JP2015512030A - 結像光学系、撮像装置、形状測定装置、構造物製造システム、及び構造物製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態の形状測定装置1の概観を示す図である。図2は、第1実施形態の形状測定装置1の構成を示す図である。図3は、本実施形態の結像光学系21の物体面P1、像面P2等の位置関係を示す図である。図4は、本実施形態の平均平面P7の定義を示す図である。
次に、第2実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を省略又は簡略化することがある。
次に、第3実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を省略又は簡略化することがある。
次に、第4実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を省略又は簡略化することがある。
次に、第5実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成要素については、同じ符号を付してその説明を省略又は簡略化することがある。
第10光学面(絞り面)、P1 物体面、P2 像面、Q 被検物
Claims (37)
- 測定対象の像を形成する結像光学系と、
前記結像光学系の像面の近傍に、前記結像光学系の光軸に対して傾いて配置された透過部材を備える撮像部とを有し、
前記結像光学系は、前記光軸に対して偏心した第1光学部材を備える測定装置。 - 前記第1光学部材は、前記光軸に対して前記透過部材が傾いている方向とは反対向きに傾いている請求項1に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材は、前記透過部材で発生する収差を低減するように前記光軸に対して偏心して配置されている請求項1又は2に記載の測定装置。
- 前記像面と共役な面である物体面に沿って、測定対象の測定領域に光束を投射する照明部を更に備えた請求項1から3のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記透過部材は、前記像面に沿って配置され、前記結像光学系により集光する光束が通過する平面部材である請求項3に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材は、第1対称軸の周りで回転対称な曲面形状を有しており、前記第1対称軸の前記光軸に対する傾き方向と前記像面の法線の前記光軸に対する傾き方向とが反対向きである請求項1に記載の測定装置。
- 第2対称軸の周りで回転対称な曲面形状を有する第2光学部材を備え、
前記第2対称軸の前記光軸に対する傾き方向と前記第1対称軸の前記光軸に対する傾き方向とが反対向きである請求項6に記載の測定装置。 - 前記第1光学部材は、結像光束が通る範囲に、第1部分と、前記物体面を含む平面と前記像面を含む平面との交線に対して前記第1部分よりも近い第2部分と、を備え、前記第1部分から前記第2部分に向うにつれて他の光学部材よりも前記像面に近づくように配置される請求項6に記載の測定装置。
- 前記第2光学部材は、結像光束が通る範囲に、第3部分と、前記物体面を含む面と前記像面を含む面との交線に対して前記第3部分よりも近い第4部分と、を備え、前記第4部分から前記第3部分に向うにつれて他の光学部材よりも前記像面から遠ざかるように配置される請求項7に記載の測定装置。
- 前記第2光学部材は、前記第1光学部材で発生する収差の一部を相殺するように配置されている請求項7または9に記載の測定装置。
- 前記第2光学部材は、前記物体面と前記像面との間の絞り面に対して、前記第1光学部材と同じ側に配置されている請求項8に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材及び前記第2光学部材を含む3つ以上の光学部材を備え、
前記第2光学部材は、結像光束の進行方向において前記第1光学部材の隣に配置されている請求項10に記載の測定装置。 - 前記第1光学部材を含む複数の光学部材を備え、
前記第1光学部材は、前記複数の光学部材の光学面のうち相対的に曲率が小さい光学面を有する請求項1から12のいずれか一項に記載の測定装置。 - 結像光束が通る範囲において前記第1軸の周りで回転対称な形状を有する第3光学部材を備える請求項1から11のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材は、前記結像光学系により前記像面に集光する結像光束に対してパワーを有する請求項1から12のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材は、結像光束が入射する第1平面と、前記結像光束が出射する第2平面とを有し、前記第2平面が前記第1平面に平行である請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記第1光学部材は、結像光束が入射する第1平面と、前記結像光束が出射する第2平面とを有し、前記第2平面が前記第1平面に非平行である請求項1から5のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記透過部材は、前記撮像素子の受光領域を覆うように配置されている請求項1に記載の測定装置。
- 照明光に照らされている被検物を撮像する請求項1から18のいずれか一項に記載の測定装置と、
前記測定装置による結果に基づいて、前記被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備える形状測定装置。 - 前記被検物に対してレーザー光を含む前記照明光を照射する固体光源を備える請求項19に記載の形状測定装置。
- 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形する成形装置と、
前記成形装置によって成形された前記構造物の形状を測定する請求項19又は20に記載の形状測定装置と、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較する制御装置と、を備える構造物製造システム。 - 構造物の形状に関する設計情報に基づいて、前記構造物を成形することと、
前記成形された前記構造物の形状を請求項19又は20に記載の形状測定装置によって測定することと、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較することと、を含む構造物製造方法。 - 物体面の一点と前記物体面の一点と共役な像面の一点とを結ぶ第1軸を含み、
前記物体面を含む面と前記像面を含む面の交線に対して垂直な平面内において、前記第1軸に対して前記物体面と前記平面との交線及び前記像面と前記平面との交線とが互いに反対向きに傾いている結像光学系であって、
前記平面内で前記第1軸に対して偏心した第1光学部材を備える結像光学系。 - 前記第1光学部材を含む複数の光学部材を備え、
前記第1光学部材は、前記複数の光学部材のうち他の光学部材よりもよりも前記平面内で前記第1軸に対して傾いている請求項23に記載の結像光学系。 - 前記第1軸は、本結像光学系による像形成範囲の中心位置に対応する前記像面の一点と前記像面の一点と共役な物体面の一点とを結ぶ軸であり、
前記第1光学部材は、前記第1軸に対する前記像面の傾いた方向とは反対向きに傾いている請求項24に記載の結像光学系。 - 前記第1光学部材は、第1対称軸の周りで回転対称な曲面形状を有しており、前記第1対称軸の前記第1軸に対する傾き方向と前記像面の法線の前記第1軸に対する傾き方向とが反対向きである請求項25に記載の結像光学系。
- 第2対称軸の周りで回転対称な曲面形状を有する第2光学部材を備え、
前記第2対称軸の前記第1軸に対する傾き方向と前記第1対称軸の前記第1軸に対する傾き方向とが反対向きである請求項26に記載の結像光学系。 - 前記第1光学部材は、結像光束が通る範囲に、第1部分と、前記物体面を含む平面と前記像面を含む平面面との交線に対して前記第1部分よりも近い第2部分と、を備え、前記第1部分から前記第2部分に向うにつれて他の光学部材よりも前記像面に近づくように配置される請求項26に記載の結像光学系。
- 前記第2光学部材は、結像光束が通る範囲に、第3部分と、前記物体面を含む面と前記像面を含む面との交線に対して前記第3部分よりも近い第4部分と、を備え、前記第4部分から前記第3部分に向うにつれて他の光学部材よりも前記像面から遠ざかるように配置される請求項28に記載の結像光学系。
- 前記第2光学部材は、前記第1光学部材で発生する収差の一部を相殺するような収差が発生するように配置されている請求項27または29に記載の結像光学系。
- 前記第2光学部材は、前記物体面と前記像面との間の絞り面に対して、前記第1光学部材と同じ側に配置されている請求項30に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材及び前記第2光学部材を含む3つ以上の光学部材を備え、
前記第2光学部材は、結像光束の進行方向において前記第1光学部材の隣に配置されている請求項31に記載の結像光学系。 - 前記第1光学部材を含む複数の光学部材を備え、
前記第1光学部材は、前記複数の光学部材の光学面のうち相対的に曲率が小さい光学面を有する請求項23から32のいずれか一項に記載の結像光学系。 - 結像光束が通る範囲において前記第1軸の周りで回転対称な形状を有する第3光学部材を備える請求項23から33のいずれか一項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材は、結像光束に対してパワーを有する請求項23から34のいずれか一項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材は、結像光束が入射する第1平面と、前記結像光束が出射する第2平面とを有し、前記第2平面が前記第1平面に平行である請求項23から34のいずれか一項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材は、結像光束が入射する第1平面と、前記結像光束が出射する第2平面とを有し、前記第2平面が前記第1平面に非平行である請求項23から34のいずれか一項に記載の結像光学系。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109298507A (zh) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学镜头 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9291877B2 (en) | 2012-11-15 | 2016-03-22 | Og Technologies, Inc. | Method and apparatus for uniformly focused ring light |
US11176655B2 (en) | 2014-01-27 | 2021-11-16 | Cognex Corporation | System and method for determining 3D surface features and irregularities on an object |
TWI526671B (zh) | 2015-01-20 | 2016-03-21 | 德律科技股份有限公司 | 板彎量測裝置和其板彎量測方法 |
CN115616745A (zh) * | 2017-12-29 | 2023-01-17 | 玉晶光电(厦门)有限公司 | 光学成像镜头 |
CN111580245A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-25 | 苏州中科全象智能科技有限公司 | 一种高分辨率沙姆镜头 |
Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0240506A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Fuji Electric Co Ltd | 測距装置 |
US5090811A (en) * | 1989-05-31 | 1992-02-25 | General Electric Company | Optical radius gauge |
JPH04364414A (ja) * | 1991-06-11 | 1992-12-16 | Fuji Electric Co Ltd | 測距装置 |
JPH06117852A (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-28 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式変位計 |
JPH095048A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Sony Corp | 表面形状測定装置 |
JPH11211439A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 表面形状計測装置 |
JPH11287949A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Canon Inc | 偏心結像光学系 |
US20020180987A1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-12-05 | Johnston Kyle S. | Profiling of a component having reduced sensitivity to anomalous off-axis reflections |
WO2004040335A2 (en) * | 2002-10-28 | 2004-05-13 | Metron Systems, Inc. | High precision optical imaging systems and related systems |
JP2004311026A (ja) * | 1999-07-30 | 2004-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッド装置及び光ヘッド装置の製造方法 |
US20060009872A1 (en) * | 2004-07-08 | 2006-01-12 | Timbre Technologies, Inc. | Optical metrology model optimization for process control |
JP2007047767A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-22 | Pentax Corp | 投影装置 |
JP2007316385A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Canon Inc | 撮像光学系 |
JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
JP2008256483A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Nikon Corp | 形状測定装置 |
WO2008126647A1 (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Nikon Corporation | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2010139909A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2010525404A (ja) * | 2007-04-24 | 2010-07-22 | デグデント・ゲーエムベーハー | 対象物の3次元測定のための配置および方法 |
JP2011064482A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kurabo Ind Ltd | 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法 |
JP2012002897A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Fujifilm Corp | 撮像レンズおよび撮像装置、ならびに情報端末機器 |
JP2013007645A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Nikon Corp | 測定装置、形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法 |
JP2013104814A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Nikon Corp | 形状測定装置、構造物製造システム、構造物製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6490100B1 (en) * | 1999-07-30 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Objective lens and optical head device |
US8311311B2 (en) * | 2005-10-31 | 2012-11-13 | Mitutoyo Corporation | Optical aberration correction for machine vision inspection systems |
CA2688562A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Nikon Corporation | Tunable filter, light source apparatus, and spectral distribution measuring apparatus |
JP2008309998A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Sony Corp | ティルトレンズ系及び撮像装置 |
CN101241232A (zh) * | 2007-11-08 | 2008-08-13 | 浙江大学 | 可实现非球面通用化检测的大球差补偿镜及其装置 |
CN101726856B (zh) * | 2009-12-18 | 2012-06-06 | 中航华东光电有限公司 | 机载护目镜型头盔显示器光学系统 |
JP2013109011A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Toshiba Corp | カメラモジュール |
-
2013
- 2013-02-06 US US13/760,745 patent/US9205576B2/en active Active
- 2013-02-06 JP JP2014555418A patent/JP6081493B2/ja active Active
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- 2013-02-07 TW TW102104791A patent/TW201346215A/zh unknown
Patent Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0240506A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Fuji Electric Co Ltd | 測距装置 |
US5090811A (en) * | 1989-05-31 | 1992-02-25 | General Electric Company | Optical radius gauge |
JPH04364414A (ja) * | 1991-06-11 | 1992-12-16 | Fuji Electric Co Ltd | 測距装置 |
JPH06117852A (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-28 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式変位計 |
JPH095048A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Sony Corp | 表面形状測定装置 |
JPH11211439A (ja) * | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 表面形状計測装置 |
JPH11287949A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Canon Inc | 偏心結像光学系 |
JP2004311026A (ja) * | 1999-07-30 | 2004-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッド装置及び光ヘッド装置の製造方法 |
US20020180987A1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-12-05 | Johnston Kyle S. | Profiling of a component having reduced sensitivity to anomalous off-axis reflections |
WO2004040335A2 (en) * | 2002-10-28 | 2004-05-13 | Metron Systems, Inc. | High precision optical imaging systems and related systems |
US20060009872A1 (en) * | 2004-07-08 | 2006-01-12 | Timbre Technologies, Inc. | Optical metrology model optimization for process control |
JP2007047767A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-22 | Pentax Corp | 投影装置 |
JP2007316385A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Canon Inc | 撮像光学系 |
JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
JP2008256483A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Nikon Corp | 形状測定装置 |
WO2008126647A1 (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Nikon Corporation | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2010525404A (ja) * | 2007-04-24 | 2010-07-22 | デグデント・ゲーエムベーハー | 対象物の3次元測定のための配置および方法 |
JP2010139909A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2011064482A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kurabo Ind Ltd | 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法 |
JP2012002897A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Fujifilm Corp | 撮像レンズおよび撮像装置、ならびに情報端末機器 |
JP2013007645A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Nikon Corp | 測定装置、形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法 |
JP2013104814A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Nikon Corp | 形状測定装置、構造物製造システム、構造物製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109298507A (zh) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学镜头 |
CN109298507B (zh) * | 2017-07-25 | 2021-01-08 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学镜头 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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CN108761778A (zh) | 2018-11-06 |
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