JP2011211672A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010079997A JP5085681B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
| US13/069,691 US8729780B2 (en) | 2010-03-31 | 2011-03-23 | Piezoelectric vibrating pieces and corresponding devices exhibiting reduced vibration leakage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010079997A JP5085681B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011211672A JP2011211672A (ja) | 2011-10-20 |
| JP2011211672A5 true JP2011211672A5 (enExample) | 2012-03-08 |
| JP5085681B2 JP5085681B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=44708794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010079997A Expired - Fee Related JP5085681B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8729780B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5085681B2 (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6055294B2 (ja) * | 2012-11-28 | 2016-12-27 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
| JP6168801B2 (ja) * | 2013-03-13 | 2017-07-26 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
| JP2014179797A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
| JP6107332B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6346423B2 (ja) * | 2013-09-25 | 2018-06-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子 |
| JP6163404B2 (ja) * | 2013-10-09 | 2017-07-12 | 京セラ株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
| JP2015097366A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6592248B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-10-16 | シチズン時計株式会社 | 振動子ユニット |
| CN115940876A (zh) * | 2022-10-11 | 2023-04-07 | 泰晶科技股份有限公司 | 一种微型石英音叉晶片 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3951058B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片 |
| JP5045054B2 (ja) | 2006-10-11 | 2012-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5015678B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2012-08-29 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電振動片 |
| JP5216288B2 (ja) * | 2007-09-25 | 2013-06-19 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法 |
| JP4629094B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
| JP5130952B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2013-01-30 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 |
| JP4594412B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2010-12-08 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2010004456A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP5146222B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-02-20 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| JP4885206B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2012-02-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| US8692632B2 (en) * | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
-
2010
- 2010-03-31 JP JP2010079997A patent/JP5085681B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-23 US US13/069,691 patent/US8729780B2/en not_active Expired - Fee Related
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