JP2009246940A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5061046B2 (ja) * 2008-06-27 2012-10-31 日本電波工業株式会社 水晶振動子、電子部品、及び水晶振動子用素子の製造方法
JP5632627B2 (ja) * 2010-03-15 2014-11-26 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 水晶振動片
JP5534217B2 (ja) * 2010-11-10 2014-06-25 セイコーエプソン株式会社 圧電基板およびその製造方法、並びに圧電振動片の製造方法
JP6498379B2 (ja) * 2013-03-29 2019-04-10 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP5872660B2 (ja) * 2014-10-09 2016-03-01 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 水晶振動片
WO2018143006A1 (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 株式会社大真空 水晶振動板ウエハとその水晶振動板

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3702723B2 (ja) * 1999-09-01 2005-10-05 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片の製造方法
JP2003110388A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Citizen Watch Co Ltd 圧電振動素子とその製造方法、および圧電デバイス
JP2003273680A (ja) * 2002-03-18 2003-09-26 Seiko Epson Corp 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス
JP2003298070A (ja) * 2002-04-05 2003-10-17 Matsushita Electric Works Ltd 半導体装置の製造方法及びそれを用いた半導体装置
JP4498004B2 (ja) * 2003-05-27 2010-07-07 シチズンホールディングス株式会社 水晶振動子の製造方法
JP2005130218A (ja) * 2003-10-23 2005-05-19 Toyo Commun Equip Co Ltd 水晶片形成方法および水晶片
JP4375004B2 (ja) * 2003-12-05 2009-12-02 株式会社大真空 圧電振動デバイスの製造方法、およびこの製造方法により製造された圧電振動デバイス
JP2005223396A (ja) * 2004-02-03 2005-08-18 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイスの電極形成方法とそれを用いたｍｃｆ
JP2006033121A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Epson Toyocom Corp 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器
JP4600140B2 (ja) * 2005-05-09 2010-12-15 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片の製造方法
JP2007049541A (ja) * 2005-08-11 2007-02-22 Seiko Epson Corp 圧電デバイス
JP4967707B2 (ja) * 2006-05-01 2012-07-04 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子およびその製造方法

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