JP2012233880A5

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Publication number: JP2012233880A5
Application number: JP2012082640A
Authority: JP
Filing date: 2012-03-30
Publication date: 2015-05-07
Anticipated expiration: 2032-03-30

Description

本発明の実施の形態に係る基板検査装置は、第１基板層と第２基板層とが貼り合わされてなる基板の前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞について検査する基板検査装置であって、前記基板の表面に対して斜めに入射するように所定波長の検査光を照射する照明ユニットと、前記検査光により前記基板に形成される帯状照明領域を挟んで前記照明ユニットと逆側の所定位置であって、前記第１基板層と前記第２基板層との界面での前記検査光の反射光を受光することができる所定位置に配置されるラインセンサカメラと、前記基板と前記ラインセンサカメラ及び前記照明ユニットとを、前記帯状照明領域を横切る方向で相対移動を行わせる移動機構と、前記ラインセンサカメラからの映像信号を処理する画像処理ユニットとを有し、該画像処理ユニットは、前記照明ユニット及び前記ラインセンサカメラと前記基板との相対移動が前記移動機構によりなされている際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて前記基板の画像を表す基板画像情報を生成する基板画像情報生成手段と、前記基板画像情報に基づいて前記基板における前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する検査結果情報生成手段とを有する構成となる。

また、本発明の実施の形態に係る基板検査方法は、第１基板層と第２基板層とが貼り合わされてなる基板の前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞について検査する基板検査方法であって、照明ユニットが前記基板の表面に対して斜めに入射するように所定波長の検査光を照射する状態で、前記基板と、前記検査光により前記基板に形成される帯状照明領域を挟んで前記照明ユニットと逆側の所定位置であって、前記第１基板層と前記第２基板層との界面での前記検査光の反射光を受光することができる所定位置に配置されるラインセンサカメラ及び当該照明ユニットとを前記帯状照明領域を横切る方向で相対移動を行わせる基板走査ステップと、前記基板と前記照明ユニット及び前記ラインセンサカメラとの相対移動がなされている際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて前記基板の画像を表す基板画像情報を生成する基板画像情報生成ステップと、前記基板画像情報に基づいて前記基板における前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する検査結果情報生成ステップとを有する構成となる。

Claims

第１基板層と第２基板層とが貼り合わされてなる基板の前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞について検査する基板検査装置であって、
前記基板の表面に対して斜めに入射するように所定波長の検査光を照射する照明ユニットと、
前記検査光により前記基板に形成される帯状照明領域を挟んで前記照明ユニットと逆側の所定位置であって、前記第１基板層と前記第２基板層との界面での前記検査光の反射光を受光することができる所定位置に配置されるラインセンサカメラと、
前記基板と前記ラインセンサカメラ及び前記照明ユニットとを前記帯状照明領域を横切る方向で相対移動を行わせる移動機構と、
前記ラインセンサカメラからの映像信号を処理する画像処理ユニットとを有し、
該画像処理ユニットは、
前記照明ユニット及び前記ラインセンサカメラと前記基板との相対移動が前記移動機構によりなされている際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて前記基板の画像を表す基板画像情報を生成する基板画像情報生成手段と、
前記基板画像情報に基づいて前記基板における前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する検査結果情報生成手段とを有する基板検査装置。
前記ラインセンサカメラは、当該ラインセンサカメラの撮影ラインが、前記基板に形成される帯状照明領域の照度分布が最大となる帯状部分から前記照明ユニットから遠ざかる方向に所定距離だけずれた位置となるようにセットされた請求項１記載の基板検査装置。
前記ラインセンサカメラは、当該ラインセンサカメラの撮影ラインが、前記基板に形成される帯状照明領域の中心線から前記照明ユニットから遠ざかる方向に所定距離だけずれた位置となるようにセットされた請求項１記載の基板検査装置。
前記検査結果情報生成手段は、前記基板画像情報に基づいて、当該基板画像情報が表す基板画像において前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じた微小空洞に対応する微小空洞部分を検出する手段を有し、
検出された前記微小空洞部分の形状に係る情報を含む前記検査結果情報を生成する請求項１乃至３のいずれかに記載の基板検査装置。
前記検査結果情報生成手段は、前記微小空洞部分の形状に係る情報として前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出する手段を有し、
前記微小空洞部分の厚さに係る情報を含む前記検査結果情報を生成する請求項４記載の基板検査装置。
前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出する手段は、検出された前記微小空洞部分から環状画像部分を抽出する手段を有し、
抽出された前記環状画像部分の干渉縞の形状に基づいて前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出する請求項５記載の基板検査装置。
第１基板層と第２基板層とが貼り合わされてなる基板の前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞について検査する基板検査方法であって、
照明ユニットが前記基板の表面に対して斜めに入射するように所定波長の検査光を照射する状態で、前記基板と、前記検査光により前記基板に形成される帯状照明領域を挟んで前記照明ユニットと逆側の所定位置であって、前記第１基板層と前記第２基板層との界面での前記検査光の反射光を受光することができる所定位置に配置されるラインセンサカメラ及び当該照明ユニットとを前記帯状照明領域を横切る方向で相対移動を行わせる基板走査ステップと、
前記基板と前記照明ユニット及び前記ラインセンサカメラとの相対移動がなされている際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて前記基板の画像を表す基板画像情報を生成する基板画像情報生成ステップと、
前記基板画像情報に基づいて前記基板における前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する検査結果情報生成ステップとを有する基板検査方法。
前記検査結果情報生成ステップは、前記基板画像情報に基づいて、当該基板画像情報が表す基板画像において前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じた微小空洞に対応する微小空洞部分を検出するステップを有し、
検出された前記微小空洞部分の形状に係る情報を含む前記検査結果情報を生成する請求項７記載の基板検査方法。
前記検査結果情報生成ステップは、前記微小空洞部分の形状に係る情報として前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出するステップを有し、
前記微小空洞部分の厚さに係る情報を含む前記検査結果情報を生成する請求項８記載の基板検査方法。
前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出するステップは、検出された前記微小空洞部分から環状画像部分を抽出するステップを有し、
抽出された前記環状画像部分の干渉縞の形状に基づいて前記微小空洞部分の厚さに係る情報を算出する請求項９記載の基板検査方法。
第１基板層と第２基板層とが貼り合わされてなる基板の前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞について検査する基板検査装置であって、
前記基板の表面に対して斜めに入射するように所定波長の検査光を帯状に照射する照明ユニットと、
前記検査光により前記基板に形成される帯状照明領域を挟んで前記照明ユニットと逆側に所定の位置関係で並んで配置されるラインセンサカメラ及びエリアセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラ及び前記エリアセンサカメラを一体的に動かして、当該ラインセンサカメラ及び当該エリアセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置及び姿勢を調整するカメラ調整機構と、
前記基板と前記ラインセンサカメラ及び前記照明ユニットとを前記帯状照明領域を横切る方向で相対移動を行わせる移動機構と、
前記エリアセンサカメラ及び前記ラインセンサカメラそれぞれからの映像信号を処理する画像処理ユニットと、
表示ユニットとを有し、
前記画像処理ユニットは、
前記エリアセンサカメラからの映像信号に基づいて前記表示ユニットに画像を表示させるエリア画像表示制御手段と、
前記照明ユニット及び前記カメラ調整機構により前記基板の前記帯状照明領域と所定の位置関係となるように調整された前記ラインセンサカメラと前記基板との相対移動が前記移動機構によりなされている際に、前記ラインセンサカメラから出力される映像信号に基づいて前記基板の画像を表す基板画像情報を生成する基板画像情報生成手段と、
前記基板画像情報に基づいて前記基板における前記第１基板層と前記第２基板層との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する検査結果情報生成手段とを有する基板検査装置。
前記エリアセンサカメラと前記ラインセンサカメラとは、撮影方向が同一となる位置関係にて並んで配置された請求項１１記載の基板検査装置。
前記エリアセンサカメラと前記ラインセンサカメラとは、前記エリアセンサカメラの撮影中心と前記ラインセンサカメラの撮影ラインとが同一ライン上となる位置関係にて並んで配置された請求項１２記載の基板検査装置。
前記カメラ調整機構は、前記ラインセンサカメラ及び前記エリアセンサカメラを一体的に前記基板の前記帯状照明領域の延びる方向にスライドさせるスライド機構を有する請求項１３記載の基板検査装置。
前記ラインセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置が、前記カメラ調整機構により、前記ラインセンサカメラの前記基板の表面での撮影ラインが、前記基板の前記帯状照明領域の照度分布が最大となる帯状部分から前記照明ユニットから遠ざかる方向に所定距離だけずれた位置となるように調整された請求項１１乃至１４のいずれかに記載の基板検査装置。
前記ラインセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置が、前記カメラ調整機構により、前記ラインセンサカメラの前記基板の表面での撮影ラインが、前記基板の前記帯状照明領域の中心線から前記照明ユニットから遠ざかる方向に所定距離だけずれた位置となるように調整された請求項１１乃至１４のいずれかに記載の基板検査装置。
請求項１１乃至１６のいずれかに記載の基板検査装置の調整方法であって、
前記エリアセンサカメラからの映像信号に基づいた画像を表示ユニットに表示させながら、前記基板に形成される帯状照明領域の映像が前記表示ユニットの画面上の所定位置になるように、前記エリアセンサカメラ及び前記ラインセンサカメラを一体的に前記カメラ調整機構によって動かして、当該エリアセンサカメラ及び当該ラインセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置及び姿勢を調整するエリアセンサカメラ調整ステップと、
前記ラインセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置関係が、
前記エリアセンサカメラ調整ステップにより調整された前記エリアセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置関係と同じになるように、前記カメラ調整機構によって前記ラインセンサカメラ及び前記エリアセンサカメラを一体的に動かすラインセンサカメラ調整ステップとを有する前記基板検査装置の調整方法。
調整すべき基板検査装置は、請求項１４記載の基板検査装置であって、
前記ラインセンサカメラ調整ステップは、前記スライド機構により、前記ラインセンサカメラ及び前記エリアセンサカメラを一体的にスライドさせて、前記ラインセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置関係が、前記エリアセンサカメラ調整ステップにより調整された前記エリアセンサカメラの前記基板の前記帯状照明領域に対する相対的な位置関係と同じにさせる請求項１７記載の基板検査装置の調整方法。
前記エリアセンサカメラ調整ステップは、前記エリアセンサカメラの撮影中心が前記基板の前記帯状照明領域の照度分布が最大となる帯状部分となる位置になるように、前記エリアセンサカメラ及び前記ラインセンサカメラを一体的に前記カメラ調整機構によって動かす第１ステップと、
前記エリアセンサカメラの撮影中心が前記照明ユニットから遠ざかる方向に所定距離だけずれた位置となるように、前記エリアセンサカメラ及び前記ラインセンサカメラを一体的に前記カメラ調整機構によって動かす第２ステップとを有する請求項１７または１８記載の基板検査装置の調整方法。