JP6653048B1 - レンズ形状測定装置、レンズ形状測定方法、レンズ光学特性測定装置、プログラム、及び、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
レンズ保持部、測定制御部、レーザ照射部、レーザ受光部、レンズ表面位置検出部、レンズ裏面位置検出部、測定演算部、及び、出力部を備え、
さらに、レンズ位置移動部及びレーザ照射部移動部の少なくとも一方を備え、
前記レンズ保持部は、レンズを保持し、
前記レンズ位置移動部は、前記レンズ保持部に保持されたレンズを、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向及びY軸方向は、鉛直方向又は光軸方向と垂直な面で互いに直交する方向であり、
Z軸方向は、鉛直方向又は光軸方向であり、
Xθ方向は、Y軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のX軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Yθ方向は、X軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のY軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Zθ方向は、X軸方向及びY軸方向が形成する面において、任意の位置のZ軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
前記測定制御部は、レンズ表面形状測定モード、及び、レンズ厚み測定モードを含む測定制御情報を生成し、
前記レーザ照射部は、前記レンズにレーザを照射し、前記レーザは、ラインレーザ又はドットレーザであり、
前記レーザ照射部移動部は、前記レーザ照射部を、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
前記レーザ受光部は、前記レンズに照射されたレーザの散乱光を受光し、
前記レンズ表面位置検出部は、前記レンズ表面の特定の位置を検出し、
前記レンズ裏面位置検出部は、前記レンズ裏面の特定の位置を検出し、
前記測定演算部は、前記レーザ受光部の情報に基づき、前記レンズの表面形状情報を算出し、かつ、前記レンズ表面位置検出部及び前記レンズ裏面位置検出部からの情報に基づき、前記レンズの厚み情報を算出し、
前記出力部は、算出された前記レンズの表面形状情報及び厚み情報を出力し、
前記レンズ表面形状測定モードの場合、
前記レンズ位置移動部が前記レンズをX軸方向若しくはXθ方向に移動するか、又は、前記レーザ照射部移動部が前記レーザ照射部をX軸方向若しくはXθ方向に移動することにより、
前記レーザ照射部が、Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザをX軸方向若しくはXθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射するか、又は、
前記レンズ位置移動部が前記レンズをY軸方向若しくはYθ方向に移動するか、又は、前記レーザ照射部移動部が前記レーザ照射部をY軸方向若しくはYθ方向に移動することにより、
前記レーザ照射部が、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザをY軸方向若しくはYθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射し、
前記レーザ受光部は、前記レンズに照射された前記レーザの散乱光を受光し、
前記測定演算部は、前記レーザ受光部が受光した散乱光から前記レンズの表裏面画像データを算出し、
前記レンズ厚み測定モードの場合、
前記レンズ位置移動部により、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、又は、前記レーザ照射部移動部により、前記レーザ照射部をZ軸方向に移動させて、前記レンズ表面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出し、かつ、前記レンズ裏面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出し、
前記測定演算部は、Z軸方向の前記レンズ表面位置、Z軸方向の前記レンズ裏面位置、及び、前記Z軸方向のレンズ移動距離から前記レンズの厚み情報を算出する、
装置である。
レンズ表面形状測定工程、及び、レンズ厚み測定工程を含み、
前記レンズ表面形状測定工程及びレンズ厚み測定工程において、前記レンズにレーザを照射し、前記レーザは、ラインレーザ又はドットレーザであり、
前記レンズ及び前記レーザの少なくとも一方が、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向及びY軸方向は、鉛直方向又は光軸方向と垂直な面で互いに直交する方向であり、
Z軸方向は、鉛直方向又は光軸方向であり、
Xθ方向は、Y軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のX軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Yθ方向は、X軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のY軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Zθ方向は、X軸方向及びY軸方向が形成する面において、任意の位置のZ軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
前記レンズ表面形状測定工程は、
Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザを前記レンズに照射しながら、前記レンズをX軸方向若しくはXθ方向に移動するか、又は、前記レーザをX軸方向若しくはXθ方向に移動することにより、Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いた前記レーザをX軸方向若しくはXθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射するか、又は、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザを前記レンズに照射しながら、前記レンズをY軸方向若しくはYθ方向に移動するか、又は、前記レーザをY軸方向若しくはYθ方向に移動することにより、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いた前記レーザをY軸方向若しくはYθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射し、前記レンズに照射された前記レーザの散乱光を受光し、受光した散乱光から前記レンズの表裏面画像データを算出し、
前記レンズ厚み測定工程は、
前記レンズをZ軸方向に移動させるか、又は、前記レーザをZ軸方向に移動させて、前記レンズ表面位置及び前記レンズ裏面位置を検出し、前記レンズ表面位置、前記レンズ裏面位置、及び、前記Z軸方向のレンズ移動距離から前記レンズの厚み情報を算出する、方法である。
前記レンズ保持部は、レンズを保持し、
前記操作入力部は、測定内容を含む操作情報を前記測定制御部に入力し、
前記測定制御部は、入力された前記操作情報に基づき測定制御情報を生成し、
前記光照射部は、前記測定制御情報に基づいて光を前記レンズに照射し、
前記受光部は、前記光を照射されたレンズから出射される測定光を受光して測定情報を生成し、
前記測定演算部は、前記測定情報に基づきレンズの光学特性情報を生成し、
前記出力部は、前記光学特性情報を出力し、
さらに、本発明のレンズ形状測定装置を含み、
前記レンズ保持部は、前記レンズ形状測定装置の前記レンズ保持部を兼ね、
前記測定制御部は、前記レンズ形状測定装置の前記測定制御部を兼ね、
前記受光部は、前記レンズ形状測定装置の前記レーザ受光部を兼ね、
前記測定演算部は、前記レンズ形状測定装置の前記測定演算部を兼ね、
前記出力部は、前記レンズ形状測定装置の前記出力部を兼ね、
前記レンズ位置移動部は、前記測定制御情報に基づき、前記レンズ保持部に保持されたレンズを、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向は、前記レンズ形状測定装置のX軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向と同一であり、
前記レーザ照射部移動部は、前記レーザ照射部を、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能である、装置である。
図1に、本実施形態のレンズ形状測定装置1の各部の構成を示す。図示のように、本装置1は、操作入力部11、測定制御部12、測定演算部13、記憶部14、出力部15、レンズ位置移動部16、ラインレーザ照射部7a、ラインレーザ受光部7b、レンズ保持部18、及び、レンズ裏面位置検出部23、を備える。操作入力部11、測定制御部12、測定演算部13、記憶部14、及び、出力部15は、例えば、CPU又はGPU等の中央演算処理装置内で構成されている。レンズ保持部18は、測定対象のレンズを保持する。操作入力部11は、タッチパネル、マウス又はキーボード等の入力装置(図示せず)と接続されており、測定内容を含む操作情報を測定制御部12に入力する。測定制御部12は、入力された操作情報に基づき測定制御情報を生成し、ラインレーザ照射部7aは、測定制御情報に基づいてラインレーザ(図1において上側の矢印)を、レンズ保持部18に保持されているレンズ(図示せず)に照射する。ラインレーザ受光部7bは、前記ラインレーザを照射されたレンズから反射されるラインレーザ(図1において下側の矢印)を受光する。ラインレーザ照射部7a及びラインレーザ受光部7bにより、レンズの表面形状が測定できる。また、ラインレーザ照射部7a及びラインレーザ受光部7bは、レンズ表面位置検出部22を兼ねており、Z軸方向のレンズ表面位置を検出する。レンズ裏面位置検出部23は、Z軸方向のレンズ裏面位置を検出する。レンズ表面形状情報、レンズ表面位置情報、レンズ裏面位置情報、レンズのZ軸移動距離情報は、測定演算部13に入力され、測定演算部13は、前記各情報に基づきレンズの表面形状情報及びレンズの厚み情報を生成する。レンズの表面形状情報及びレンズの厚み情報は、記憶部14に記憶され、また、出力部15により、出力される。出力部15は、ディスプレー及びプリンター等の出力装置(図示せず)に接続され、レンズの表面形状情報及びレンズの厚み情報は、ディスプレーに表示されたり、プリンターによって印刷されたりする。
図5に、本実施形態のレンズ光学特性測定装置1の各部の構成を示す。本実施形態のレンズ光学特性測定装置1は、例えば、実施形態1のレンズ形状測定装置1を含む。図示のように、本装置1は、操作入力部11、測定制御部12、測定演算部13、記憶部14、出力部15、レンズ位置移動部16、光照射部17、レンズ保持部18、及び、受光部19、を備える。操作入力部11、測定制御部12、測定演算部13、記憶部14、及び、出力部15は、例えば、CPU又はGPU等の中央演算処理装置内で構成されている。レンズ保持部18は、測定対象のレンズを保持する。操作入力部11は、タッチパネル、マウス又はキーボード等の入力装置(図示せず)と接続されており、測定内容を含む操作情報を測定制御部12に入力する。測定制御部12は、入力された操作情報に基づき測定制御情報を生成し、光照射部17は、測定制御情報に基づいて光(図5において上側の矢印)を、レンズ保持部18に保持されているレンズ(図示せず)に照射する。受光部19は、前記光を照射されたレンズから出射される測定光(図5において下側の矢印)を受光して測定情報を生成し、測定演算部13は、測定情報に基づきレンズの光学特性情報を生成する。レンズの光学特性情報は、記憶部14に記憶され、また、出力部15により、前記光学特性情報を出力する。出力部15は、ディスプレー及びプリンター等の出力装置(図示せず)に接続され、光学特性情報は、ディスプレーに表示されたり、プリンターによって印刷されたりする。
次に、図6から図18に基づき、本発明のレンズ光学特性測定装置の構成の一例を説明する。
図19に基づき、レンズ内座標の規定について説明する。図19に示すように、レンズLeには、JIS規格(JIS T 7315(ISO 8980−2:2004))に基づき、中心点から17mm離れた点に二つのアライメントマークがレーザにより刻印されており、かつ、レンズ表面に印刷されている。レンズ内座標は、LX軸方向、及び、LY軸方向からなる二次元座標であり、LX軸方向は、レンズLe内の二つのアライメントマークが重なる軸方向である。LY軸方向は、レンズLeの面方向でLX軸方向と直交する軸方向である。眼鏡レンズの加工において、印刷されたアライメントマークを指標にLX軸を規定するが、レンズが曲面形状であるため、印刷の際にずれた位置にアライメントマークが印刷されることが多い。このため、従来では、正確なレンズ内座標の規定は困難であった。これに対し、本発明の装置では、レンズに光を照射し、出射する測定光から、レーザで刻印された正確な二つのアライメントマーク位置を検出し、正確な二つのアライメントマーク位置から、レンズ内のLX軸方向、及び、LY軸方向からなるレンズ内座標を規定する。このため、本発明では、正確なレンズ内座標を規定することが可能である。そして、正確なレンズ内座標に基づき、レンズの各部の位置を特定して光学特性を紐づければ、レンズ各部の光学特性を正確に規定できる。
図20及び図21に基づき、分割測定の一例を説明する。まず、図20(A)に示すように、測定エリア1から3は、光照射部17の光の測定エリアの大きさ(面積)を示すが、測定対象のレンズLeの大きさは、測定エリア1から3よりも大きい。この場合、図20(A)に示すように、レンズLeをXθ方向に移動させながら、測定エリア1、測定エリア2、及び、測定エリア3と三回に分けて測定する。そして、図20(B)に示すように、測定エリア1から3の測定結果を統合(合成)して、合成測定エリアESを生成する。なお、図20(B)の斜線部分は、Xθ方向の分割測定では測定できなかった部分である。次に、図21(A)に示すように、レンズLeをYθ方向に移動させながら、測定エリア1、測定エリア2、及び、測定エリア3と三回に分けて測定する。そして、図21(B)に示すように、測定エリア1から3の測定結果を統合(合成)して、合成測定エリアESを生成する。なお、図21(B)の斜線部分は、Yθ方向の分割測定では測定できなかった部分である。そして、図20(B)に示すXθ方向の合成測定エリアES、及び、図21(B)に示すYθ方向の合成測定エリアESの両者を統合(合成)することで、レンズLe全体の光学特性を測定することができる。このように、光照射部17の光照射エリアよりも大きいサイズのレンズであっても、本発明の分割測定によりレンズ全体の光学特性の測定が可能である。このため、本発明によれば、装置を小型化しても大型レンズの測定が可能である。なお、図20及び図21の例は、Xθ方向及びYθ方向での分割測定であるが、本発明はこれに限定されず、例えば、X軸方向及びY軸方向の分割測定も可能であり、その他、6方向の少なくとも一つの方向の分割測定も可能である。また、分割測定では、レンズ各部の光学特性をレンズ各部に正確に紐づける必要があり、その際に、本発明のレンズ内部の二次元座標の規定を用いれば、正確な分割測定を実施できる。このとき、分割面の幅(ピッチ)は、特に限定されないが、より精度のよい(分解能が高い)表面形状測定のためには、分割面の幅(ピッチ)がなるべく小さくするように細分割することが好ましい。一方、測定時間が長くなりすぎないためには、分割面の幅(ピッチ)を小さくし過ぎないことが好ましい。この観点から、分割面の幅(ピッチ)は、例えば、1.0mm以上2.0mm以下が好ましい。
図22は、本発明において、二つ以上の方向にレンズを同時に移動させる同期移動の例である。図22では、3方向の同期移動を示し、同図に示すように、レンズを、Xθ方向の移動(Xθ回転)、Y軸方向の移動(Y軸スライド)、及び、Z軸方向の移動(Z軸スライド)の3つの移動を同時に行うことにより、レンズの光学中心点を通るX軸と平行な軸を回転軸としてレンズをXθ方向に回転させることが可能である。同様に、レンズを、Yθ方向の移動(Yθ回転)、X軸方向の移動(X軸スライド)、及び、Z軸方向の移動(Z軸スライド)の3つの移動を同時に行うことにより、レンズの光学中心点を通るY軸と平行な軸を回転軸としてレンズをYθ方向に回転させることも可能である。
図23に、レンズへのカップの装着の一例を示す。図23に示すように、カップ装着部20は、カップCを保持するカップ保持部20a、及び、カップ保持部20aと連結しカップ保持部20aを移動させる移動部20bから構成されている。また、レンズLeは、レンズ保持部18に保持されている。レンズLeは、レンズ支持台21b上に配置されたレンズ支持ピン21aにより、下方から支持されている。レンズ支持ピン21aは、二つの補強リブ21cにより、補強されている。移動部20bは、光学特性測定の際には、カップ保持部20aを光学特性測定の支障がない位置に配置し、カップCをレンズLeに装着する際には、図23に示すように、カップ保持部20aをレンズLeの上方に配置する。レンズ位置移動部(図23には図示せず)は、レンズLe上方に配置されたカップ保持部20aのカップCに対し、レンズLeの光学中心点を通る面に直交する光軸(図23において、一点鎖線)が、カップCの中心軸と合うようにレンズLeの位置と向きを調整する。そして、移動部20bにより、矢印で示すように、カップ保持部20aを降下させて、カップCをレンズLeに当接してレンズLeにカップCを装着する。カップCが装着されたレンズLeは、レンズ保持部18から取り外され、レンズ加工機によって加工される。なお、本例では、カップCを降下させてレンズLeに装着したが、これとは逆に、レンズ保持部18を上昇させてカップCをレンズLeに装着させてもよい。なお、レンズ保持部18は、カップC装着時にレンズLeにかかる圧力を吸収するために、バネ等の付勢部材を用いたクッション機構を備えることが好ましい。同様に、カップ保持部20a及びレンズ支持ピン21aにも、バネ等の付勢部材を用いたクッション機構を備えることが好ましい。また、レンズ支持ピン21aにより、レンズLeの三次元的な傾動及びトレースが可能になる。
図24は、本発明のレンズ形状測定装置又はレンズ形状測定方法におけるレンズ形状解析の工程の一例を示すフロー図である。まず、ラインレーザ又はドットレーザを用いたレンズ形状測定装置で、レンズをX軸方向に移動させながら計測した複数の画像ファイル(例えばTIFF形式)を読み込む(S101)。つぎに、ピクセルビニング処理により画像サイズを縮小する(S102)。さらに、畳み込み演算による線検出フィルタにより、画像を二値化する(S103)。さらに、複数の二値化画像を結合し、三次元ピクセルデータを作成する(S104)。さらに、隣接ピクセルをたどる三次元塗りつぶし演算により、表面と裏面のデータを分離する(S105)。そして、作成した三次元ピクセルデータから、レンズ表面及び裏面形状を表す三次元座標リストを作成する(S106)。さらに、レンズ表面形状をゼルニケ多項式で近似する(S107)。さらに、光線追跡により屈折の影響を計算し、レンズ裏面形状データを実際の形状に補正する(S108)。そして、レンズ裏面形状をゼルニケ多項式で近似する(S109)。さらに、光線追跡により、球面度数分布、円柱度数分布、円柱軸角度を計算する(S110)。つぎに、レンズの屈折率が決定されているか否かを確認する(S111)。レンズの屈折率が不明の場合は、レンズ中心部の球面度数から屈折率を算出し(S112)、その後、S108〜S110を再度実行する。レンズの屈折率が決定されている場合は、それに基づき、レンズの球面度数の最大値、最小値等を表示する(S113)。なお、例えば、レンズのアッベ数を測定済の場合は、レンズに照射されるレーザ(例えばe線)に対するレンズの屈折率がすでに決定されていることになる。さらに、レンズ表面及び裏面の曲率(主曲率)分布を計算し、表示する(S114)。なお、これらの工程S101〜S114は、例えば、本発明のレンズ形状測定装置における前記測定演算部で行うことができる。
本実施形態のプログラムは、本発明の方法を、コンピュータ上で実行可能なプログラムである。また、本実施形態のプログラムは、例えば、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されていてもよい。前記記録媒体としては、特に限定されず、例えば、読み出し専用メモリ(ROM)、ハードディスク(HD)、光ディスク等が挙げられる。
11 操作入力部
12 測定制御部
13 測定演算部
14 記憶部
15 出力部
16 レンズ位置移動部
7a ラインレーザ照射部
7b ラインレーザ受光部
22 レンズ表面位置検出部
23 レンズ裏面位置検出部
Claims (19)
- レンズ保持部、測定制御部、レーザ照射部、レーザ受光部、レンズ表面位置検出部、レンズ裏面位置検出部、測定演算部、及び、出力部を備え、
さらに、レンズ位置移動部及びレーザ照射部移動部の少なくとも一方を備え、
前記レンズ保持部は、レンズを保持し、
前記レンズ位置移動部は、前記レンズ保持部に保持されたレンズを、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向及びY軸方向は、鉛直方向又は光軸方向と垂直な面で互いに直交する方向であり、
Z軸方向は、鉛直方向又は光軸方向であり、
Xθ方向は、Y軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のX軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Yθ方向は、X軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のY軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Zθ方向は、X軸方向及びY軸方向が形成する面において、任意の位置のZ軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
前記測定制御部は、レンズ表面形状測定モード、及び、レンズ厚み測定モードを含む測定制御情報を生成し、
前記レーザ照射部は、前記レンズにレーザを照射し、前記レーザは、ラインレーザ又はドットレーザであり、
前記レーザ照射部移動部は、前記レーザ照射部を、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
前記レーザ受光部は、前記レンズに照射されたレーザの散乱光を受光し、
前記レンズ表面位置検出部は、前記レンズ表面の特定の位置を検出し、
前記レンズ裏面位置検出部は、前記レンズ裏面の特定の位置を検出し、
前記測定演算部は、前記レーザ受光部の情報に基づき、前記レンズの表面形状情報を算出し、かつ、前記レンズ表面位置検出部及び前記レンズ裏面位置検出部からの情報に基づき、前記レンズの厚み情報を算出し、
前記出力部は、算出された前記レンズの表面形状情報及び厚み情報を出力し、
前記レンズ表面形状測定モードの場合、
前記レンズ位置移動部が前記レンズをX軸方向若しくはXθ方向に移動するか、又は、前記レーザ照射部移動部が前記レーザ照射部をX軸方向若しくはXθ方向に移動することにより、
前記レーザ照射部が、Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザをX軸方向若しくはXθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射するか、又は、
前記レンズ位置移動部が前記レンズをY軸方向若しくはYθ方向に移動するか、又は、前記レーザ照射部移動部が前記レーザ照射部をY軸方向若しくはYθ方向に移動することにより、
前記レーザ照射部が、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザをY軸方向若しくはYθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射し、
前記レーザ受光部は、前記レンズに照射された前記レーザの散乱光を受光し、
前記測定演算部は、前記レーザ受光部が受光した散乱光から前記レンズの表裏面画像データを算出し、
前記レンズ厚み測定モードの場合、
前記レンズ位置移動部により、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、又は、前記レーザ照射部移動部により、前記レーザ照射部をZ軸方向に移動させて、前記レンズ表面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出し、かつ、前記レンズ裏面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出し、
前記測定演算部は、Z軸方向の前記レンズ表面位置、Z軸方向の前記レンズ裏面位置、及び、前記Z軸方向のレンズ移動距離から前記レンズの厚み情報を算出する、
レンズ形状測定装置。 - 前記レンズ表面位置検出部は、前記レーザ照射部及び前記レーザ受光部を含み、
前記レンズを前記レンズ位置移動部によりZ軸方向に移動させるか、又は、前記レーザ照射部を前記レーザ照射部移動部によりZ軸方向に移動させた場合、前記レーザ照射部が照射したレーザが前記レンズ表面で散乱され、前記散乱光を前記レーザ受光部が受光し、前記散乱光の輝線の幅が最小となるZ軸方向の位置を特定することで、前記レンズ表面位置を特定する請求項1記載のレンズ形状測定装置。 - 前記測定演算部において、前記レンズの表裏面画像データが、二次元画像データであり、前記二次元画像データをゼルニケ多項式で近似して前記レンズの表裏面形状データを算出する、
請求項1又は2記載のレンズ形状測定装置。 - 前記測定演算部は、前記レンズの表面画像データに対し射影変換(ホモグラフィ)による補正処理を行う、
請求項1から3のいずれか一項に記載のレンズ形状測定装置。 - 前記レンズ厚み測定モードの場合、
前記レンズ表面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出した後に、前記レンズ位置移動部により、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、若しくは、前記レーザ照射部移動部により、前記レーザ照射部をZ軸方向に移動させて、前記レンズ裏面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出するか、又は、
前記レンズ裏面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出した後に、前記レンズ位置移動部により、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、若しくは、前記レーザ照射部移動部により、前記レーザ照射部をZ軸方向に移動させて、前記レンズ表面位置検出部により、Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出する、
請求項1から4のいずれか一項に記載のレンズ形状測定装置。 - レンズ保持部、操作入力部、測定制御部、測定演算部、光照射部、受光部、及び、出力部を備え、
前記レンズ保持部は、レンズを保持し、
前記操作入力部は、測定内容を含む操作情報を前記測定制御部に入力し、
前記測定制御部は、入力された前記操作情報に基づき測定制御情報を生成し、
前記光照射部は、前記測定制御情報に基づいて光を前記レンズに照射し、
前記受光部は、前記光を照射されたレンズから出射される測定光を受光して測定情報を生成し、
前記測定演算部は、前記測定情報に基づきレンズの光学特性情報を生成し、
前記出力部は、前記光学特性情報を出力し、
さらに、請求項1から5のいずれか一項に記載のレンズ形状測定装置を含み、
前記レンズ保持部は、前記レンズ形状測定装置の前記レンズ保持部を兼ね、
前記測定制御部は、前記レンズ形状測定装置の前記測定制御部を兼ね、
前記受光部は、前記レンズ形状測定装置の前記レーザ受光部を兼ね、
前記測定演算部は、前記レンズ形状測定装置の前記測定演算部を兼ね、
前記出力部は、前記レンズ形状測定装置の前記出力部を兼ね、
前記レンズ位置移動部は、前記測定制御情報に基づき、前記レンズ保持部に保持されたレンズを、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向は、前記レンズ形状測定装置のX軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向と同一であり、
前記レーザ照射部移動部は、前記レーザ照射部を、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能である、
レンズ光学特性測定装置。 - 前記測定制御部は、レンズ同期移動情報を生成可能であり、
前記レンズ位置移動部は、前記レンズ同期移動情報に基づき、前記レンズ保持部に保持されたレンズを同期して少なくとも二方向に移動する、
請求項6記載のレンズ光学特性測定装置。 - 前記操作入力部は、レンズ内座標設定情報を含む操作情報を入力可能であり、
前記レンズ内座標設定情報は、LX軸方向、及び、LY軸方向からなる二次元座標情報であり、
前記二次元座標は、前記レンズにおいて、前記レンズの光軸と垂直に交わる平面上の二次元座標であり、
前記LX軸方向は、前記レンズ内の二つのアライメントマークが重なる軸方向であり、
前記LY軸方向は、前記LX軸方向と直交する軸方向であり、
前記操作入力部により入力された操作情報に前記レンズ内座標設定情報が含まれる場合、前記測定制御部は、前記レンズ内座標設定情報を含む測定制御情報を生成し、
前記測定演算部は、前記レンズ内座標設定情報に基づき、前記測定情報から二つのアライメントマーク位置情報を抽出し、前記二つのアライメントマーク位置情報から、前記レンズ内の前記LX軸方向、及び、前記LY軸方向からなるレンズ内座標情報を生成し、
前記出力部は、前記レンズ内座標情報を含む前記光学特性情報を出力する、
請求項6又は7記載のレンズ光学特性測定装置。 - 前記測定演算部は、前記レンズ内座標で規定されたレンズの各位置の光学特性情報を生成し、
前記出力部は、前記レンズ各位置の光学特性情報を出力する、
請求項8記載のレンズ光学特性測定装置。 - 前記操作入力部は、分割測定指示情報を含む操作情報を入力可能であり、
前記分割測定指示情報は、前記レンズを各部に分割して光学特性を測定し、分割して測定されたレンズ各部の光学特性の全部又は一部を統合して前記レンズの全体又は一部の光学特性とするものであり、
前記操作入力部により入力された操作情報に分割測定指示情報が含まれる場合、前記測定制御部は、前記分割測定指示情報を含む測定制御情報を生成し、
前記レンズ位置移動部は、前記分割測定指示情報に基づき、前記レンズの分割された各部に、前記光照射部が光を照射できるように前記レンズを移動させ、
前記光照射部は、前記分割測定指示情報に基づき、前記レンズの分割された各部に光を照射し、
前記受光部は、前記分割測定指示情報に基づき、前記レンズの分割された各部から出射される測定光を受光して前記レンズの各部の分割測定情報を生成し、
前記測定演算部は、前記分割測定情報に基づき、前記レンズの分割光学特性情報を生成し、かつ、前記各分割光学特性情報の全部又は一部を統合して前記レンズ全体又は一部分の光学特性情報を生成する、
請求項6から9のいずれか一項に記載のレンズ光学特性測定装置。 - さらに、カップ装着部を含み、
前記カップ装着部は、カップを保持するカップ保持部、及び、前記カップ保持部と連結し前記カップ保持部を移動させる移動部を含み、
前記移動部は、光学特性測定の際には、前記カップ保持部を前記光学特性測定の支障がない位置にカップ保持部を配置し、カップを前記レンズに配置する際には、前記カップ保持部を前記レンズの上方に配置し、
前記レンズ位置移動部は、前記レンズ上方に配置されたカップ保持部のカップに対し、前記レンズにおいて任意点を想定し、前記任意点を通る面に直交する軸が、前記カップの中心軸と合うように前記レンズの位置と向きを調整し、
前記レンズ位置移動部及び前記カップ装着部の移動部の少なくとも一方が、前記レンズ及び前記カップの少なくとも一方を移動させることにより、前記カップに前記レンズを当接して前記レンズにカップを装着させる、
請求項6から10のいずれか一項に記載のレンズ光学特性測定装置。 - レンズ表面形状測定工程、及び、レンズ厚み測定工程を含み、
前記レンズ表面形状測定工程及びレンズ厚み測定工程において、前記レンズにレーザを照射し、前記レーザは、ラインレーザ又はドットレーザであり、
前記レンズ及び前記レーザの少なくとも一方が、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、Xθ方向、Yθ方向、及び、Zθ方向の少なくとも1方向に移動可能であり、
X軸方向及びY軸方向は、鉛直方向又は光軸方向と垂直な面で互いに直交する方向であり、
Z軸方向は、鉛直方向又は光軸方向であり、
Xθ方向は、Y軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のX軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Yθ方向は、X軸方向及びZ軸方向が形成する面において、任意の位置のY軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
Zθ方向は、X軸方向及びY軸方向が形成する面において、任意の位置のZ軸を回転中心軸とする仮想円の円周方向であり、
前記レンズ表面形状測定工程は、
Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザを前記レンズに照射しながら、前記レンズをX軸方向若しくはXθ方向に移動するか、又は、前記レーザをX軸方向若しくはXθ方向に移動することにより、Y軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いた前記レーザをX軸方向若しくはXθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射するか、又は、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いたレーザを前記レンズに照射しながら、前記レンズをY軸方向若しくはYθ方向に移動するか、又は、前記レーザをY軸方向若しくはYθ方向に移動することにより、X軸方向に平行な方向からZ軸方向に傾いた前記レーザをY軸方向若しくはYθ方向に走査した状態で前記レンズ表面に照射し、前記レンズに照射された前記レーザの散乱光を受光し、受光した散乱光から前記レンズの表裏面画像データを算出し、
前記レンズ厚み測定工程は、
前記レンズをZ軸方向に移動させるか、又は、前記レーザをZ軸方向に移動させて、前記レンズ表面位置及び前記レンズ裏面位置を検出し、前記レンズ表面位置、前記レンズ裏面位置、及び、前記Z軸方向のレンズ移動距離から前記レンズの厚み情報を算出する、
レンズ形状測定方法。 - 前記レンズ厚み測定工程は、
Z軸方向の前記レンズ表面位置及びZ軸方向の前記レンズ裏面位置を同時に検出する、
請求項12記載のレンズ形状測定方法。 - 前記レンズ厚み測定工程は、
Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出した後に、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、若しくは、前記レーザをZ軸方向に移動させて、Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出するか、又は、
Z軸方向の前記レンズ裏面位置を検出した後に、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、若しくは、前記レーザをZ軸方向に移動させて、Z軸方向の前記レンズ表面位置を検出する、
請求項12記載のレンズ形状測定方法。 - 前記レンズ表面位置検出は、前記レンズをZ軸方向に移動させるか、若しくは、前記レーザをZ軸方向に移動させた場合、照射したレーザが前記レンズ表面で散乱され、前記散乱光を受光し前記散乱光の輝線の幅が最少となるZ軸方向の位置を特定することで、前記レンズ表面位置を特定する、
請求項12から14のいずれか一項に記載のレンズ形状測定方法。 - 前記レンズの表面画像データが、二次元画像データであり、前記二次元画像データをゼルニケ多項式で近似して前記レンズの表面形状データを算出する、
請求項12から15のいずれか一項に記載のレンズ形状測定方法。 - 前記レンズの表裏面画像データに対し射影変換(ホモグラフィ)による補正処理を行う、
請求項12から16のいずれか一項に記載のレンズ形状測定方法。 - 請求項12から17のいずれか一項に記載の方法をコンピュータ上で実行可能なプログラム。
- 請求項18記載のプログラムを記録しているコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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