JP3112537B2

JP3112537B2 - 光学的三次元形状測定方法と測定装置

Info

Publication number: JP3112537B2
Application number: JP03357795A
Authority: JP
Inventors: 幸宏金道; エイチジーユーゲンウェバー; ヘルムートアッカーマン
Original assignee: 株式会社日平トヤマ
Priority date: 1991-12-25
Filing date: 1991-12-25
Publication date: 2000-11-27
Anticipated expiration: 2015-11-27
Also published as: JPH05172538A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被測定物に光線を照
射し、被測定物からのスポット光像により被測定物の形
状等を測る光学的三次元形状測定方法と測定装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、エンジンのシリンダヘッ
ドの内面形状、容積を測定するには、シリンダヘッドの
開口部を密閉し、内部に液体や気体を注入し、その注入
量又は圧力を測定してシリンダヘッドの容積を算出する
ものや、シリンダヘッド内面に沿って針を接触させ、各
地点での針の位置を測定して内面形状を算出し、容積を
出しているものもある。

【０００３】また、特開平２−２２３８０９号公報に開
示されているように、被測定物にスリット光を照射する
スリット光照射手段と、被測定物に照射されたスリット
光を撮像する撮像装置とを設け、このスリット光による
撮像データを、被測定物の周囲を旋回しながら取り込
み、これを元に被測定物の三次元形状を算出するものが
提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の前者
において、液体を注入するものは、開口部の密閉が必要
であり、作業工数がかかる上、測定精度が悪いという問
題があった。しかも、測定に時間がかかり、測定を自動
化しようとすると、測定装置全体がきわめて複雑なもの
になってしまうという問題もある。また、針を用いる場
合も、測定時間がきわめて長いという欠点があった。

【０００５】また、上記従来の技術の後者の場合、スリ
ット光を撮像する二次元撮像素子を必要とし、撮像デー
タを処理するプログラムも複雑なものになり、システム
全体が複雑で高価なものになる上、処理時間も長いとい
う問題がある。

【０００６】この発明は上記従来の技術の問題点に鑑み
て成されたもので、複雑な三次元形状も迅速且正確に測
定でき、システム構成も簡単な光学的三次元形状測定方
法と測定装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、ライン状に
多数の画素が配列されたＣＣＤ等の複数の光センサを各
々異なる位置に設置し、スポット光により被測定物の表
面を走査し、被測定物表面上のスポット光の像を上記各
光センサで検出し、上記スポット光による上記各光セン
サ上のスポット光像によって得られる各光センサの出力
値から、上記光センサ上の上記スポット光像の画素位置
である受光位置データを抽出し、この抽出した受光位置
データを互いに他方の光センサによる受光位置データと
各々比較し、各光センサ間で上記受光位置データの差が
最小の受光位置データどうしを基に、被測定物の基準位
置に対する測定個所の位置である表面位置データを算出
し、その各表面位置データの平均値により被測定物の形
状を算出する光学的三次元形状測定方法である。

【０００８】さらにこの発明は、上記複数の光センサの
うち一の光センサのみから上記スポット光像の受光位置
データが得られた場合は、上記スポット光像による出力
値の受光位置データの内、最も受光位置の差が小さい二
つの受光位置データから受光位置を決定し、この位置を
基に被測定物の表面位置データを演算して、被測定物の
形状を算出する光学的三次元形状測定方法である。

【０００９】またこの発明は、スポット光を被測定物上
に照射するレンズ系とスポット状光源を有し、このスポ
ット光を被測定物上で走査する光走査装置と、上記走査
されたスポット光の被測定物表面からのスポット光の像
を受光するライン状に多数の画素が配列されたＣＣＤ等
の複数の光センサとを設け、上記被測定物からのスポッ
ト光像による光センサの出力値からその光センサ上での
受光位置データを抽出する二値化中心値算出手段と、こ
の抽出された中心値である受光位置データを各光センサ
間で各々比較し、受光位置データの各光センサ間での差
が最小の受光位置データどうしを基に被測定物の表面位
置データを各光センサによる受光位置データ毎に算出す
る表面位置演算手段と、この表面位置演算手段により各
光センサ毎に得られた表面位置データの平均値を取り被
測定物の形状を算出する三次元座標算出手段とを設けた
光学的三次元形状測定装置である。

【００１０】さらにこの発明は、上記スポット状光源に
レーザ光源を設け、上記スポット光のレーザ光源から被
測定物までの光軸に対して対称に上記光センサを２箇所
に設け、レーザ光により走査される被測定物の表面の各
位置でのスポット光像の結像面に、各光センサの受光領
域が位置するように、各光センサをスポット光像の入射
光光軸に対して所定角度傾斜して取り付けた光学的三次
元形状測定装置である。

【００１１】

【作用】この発明の光学的三次元形状測定方法及び測定
装置は、被測定物に照射されたスポット光を複数の光セ
ンサで受光し、光センサ上の受光位置から、三角測量の
原理により被測定物までの距離をそれぞれ算出し、その
算出距離から被測定物の表面の三次元形状を算出するよ
うにしたものである。光センサの受光位置は、二値化中
心値算出手段により、最も受光中心に近い受光位置デー
タが抽出され、抽出された受光位置データが各々の光セ
ンサで一の場合は、各光センサ毎に被測定物までの距離
を算出して平均値をとり、この受光位置データが各光セ
ンサ毎に複数ある場合は、さらに各光センサ毎の受光位
置データどうしの比較により各光センサ間で差が最小の
受光位置データを各々抽出し、被測定物までの距離を算
出してその距離の平均値をとり、一の光センサのみから
受光位置データが得られた場合は、その受光位置データ
のうちの最も近接した二つの受光位置データを平均して
受光位置とし、被測定物までの距離を算出する。これに
よって、複雑な形状の被測定物に対しても、確実に形状
を測定することができ、演算処理速度も早いものにする
ことができる。

【００１２】

【実施例】以下この発明の一実施例について図面を基に
して説明する。この実施例の光学的三次元形状測定装置
は、図１、図３に示すように、Ｈｅ−Ｎｅレーザのスポ
ット状光源１０と、このスポット状光源１０の出射光光
軸と対称に配置された一対の光センサ１２，１４とが、
測定ヘッド１６に設けられている。光センサ１２，１４
は、例えばＣＣＤラインセンサで、約１０００画素の素
子を用いる。測定ヘッド１６内には、さらに、レーザ光
をエンジンのシリンダヘッド等の被測定物１８表面上で
走査するポリゴンミラー２０が設けられ、ポリゴンミラ
ー２０には、これを所定の回転速度で回転させるミラー
駆動モータ２２と、ポリゴンミラー２０の回転角度を検
知するロータリエンコーダ２４が取り付けられている。
また、被測定物１８表面に照射されたレーザ光のスポッ
ト光像を光センサ１２，１４上に結像させるレンズ系２
６，２８が測定ヘッド１６内に設けられている。

【００１３】光センサ１２，１４は、レンズ系２６，２
８による、レーザ光により走査される被測定物１８の表
面の各位置でのスポット光の結像面に、光センサ１２，
１４のほぼ全受光領域が位置するように、スポット光の
入射光光軸に対して約４２〜４３度傾斜して取り付けら
れている。

【００１４】この実施例の制御装置は、図４に示すよう
に、光センサ１２，１４の出力値が入力され、その出力
値を所定のしきい値と比較する二値化比較器３０と、こ
のしきい値以上の出力値の光センサ上の画素位置を、光
センサ１２，１４上から出力される受光位置データとし
て、ディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３２と
が設けられている。さらに、このＡ／Ｄコンバータ３２
のデータを取り込み処理するとともに、ミラー駆動モー
タ２２と、測定ヘッド１６を被測定物１８の上方で移動
させるヘッド移動モータ３４とを制御し、測定ヘッド１
６の位置を検出するリニアエンコーダ３６からのデータ
及びロータリエンコーダ２４からのデータを取り込むデ
ータ処理用のＣＰＵ３８を有する。ＣＰＵ３８にはさら
に、データ記憶及び処理プログラム用のＲＡＭ４０、Ｒ
ＯＭ４２が接続されている。また、周辺機器等の制御用
のＣＰＵ４４が、ＣＰＵ３８に接続され、ＣＰＵ４４
に、ハードディスク又はフロッピィディスク等の外部記
憶装置４６とＣＲＴ、及びプリンタ等の出力機器４８が
接続されている。

【００１５】この実施例の光学的三次元形状測定装置
は、上述のように、エンジンのシリンダヘッドの内面形
状の計測用のもので、図５に示すように、測定ヘッド１
６が設けられた測定装置５０を有し、この測定装置５０
の下方には、被測定物１８を測定毎に間欠的に矢印方向
に送るベルトコンベア５２が設けられている。また、Ｃ
ＰＵ３８，４４等の処理及び制御部が設けられた制御装
置５４が、測定装置５０の側方に設けられている。

【００１６】次に、この実施例の光学的三次元形状測定
装置による測定方法について説明する。先ず、この実施
例の測定原理について、図６に基づいて説明する。これ
は、いわゆる三角測量法の原理に基づくもので、被測定
物の基準面の所定位置をＯとし、レンズ系２６の主平面
Ｈと反射光光軸との交点をＫ、同じくレーザの出射光光
軸との交点をＥ、光センサ１２上でのＯ点におけるスポ
ット光の結像位置をＰとする。また、被測定物の表面位
置が光センサ１２側に距離λだけ近付いた場合の被測定
物表面位置をＯ１とし、この移動後の光センサ１２上の
結像位置をＰ１とする。そして、ＯＫ間をａ０，ＰＫ間
をｂ０，ＥＯ間をｃ０，Ｏ１Ｋ間をａ，Ｐ１Ｋ間をｂ，
ＥＫ間をｅ０，ＥＰ間をｄ０とする。また、レンズ系２
６の焦点距離をｆ、光センサ１２の入射光光軸に対する
傾きをΩ、∠ＯＫＯ１＝αとすると、以下の式が幾何学
上及び光学上の法則から導き出される。

【００１７】ｃ０＝ｂ０／cosθ０ … （１），ｂ０＝ｆａ０／（ａ０−ｆ） … （２）ｅ０＝ｃ０sinθ０＝ａ０tanθ０ … （３）よりｄ０＝（ｅ０^２＋ｂ０^２）^１／２＝〔(ａ０tanθ０)^２＋｛ｆａ０／(ａ０−ｆ)｝^２〕^１／２ … （４） Ω＝cos^−１(ｂ０／ｄ０) … （５）であるので、式（２），（４）よりΩは、ａ０で表わされる。そして、被測定物の測定位置がλだけ近付いたとすると、ａ＝｛ｅ０^２＋(ｃ０−λ)^２−２ｅ０(ｃ０−λ)cos(90°−θ０)｝^１／２ … （６）また、ｂ＝ｆａ／（ａ−ｆ） …（７） cosα＝（ａ^２＋ａ０^２−λ^２）／（２ａａ０） …（８）より、測定位置λの移動に対する結像位置の移動量ξ
は、 ξ=（ｂ^２＋ｂ０^２−２ｂｂ０cosα）^１／２… （９）である。よって、式（１）（２）（３）（６）（７）（８）より、式
（９）は、λ，ａ０，ｆ，θ０で表わされ、ξ=Functio
n（λ，ａ０，ｆ，θ０）となる。ここで、ａ０，ｆ，
θ０は、固定値であり、λのみが変数である。従って、
λは、光センサ１２上のスポット光の移動量ξを求める
ことにより算出することができる。

【００１８】次に、光センサ１２，１４上のスポット光
像の位置ξを決定する方法について、図７、図８に基づ
いて説明する。今、被測定物に照射されたスポット光に
より各光センサ１２，１４上での結像の強度分布は、各
光センサ１２，１４の画素数をｍとすると、例えば図７
（Ａ）のような形になる。これは、理想的にはスポット
光像の強度分布は、ガウス分布になり中心にピーク値を
持つものであるが、被測定物表面性状や光学系の光路途
中の汚れ、多重反射、多重干渉、回折像等によって、通
常は複数のピーク値を有した強度分布になるからであ
る。また、例えばこの実施例では、光センサ１２，１４
上にできるスポット光像の直径は約０．５ｍｍ程度であ
り、光センサ１２，１４の画素のピッチは約１０μｍ程
度であるので、約５０画素で一つのスポット光像を受光
することになる。

【００１９】光センサ１２，１４で受光したスポット光
像による出力値は、二値化比較器３０により、図７
（Ｂ）に示すように、所定のしきい値と比較され、それ
以上の出力値の画素の画素位置を抽出する二値化処理を
行なう。そして、図７（Ｃ）に示すように、光センサ１
２の画素位置を１からｍとし、他方の光センサ１４の画
素位置をｍから２ｍとして、二値化された光センサ出力
の画素位置が決定され、この画素位置は、後のディジタ
ル処理のためＡ／Ｄコンバータ３２によりディジタル化
され、さらに種々のコード化処理が行なわれて、ＣＰＵ
３８に出力される。

【００２０】ＣＰＵ３８内での処理は、先ず、Ａ／Ｄコ
ンバータ３２を介して得られる上記光センサの受光位置
の出力を、光センサ１２，１４の受光領域の中心値の画
素位置データである受光位置データとして記憶する。こ
こでは、光センサ１２によるデータをａ１,ａ２，…ａ
ｉ、光センサ１４によるデータをｂ１，ｂ２…ｂｊと表
わす。また、後述するように、抽出される受光位置デー
タが光センサの１画素からのみの場合もあり、光センサ
１２，１４のいずれか又は両方ともデータがとれない場
合もある。次いで、図８のフローチャートに示すよう
に、先ず、上述の二値化中心値算出処理により抽出され
た受光位置データは、光センサ１２，１４の両方から同
時に得られ、光センサ１２によるデータａｉはｍ以下で
あり、光センサ１４によるデータｂｊがｍ以上であるか
否かを判断する。この条件を満たしている場合は、光セ
ンサ１２，１４より抽出された各データａｉ，ｂｊ間
で、各々全ての他方の値と互いの差が最小となる受光位
置データａｉ'，ｂｊ'を抽出する。そして、この差の最
小値ｃｋ'が、所定のしきい値より小さいか否かを判断
する。この差ｃｋ'が所定のしきい値以上である場合
は、この抽出データに誤差が多いということであり、こ
のデータは後の距離計算には使用しない。

【００２１】抽出された最適受光位置データａｉ'，ｂ
ｊ'の差ｃｋ'が所定のしきい値より小さい場合は、光セ
ンサ１２，１４ともにデータが得られたか否かを判断
し、両方から得られた場合は、被測定物表面でのＸ−Ｙ
座標系の値に変換演算を行なう。この変換演算は、ポリ
ゴンミラー２０のロータリエンコーダ２４からの角度ω
の情報と、上記最適受光位置データａｉ'，ｂｊ'とを基
にして行なう。ここでは、レーザ光の各照射によるスポ
ット光像の光センサ１２，１４上の位置に対する被測定
物１８の表面位置データを、光センサ１２，１４毎にＲ
ＯＭ４２内にデータテーブルとして記憶しておき、この
データテーブルにより、各光センサ１２，１４毎に別々
に上記最適受光位置データａｉ'，ｂｊ'から被測定物表
面位置の極座標を算出し、さらにこれをＸ−Ｙ座標系に
変換するものである。

【００２２】このようにして、最適受光位置データａ
ｉ'，ｂｊ'から被測定物表面のＸ−Ｙ座標位置が２組算
出され、この２組の算出値の平均値を出してそれを被測
定物の三次元形状データとする。またここで、受光位置
データａｉ，ｂｊが、各々１個ずつの場合は、上記処理
において受光位置データａｉ，ｂｊ間の差ｃｋが所定の
しきい値より小さいか否かを判断して、後の上記処理を
行なう。

【００２３】また、抽出された受光位置データの内、光
センサ１２，１４の一方からのみ受光位置データが抽出
された場合は、光センサ１２によるデータａｉであるの
か、または、光センサ１４によるデータｂｊであるのか
を判断し、さらに各々、抽出された受光位置データが２
つ以上であるかを判断する。上記条件を満たしている場
合には、その一方の光センサからの受光位置データを基
にして、図８のフローチャートに示すように、便宜的に
データの取れなかった他方の光センサの受光位置データ
を、互いに隣接する受光位置データに置き換えて、上述
の最小差データを算出する処理を行なう。後は上記と同
様に処理される。これによって、光センサ１２，１４の
内の一方からの受光位置データのみが有効でも、その受
光位置データの内、最も近接した受光位置データどうし
を被測定物１８の形状算出用のデータとして用いるもの
である。そして、光センサ１２，１４の一方からのみ複
数の受光位置データが得られた場合は、上記最小差の受
光位置データの和の平均値（光センサ１２からのデータ
の平均値ａ、又は光センサ１４からのデータの平均値
ｂ）を算出し、その平均値の受光位置データを基に、デ
ータの得られた方の光センサ用のデータテーブルを用い
て、被測定物１８の表面位置の座標を、上述と同様にＸ
−Ｙ座標系に変換する。この場合、上記二個の近接受光
位置データにより、上述と同様にＸ−Ｙ座標系に変換し
た後平均値を求めてもよい。

【００２４】ここで、光センサ１２，１４の一方からの
み受光位置データが得られた場合で、しかも１個の受光
位置データのみが抽出された場合は、その１個の受光位
置データを基にＸ−Ｙ座標系への変換を行ない、被測定
物１８の形状データとする。

【００２５】さらに、抽出された受光位置データの全て
が上記画素位置の条件を満たさない場合は、不良データ
であり、形状算出には用いない。

【００２６】このレーザ光による被測定物１８表面の走
査は、ポリゴンミラー２０の一面により被測定物１８上
を１走査し、その１走査により、光センサ１２，１４上
では、所定のトリガータイミングで、例えば２４０ポイ
ントの位置データを取り込む。この取り込んだデータは
一旦ＲＡＭ４０に記憶される。そして、測定ヘッド１６
が、ヘッド移動モータ３４により間欠駆動又は低速で微
小距離移動させられ、ポリゴンミラー２０の次の面で、
被測定物１８上を走査し、上記のように被測定物１８上
の表面位置データを取り込み記憶する。被測定物１８の
所定の範囲又は全体についての表面位置データの取り込
み記憶が終了した後、上述の三次元座標を算出する処理
を行なう。以上の走査及び処理により、被測定物の表面
形状が算出され、さらにこの表面形状から、例えば、上
記実施例のシリンダヘッドの場合は、シリンダヘッドの
容積を算出する。

【００２７】以上述べたように、この実施例の光学的三
次元形状測定方法及び測定装置によれば、被測定物の表
面形状を非接触で迅速に計測することができる。特に、
２個の光センサを用いてレーザ光のスポット光像を検出
しているので、被測定物の形状に死角がなく、正確なデ
ータを取ることができる。また、レーザ光の走査をポリ
ゴンミラーを用いて行なっているので、迅速かつ正確に
被測定物上を走査することができる。さらに、上記受光
位置データの処理によって、簡単にかつ正確に形状値を
算出することができ、比較的簡単なプログラムで、正確
な形状データをとることができるものである。

【００２８】尚、この発明の光学的三次元形状測定方法
と測定装置は、上記実施例に限定されるものではなく、
スポット光を走査する手段は、ポリゴンミラー以外のミ
ラーまたは、光学素子による走査でもよい。また、光セ
ンサは、ＣＣＤラインセンサの外、他の光電変換光セン
サその他の二次元イメージ光センサを用いてもよい。ま
た、二値化比較器のしきい値も適宜に設定できるもので
あり、Ｘ−Ｙ座標への変換方法も、データテーブルを基
にするものの外、所定の演算による方法も可能なもので
ある。

【００２９】

【発明の効果】この発明は、スポット光により被測定物
の表面を走査し、複数の光センサでスポット光像の入射
位置を検知し、各光センサの出力値のうち、所定レベル
以上の値の受光位置データを抽出し、各光センサ間で受
光位置データの差が最小の受光位置データどうしを基に
被測定物までの距離を算出し、各光センサにより得られ
る受光位置データを基に被測定物の表面位置データを算
出し、その平均値から被測定物の形状を算出するように
したので、距離計算の処理速度が速く、高価な光学系や
高度な処理を行なわなくても高精度に被測定物の形状を
算出することができる。また、複数の光センサによりス
ポット光を検出するようにしたので、被測定物に測定不
能点ができにくく、確実に形状データを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の光学的三次元形状測定装
置の要部を示す斜視図である。

【図２】この実施例の光学的三次元形状測定装置の測定
原理示す斜視図である。

【図３】この実施例の光学的三次元形状測定装置の使用
状態を示す斜視図である。

【図４】この実施例の光学的三次元形状測定装置の制御
装置のブロック線図である。

【図５】この実施例の光学的三次元形状測定装置の使用
状態を示す斜視図である。

【図６】この実施例の光学的三次元形状測定装置の測定
原理を示す説明図である。

【図７】この実施例の光学的三次元形状測定装置の二値
化中心値算出処理を示す波形図である。

【図８】この実施例の光学的三次元形状測定装置の処理
方法を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１０スポット状光源１２，１４光センサ１６測定ヘッド１８被測定物２０ポリゴンミラー２２ミラー駆動モータ２４ロータリエンコーダ２６，２８レンズ系３０二値化比較器３４ヘッド移動モータ３６リニアエンコーダ３８，４４ＣＰＵ

フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−229311（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ライン状に多数の画素が配列された複数
の光センサを各々異なる位置に設置し、スポット光によ
り被測定物の表面を走査し、被測定物表面上のスポット
光の像を上記各光センサで検出し、上記スポット光によ
る上記各光センサ上のスポット光像によって得られる各
光センサの出力値から、上記光センサ上の上記スポット
光像の画素位置である受光位置データを抽出し、この抽
出した受光位置データを互いに他方の光センサによる受
光位置データと各々比較し、各光センサ間で上記受光位
置データの差が最小の受光位置データどうしを基に、被
測定物の基準位置に対する測定個所の位置である表面位
置データを算出し、その各表面位置データの平均値によ
り被測定物の形状を算出することを特徴とする光学的三
次元形状測定方法。
【請求項２】上記複数の光センサのうち、一の光セン
サからのみ上記スポット光像の受光位置データが複数得
られた場合は、上記スポット光像による受光位置データ
のうち、互いに最も受光位置の差が小さい二つの受光位
置データから受光位置を決定して、この位置を基に被測
定物の表面位置データを演算し、被測定物の形状を算出
することを特徴とする請求項１記載の光学的三次元形状
測定方法。
【請求項３】スポット光を被測定物上に照射するレン
ズ系とスポット状光源とを有し、このスポット光を被測
定物上で走査する光走査装置と、上記走査されたスポッ
ト光による被測定物表面からのスポット光の像を受光す
るライン状に多数の画素が配列された複数の光センサと
を設け、被測定物からの上記スポット光像による上記光
センサの出力値からその光センサ上での受光位置データ
を抽出する二値化中心値算出手段と、この抽出された中
心値である受光位置データを上記各光センサ間で各々比
較し上記各光センサ間での上記受光位置データの差が最
小の受光位置データどうしを基に被測定物の表面位置を
上記各光センサによる受光位置データ毎に算出する表面
位置演算手段と、この表面位置演算手段により得られた
上記各光センサ毎の表面位置データの平均値から被測定
物の形状を算出する三次元座標算出手段とを設けたこと
を特徴とする光学的三次元形状測定装置。
【請求項４】上記スポット状光源にレーザ光源を設
け、上記スポット光のレーザ光源から被測定物までの光
軸に対して対称に上記光センサを２箇所に設け、レーザ
光により走査される被測定物の表面の各位置でのスポッ
ト光による結像面に、上記各光センサの受光領域が位置
するように、上記各光センサをスポット光像の入射光光
軸に対して所定角度傾斜して取り付けたことを特徴とす
る請求項３記載の光学的三次元形状測定装置。
【請求項５】上記光走査装置はポリゴンミラーとその
駆動装置から成り、上記光センサにＣＣＤラインセンサ
を設け、このポリゴンミラーの角度位置を検出するロー
タリエンコーダと、レーザ光源およびレンズ系を被測定
物に対して相対的に微小量づつ移動させる移動装置と、
この移動装置の移動量を検出するリニアエンコーダとを
設けたことを特徴とする請求項３または４記載の光学的
三次元形状測定装置。