JP3657345B2 - 膜厚検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICウェハや液晶パネルなどの製造プロセスにおいて基板面に塗布されたレジストなどの膜厚検査に用いられる膜厚検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば、液晶パネルの製造プロセスにおいて、基板表面に塗布したレジストに膜厚のむらなどがあると、エッチング後にパターン線幅などに不良を生じることが知られており、このため、これらレジストを塗布した基板について、エッチング前に膜厚検査を行うようにしている。
【0003】
しかして、従来の膜厚検査装置では、分光測光を応用した光学式のものが主流であり、光学顕微鏡に分光器を取り付け、標本面からの反射光の分光特性を測定することで、レジストの膜厚を測定するようにしている。
【0004】
図7は、このような原理を採用した膜厚検査装置の概略構成を示すもので、照明用光源1からの照明光をハーフミラー2および対物レンズ3を通してレジストを塗布した基板などの標本4面に照射し、この標本4面からの反射光を対物レンズ3、ハーフミラー2よりプリズム5を通して接眼レンズ6に与えるとともに、さらに測光絞り7、2次光カットフィルター8を通して回折格子9で分光しミラー10を介してラインセンサ11に取り込み、標本4について、例えば図8に示すような分光特性を得るようにしている。
【0005】
そして、このような膜厚検査装置において、標本4の膜厚dは、下式により算出される。
d=N/4・(λ1 ・λ2 )/(n(λ1 )・λ2 −n(λ2 )・λ1 )
ここで、λ1 、λ2 は、入射した光の波長、n(λ1 )は、λ1 での屈折率、n(λ2 )は、λ2 での屈折率、Nは、λ1 とλ2 の間に存在する極大、極小の数である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような膜厚検査装置によると、標本4上での膜厚測定は、一回に一つのポイントの測定しかできないため、広い面積を有する標本4面について測定を行い膜厚分布を得ようとすると多大の時間がかかり実用的でなくなるという問題点があった。
【0007】
このことは、近年、ICウェハは、8インチから12インチへと移行し、また、液晶パネルに用いられるガラス基板についても320×400mmから550×650mmに移行する傾向とともに、ますます広い面積の膜厚分布の情報も簡単に得られる膜厚検査装置の出現が望まれている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、広い面積の膜厚分布の情報を簡単に得られる膜厚検査装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被検査対象物に対して波長の異なる単色光を選択的に照射する光源手段と、前記光源手段からの光を略平行な光束として前記被検査対象物面に対して照射するレンズと、前記被検査対象物の干渉像を撮像する撮像手段と、前記光源手段により選択された波長の異なる各単色光ごとに前記撮像手段により取り込まれた干渉像を画像処理して前記被検査対象物の膜厚に対応する分光特性を求める画像処理手段とを具備し、前記画像処理手段は、前記光源手段により選択された波長の異なる各単色光により照射された前記被検査対象物からの反射光量に対してRGBカラー信号を生成し、それぞれ生成されたRGBカラー信号を重ね合せて表示部に膜厚に応じたカラー画像を表示することを特徴とする。
【0009】
また、前記表示部は、前記膜厚に応じたカラー画像に対する色見本を表示することを特徴とする。
さらに、前記光源手段は、白色光源と、この白色光源から出射された光を異なる干渉波長に変換する複数の干渉フィルタとからなることを特徴とする。
【0010】
この結果、本発明によれば、被検査対象面に形成されるコーティング膜やレジスト膜などの膜厚に対し広範囲の膜厚分布が簡単に得られ、更に膜厚分布をカラー表示して膜厚状態を一見して観察することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の膜厚検査装置の概略構成を示している。図において、21は白色光源で、この白色光源21には、干渉光源としてハロゲンランプなどを用いている。
【0012】
そして、この白色光源21の前面に、フィルタ回転ユニット22を配置している。このフィルタ回転ユニット22は、回転円板221の周縁部に沿って複数の穴部222を設け、これら穴部222に干渉フィルター223を設けている。そして、回転円板221の回転操作により所望の干渉フィルター223を光源21の光路上に選択的に位置させることで、各干渉フィルター223に応じた複数の単色光を取り出し可能にしている。
【0013】
この場合、白色光源21の光路上に位置させる干渉フィルター223は、干渉波長が500〜700nmの中から最適なものを選択するようになるが、基板に塗布された膜厚が、所定の基準膜厚を中心に変動するような場合は、その膜厚が最も感度よく検出される干渉波長のものを選択するようになる。また、事前に被検査対象が定まらない場合は、干渉波長を500nmから30nmずつ、半値幅(光を通すバンド幅)が10nmの干渉フィルタを10個用い、この中からコントラストの最も良くなるものを選択的に使用するようにする。
【0014】
このようなフィルタ回転ユニット22を通した光を、光ファイバ23を介してフロスト24に与える。このフロスト24は、光ファイバ23からの光を拡散光に変換するものである。
【0015】
そして、このフロスト24からの拡散光をハーフミラー25で反射してコリメートレンズ26に導き、ここで、平行光に変換して、被検査対象であるレジストなどを塗布した基板27面を均一な光として一括照射するようにしている。
【0016】
この場合、基板27上に照射された光は、基板表面に塗布された薄膜の上面と下面で反射し、膜厚に依存した干渉像を形成する。
この干渉像は、コリメートレンズ26、ハーフミラー25を通し、さらにズームレンズ28を通してCCDカメラ29に結像するようにしている。このCCDカメラ29には、解像度の優れたモノクロカメラが用いられている。
【0017】
CCDカメラ29には、カメラコントローラ30を接続し、さらに、カメラコントローラ30に画像処理装置31を接続している。
画像処理装置31は、干渉フィルタ223ごとにCCDカメラ29に結像される各干渉画像を蓄積するとともに、膜厚の分光特性を求め、さらに、この分光特性から膜厚に応じたRGBのカラー信号生成して出力するようにしている。
【0018】
そして、この画像処理装置31からのカラー信号を表示部32に与え、基板27面の膜厚に応じた疑似カラー映像を表示するようにしている。
なお、33は、パソコン33で、画像処理装置31からの画像信号を取り込むとともに、所定の処理を行うもので、この処理結果をモニタ34に表示するようにもしている。
【0019】
図2は、画像処理装置31の概略構成を示している。
画像処理装置31は、画像バス311にAD変換器312、画像メモリ313、プロセッサユニット314、CPUユニット315、画像メモリ群316、R画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319を接続し、これらR画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319にそれぞれDA変換器320、321、322を接続している。
【0020】
ここで、AD変換器312は、CCDカメラ29から入力される画像信号を8ビット(256階調)のデジタル信号に変換するものである。画像メモリ313は、AD変換器312でデジタル化された画像信号を記憶するための汎用の画像メモリである。CPUユニット315は、外部制御信号(コマンド)に応じて疑似カラー信号を生成するための画像処理を行うものである。プロセッサユニット314は、CPUユニット315に送られた外部制御信号(コマンド)により階調圧縮、二値化、ヒストグラムなどの画像処理を行うものである。画像メモリ群316は、画像バス311を介して画像データの入替えが可能であり、CPUユニット315に外部制御信号(コマンド)を与えることによりデータ転送を行うものである。R画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319は、疑似カラー化されたRGBの画像信号を各別に記憶するもので、これらR画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319に記憶された画像信号を、DA変換器320、321、322を介してアナログ信号に変換し、RGBカラー映像信号として出力するようにしている。
【0021】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
いま、白色光源21より照明光が出射されると、この照明光は、フィルタ回転ユニット22で選択された第1の干渉フィルター223を通して単色光として取り出され、光ファイバ23を介してフロスト24に導かれ、コリメートレンズ26により平行光に変換されて、被検査対象であるレジストなどを塗布した基板27面に均一光として一括照射される。
【0022】
そして、この照明光により、基板27表面に膜厚に依存した干渉像が形成されると、この干渉像は、コリメートレンズ26、ハーフミラー25を通し、さらにズームレンズ28を通してCCDカメラ29に結像され、このCCDカメラ29からの画像信号が画像処理装置31に取り込まれる。
【0023】
同様にして、フィルタ回転ユニット22で干渉波長の異なる第2および第3の干渉フィルター223に切り替えられ、これら第2および第3の干渉フィルター223を通した単色光による干渉像がCCDカメラ29に結像され、これら画像信号も画像処理装置31に取り込まれる。
【0024】
これらCCDカメラ29からの画像信号は、画像処理装置31のAD変換器312により8ビット(256階調)のデジタル信号に変換されて、画像メモリ313に一旦蓄積され、その後、外部制御信号(コマンド)に応じたCPUユニット315による画像処理により干渉像から膜厚に対応する分光特性が求められ、さらに、分光特性から膜厚に応じたカラー信号が生成される。
【0025】
この場合、例えば、図3(a)、(b)、(c)に示すような膜厚サンプルA、B、Cに対する分光特性が与えられ、これら分光特性から、第1乃至第3の干渉フィルタ223として、500nm、600nm、700nmの各干渉波長のものを順に切り替えて使用したとすると、各膜厚サンプルA、B、Cに対する干渉像の反射光量から、図4(a)、(b)、(c)に示すようなRGBのカラー信号が生成され、それぞれR画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319に記憶されるようになる。
【0026】
つまり、いま、図3(a)に示す膜厚サンプルAに対して、500nmの干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量をB(ブルー)で表示し、600nmの干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量をG(グリン)で表示し、700nmの干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量をR(レッド)で表示するものとすると、図4(a)に示すようなRGBのカラー信号が生成され、同様に、図3(b)に示す膜厚サンプルBに対して、500nm、600nm、700nmの各干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量をそれぞれB(ブルー)、G(グリン)、R(レッド)で表示するものとすると、図4(b)に示すRGBのカラー信号が生成され、さらに、図3(c)に示す膜厚サンプルCに対して、500nm、600nm、700nmの各干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量をそれぞれB(ブルー)、G(グリン)、R(レッド)で表示するものとすると、図4(c)に示すRGBのカラー信号が生成される。
【0027】
そして、これら図4(a)、(b)、(c)に示す各RGBのカラー信号は、R画像メモリ317、G画像メモリ318、B画像メモリ319より読み出されDA変換器320、321、322を介してアナログ信号に変換され、RGBカラー映像信号として、表示部32に送られ、ここで重ね合わされることで、表示部32に、膜厚分布として疑似カラー表示されることになる。
【0028】
図5は、このようにして得られた膜厚分布の表示例を示すもので、この場合、図4(a)、(b)、(c)に示す各RGBのカラー信号の重ね合わせにより膜厚サンプルA部分は、濃い紫、膜厚サンプルB部分は、薄い紫、膜厚サンプルC部分は、黄緑で表示され、さらに膜厚Aと膜厚Bの間に位置する膜厚部分は、膜厚Aと膜厚Bの中間色で表示される。
【0029】
なお、このような膜厚分布を表示する表示部32の表示画面に、膜厚に対応した色見本3201を表示するようにすれば、表示部32の表示画面上の膜厚分布をさらに見易いものにできる。
【0030】
従って、このようにすれば白色光源21の光路中に挿入される干渉波長の異なる第1乃至第3の干渉フィルタ223を順に切り替え、これら干渉フィルタ223より取り出される単色光をレジストなどを塗布した基板27面に照射し、この基板27面の干渉像に応じた反射光量をCCDカメラ29より取り込むとともに、画像処理装置31により各干渉フィルタ223に対応して色指定されたRGBの各カラー信号をCCDカメラ29より取り込んだ反射光量に対応させて生成し、これらRGBのカラー信号を表示部32にて重ね合わせて表示することで、基板27面の膜厚分布を疑似カラー表示するようにしている。これにより、基板27面に形成されるコーティング膜やレジスト膜などの膜厚分布の疑似カラー表示を、基板27全体について簡単に得られ、この表示の内容から膜厚状態を一見して観察することができるので、IC用の大型ウェハや液晶パネルなどの製造プロセスにおける膜厚管理が簡単になり、製品の歩止まりを一段と向上させることができる。また、従来の分光測光を応用した光学式の膜厚検査装置と比べて、構成が簡単にできるので、価格的にも安価にできる。
(第2の実施の形態)
第1の実施の形態では、干渉波長の異なる3個の干渉フィルタ223を通った単色光より得られた反射光量に応じた画像を、それぞれR、G、Bで表示し、これら画像を重ね合わせることで、疑似カラー表示を得るようにしたが、この第2の実施の形態では、干渉波長の異なるn個(ここでは4個)の干渉フィルタを用い、これら干渉フィルタごとに、それぞれカラー画像を表示することで、疑似カラー表示画像を得るようにしている。
【0031】
かかる第2の実施の形態では、上述した図1を援用するものとする。そして、この場合の画像処理装置31は、第1の干渉フィルタを通った単色光より得られた反射光量からRGBのカラー信号を生成し、同様にして第2から第4の干渉フィルタを通った単色光より得られた反射光量からもRGBのカラー信号を生成し、これらRGBのカラー信号を表示部32の同一表示画面上に表示するようにしている。
【0032】
つまり、図6に示すように第1の干渉フィルタを通った単色光より得られた干渉像をRGBのカラー信号からなるAカラーで表示し、第2の干渉フィルタを通った単色光より得られた干渉像をRGBのカラー信号からなるBカラーで表示し、さらに第2、第3の干渉フィルタを通った単色光より得られた干渉像をRGBのカラー信号からなるC、Dカラーで表示することにより、表示部32上に一画面分の膜厚分布疑似カラー表示画像を得られることになる。
このようにすれば、さらに微妙に異なる膜厚についても精度よく表示することができる。
【0033】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、被検査対象面に形成されるコーティング膜やレジスト膜などの膜厚に対して広範囲の膜厚分布が間単に得られる。また、膜厚分布をカラー表示することにより膜厚状態を一見して観察できるようになるので、IC用の大型ウエハや液晶パネルなどの製造プロセスにおける膜厚管理が簡単になり、製品の歩止まりを一段と向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】 第1の実施の形態で用いられる画像処理装置の概略構成を示す図。
【図3】 第1の実施の形態を説明するための膜厚サンプルの分光特性を示す図。
【図4】 第1の実施の形態を説明するためのRGBカラー信号の生成状態を示す図。
【図5】 第1の実施の形態での膜厚分布の表示例を示す図。
【図6】 本発明の第2の実施の形態での膜厚分布の表示例を示す図。
【図7】 従来の膜厚検査装置の概略構成を示す図。
【図8】 同膜厚検査装置による分光特性を示す図。
【符号の説明】
21…白色光源、
22…フィルタ回転ユニット、
221…回転円板、
222…穴部、
223…干渉フィルター、
23…光ファイバ、
24…フロスト、
25…ハーフミラー、
26…コリメートレンズ、
27…基板、
28…ズームレンズ、
29…CCDカメラ、
30…カメラコントローラ、
31…画像処理装置、
311…画像バス、
312…AD変換器、
313…画像メモリ、
314…プロセッサユニット、
315…CPUユニット、
316…画像メモリ群、
317…R画像メモリ、
318…G画像メモリ、
319…B画像メモリ、
320、321、322…DA変換器、
32…表示部、
3201…色見本、
33…パソコン、
34…モニタ。
Claims (3)
- 被検査対象物に対して波長の異なる単色光を選択的に照射する光源手段と、
前記光源手段からの光を略平行な光束として前記被検査対象物面に対して照射するレンズと、
前記被検査対象物の干渉像を撮像する撮像手段と、
前記光源手段により選択された波長の異なる各単色光ごとに前記撮像手段により取り込まれた干渉像を画像処理して前記被検査対象物の膜厚に対応する分光特性を求める画像処理手段とを具備し、
前記画像処理手段は、前記光源手段により選択された波長の異なる各単色光により照射された前記被検査対象物からの反射光量に対してRGBカラー信号を生成し、それぞれ生成されたRGBカラー信号を重ね合せて表示部に膜厚に応じたカラー画像を表示することを特徴とする膜厚検査装置。 - 前記表示部は、前記膜厚に応じたカラー画像に対する色見本を表示することを特徴とする請求項1記載の膜厚検査装置。
- 前記光源手段は、白色光源と、この白色光源から出射された光を異なる干渉波長に変換する複数の干渉フィルタとからなることを特徴とする請求項1記載の膜厚検査装置。
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