JP2011211452A5 - - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010076503A JP5384406B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス |
| US13/070,856 US20110241790A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-03-24 | Tuning-Fork Type Crystal Vibrating Piece Device and Manufacturing the Same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010076503A JP5384406B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011211452A JP2011211452A (ja) | 2011-10-20 |
| JP2011211452A5 true JP2011211452A5 (enExample) | 2012-03-08 |
| JP5384406B2 JP5384406B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=44708936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010076503A Expired - Fee Related JP5384406B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110241790A1 (enExample) |
| JP (1) | JP5384406B2 (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4539708B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2010-09-08 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子および加速度センサ |
| TW201251157A (en) | 2011-06-03 | 2012-12-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration element, manufacturing method for piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, electronic device, and electronic apparatus |
| CN102957394B (zh) * | 2011-08-18 | 2016-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法 |
| US8970316B2 (en) | 2011-08-19 | 2015-03-03 | Seiko Epson Corporation | Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and mobile object |
| JP6571339B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-09-04 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
| CN110573582B (zh) | 2017-04-26 | 2022-04-19 | 富士胶片株式会社 | 光固化性油墨组合物及图像形成方法 |
| EP4712344A1 (en) * | 2024-09-12 | 2026-03-18 | Micro Crystal SA | Tuning fork resonator |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06204784A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片およびその加工方法 |
| JP2000004138A (ja) * | 1998-03-31 | 2000-01-07 | Seiko Epson Corp | 振動子の製造方法及び電子機器 |
| JP2003133895A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP4001029B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2007-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及びその製造方法、圧電デバイス |
| JP3975927B2 (ja) * | 2003-01-30 | 2007-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| DE602005020725D1 (de) * | 2004-09-24 | 2010-06-02 | Seiko Epson Corp | Piezoelektrisches Resonatorelement und piezoelektrisches Bauelement |
| JP4214412B2 (ja) * | 2004-10-21 | 2009-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電デバイスならびにジャイロセンサ |
| JP4652928B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2011-03-16 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子とその製造方法、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2006339729A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法、並びに圧電振動片、並びに圧電デバイス、及び電子機器 |
| JP2007259051A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Citizen Holdings Co Ltd | 水晶振動子片の製造方法 |
| JP4102839B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2008-06-18 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型水晶振動片の製造方法および水晶振動デバイスの製造方法、並びに音叉型水晶振動片および水晶振動デバイス |
| JP2008113380A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 |
| JP5059399B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-10-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2008187322A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Epson Toyocom Corp | メサ型圧電振動素子の製造方法 |
| JP4578499B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-11-10 | 京セラキンセキ株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器 |
| JP4400651B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2010-01-20 | エプソントヨコム株式会社 | 音叉型振動片の製造方法 |
| JP2009060478A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法及び音叉型圧電振動片 |
| JP5216288B2 (ja) * | 2007-09-25 | 2013-06-19 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 |
| JP5139766B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2013-02-06 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
| JP4629094B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
| JP2009165006A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP4714770B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2011-06-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
| JP5369887B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品用パッケージ、圧電デバイスおよびその製造方法 |
| JP2012090252A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-05-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010076503A patent/JP5384406B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-24 US US13/070,856 patent/US20110241790A1/en not_active Abandoned
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