JP6795993B2 - 形状測定システム、形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Description
[形状測定システムSの概要]
図1は、第1の実施形態に係る形状測定システムSの概要について説明するための図である。図1(a)は、形状測定システムSの構成を示している。形状測定システムSは、投影装置1と、撮像装置2と、形状測定装置3とを有する。
撮像装置2は、レンズ21及び撮像素子22を有しており、投影装置1が複数の投影パターンのそれぞれを投影中に、順次、測定対象物を撮像することにより複数の撮像画像を生成する。
形状測定装置3は、撮像装置2が生成した複数の撮像画像に基づいて測定対象物の形状を測定する。形状測定装置3は、例えばコンピュータにより実現できる。
なお、本明細書において、光が測定対象物に投影されていない状態を、全黒パターンが投影されている状態と定義し、光が測定対象物の全体に投影されている状態を、全白パターンが投影されている状態と定義する。
上記の方法により、形状測定装置3は、測定対象物の形状を測定することができるが、多重反射が発生する場合、測定精度が低下する。そこで、多重反射の影響を抑制する処理が必要になる。
図2は、多重反射について説明するための図である。測定対象物に光沢がありかつ複雑な形状をしている場合、投影装置1が発する光が測定対象表面で複数回反射を繰り返してから撮像装置2に入射することがある。この場合、図2(a)に示すように、投影装置1が発する光が2つ以上の経路を介して撮像素子22の一つの画素に入射する。
図4は、投影装置1が投影する投影パターンの種類の例を示す図である。図4における黒色の領域は、投影装置1が光を投影しない領域(以下、「非投影領域」という)を示しており、白色の領域は、投影装置1が光を投影する領域(以下、「光投影領域」という)を示している。
本実施形態においては、4種類のグレイコードパターンを用いる例で説明しているが、より多くのグレイコードを用いることで、白色領域及び黒色領域の幅が狭くなり、高さの測定分解能を高めることができる。
続いて、形状測定装置3の構成及び動作を詳細に説明する。
図6は、形状測定装置3の構成を示す図である。形状測定装置3は、記憶部31及び制御部32を有する。記憶部31は、ROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)等から構成される記憶媒体である。記憶部31は、制御部32が実行するプログラム、及び制御部32が使用する各種のデータを記憶している。記憶部31は、例えば、投影装置1が投影する投影パターンにおける位置と、撮像装置2が生成する撮像画像における各画素の座標と、高さを示す高さ情報とが関連付けられた高さ特定用情報を記憶している。
図7は、形状測定システムSが測定対象物の形状を特定する手順を示すフローチャートである。
まず、投影装置1は、複数の投影パターンを測定対象物に順次照射する(S11)。撮像装置2は、複数の投影パターンが順次照射されるタイミングに同期して、測定対象物を撮像する(S12)。続いて、投影装置1及び撮像装置2は、全ての投影パターンの投影及び撮像が終了したかを判定する(S13)。投影装置1及び撮像装置2は、全ての投影パターンの投影及び撮像が終了していないと判定した場合は、ステップS11に戻り、全ての投影パターンの投影及び撮像が終了していると判定した場合は、ステップS14に進む。このようにして、投影装置1は、全黒パターン、全白パターン、投影パターン1〜4を順次投影し、撮像装置2は、各投影パターンが照射された状態に対応する複数の撮像画像を生成する。
量子化部322は、全黒撮像画像及び全白撮像画像の対応する画素間の輝度値の差を算出する(S16)。続いて、量子化部322は、撮像画像1〜4それぞれに含まれる複数の画素を、以下の3グループに分類する。
(グループ1)形状の特定に使用できない画素
(グループ2)光が投影されていない位置に対応する量子化値0の画素
(グループ3)光が投影されている位置に対応する量子化値1の画素
図9は、撮像画像におけるある画素(x、y)の輝度値と量子化値との関係を示す図である。横軸は、投影パターンの種類を示し、縦軸は、撮像画像における輝度値を示している。実線の矢印は、直接光による輝度値を示しており、破線の矢印は、多重反射光による輝度値を示している。実線の矢印が存在する投影パターンにおいては、画素(x、y)に光が投影されており、破線の矢印が存在する投影パターンにおいては、画素(x、y)に光が投影されていない。したがって、投影パターン1,2,4においてのみ画素(x、y)に光が投影されており、多重反射光の影響を受けない場合、この画素(x、y)のコード値は、C=(c1,c2,c3,c4)=(1,1,0,1)である。
上記の説明において、量子化部322は、光が測定対象物に投影されていない状態で撮像装置2が撮像した全黒撮像画像(第1撮像画像)の輝度値と、光が測定対象物の全体に投影されている状態で撮像装置2が撮像した全白撮像画像(第2撮像画像)の輝度値との中間の輝度値を基準値としたが、基準値は他の値であってもよい。光が測定対象物の全体に投影されている状態で撮像装置2が撮像した撮像画像の輝度値は、投影パターン1〜4が測定対象物に投影されている状態で撮像された撮像画像の輝度値よりも大きい傾向にある。したがって、量子化部322は、投影パターン1〜4が測定対象物に投影されている状態で撮像された撮像画像の輝度値を量子化する際に、全黒撮像画像の輝度値と全白撮像画像の輝度値との中間の輝度値よりも小さな値に基準値を設定してもよい。例えば、量子化部322は、中間の輝度値の80%〜90%の値を基準値としてもよい。
形状測定システムSは、投影装置1が複数の投影パターンを投影する条件を変えて、複数回にわたって測定し、複数回の測定結果に基づいて、測定対象物の形状を特定してもよい。この場合、投影装置1は、例えば、複数の投影パターンから構成される投影パターン群の「向き」、「位置」又は「投影パターンの強度分布形状」のいずれかを変えて、複数の投影パターン群に含まれる複数の投影パターンを順次投影する。ここで、「投影パターンの強度分布形状」を変えるとは、例えば、パターン形状、パターン周期、振幅分布等の強度分布に関わる任意のパラメータを変えることを意味する。撮像装置2は、複数の投影パターン群に対応する複数の撮像画像群を生成する。撮像画像群には、複数の撮像画像が含まれている。ここで、一つの投影パターン群には、上記の説明における投影パターン1〜4のように、同一の条件下で投影される複数の異なる投影パターンが含まれる。一つの撮像画像群には、上記の説明における撮像画像1〜4のように、同一の条件下で撮像された複数の異なる撮像画像が含まれる。
形状測定システムSは、互いに異なる位置及び角度に設置された複数の撮像装置2を用いて、投影パターンが投影された測定対象物を撮像してもよい。この時、投影装置1から投影された光は、測定対象面で反射し、個々の撮像装置2に入射される。撮像装置2ごとに異なった反射経路の光線が入射されることから、測定対象面の同じ位置の画素であっても、各撮像装置2が生成した撮像画像ごとに多重反射の影響が異なる。
また、形状測定システムSが、例えば、測定対象物を載置するターンテーブルを有しており、ターンテーブルを回転させて、投影装置1が、測定対象物に対して複数の異なる向きから投影パターンを投影し、撮像装置2が、それぞれの向きから投影パターンが投影された状態に対応する複数の撮像画像群を生成してもよい。
このように、形状測定システムSは、複数の撮像画像群を用いることで、一つの撮像画像群に含まれる撮像画像に輝度値の信頼性が低い画素があっても、他の撮像画像群に含まれる撮像画像の輝度値で補うことができるので、測定精度が向上する。
形状測定システムSは、以上の説明で用いた投影パターンを、正弦波の輝度分布からなる位相シフト法と組み合わせて、投影パターンの輝度を多値化することにより、さらに高さ方向の解像度を高めてもよい。この場合、位相シフト法による正弦波のオフセット値を基準値に、正弦波の振幅を、除算用の白黒差分値の代わりに用いてもよい。
以上説明したように、本実施形態に係る形状測定システムSにおいては、投影装置1から、それぞれ異なる複数の投影パターンの光を測定対象物に投影して得られる複数の撮像画像における同一の座標の複数の画素の輝度値と基準値との関係に基づいて、選択部323が、複数の画素から、量子化値を測定対象物の形状の特定に使用する画素を選択する。そして、形状特定部324は、選択部323が選択した画素を用いて、測定対象物の形状を特定する。このようにすることで、多重反射光の影響を抑制することができるので、形状測定の精度を向上させることができる。
例えば、上記の説明においては、量子化部322が、輝度値を0又は1に2値化したが、量子化部322は、輝度値を3つ以上の値を用いて量子化してもよい。
2 撮像装置
3 形状測定装置
21 レンズ
22 撮像素子
31 記憶部
32 制御部
321 画像取得部
322 量子化部
323 選択部
324 形状特定部
Claims (13)
- それぞれ異なる複数の投影パターンの光を測定対象物に投影する投影装置と、
前記投影装置が前記複数の投影パターンのそれぞれを投影中に、順次、前記測定対象物を撮像することにより複数の撮像画像を生成する撮像装置と、
前記複数の撮像画像に基づいて前記測定対象物の形状を測定する形状測定装置と、
を備え、
前記形状測定装置は、
前記複数の撮像画像を取得する画像取得部と、
前記複数の撮像画像の各画素の輝度値を所定の基準値と比較することにより、前記輝度値の量子化値を生成する量子化部と、
前記複数の撮像画像における同一の座標の複数の画素の輝度値と前記基準値との関係に基づいて、前記複数の画素から、前記量子化値を前記測定対象物の形状の特定に使用する画素を選択する選択部と、
前記選択部が選択した画素の前記量子化値に基づいて、前記測定対象物の形状を特定する形状特定部と、
を有する形状測定システム。 - 前記投影装置は、投影パターンごとに幅が異なる光投影領域及び非投影領域から構成される縞が同一方向に配列された前記複数の投影パターンを前記測定対象物に順次投影する、
請求項1に記載の形状測定システム。 - 前記投影装置は、前記縞のパターンがグレイコードに対応している前記複数の投影パターンを前記測定対象物に順次投影する、
請求項2に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記複数の画素の輝度値と前記基準値との差分値に基づいて、前記測定対象物の形状の特定に用いる画素を選択する、
請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記複数の画素に対応する複数の前記差分値のそれぞれを、光が前記測定対象物に投影されていない状態で前記撮像装置が撮像した全黒撮像画像の輝度値と、光が前記測定対象物の全体に投影されている状態で撮像装置が撮像した全白撮像画像の輝度値との差である白黒差分値で除算して生成される複数の評価値に基づく信頼度が所定の閾値より大きい画素を、前記測定対象物の形状の特定に用いる画素として選択する、
請求項4に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記複数の撮像画像に含まれる画素のうち、輝度値が前記基準値に最も近い画素の輝度値を、前記形状の特定に用いる輝度値から除外する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記複数の撮像画像に含まれる画素のうち、縞状の前記投影パターンにおける縞の境界位置に対応する画素の輝度値を、前記形状の特定に用いる輝度値から除外する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記複数の撮像画像に含まれる画素のうち、光が投影される領域と光が投影されない領域との境界位置に対応する画素に対応する輝度値を、前記形状の特定に用いる輝度値から除外する、
請求項1から7のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - 前記選択部は、前記投影パターンの周波数に基づいて前記差分値に重み付けすることにより、前記信頼度を算出する、
請求項5に記載の形状測定システム。 - 前記量子化部は、前記複数の撮像画像の各画素の輝度値を、光が前記測定対象物に投影されていない状態で前記撮像装置が撮像した第1撮像画像の輝度値と、光が前記測定対象物の全体に投影されている状態で前記撮像装置が撮像した第2撮像画像の輝度値との中間の輝度値に対応する前記基準値と比較することにより、前記量子化値を生成する、
請求項1から9のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - 前記画像取得部は、それぞれ異なる条件で前記複数の投影パターンを含む複数の投影パターン群が投影された前記測定対象物が撮像された複数の撮像画像群を取得し、
前記量子化部は、前記複数の撮像画像群のそれぞれに含まれる前記複数の撮像画像の各画素の輝度値の量子化値を生成し、
前記選択部は、前記複数の画素の輝度値に基づいて、前記複数の撮像画像群に関連付けて、選択した画素の信頼度を決定し、
前記形状特定部は、前記信頼度に基づいて前記複数の撮像画像群から選択した撮像画像群に含まれる画素に対応する量子化値に基づいて、前記測定対象物の形状を特定する、
請求項1から10のいずれか1項に記載の形状測定システム。 - それぞれ異なる複数の投影パターンが順次投影された測定対象物を撮像することにより生成された複数の撮像画像を取得する画像取得部と、
前記複数の撮像画像の各画素の輝度値を所定の基準値と比較することにより、前記輝度値の量子化値を生成する量子化部と、
前記複数の撮像画像における同一の座標の複数の画素の輝度値と前記基準値との関係に基づいて、前記複数の画素から、前記量子化値を前記測定対象物の形状の特定に使用する画素を選択する選択部と、
前記選択部が選択した量子化値に基づいて、前記測定対象物の形状を特定する形状特定部と、
を有する形状測定装置。 - 投影装置により実行される、それぞれ異なる複数の投影パターンの光を測定対象物に投影するステップと、
撮像装置により実行される、前記複数の投影パターンのそれぞれを投影中に、順次、前記測定対象物を撮像することにより複数の撮像画像を生成するステップと、
コンピュータにより実行される、
前記複数の撮像画像を取得するステップと、
前記複数の撮像画像の各画素の輝度値を所定の基準値と比較することにより、前記輝度値の量子化値を生成するステップと、
前記複数の撮像画像における同一の座標の複数の画素の輝度値と前記基準値との関係に基づいて、前記複数の画素から、前記量子化値を前記測定対象物の形状の特定に使用する画素を選択するステップと、
選択した量子化値に基づいて、前記測定対象物の形状を特定するステップと、
を有する形状測定方法。
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Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6566768B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-08-28 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム |
JP6673266B2 (ja) * | 2017-03-08 | 2020-03-25 | オムロン株式会社 | 相互反射検出装置、相互反射検出方法、およびプログラム |
JP6970376B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2021-11-24 | オムロン株式会社 | 画像処理システム、及び画像処理方法 |
WO2019130381A1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-04 | 株式会社ニコン | 加工システム、測定プローブ、形状測定装置、及びプログラム |
JP7156794B2 (ja) * | 2018-01-16 | 2022-10-19 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 |
DE102018205191A1 (de) | 2018-04-06 | 2019-10-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Erfassen von Koordinaten einer Objektoberfläche mittels Triangulation |
JP7053366B2 (ja) * | 2018-05-10 | 2022-04-12 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置及び検査方法 |
CN110672036B (zh) * | 2018-07-03 | 2021-09-28 | 杭州海康机器人技术有限公司 | 确定投影区域的方法及装置 |
JP6975106B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2021-12-01 | 株式会社デンソーアイティーラボラトリ | 3次元形状計測システム、3次元形状計測方法、及び3次元形状計測プログラム |
JP7219034B2 (ja) * | 2018-09-14 | 2023-02-07 | 株式会社ミツトヨ | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
EP3859299A4 (en) * | 2018-09-27 | 2021-11-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | DETECTION DEVICE AND DETECTION METHOD |
WO2020065850A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | ヤマハ発動機株式会社 | 3次元測定装置 |
CN109781001B (zh) * | 2019-01-04 | 2020-08-28 | 西安交通大学 | 一种基于格雷码的投影式大尺寸空间测量系统及方法 |
CN113302520B (zh) * | 2019-01-16 | 2024-07-02 | 株式会社小糸制作所 | 成像装置、其运算处理装置、车辆用灯具、车辆、感测方法 |
JP7028814B2 (ja) * | 2019-02-07 | 2022-03-02 | ファナック株式会社 | 外形認識装置、外形認識システム及び外形認識方法 |
DE102020002357A1 (de) | 2019-04-19 | 2020-10-22 | Mitutoyo Corporation | Messapparat für eine dreidimensionale geometrie und messverfahren für eine dreidimensionale geometrie |
JP7007324B2 (ja) * | 2019-04-25 | 2022-01-24 | ファナック株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及びロボットシステム |
US10805549B1 (en) * | 2019-08-20 | 2020-10-13 | Himax Technologies Limited | Method and apparatus of auto exposure control based on pattern detection in depth sensing system |
WO2021097134A1 (en) * | 2019-11-13 | 2021-05-20 | The Regents Of The University Of California | Pore measurement device |
CN113155053B (zh) * | 2020-01-22 | 2024-09-06 | 株式会社三丰 | 三维几何形状测量装置和三维几何形状测量方法 |
JP2021124321A (ja) * | 2020-02-03 | 2021-08-30 | ソニーグループ株式会社 | 測距装置および測距方法 |
JP2021152525A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-30 | 株式会社リコー | 計測装置、計測方法、移動体、ロボット、電子機器及び造形装置 |
US12030243B2 (en) | 2020-03-19 | 2024-07-09 | Ricoh Company, Ltd. | Measuring apparatus, movable apparatus, robot, electronic device, fabricating apparatus, and measuring method |
US11740608B2 (en) * | 2020-12-24 | 2023-08-29 | Glowforge, Inc | Computer numerically controlled fabrication using projected information |
CN114719781B (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-16 | 广东工业大学 | 一种三维测量方法及相关装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4634278A (en) * | 1984-02-06 | 1987-01-06 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method of three-dimensional measurement with few projected patterns |
JP3112537B2 (ja) * | 1991-12-25 | 2000-11-27 | 株式会社日平トヤマ | 光学的三次元形状測定方法と測定装置 |
JPH07225834A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像ノイズ検出装置 |
JP2000337829A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Suzuki Motor Corp | 輝度計測方法及び輝度計測用プログラムを記憶した記憶媒体並びに三次元計測装置 |
JP3996560B2 (ja) * | 2003-08-18 | 2007-10-24 | 株式会社リコー | 物体形状測定装置 |
JP4830871B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2011-12-07 | パナソニック電工株式会社 | 3次元形状計測装置及び3次元形状計測方法 |
EP2136178A1 (en) * | 2007-04-05 | 2009-12-23 | Nikon Corporation | Geometry measurement instrument and method for measuring geometry |
JP2009094295A (ja) | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Juki Corp | 電子部品の高さ測定装置 |
JP2011133258A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Yamatake Corp | 3次元形状計測方法及び3次元形状計測装置 |
JP5907596B2 (ja) * | 2010-10-12 | 2016-04-26 | キヤノン株式会社 | 三次元計測装置、三次元計測方法及びプログラム |
JP2014035302A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Panasonic Corp | 対象物検出装置、対象物検出方法、プログラム |
JP6238521B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2017-11-29 | キヤノン株式会社 | 3次元計測装置およびその制御方法 |
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