JP2011243730A - 半導体発光チップおよび基板の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光チップ20は、サファイア単結晶のC面を表面とし、側面25、26がサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれとも交差する面で構成され、側面25、26にレーザ照射により形成された改質領域23、24を含む基板10と、基板10の基板表面10a上に設けられた発光素子部12とからなる。
【選択図】図9
Description
サファイア単結晶は六方晶に属する結晶であって、a1軸、a2軸、a3軸、c軸によって構成される六角柱の上面(下面)がC面(0001)、側面のすべてがM面(1−100)およびM面(1−100)に等価な面(M面{1−100})である。以下では、M面およびM面に等価な面をまとめてM面と呼ぶ。そして、M面(1−100)に垂直な方向が[1−100]方向(m軸)である。ここで、「−」は、「−」の後に続く数字の上に付くバーを表す。
そして、六角柱の上面(下面)の六角形の他の頂点を、1つおきに結んだ線を含んでc軸に平行な5つの面が、A面(11−20)に等価な面(A面{11−20})である。以下では、A面およびA面に等価な面をまとめてA面と呼ぶ。そして、A面(11−20)に垂直な方向が[11−20]方向(a軸)である。
次に、a軸方向に平行なスクライブ溝に沿ってサファイア基板を劈開して、複数の短冊状の基板を形成する。次いで、短冊状の基板からm軸方向に平行なスクライブ溝に沿って基板を劈開して、表面形状が矩形の発光チップを製造する。
(1)サファイア単結晶のC面を表面とし、側面がサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれに対しても交差する面で構成され、当該側面にレーザ照射により形成された改質領域を含む基板と、前記基板の前記表面上に設けられた半導体発光素子とを備えた半導体発光チップ。
(2)前記半導体発光チップは、表面形状が平行四辺形であることを特徴とする(1)に記載の半導体発光チップ。
(3)前記半導体発光チップは、表面形状が矩形であることを特徴とする(1)または(2)に記載の半導体発光チップ。
(4)前記半導体発光チップは、表面形状が台形であることを特徴とする(1)に記載の半導体発光チップ。
(5)前記基板の表面において、前記側面がサファイア単結晶のM面に対して交差する交差角が10°以上且つ20°以下であることを特徴とする(1)ないし(4)のいずれか1項に記載の半導体発光チップ。
(6)サファイア単結晶のC面を基板表面とし、当該表面上に複数の半導体発光素子が形成された基板の加工方法であって、前記基板の表面に対して垂直な面であって、且つサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれに対しても交差する面を切断予定面と、当該切断予定面に沿うように、発光素子部の各辺同士の間に分割溝を形成する工程と、当該切断予定面内に、前記基板の一方の面から、レーザ光を集光して照射し、当該基板の内部に改質領域を形成するレーザ加工工程と、前記改質領域を起点にして前記基板を切断して、それぞれが前記半導体発光素子を含む複数の半導体発光チップに分割するブレーキング工程と
を含む基板の加工方法。
(7)前記改質領域は、前記レーザ光が前記基板を走査することにより形成されることを特徴とする(6)に記載の基板の加工方法。
(8)前記半導体発光チップは、表面形状が平行四辺形であることを特徴とする(6)または(7)に記載の基板の加工方法。
(9)前記半導体発光チップは、表面形状が矩形であることを特徴とする(8)に記載の基板の加工方法。
(10)前記半導体発光チップは、表面形状が台形であることを特徴とする(6)または(7)に記載の基板の加工方法。
(11)前記半導体発光チップは、前記切断予定面に沿うように設けられた前記分割溝の幅が10μm以上且つ30μm以下であることを特徴とする(6)ないし(10)のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
(12)前記基板は、前記切断予定面のいずれか1つと平行するオリエンテーションフラットを備えることを特徴とする(6)ないし(11)いずれか1項に記載の基板の加工方法。
(13)(6)ないし(12)のいずれか1項に記載の基板の加工方法により製造された半導体発光チップ。
半導体発光素子を設けた基板の加工方法として、先ず半導体発光素子の製造方法の一例について説明する。
本発明の実施形態である半導体発光素子の製造方法は、平面視形状が矩形(長方形や正方形)である複数の発光素子部を、発光素子部の各辺がサファイア基板のa軸と交差するように、基板上にマトリックス状に形成する工程と、発光素子部の各辺同士の間に分割溝を形成する工程と、前記分割溝に沿って前記基板を分割して前記発光素子部を切り出す工程とを有する。
まず、基板10の一面(基板表面10a)上にIII族窒化物半導体のエピタキシャル層37を形成する。
基板10の一端には、基板10の結晶方位を示すオリエンテーションフラット(OF:Orientation Flat)11(OF11)が設けられている。OF11はサファイア単結晶の(11−20)面に形成されている。
基板10上にエピタキシャル層37を形成する場合、基板10として300〜1000μmの厚みのものを用いることが好ましい。基板10の厚さが300μm未満であると、エピタキシャル層37の成長の途中で基板10が反ってしまい不都合である。また1000μmを超える厚みの基板10は、エピタキシャル層37の成長後、研磨により基板10を薄くするのに労力を要する。
本発明の一例とするバッファ層は、III族窒化物半導体の単結晶または柱状結晶の集合体からなり、基板10とエピタキシャル層37との格子定数の違いを緩和するために設けられる。また、下地層は、III族窒化物半導体からなるものであり、下地層の材料はバッファと同じであっても異なっていても構わない。更にまた、下地層は、必要に応じてSi、GeおよびSn等のn型不純物をドープしても良いが、アンドープとすることもでき、アンドープの方が良好な結晶性の維持という点で好ましい。
nコンタクト層は、AlxGa1−xN層(0≦x<1、好ましくは0≦x≦0.5、さらに好ましくは0≦x≦0.1)から構成されることが好ましい。また、nコンタクト層にはn型不純物がドープされていることが好ましい。n型不純物としては、例えば、Si、GeおよびSn等が挙げられ、好ましくはSiおよびGeが挙げられる。
nコンタクト層と発光層33との間には、nクラッド層を設けることが好ましい。nクラッド層はAlGaN、GaN、GaInNなどで形成することが可能である。なお、本明細書では、各元素の組成比を省略した形でAlGaN、GaInNとの記述する場合がある。
pクラッド層としては、発光層33のバンドギャップエネルギーより大きくなる組成であり、発光層33へのキャリアの閉じ込めができるものであれば特に限定されないが、好ましくはAlxGa1−xN(0<x≦0.4)からなるものが挙げられる。pクラッド層が、このようなAlGaNからなる場合、発光層33へのキャリアの閉じ込めの点で好ましい。
pクラッド層のp型ドープ濃度は、1×1018〜1×1021/cm3が好ましく、より好ましくは1×1019〜1×1020/cm3である。
Al組成が上記範囲であると、良好な結晶性の維持およびpオーミック電極との良好なオーミック接触の点で好ましい。また、pコンタクト層は、p型不純物(ドーパント)を1×1018〜1×1021/cm3の濃度、好ましくは5×1019〜5×1020/cm3の濃度で含有していると、良好なオーミック接触の維持、クラック発生の防止、良好な結晶性の維持の点で好ましい。p型不純物としては、特に限定されないが、例えば好ましくはMgが挙げられる。
透光性正極35の材料としては、Au、NiO、ITO(In2O3−SnO2)、AZO(ZnO−Al2O3)、IZO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれる少なくとも一種などが用いられる。また、透光性正極35の構造としては、従来公知の構造を含めて如何なる構造のものも何ら制限なく用いることができる。
正極ボンディングパッド13bとしては、Au、Al、NiおよびCu等を用いた各種構造が周知であり、これら周知の材料、構造を何ら制限無く用いることができる。
なお、分割溝38a及び分割溝38bを形成する手段として、前記エッチング法以外にも、レーザ法、ダイシング法など周知の手法を何ら制限なく用いることができる。
しかしながら、分割溝38a、38bを形成する手段としては、ウェットエッチングおよびドライエッチングなどのエッチング方法を用いることが好ましい。例えば、ドライエッチングであれば、反応性イオンエッチング、イオンミリング、集束ビームエッチングおよびECRエッチングなどの手法を用いることができ、ウェットエッチングであれば、例えば硫酸とリン酸の混酸を用いることができる。但し、エッチングを行う前に、窒化ガリウム系化合物半導体表面に、所望のチップ形状となるように、所定のマスクを形成する。
また、レーザ法で分割溝38a、38bを形成する場合、汚れが飛散して積層された半導体層の表面に付着し、電気特性が劣化する恐れがある。これを防ぐために、耐熱性に優れたレジストなどの保護膜を形成し、分割溝形成後に保護膜上の汚れと共に保護膜を洗浄で除去すればよい。
また、ダイシング法では、ブレードの消耗および劣化による加工精度のバラツキが心配されるが、それらの刃先の交換などの交換頻度を高めることにより加工精度を上げることができる。
分割溝38a、38bの交差角α(β)は10°以上且つ20°の範囲が望ましい。さらに交差角α(β)が15°であるのがより好ましい。この理由に関しては図2(d)を用いて簡単に説明する。
α=0°(β=0°)の場合には、発光チップ20の一方の平行な二辺(切断予定面22a)がA面と一致し、他方の平行な二辺(切断予定面22b)がM面と一致する。
また、α=30°(β=30°)の場合には、発光チップ20の一方の平行な二辺(切断予定面22a)がM面と一致し、他方の平行な二辺(切断予定面22b)がA面と一致する。よって、これらの場合には、発光チップ20の基板10の側面(切断面)が基板表面10aに対して傾斜する。
これに対して、例えばα=15°(β=15°)であれば、切断予定面22aおよび22bがA面およびM面に対して最大となる15°の角度を有している。
本実施の形態では、発光チップ20の表面形状は長方形であり、例えば、長辺の長さphは400μm、短辺の長さpvは240μmであるが、長辺および短辺の方向はいずれであってもよい。また、発光チップ20は、長辺と短辺が同じ長さである正方形であってもよい。
負極ボンディングパッド13aとしては、Ti、Auなどを用いた各種組成や構造が周知であり、これら周知の組成や構造を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。
基板10の厚みは、60〜300μm、好ましくは80〜250μm、より好ましくは100〜200μmとすることが好ましい。基板10の厚さを上記範囲とすることで、基板10の分割が容易になり、効率よく綺麗に基板10を分割することができる。
なお、基板10の厚みが300μmを超えると、サファイアなどからなる非常に硬い基板10を精度良く分割することが困難となる。また、基板10の厚みが60μm未満であると、基板10とエピタキシャル層37との間の格子定数や熱膨張率の違いに起因する反りが顕著となり、基板10を精度良く分割することが困難となる。
本実施の形態における基板の加工方法は、レーザ光の照射により基板10内に改質領域23、24(後述する図4参照)を形成(レーザ加工)するレーザ加工工程と、その後に、改質領域23、24を起点として基板10を発光チップ20に切断するブレーキング工程とからなる。
レーザ加工により基板10内に改質領域23、24を形成するレーザ加工工程を説明する。
図3は、レーザ加工により基板10内に改質領域23、24を形成するために、基板10を金属リング16で保持された粘着シート15に貼り付けた状態を説明する図である。図3(a)は基板10を金属リング16で保持された粘着シート15に貼り付けた状態を説明する平面図、図3(b)は図3(a)のIIIB−IIIB線での断面図、図3(c)は図3(a)のIIIC−IIIC線での断面の部分拡大断面図である。
図3(a)および(b)に示すように、基板10は、金属リング16で保持された粘着シート15に貼り付けられている。
金属リング16は、基板10の直径より大きく設定されている。そして、基板10は、金属リング16の内側に、金属リング16に接触しないように貼り付けられている。なお、粘着シート15は、レーザ加工において、基板10を保持すると共に、レーザ加工工程に引き続いて行われるブレーキング工程において切断された発光チップ20が飛散するのを防止する。
図3(a)に示した基板表面10aにおいて、OF11の設けられた−y方向の端をD端部、OF11と反対側のy方向の端をU端部、x方向の端をL端部、同様に−x方向の左側の端をR端部とする。そして、中央部をC部とする。さらに、図3(a)に示した基板表面10aにおいて、D端部のある基板10の下側をD端部側、U端部のある基板10の上側をU端部側、L端部のある基板10の右側をL端部側、R端部のある基板10の左側をR端部側と呼ぶ。なお、R端部およびL端部は、図中において、左右が逆になっている。これは、後述するレーザ加工工程において、基板10が裏返して配置されるためである。
また、図3(c)に示すように、基板10に想定された切断予定線21a(便宜的に基板裏面10b上にあるとした。)から基板表面10aに垂直に延びる面は、切断予定線21aに対応した切断予定面22aである。すなわち、発光チップ20の基板10の側面(切断面)が基板表面10aに対して垂直に形成されることが望ましい。
図示しないが、切断予定線21aと直交する切断予定線21bに対応して、基板裏面10bから基板表面10aに垂直に延びた面が切断予定面22bとなる。
ここでは、金属リング16に保持された粘着シート15に貼り付けられた基板10を、基板ユニット30と呼ぶ。
本実施の形態では、レーザ光発生部41は、基板裏面10bを“0”(基準面)とする。そして、基板裏面10bの切断予定線21a、21bに沿って、基板裏面10bから距離d1の位置(深い距離の位置)に集光したレーザ光45を照射して改質領域23を形成したのち、再び基板裏面10bの切断予定線21a、21bに沿って、距離d1に比べて浅い距離の位置(距離d2)に集光したレーザ光45を照射して改質領域24を形成する。すなわち、レーザ光発生部41は、基板裏面10b(基板表面10aとしても同じである。)から複数の距離に改質領域23、24を形成する。
一方、図4(a2)は、図3(a)のIIIB−IIIB線での断面図である。
そして、図4(a2)に示すように、吸着ステージ52のx方向への移動とともに、パルス発振により、レーザ光45は、基板10の切断予定面22a内に複数の改質領域23を繰り返し形成する。レーザ光45のパルス発振周波数は、例えば、15,000〜300,000Hz、吸着ステージ52の移動速度は100〜500mm/secである。
また、レーザの出力は1.5〜5.0μJの範囲である。
図4(b1)に示すように、レーザ光45は、基板裏面10bから距離d2(d2<d1)の位置に集光されている。そして、図4(b2)に示すように、吸着ステージ52のx方向への移動とともに、パルス発振により、レーザ光45は、複数の改質領域24を繰り返し形成する。
図4では示していないが、切断予定面22bにおいても同様である。本実施の形態では、x方向とy方向との走査の順は、x方向に改質領域23、24を形成した後にy方向で改質領域23、24を形成している。また、改質領域23、24形成時のレーザの出力は、2.5μJ、2.0μJと基板裏面10bからの距離が大きい場合のレーザ光45の出力を、距離が小さい場合より、大きく設定した。
すなわち、基板10内に2段に改質領域23、24を形成することで、基板10を発光チップ20に切断できるようにしている。
その後、粘着シート15は、引き延ばされて、それぞれの発光チップ20の隙間を広げ、発光チップ20をパッケージに搭載するパッケージマウント工程(不図示)における作業を容易にする。
第1の実施の形態では、図2(a)に示したように、発光チップ20の表面形状が長方形であるとした。このため、A面(11−20)に対する交差角αとM面(1−100)に対する交差角βは個別に設定することができなかった。
他は、第1の実施の形態と同様である。このように、第2の実施の形態では、切断予定面22aがA面と一致しているが、A面は垂直に割れる傾向があるので基板10の側面が傾斜することはない。また、第2の実施の形態では、発光チップ20の平面形状を平行四辺形として、A面(11−20)に対する交差角αとM面(1−100)に対する交差角βとを個別に設定することができる。
第2の実施の形態では、図6に示したように、発光チップ20の表面形状を平行四辺形とした。第3の実施の形態では、発光チップ20の表面形状を台形としている。
図7は、第3の実施の形態における発光チップ20の辺と、サファイア単結晶の結晶方位との関係を説明する図である。ここでは、発光チップ20の表面形状を脚の長さが等しい等脚台形とし、発光チップ20の一方の平行な二辺(切断予定面22a)を、A面に対して平行(α=0°)に設定している。一方、発光チップ20の他方の二辺(切断予定面22b)とM面との交差角βを、10°、15°、20°に設定した場合を示している。なお、αは0°でなくてもよい。
なお、本実施の形態では、切断予定線21aは、基板10において直線であるが、切断予定線21bは直線ではない。よって、切断予定線21aにおいて、基板10を短冊状に切断した後、切断予定線21bに沿って、発光チップ20に切断している。また、吸着ステージ52(図3参照)を、切断予定線21aおよび21bにしたがって移動させ、切断予定線21aおよび21bに沿って改質領域23、24(図3参照)を形成してもよい。
本実施の形態では、等脚台形としたが、脚の長さが異なってもよい。さらに、図示しないが、発光チップ20の表面形状を三角形としてもよい。
他は、第1の実施の形態と同様である。
同様に、本発明では、発光チップ20の表面形状についても、本実施の形態で説明した形状に限らず、変形して用いることができる。
また、第1ないし第3の実施の形態において、OF11は、サファイア単結晶の(11−20)面(A面)に設けた。しかし、OF11を切断予定線21a(切断予定面22a)または切断予定線21b(切断予定面22b)のいずれか一方に平行に設けてもよい。OF11を、切断予定線21a(切断予定面22a)または切断予定線21b(切断予定面22b)のいずれか一方に平行に設ければ、OF11を基準にして、基板10に発光素子部12を形成すればよい。よって、発光素子部12を形成するプロセスが容易になる。
そして、本実施の形態におけるx方向とy方向との走査の順を、x方向の次にy方向としたが、逆にy方向の次にx方向としてもよい。さらに、本実施の形態では、レーザ光45の走査を一方の方向を重ねて行ったが、x方向とy方向とで交互に行ってもよい。
本実施の形態では、レーザ光45の出力を基板裏面10bからの距離によって変更したが、同じでもよく、基板裏面10bからの距離が大きい場合のレーザ光45の出力を、距離が小さい場合より、小さく設定してもよい。
ここで、切断予定面は、基板の表面に対して垂直な面であって、且つサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれに対しても交差する。なお、本発明においては、基板の表面に対して「垂直な面」とは、基板の表面に対して、ほぼ垂直な面の範囲を含めるものとする。例えば、ほぼ垂直な面の好ましい範囲としては、基板の表面に対して、2°以内の範囲を含めた垂直な面とする。以下、実施例で詳細に説明する。
(実施例1)
以下に示すようにして、窒化ガリウム系化合物半導体を備えた発光素子部を有するIII族窒化物半導体発光素子を作製した。
次に、公知のフォトリソグラフィー技術を用い、透光性正極35の上にTi/Al/Ti/Au層構造よりなる正極ボンディングパッド13bを形成した。
次に、露出させたnコンタクト層にTi/Au二層構造の負極ボンディングパッド13aを周知の方法で形成した。
以上の工程により、分割溝38a、38bで分離された複数の発光素子部12を有する発光素子用のウェハー(半導体発光素子が形成された基板10)を作製した。
実施例1において得られた発光チップ20のLED特性は、電圧Vfが3.11Vのとき、発光波長が452nmであり、発光出力が18.5mWであった。
そして、基板表面10aに対して垂直な面を基準にして、図9(b)に示すように、発光チップ20の長辺側から見たときの短辺側の側面26の傾斜する角度を、図中左側を傾斜角θ1、図中右側を傾斜角θ2とし、図9(c)に示すように、発光チップ20の短辺側から見たときの長辺側の側面25の傾斜する角度を、図中上側を傾斜角θ3、図中下側を傾斜角θ4として計測評価した。その結果、短辺側の側面26の傾斜角θ1およびθ2は0.5°および0.4°といずれの場合も切断面の傾斜角は2°以下であり、基板の表面に対して垂直な切断面であった。また、発光チップ20の長辺側の側面25の傾斜角θ3およびθ4は、0.3°、0.4°といずれの場合も切断面の傾斜角は2°以下であり、基板の表面に対して垂直な切断面であった。
図10は、さらに実施例2〜6および比較例1、2における分割ピッチph、pv、分割溝38a、38bの幅n1、n2、サファイア単結晶のA面、M面との交差角α、β、基板裏面10bからレーザを照射して形成される改質領域23、24までの距離d1、d2、発光チップ20の短辺側の側面26の傾斜角θ1、θ2、長辺側の側面25の傾斜角θ3、θ4、不良(NG)の発生率の結果を示した図である。
但し、実施例2〜6は分割溝の幅、交差角α、βの設定以外は発光素子部12の構造は実施例1とおなじであり、さらに基板の加工方法におけるレーザ加工工程も、実施例1と同じである。
比較例1、2は、基板10の切断予定線21aと、サファイア単結晶のA面とを一致(交差角α=0°)させ、切断予定線21bと、サファイア単結晶のM面とを一致(交差角β=0°)させて製作した矩形の発光チップ20であることと、比較例2の分割溝38a、38bの幅n1、n2が30μmであること以外は、発光素子部12の構造は実施例1と同じであって、発光チップ20の表面形状も実施例1と同じである。さらに、基板の加工方法におけるレーザ加工工程も、実施例1と同じである。
一方、比較例1、2では、発光チップ20で、短辺側すなわちM面と平行な側面26の傾斜角θ1およびθ2は5°前後であって、図11(d)に示すように、発光チップ20を長辺側から見ると、基板10の側面25は平行四辺形になっている。一方、長辺側の側面25の傾斜角θ3およびθ4は、2°以下であり、基板表面10aに対して垂直な切断面であった。図11(c)に示すように、発光チップ20を短辺側からみると側面26は長方形になっている。つまり、短辺側の側面26が基板表面10aに対して傾斜していることになる。不良(NG)発生率も比較例1が9.5%、比較例2が3.2%と実施例1〜6に比べ格段と高い値を示している。
以上の説明から分かるように、実施例1〜6では、発光チップ20の基板10の側面25、26が基板表面10aに対して傾斜することが抑制されているため、発光チップ20の基板10の切断面(側面25、26)が切断領域から外れて発光素子部12にかかることが抑制され、不良率を低く抑えることができた。
Claims (13)
- サファイア単結晶のC面を表面とし、側面がサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれに対しても交差する面で構成され、当該側面にレーザ照射により形成された改質領域を含む基板と、
前記基板の前記表面上に設けられた半導体発光素子と
を備えた半導体発光チップ。 - 前記半導体発光チップは、表面形状が平行四辺形であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光チップ。
- 前記半導体発光チップは、表面形状が矩形であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光チップ。
- 前記半導体発光チップは、表面形状が台形であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光チップ。
- 前記基板の表面において、前記側面がサファイア単結晶のM面に対して交差する交差角が10°以上且つ20°以下であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の半導体発光チップ。
- サファイア単結晶のC面を基板表面とし、当該表面上に複数の半導体発光素子が形成された基板の加工方法であって、
前記基板の表面に対して垂直な面であって、且つサファイア単結晶のM面と等価な面のいずれに対しても交差する面を切断予定面とし、当該切断予定面に沿うように、発光素子部の各辺同士の間に分割溝を形成する工程と、
前記切断予定面内に、前記基板の一方の面から、レーザ光を集光して照射し、当該基板の内部に改質領域を形成するレーザ加工工程と、
前記改質領域を起点にして前記基板を切断して、それぞれが前記半導体発光素子を含む複数の半導体発光チップに分割するブレーキング工程と
を含む基板の加工方法。 - 前記改質領域は、前記レーザ光が前記基板を走査することにより形成されることを特徴とする請求項6に記載の基板の加工方法。
- 前記半導体発光チップは、表面形状が平行四辺形であることを特徴とする請求項6または7に記載の基板の加工方法。
- 前記半導体発光チップは、表面形状が矩形であることを特徴とする請求項8に記載の基板の加工方法。
- 前記半導体発光チップは、表面形状が台形であることを特徴とする請求項6または7に記載の基板の加工方法。
- 前記半導体発光チップは、前記切断予定面に沿うように設けられた前記分割溝の幅が10μm以上且つ30μm以下であることを特徴とする請求項6ないし10のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 前記基板は、前記切断予定面のいずれか1つと平行するオリエンテーションフラットを備えることを特徴とする請求項6ないし11のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 請求項6ないし12のいずれか1項に記載の基板の加工方法により製造された半導体発光チップ。
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