WO2008126647A1 - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents

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Abstract

　被検物（２０）にスリット光を投影するスリット状パターン投影部（１）と、そのスリット光が被検物（２０）で反射され、反射してきたパターン像をスリット基線方向と垂直方向に離して複数のスリット像を形成する撮像レンズ（３）と平行平面板（４）と、その複数のスリット像を撮像し、複数のスリット画像を生成する撮像装置（５）と、スリット光のスリット基線方向と異なる方向にスリット光と被検物（２０）とを相対移動させるＸＹＺステージ駆動部（１２）と、スリット基線方向の画素毎に各スリット画像の輝度を比較し、被検物（２０）の形状を求めるのに最適な輝度のスリット画像をスリット基線方向の画素毎に選択し、被検物（２０）の形状を求めるためのスリット画像データを取得するスリット画像選択部（８）と、被検物（２０）に対するスリット光の相対位置とスリット画像データとを用いて被検物（２０）の形状を演算する形状演算部（９）とを備える。
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