JP7072047B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
実施の形態1に係る半導体発光素子について説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子の全体構成について図1及び図2を用いて説明する。図1は、本実施の形態に係る半導体発光素子100の模式的な断面図である。図2は、本実施の形態に係る活性層103の井戸層のIn組成比の分布を示すグラフである。なお、図2には、グラフの横軸に対応する位置における半導体発光素子100の断面が併せて示されている。図2に示されるグラフの横軸における位置は、その上方に示される断面図の水平方向における位置に対応する。例えば、図2のグラフの横軸が0μmの位置は、断面図の活性層103の左端の位置に対応し、グラフの横軸が200μmの位置は、断面図の活性層103の右端の位置に対応する。また、図2及び以下では、活性層103の井戸層のIn組成比を単に「活性層のIn組成比」ともいう。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子100の実装形態について、図3を用いて説明する。図3は、本実施の形態に係る半導体発光素子100の実装形態の一例を示す模式的な断面図である。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子100の作用及び効果について、図4及び図5を用いて説明する。図4及び図5は、それぞれ本実施の形態及び比較例に係る各半導体発光素子の発光波長の活性層の位置に対する分布を示すグラフである。比較例に係る半導体発光素子100Aは、In組成比が均一な活性層103Aを有する点において、本実施の形態に係る半導体発光素子100と相違し、その他の点において一致する半導体発光素子である。図4及び図5には、各半導体発光素子の低出力動作時における発光波長(つまり、自然放出光のピーク波長)の分布を示すグラフ(c)と、高出力動作時の発光波長の分布を示すグラフ(d)とが示されている。なお、ここで、低出力動作とは、各半導体発光素子における発熱の影響が無視できる程度に出力が低い動作を意味し、高出力動作とは、例えば、定格出力で動作する場合などの通常の動作を意味する。図4及び図5には、各半導体発光素子の断面図と、各活性層の井戸層のIn組成比の分布を示すグラフ(a)と、各半導体発光素子の通常の動作時(つまり高出力動作時)の活性層の温度の分布を示すグラフ(b)と、が併せて示されている。図4及び図5に示される各グラフの横軸の位置は、図2と同様に、その上方に示される断面図の水平方向の位置に対応する。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子100の製造方法について、図6A~図6Iを用いて説明する。図6A~図6Iは、それぞれ、本実施の形態に係る半導体発光素子100の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
実施の形態2に係る半導体発光素子について説明する。本実施の形態に係る半導体発光素子は、材質及び活性層におけるIn分布において実施の形態1に係る半導体発光素子100と相違し、その他の点において一致する。以下、本実施の形態に係る半導体発光素子について、実施の形態1に係る半導体発光素子100との相違点を中心に説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子の全体構成について図7を用いて説明する。図7は、本実施の形態に係る半導体発光素子200の模式的な断面図である。図7には、本実施の形態に係る活性層203の井戸層のIn組成比の分布を示すグラフが併せて示されている。図7に示されるグラフの横軸の位置は、その上方に示される断面図の水平方向の位置に対応する。例えば、図7のグラフの横軸が0μmの位置は、断面図の活性層203の左端の位置に対応し、グラフの横軸が200μmの位置は、断面図の活性層203の右端の位置に対応する。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子200の製造方法について、図8A~図8Iを用いて説明する。図8A~図8Iは、それぞれ、本実施の形態に係る半導体発光素子200の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
次に本実施の形態に係る半導体発光素子200の変形例について説明する。本変形例は、半導体層の組成及び発光波長において半導体発光素子200と相違し、その他の点において一致する。以下、本変形例について、半導体発光素子200との相違点を中心に説明する。
実施の形態3に係る投影装置について説明する。本実施の形態に係る投影装置(プロジェクタ)は、実施の形態1、実施の形態2及びその変形例に係る半導体発光素子を備える。以下の、本実施の形態に係る投影装置について図9を用いて説明する。
以上、本開示に係る半導体レーザ素子及び投影装置について、実施の形態1~3及び実施の形態2の変形例に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態及び変形例に限定されるものではない。
101、201、1006 基板
101a、101b、101c、201a、201b、201c 領域
102、202 第1導電型クラッド層
103、103A、203 活性層
104、204 第2導電型クラッド層
105、105a、105b、105c、205、205a、205b、205c コンタクト層
106、206 絶縁層
107a、107b、107c、207a、207b、207c 第2導電側電極
108、208 パッド電極
109、209 第1導電側電極
110a、110b、110c、210a、210b、210c 発光部
111 素子側接着層
112 金属層
113 サブマウント
114 パッケージ側接着層
115、115B、115G、115R パッケージ
120、220 アレイ部
122、222 レジスト
123、223 マスク
130a、130b、130c、230a、230b、230c 発光素子部
132a、132b、132c、232a、232b、232c リッジ部
300 投影装置
300B、300G、300R 半導体発光モジュール
302B、302G、302R レンズ
303B、303G ダイクロイックミラー
303R ミラー
304 空間変調素子
305 投射レンズ
306 スクリーン
1000 レーザチップ
1001 p側電極
1007 n側電極
1008 ハンダ層
1009、1010 ヒートシンク
Claims (2)
- 基板と、
前記基板の主面の上方において、前記主面に沿って配列され、各々が光を出射する三つ以上の発光素子部を有するアレイ部と、を備え、
前記三つ以上の発光素子部の各々は、前記基板の上方に、前記基板側から順に配置される、第1導電型クラッド層と、Inを含む活性層と、第2導電型クラッド層と、を有し、
前記三つ以上の発光素子部のうち配列方向の中央側に位置する発光素子部の前記活性層におけるIn組成比は、前記配列方向の両方の端部側に位置する発光素子部の前記活性層におけるIn組成比より小さく、
前記基板のオフ角は、前記三つ以上の発光素子部のうち前記配列方向の中央側に位置する発光素子部が配置される領域の方が、前記配列方向の両方の端部側に位置する発光素子部が配置される領域より小さい
半導体発光素子。 - 前記活性層は、井戸層と障壁層とからなる量子井戸構造を有し、
前記三つ以上の発光素子部のうち前記配列方向の中央側に位置する発光素子部の前記井戸層におけるIn組成比は、前記配列方向の両方の端部側に位置する発光素子部の前記井戸層におけるIn組成比より小さい
請求項1記載の半導体発光素子。
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