目
的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
２枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液晶パネ
ルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶パネルの貼
合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レン
ズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射照明を行
う落射照明手段および前記液晶パネルに対して透過照明
を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前記液晶パ
ネルに対する落射照明の下で前記対物レンズによりピン
ト合わせされ得られた一方のガラス側の画像と前記液晶
パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによりピ
ント合わせされ得られた他方のガラス側の画像を撮像す
る撮像手段と、この撮像手段より撮像された画像を重ね
合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合せ手段によ
り得られた重ね合せ画像の距離関係から前記ガラスの貼
合せ誤差を測定する測定手段とにより構成している。
２枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液晶パネ
ルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶パネルの貼
合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物レン
ズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射照明を行
う落射照明手段および前記液晶パネルに対して透過照明
を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前記液晶パ
ネルに対する落射照明の下で前記対物レンズによりピン
ト合わせされ得られた一方のガラス側の画像と前記液晶
パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによりピ
ント合わせされ得られた他方のガラス側の画像を撮像す
る撮像手段と、この撮像手段より撮像された画像を重ね
合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合せ手段によ
り得られた重ね合せ画像の距離関係から前記ガラスの貼
合せ誤差を測定する測定手段とにより構成している。
【００１５】請求項２記載の発明は、ブラックマトリク
スとカラーフィルタを形成したＣＦガラスと薄膜トラン
ジスタを配線とともに形成した電極ガラスを液晶を介し
貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置に
おいて、前記液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光
学収差を補正した対物レンズ、標本としての前記液晶パ
ネルに対して落射照明を行う落射照明手段および前記液
晶パネルに対して透過照明を行う透過照明手段を有する
顕微鏡本体と、前記液晶パネルに対する落射照明の下で
前記対物レンズによりピント合わせされ得られた前記配
線の画像と前記液晶パネルに対する透過照明の下で前記
対物レンズによりピント合わせされ得られた前記ブラッ
クマトリクスの画像を撮像する撮像手段と、この撮像手
段より撮像された画像を重ね合せる画像重ね合せ手段
と、この画像重ね合せ手段により得られた前記配線とブ
ラックマトリクスのそれぞれの画像の距離関係から前記
ガラスの貼合せ誤差を測定する測定手段とにより構成し
ている。
スとカラーフィルタを形成したＣＦガラスと薄膜トラン
ジスタを配線とともに形成した電極ガラスを液晶を介し
貼合せて製造される液晶パネルの貼合せ精度測定装置に
おいて、前記液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光
学収差を補正した対物レンズ、標本としての前記液晶パ
ネルに対して落射照明を行う落射照明手段および前記液
晶パネルに対して透過照明を行う透過照明手段を有する
顕微鏡本体と、前記液晶パネルに対する落射照明の下で
前記対物レンズによりピント合わせされ得られた前記配
線の画像と前記液晶パネルに対する透過照明の下で前記
対物レンズによりピント合わせされ得られた前記ブラッ
クマトリクスの画像を撮像する撮像手段と、この撮像手
段より撮像された画像を重ね合せる画像重ね合せ手段
と、この画像重ね合せ手段により得られた前記配線とブ
ラックマトリクスのそれぞれの画像の距離関係から前記
ガラスの貼合せ誤差を測定する測定手段とにより構成し
ている。
【００１６】請求項３記載の発明では、請求項１または
２記載の発明での画像重ね合せ手段は、撮像手段より撮
像された画像の一部範囲を設定し、この設定範囲の画像
を重ね合せるようにしている。
２記載の発明での画像重ね合せ手段は、撮像手段より撮
像された画像の一部範囲を設定し、この設定範囲の画像
を重ね合せるようにしている。
【００１７】
【作用】この結果、請求項１、２記載の発明によれば、
液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正
した対物レンズを用いることにより、高倍率の対物レン
ズを使用することができ、また、落射照明による落射観
察と透過照明による透過観察を切り換えることで、それ
ぞれより得られる画像コントラストを高めることがで
き、しかも、これら落射観察および透過観察による画像
を重ね合わせて表示することで、そのまま距離関係の測
定ができることから、どの部分を計測しているかを目視
で確認しながら作業を進めることができる。また、請求
項３記載の発明によれば、画像の一部について設定され
た画像範囲において互いの距離関係の測定を行うことが
できる。
液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正
した対物レンズを用いることにより、高倍率の対物レン
ズを使用することができ、また、落射照明による落射観
察と透過照明による透過観察を切り換えることで、それ
ぞれより得られる画像コントラストを高めることがで
き、しかも、これら落射観察および透過観察による画像
を重ね合わせて表示することで、そのまま距離関係の測
定ができることから、どの部分を計測しているかを目視
で確認しながら作業を進めることができる。また、請求
項３記載の発明によれば、画像の一部について設定され
た画像範囲において互いの距離関係の測定を行うことが
できる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従い説明す
る。図１は同実施例の概略構成を示している。１１は顕
微鏡本体で、この顕微鏡本体１１は、透過または落射観
察を切換可能にしたものである。
る。図１は同実施例の概略構成を示している。１１は顕
微鏡本体で、この顕微鏡本体１１は、透過または落射観
察を切換可能にしたものである。
【００１９】このような顕微鏡本体１１の下部には、ベ
ース１２を有し、このベース１２に透過照明用光源１３
を設け、また、顕微鏡本体１１の上部には、落射照明用
光源１４を設けていている。これら光源１３、１４の点
灯は、透過または落射観察に応じて切り換えられるよう
になっている。
ース１２を有し、このベース１２に透過照明用光源１３
を設け、また、顕微鏡本体１１の上部には、落射照明用
光源１４を設けていている。これら光源１３、１４の点
灯は、透過または落射観察に応じて切り換えられるよう
になっている。
【００２０】そして、顕微鏡本体１１下部の透過照明用
光源１３からの光束は、ベース１２内に取り込まれ、ミ
ラー１５を介して垂直方向の観察光軸に入射し、また、
顕微鏡本体１１上部の落射照明用光源１４からの光束も
後述する対物レンズ１９を介して垂直方向の観察光軸に
入射するようにしている。
光源１３からの光束は、ベース１２内に取り込まれ、ミ
ラー１５を介して垂直方向の観察光軸に入射し、また、
顕微鏡本体１１上部の落射照明用光源１４からの光束も
後述する対物レンズ１９を介して垂直方向の観察光軸に
入射するようにしている。
【００２１】顕微鏡本体１１の中間部に、コンデンサレ
ンズ１６とステージ１７を配設している。そして、ミラ
ー１５を介して観察光軸に入射される光源１３からの光
束は、コンデンサレンズ１６を通してステージ１７上の
標本１８を透過照明し、また、対物レンズ１９を介して
観察光軸に入射される光源１４からの光束は、ステージ
１７上の標本１８を落射照明するようにしている。
ンズ１６とステージ１７を配設している。そして、ミラ
ー１５を介して観察光軸に入射される光源１３からの光
束は、コンデンサレンズ１６を通してステージ１７上の
標本１８を透過照明し、また、対物レンズ１９を介して
観察光軸に入射される光源１４からの光束は、ステージ
１７上の標本１８を落射照明するようにしている。
【００２２】観察光軸上に配置される対物レンズ１９
は、レボルバ２０に支持され、ステージ１７上の標本１
８からの観察光を対物レンズ１９を介して鏡筒２１に与
え、接眼レンズ２２で拡大観察にするとともに、ＴＶカ
メラ２３により撮像可能にしている。
は、レボルバ２０に支持され、ステージ１７上の標本１
８からの観察光を対物レンズ１９を介して鏡筒２１に与
え、接眼レンズ２２で拡大観察にするとともに、ＴＶカ
メラ２３により撮像可能にしている。
【００２３】この場合、レボルバ２０は、対物レンズ１
９として、上述した液晶パネルの貼合せガラスの厚さに
よる光学収差を補正した２０×、５０×、１００×のも
のと、補正しない観察用の５×、１０×のものが設けら
れている。ＴＶカメラ２３は、高精細モノクロタイプの
ものが用いられる。
９として、上述した液晶パネルの貼合せガラスの厚さに
よる光学収差を補正した２０×、５０×、１００×のも
のと、補正しない観察用の５×、１０×のものが設けら
れている。ＴＶカメラ２３は、高精細モノクロタイプの
ものが用いられる。
【００２４】そして、ＴＶカメラ２３で撮像された画像
信号を画像重ね合せ装置２４に入力するようにしてい
る。この画像重ね合せ装置２４には、モニタ２５、線巾
測定装置２６を接続している。
信号を画像重ね合せ装置２４に入力するようにしてい
る。この画像重ね合せ装置２４には、モニタ２５、線巾
測定装置２６を接続している。
【００２５】この場合、画像重ね合せ装置２４は、ＴＶ
カメラ２３で撮像された画像全部または選択した一部画
像を重ね合せてモニタ２５に表示できるようにしてい
る。線巾測定装置２６は、モニタ２５上に重ね合させ表
示された画像の指定部分の距離を測定できるものであ
る。
カメラ２３で撮像された画像全部または選択した一部画
像を重ね合せてモニタ２５に表示できるようにしてい
る。線巾測定装置２６は、モニタ２５上に重ね合させ表
示された画像の指定部分の距離を測定できるものであ
る。
【００２６】しかして、このような貼合せ精度測定装置
により貼合せ誤差を測定するには、まず、ステージ１７
上に、標本１８として上述した図６に示す液晶パネルを
電極基板側（ＴＦＴガラス４側）を上（対物レンズ１９
側）にして載置し、この状態で、顕微鏡本体１１上部の
落射照明用光源１４を点灯して落射照明を行う。
により貼合せ誤差を測定するには、まず、ステージ１７
上に、標本１８として上述した図６に示す液晶パネルを
電極基板側（ＴＦＴガラス４側）を上（対物レンズ１９
側）にして載置し、この状態で、顕微鏡本体１１上部の
落射照明用光源１４を点灯して落射照明を行う。
【００２７】そして、レボルバ２０を操作して測定に適
した倍率の対物レンズ１９を選択し、上述した図７に示
すパターンのゲート線６にピントを合わせる。この時、
接眼レンズ２２での拡大観察で像がはっきり見えるの
は、図２に示すようにゲート線６、ＴＦＴ５、信号線７
の部分が明部となり、ブラックマトリクス（ＢＭ）２
は、焦点深度外にある。
した倍率の対物レンズ１９を選択し、上述した図７に示
すパターンのゲート線６にピントを合わせる。この時、
接眼レンズ２２での拡大観察で像がはっきり見えるの
は、図２に示すようにゲート線６、ＴＦＴ５、信号線７
の部分が明部となり、ブラックマトリクス（ＢＭ）２
は、焦点深度外にある。
【００２８】この状態から、ＴＶカメラ２３で撮像され
た画像信号を画像重ね合せ装置２４に取り込み、画像の
全部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ２
５に入力する。図２では、破線で囲んだ信号線７の一部
のみを設定範囲としてモニタ２５に入力している。
た画像信号を画像重ね合せ装置２４に取り込み、画像の
全部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ２
５に入力する。図２では、破線で囲んだ信号線７の一部
のみを設定範囲としてモニタ２５に入力している。
【００２９】次に、顕微鏡本体１１下部の透過照明用光
源１３を点灯し、標本１８に対し透過照明に切換える。
そして、今度は、ブラックマトリクス（ＢＭ）２にピン
トを合わせる。この時、接眼レンズ２２での拡大観察で
は、図３に示すようにブラックマトリクス（ＢＭ）２の
窓２ａのみが明るく、これ以外は真暗な像として見え
る。
源１３を点灯し、標本１８に対し透過照明に切換える。
そして、今度は、ブラックマトリクス（ＢＭ）２にピン
トを合わせる。この時、接眼レンズ２２での拡大観察で
は、図３に示すようにブラックマトリクス（ＢＭ）２の
窓２ａのみが明るく、これ以外は真暗な像として見え
る。
【００３０】ここでも、ＴＶカメラ２３で撮像された画
像信号を画像重ね合せ装置２４に取り込み、画像の全
部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ２５
に入力する。図３の場合は、破線で囲んだブラックマト
リクス（ＢＭ）２の窓２ａの一部のみを設定範囲として
モニタ２５に入力している。
像信号を画像重ね合せ装置２４に取り込み、画像の全
部、もしくは画像の必要部分のみを設定してモニタ２５
に入力する。図３の場合は、破線で囲んだブラックマト
リクス（ＢＭ）２の窓２ａの一部のみを設定範囲として
モニタ２５に入力している。
【００３１】これらモニタ２５に入力された図２および
図３の画像は、図４に示すようにモニタ２５上で重ね合
わされ表示される。そして、モニタ２５上でカーソルを
作り、これを信号線７の一方端ａに合わせ、線巾測定装
置２６でのスケールを０にセットし、その後にカーソル
を信号線７の他方端ｂ、ブラックマトリクス（ＢＭ）２
の窓２ａの一方端ｃおよび他方端ｄにそれぞれ合わせな
がら、ａ−ｂ間の距離ｌ1 、ａ−ｃ間の距離ｌ2 、ａ−
ｄ間の距離ｌ3 を測定する。そして、これらの測定結果
から信号線７の中心ｅとブラックマトリクス（ＢＭ）２
の窓２ａの中心ｆの間の距離Ｌを求め、これと本来ある
べき値Ｌ0 と比較することにより貼合せ誤差を割り出す
ようになる。
図３の画像は、図４に示すようにモニタ２５上で重ね合
わされ表示される。そして、モニタ２５上でカーソルを
作り、これを信号線７の一方端ａに合わせ、線巾測定装
置２６でのスケールを０にセットし、その後にカーソル
を信号線７の他方端ｂ、ブラックマトリクス（ＢＭ）２
の窓２ａの一方端ｃおよび他方端ｄにそれぞれ合わせな
がら、ａ−ｂ間の距離ｌ1 、ａ−ｃ間の距離ｌ2 、ａ−
ｄ間の距離ｌ3 を測定する。そして、これらの測定結果
から信号線７の中心ｅとブラックマトリクス（ＢＭ）２
の窓２ａの中心ｆの間の距離Ｌを求め、これと本来ある
べき値Ｌ0 と比較することにより貼合せ誤差を割り出す
ようになる。
【００３２】なお、ここでは、ブラックマトリクス（Ｂ
Ｍ）２と信号線７のズレのみ測定しているが、本来は、
ブラックマトリクス（ＢＭ）２とＩＴＯ９のズレも測定
する必要がある。ところが、ＩＴＯ９は信号線７と同様
にリソグラフィ工程で作られるため、これらのズレはコ
ンマ数μｍ程度となり、敢えて測定しなくてともよい。
Ｍ）２と信号線７のズレのみ測定しているが、本来は、
ブラックマトリクス（ＢＭ）２とＩＴＯ９のズレも測定
する必要がある。ところが、ＩＴＯ９は信号線７と同様
にリソグラフィ工程で作られるため、これらのズレはコ
ンマ数μｍ程度となり、敢えて測定しなくてともよい。
【００３３】従って、このような実施例によれば、ピン
ト合わせに用いられる対物レンズ１９として、液晶パネ
ルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正したもの
を用いることにより、高倍率のものを使用でき、精度の
高いピント合わせによる高品質の画像を得られる。ま
た、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察
を切り換えるようにして、それぞれコントラストの高い
画像が得られるので、これらの重ね合わせ画像から精度
の高い測定が実現できる。さらに、これら落射観察およ
び透過観察による画像を重ね合わせて表示すると、その
ままこれら画像の距離関係の測定ができるので、どの部
分を計測しているかを目視で確認しながら測定作業を進
めることができ、作業の効率化を図ることができる。さ
らに、画像の一部について設定された画像範囲で互いの
距離関係の測定を行うことができるので、測定しやすい
部分での測定を行うことができる。
ト合わせに用いられる対物レンズ１９として、液晶パネ
ルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正したもの
を用いることにより、高倍率のものを使用でき、精度の
高いピント合わせによる高品質の画像を得られる。ま
た、落射照明による落射観察と透過照明による透過観察
を切り換えるようにして、それぞれコントラストの高い
画像が得られるので、これらの重ね合わせ画像から精度
の高い測定が実現できる。さらに、これら落射観察およ
び透過観察による画像を重ね合わせて表示すると、その
ままこれら画像の距離関係の測定ができるので、どの部
分を計測しているかを目視で確認しながら測定作業を進
めることができ、作業の効率化を図ることができる。さ
らに、画像の一部について設定された画像範囲で互いの
距離関係の測定を行うことができるので、測定しやすい
部分での測定を行うことができる。
【００３４】なお、実際の貼合せ精度の測定では、かな
りの部分が自動化される。例えば、ＴＶカメラ２３で撮
像される画像中の取り込むべき範囲を設定しておけば、
モニタ１５に表示すべき画像範囲をＴＶ画像から自動的
に抽出することができ、しかも、ピント合せについても
設定範囲の輝度分布をあらかじめ記憶しておくことによ
り、この輝度分布に最も近いピント位置にオートフォー
カスするようにもできる。また、上述の距離ｌ1 、ｌ2
、ｌ3 の測定は、図２および図３の画像より得られた
図４に示すモニタ画像に対するＣＣＤでの受光量によっ
ても実現できる。この場合、図５（ａ）は、図４に示す
モニタ画像のＣＣＤの受光量グラフであり、この受光量
グラフを微分することで、同図（ｂ）に示すように信号
線７およびブラックマトリクス（ＢＭ）２の窓２ａの各
エッジがｆ´（ａ）＝０として表われることから、これ
らの部分を検出することで、それぞれの距離ｌ1 、ｌ2
、ｌ3 を測定することもできる。
りの部分が自動化される。例えば、ＴＶカメラ２３で撮
像される画像中の取り込むべき範囲を設定しておけば、
モニタ１５に表示すべき画像範囲をＴＶ画像から自動的
に抽出することができ、しかも、ピント合せについても
設定範囲の輝度分布をあらかじめ記憶しておくことによ
り、この輝度分布に最も近いピント位置にオートフォー
カスするようにもできる。また、上述の距離ｌ1 、ｌ2
、ｌ3 の測定は、図２および図３の画像より得られた
図４に示すモニタ画像に対するＣＣＤでの受光量によっ
ても実現できる。この場合、図５（ａ）は、図４に示す
モニタ画像のＣＣＤの受光量グラフであり、この受光量
グラフを微分することで、同図（ｂ）に示すように信号
線７およびブラックマトリクス（ＢＭ）２の窓２ａの各
エッジがｆ´（ａ）＝０として表われることから、これ
らの部分を検出することで、それぞれの距離ｌ1 、ｌ2
、ｌ3 を測定することもできる。
【００３５】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明が含まれる。 （１）２枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液
晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶パネ
ルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物
レンズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射照明
を行う落射照明手段および前記液晶パネルに対して透過
照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前記液
晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズにより
ピント合わせされ得られた一方のガラス側の画像と前記
液晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによ
りピント合わせされ得られた他方のガラス側の画像を撮
像する撮像手段と、この撮像手段より撮像された画像を
重ね合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合せ手段
により得られた重ね合せ画像の距離関係から前記ガラス
の貼合せ誤差を測定する測定手段とを具備したことを特
徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
明中には以下の発明が含まれる。 （１）２枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造される液
晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶パネ
ルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した対物
レンズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射照明
を行う落射照明手段および前記液晶パネルに対して透過
照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前記液
晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズにより
ピント合わせされ得られた一方のガラス側の画像と前記
液晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによ
りピント合わせされ得られた他方のガラス側の画像を撮
像する撮像手段と、この撮像手段より撮像された画像を
重ね合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合せ手段
により得られた重ね合せ画像の距離関係から前記ガラス
の貼合せ誤差を測定する測定手段とを具備したことを特
徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。
【００３６】このようにすれば、液晶パネルの貼合せガ
ラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズを用い
ることにより、高倍率の対物レンズを使用することがで
き、精度の高いピント合わせによる高品質の画像を得ら
れる。また、落射照明による落射観察と透過照明による
透過観察を切り換えることで、それぞれにより得られる
画像コントラストを高めることができるので、これらの
重ね合わせ画像から精度の高い測定が実現できる。さら
に、これら落射観察および透過観察による画像を重ね合
わせて表示することで、そのまま距離関係の測定ができ
ることから、どの部分を計測しているかを目視で確認し
ながら作業を進めることができ、作業の効率化を図るこ
とができる。
ラスの厚みによる光学収差を補正した対物レンズを用い
ることにより、高倍率の対物レンズを使用することがで
き、精度の高いピント合わせによる高品質の画像を得ら
れる。また、落射照明による落射観察と透過照明による
透過観察を切り換えることで、それぞれにより得られる
画像コントラストを高めることができるので、これらの
重ね合わせ画像から精度の高い測定が実現できる。さら
に、これら落射観察および透過観察による画像を重ね合
わせて表示することで、そのまま距離関係の測定ができ
ることから、どの部分を計測しているかを目視で確認し
ながら作業を進めることができ、作業の効率化を図るこ
とができる。
【００３７】（２）ブラックマトリクスとカラーフィル
タを形成したＣＦガラスと薄膜トランジスタを配線とと
もに形成した電極ガラスを液晶を介し貼合せて製造され
る液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶
パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した
対物レンズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射
照明を行う落射照明手段および前記液晶パネルに対して
透過照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前
記液晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズに
よりピント合わせされ得られた前記配線の画像と前記液
晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズにより
ピント合わせされ得られた前記ブラックマトリクスの画
像を撮像する撮像手段と、この撮像手段より撮像された
画像を重ね合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合
せ手段により得られた前記配線とブラックマトリクスの
それぞれの画像の距離関係から前記ガラスの貼合せ誤差
を測定する測定手段とを具備したことを特徴とする液晶
パネルの貼合せ精度測定装置。
タを形成したＣＦガラスと薄膜トランジスタを配線とと
もに形成した電極ガラスを液晶を介し貼合せて製造され
る液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、前記液晶
パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を補正した
対物レンズ、標本としての前記液晶パネルに対して落射
照明を行う落射照明手段および前記液晶パネルに対して
透過照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本体と、前
記液晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズに
よりピント合わせされ得られた前記配線の画像と前記液
晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズにより
ピント合わせされ得られた前記ブラックマトリクスの画
像を撮像する撮像手段と、この撮像手段より撮像された
画像を重ね合せる画像重ね合せ手段と、この画像重ね合
せ手段により得られた前記配線とブラックマトリクスの
それぞれの画像の距離関係から前記ガラスの貼合せ誤差
を測定する測定手段とを具備したことを特徴とする液晶
パネルの貼合せ精度測定装置。
【００３８】このようにすれば、（１）で述べたと同様
な作用効果を期待することができる。 （３）（１）または（２）記載の液晶パネルの貼合せ精
度測定装置において、画像重ね合せ手段は、撮像手段よ
り撮像された画像の一部範囲を設定し、この設定範囲の
画像を重ね合せるようにしている。
な作用効果を期待することができる。 （３）（１）または（２）記載の液晶パネルの貼合せ精
度測定装置において、画像重ね合せ手段は、撮像手段よ
り撮像された画像の一部範囲を設定し、この設定範囲の
画像を重ね合せるようにしている。
【００３９】このようにすれば、画像の一部について設
定された画像範囲において互いの距離関係の測定を行う
ことができるので、測定しやすい部分での測定を行うこ
とができる。
定された画像範囲において互いの距離関係の測定を行う
ことができるので、測定しやすい部分での測定を行うこ
とができる。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ピン
ト合わせに用いられる対物レンズとして、高倍率のもの
を使用でき、精度の高いピント合わせによる高品質の画
像を得られる。また、落射照明による落射観察と透過照
明による透過観察の切り換えにより、それぞれコントラ
ストの高い画像が得られることから、これらの重ね合わ
せ画像から精度の高い測定が実現できる。さらに、これ
ら落射観察および透過観察による画像を重ね合わせて表
示することで、そのまま画像の距離関係の測定ができる
ので、どの部分を計測しているかを目視で確認しながら
測定作業を進めることができ、作業の効率化を図ること
ができる。さらに、画像の一部について設定された画像
範囲で互いの距離関係の測定を行うことができるので、
測定しやすい部分での測定を行うことができる。
ト合わせに用いられる対物レンズとして、高倍率のもの
を使用でき、精度の高いピント合わせによる高品質の画
像を得られる。また、落射照明による落射観察と透過照
明による透過観察の切り換えにより、それぞれコントラ
ストの高い画像が得られることから、これらの重ね合わ
せ画像から精度の高い測定が実現できる。さらに、これ
ら落射観察および透過観察による画像を重ね合わせて表
示することで、そのまま画像の距離関係の測定ができる
ので、どの部分を計測しているかを目視で確認しながら
測定作業を進めることができ、作業の効率化を図ること
ができる。さらに、画像の一部について設定された画像
範囲で互いの距離関係の測定を行うことができるので、
測定しやすい部分での測定を行うことができる。
【図１】本発明の一実施例の概略構成を示す図。
【図２】一実施例の落射照明により得られた観察画像の
一例を示す図。
一例を示す図。
【図３】一実施例の透過照明により得られた観察画像の
一例を示す図。
一例を示す図。
【図４】一実施例の重ね合わせ画像を示す図。
【図５】重ね合わせ画像からの距離測定の一例を示す
図。
図。
【図６】一般的な液晶パネルの断面を示す図。
【図７】液晶パネルのパターン・レイアウトを示す図。
１…透明板ガラス、２…ブラックマトリクス（ＢＭ）、
２ａ…窓、３…カラーフィルター、４…透明板ガラス、
５…ＴＦＴ、６…ゲート線、７…信号線、８…液晶、９
…ＩＴＯ、１１…顕微鏡本体、１２…ベース、１３…透
過照明用光源、１４…落射照明用光源、１５…ミラー、
１６…コンデンサレンズ、１７…ステージ、１８…標
本、１９…対物レンズ、２０…レボルバ、２１…鏡筒、
２２…接眼レンズ、２３…ＴＶカメラ、２４…画像重ね
合せ装置、２５…モニタ、２６…線巾測定装置。
２ａ…窓、３…カラーフィルター、４…透明板ガラス、
５…ＴＦＴ、６…ゲート線、７…信号線、８…液晶、９
…ＩＴＯ、１１…顕微鏡本体、１２…ベース、１３…透
過照明用光源、１４…落射照明用光源、１５…ミラー、
１６…コンデンサレンズ、１７…ステージ、１８…標
本、１９…対物レンズ、２０…レボルバ、２１…鏡筒、
２２…接眼レンズ、２３…ＴＶカメラ、２４…画像重ね
合せ装置、２５…モニタ、２６…線巾測定装置。
Claims (3)
- 【請求項１】 ２枚のガラスを液晶を介し貼合せて製造
される液晶パネルの貼合せ精度測定装置において、 前記液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を
補正した対物レンズ、標本としての前記液晶パネルに対
して落射照明を行う落射照明手段および前記液晶パネル
に対して透過照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本
体と、 前記液晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズ
によりピント合わせされ得られた一方のガラス側の画像
と前記液晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レン
ズによりピント合わせされ得られた他方のガラス側の画
像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段より撮像された画像を重ね合せる画像重ね
合せ手段と、 この画像重ね合せ手段により得られた重ね合せ画像の距
離関係から前記ガラスの貼合せ誤差を測定する測定手段
とを具備したことを特徴とする液晶パネルの貼合せ精度
測定装置。 - 【請求項２】 ブラックマトリクスとカラーフィルタを
形成したＣＦガラスと薄膜トランジスタを配線とともに
形成した電極ガラスを液晶を介し貼合せて製造される液
晶パネルの貼合せ精度測定装置において、 前記液晶パネルの貼合せガラスの厚みによる光学収差を
補正した対物レンズ、標本としての前記液晶パネルに対
して落射照明を行う落射照明手段および前記液晶パネル
に対して透過照明を行う透過照明手段を有する顕微鏡本
体と、 前記液晶パネルに対する落射照明の下で前記対物レンズ
によりピント合わせされ得られた前記配線の画像と前記
液晶パネルに対する透過照明の下で前記対物レンズによ
りピント合わせされ得られた前記ブラックマトリクスの
画像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段より撮像された画像を重ね合せる画像重ね
合せ手段と、 この画像重ね合せ手段により得られた前記配線とブラッ
クマトリクスのそれぞれの画像の距離関係から前記ガラ
スの貼合せ誤差を測定する測定手段とを具備したことを
特徴とする液晶パネルの貼合せ精度測定装置。 - 【請求項３】 画像重ね合せ手段は、撮像手段より撮像
された画像の一部範囲を設定し、この設定範囲の画像を
重ね合せることを特徴とする請求項１または２記載の液
晶パネルの貼合せ精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04575395A JP3625888B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04575395A JP3625888B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240410A true JPH08240410A (ja) | 1996-09-17 |
| JP3625888B2 JP3625888B2 (ja) | 2005-03-02 |
Family
ID=12728069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04575395A Expired - Fee Related JP3625888B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 液晶パネルの貼合せ精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3625888B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016009035A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
-
1995
- 1995-03-06 JP JP04575395A patent/JP3625888B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016009035A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3625888B2 (ja) | 2005-03-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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