JP5982789B2 - 形状測定装置、構造物製造システム、構造物製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態の形状測定装置1の概観を示す図である。図2は、第1実施形態の形状測定装置1の構成を示す図である。図3は、本実施形態の結像光学系21の物体面P2、像面P3等の位置関係を示す図である。図4は、本実施形態の平均平面P7の定義を示す図である。
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
図12は、実施例2の結像光学系21の構成を示す二面図である。図13は、実施例2の結像光学系21の諸元を示す表6である。図14は、実施例2の第3の光学面A3の形状パラメータを示す表7である。図8は、実施例2の第4の光学面A4の形状パラメータを示す表8である。図9は、実施例2の第5の光学面A5の形状パラメータを示す表9である。図10は、実施例2の第9の光学面A9の形状パラメータを示す表10である。
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
図19は、実施例3の結像光学系21の構成を示す二面図である。図20は、実施例3の結像光学系21の諸元を示す表11である。図21は、実施例3の第3の光学面A3の形状パラメータを示す表12である。図22は、実施例3の第4の光学面A4の形状パラメータを示す表13である。図23は、実施例3の第5の光学面A5の形状パラメータを示す表14である。図24は、実施例3の第9の光学面A9の形状パラメータを示す表15である。
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
図26は、実施例4の結像光学系21の構成を示す二面図である。図27は、実施例4の結像光学系21の諸元を示す表16である。図28は、実施例4の第3の光学面A3の形状パラメータを示す表17である。図29は、実施例4の第4の光学面A4の形状パラメータを示す表18である。図30は、実施例4の第5の光学面A5の形状パラメータを示す表19である。図31は、実施例4の第9の光学面A9の形状パラメータを示す表20である。
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
図33は、実施例5の結像光学系21の構成を示す二面図である。図34は、実施例5の結像光学系21の諸元を示す表21である。図35は、実施例5の第3の光学面A3の形状パラメータを示す表22である。図36は、実施例5の第4の光学面A4の形状パラメータを示す表23である。図37は、実施例5の第5の光学面A5の形状パラメータを示す表24である。図38は、実施例5の第9の光学面A9の形状パラメータを示す表25である。
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
次に、構造物製造システム、及び構造物製造方法について説明する。
図41は、本実施形態の構造物製造方法を示すフローチャートである。本実施形態において、図41に示す構造物製造方法の各処理は、構造物製造システム200の各部によって実行される。
Claims (15)
- 光源からの光に照らされている被検物を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子の受光面に沿って配置されたカバーガラスと、
前記撮像素子の受光面と共役な共役面を前記受光面と非平行になるように形成する結像光学系と、
前記撮像素子による撮像の結果から前記光に照らされている部分の像の位置を検出することにより、前記被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備え、
前記結像光学系は、
前記像を形成する光束が通る範囲において、前記受光面を含む面と前記共役面を含む面との交線に直交する直交面上の像面の略中心と物体面の略中心とを直線で結んだときの軸に関して断面形状が非対称であり、かつ前記交線から最も遠い部分と、前記交線から最も近い部分とについて、前記遠い部分から前記近い部分に向うにつれて前記直交面上の断面形状の寸法が縮小又は拡大するレンズ要素を含むレンズ群を有し、
前記撮像素子の受光面に対して、前記像を形成する光束に含まれる光線が実質的に直交するように前記光線を導く形状測定装置。 - 前記レンズ群は、
前記像を形成する光束が通る範囲において、前記直交面上の軸に関して非軸対称かつ前記直交面上において前記交線に近づくにつれて断面形状の寸法が縮小する第1軸非対称レンズと、
前記像を形成する光束が通る範囲において、前記直交面上の軸に関して非軸対称かつ前記直交面上において前記交線に近づくにつれて断面形状の寸法が拡大する第2軸非対称レンズと、を含む
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記第1軸非対称レンズは、前記第2軸非対称レンズよりも前記共役面に近い位置に配置されている
請求項2に記載の形状測定装置。 - 前記第1軸非対称レンズは、前記結像光学系のうち前記共役面の最も近くに配置されている
請求項3に記載の形状測定装置。 - 前記第1軸非対称レンズにおいて前記共役面を向く面は、凹面である
請求項3又は4に記載の形状測定装置。 - 前記光源から前記被検物への光の伝播方向が前記第1軸非対称レンズ及び前記第2軸非対称レンズの配列軸となす角度をθとし、前記第1軸非対称レンズの第1面上の各点との間隔の二乗平均が最小になる第1平面に対して前記第1軸非対称レンズの第2面上の各点との間隔の二乗平均が最小になる第2平面がなす角度をθ1としたときに、前記θと前記θ1は下記の式(1)を満たす
0.39≦|θ1/θ|≦1.8・・・(1)
請求項3から5のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記第2軸非対称レンズの第3面上の各点との間隔の二乗平均が最小になる第3平面に対して前記第2軸非対称レンズの第4面上の各点との間隔の二乗平均が最小になる第4平面がなす角度をθ2としたときに、前記θと前記θ2は下記の式(2)を満たす
0.95≦|θ2/θ|≦2.84・・・(2)
請求項6に記載の形状測定装置。 - 前記第1軸非対称レンズ及び前記第2軸非対称レンズは、それぞれ、前記直交面に関して面対称である
請求項2から7のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記直交面において、前記第1軸非対称レンズと前記第2軸非対称レンズは全体として正のパワーを有する
請求項2から8のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記結像光学系は、前記直交面上の軸に関して軸対称な軸対称レンズを含む
請求項2から9のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記軸対称レンズの対称軸は、前記第1軸非対称レンズと前記第2軸非対称レンズとの配列軸と同軸である
請求項10に記載の形状測定装置。 - 前記光源から前記被検物への光の伝播方向は、前記共役面と平行である
請求項1から11のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記光線は前記被検物上からの主光線である
請求項1から12のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 構造物の形状に関する設計情報に基づいて前記構造物を成形する成形装置と、
前記成形装置によって成形された前記構造物の形状を測定する、請求項1から13のいずれか一項に記載の形状測定装置と、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較する制御装置と、を備える
構造物製造システム。 - 構造物の形状に関する設計情報に基づいて、前記構造物を成形することと、
前記成形装置によって成形された前記構造物の形状を請求項1から13のいずれか一項に記載の形状測定装置によって測定することと、
前記形状測定装置によって測定された前記構造物の形状を示す形状情報と前記設計情報とを比較することと、を含む
構造物製造方法。
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