JP2011198437A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】動作速度の高速化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置1は、第1の方向に延在する複数のビット線BLと、それぞれが複数のNANDストリングを有する複数のブロックBLKを備え、各NANDストリングは、直列接続されたメモリセル群と、メモリセル群の両端にそれぞれ接続された選択トランジスタST1,ST2とを有し、選択トランジスタST1の電流経路の一端はビット線BLに接続され、選択トランジスタST2の電流経路の一端はソース線CELSRCに接続された、メモリセルアレイ10と、メモリセルアレイ10を2つに分割するようにして、メモリセルアレイ10内に配置され、かつビット線BLの電圧を充電及び放電する電圧制御回路20とを含む。
【選択図】 図2
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置1は、第1の方向に延在する複数のビット線BLと、それぞれが複数のNANDストリングを有する複数のブロックBLKを備え、各NANDストリングは、直列接続されたメモリセル群と、メモリセル群の両端にそれぞれ接続された選択トランジスタST1,ST2とを有し、選択トランジスタST1の電流経路の一端はビット線BLに接続され、選択トランジスタST2の電流経路の一端はソース線CELSRCに接続された、メモリセルアレイ10と、メモリセルアレイ10を2つに分割するようにして、メモリセルアレイ10内に配置され、かつビット線BLの電圧を充電及び放電する電圧制御回路20とを含む。
【選択図】 図2
Description
本発明は、電気的に書き換えが可能なメモリセルを備えた不揮発性半導体記憶装置に関する。
電気的に書き換えが可能な不揮発性半導体メモリ(EEPROM:Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)の1つとして、NAND型フラッシュメモリが知られている。NAND型フラッシュメモリは、不揮発性であり、大容量化や高集積化が可能であるため、その用途が拡大している。
NAND型フラッシュメモリの大容量化に伴ってビット線に接続されるメモリセルの数が増加する。このため、ビット線長を長くする必要があり、これに伴い、ビット線の容量及びビット線の抵抗が増加する。また、チップサイズの縮小に伴ってビット線の間隔が狭くなるため、ビット線間の容量カップリングが増大する。
NAND型フラッシュメモリは、データ書き込み時にビット線を例えば以下のように制御する。非書き込みのメモリセルが接続された非選択ビット線は、電源電圧VDD(例えば2V)に充電され、書き込みされるメモリセルが接続された選択ビット線は、接地電圧VSS(0V)に放電される。
このような制御において、ビット線長が長い場合、ビット線が高抵抗及び高容量であるため、充電及び放電に時間がかかる。これにより、NAND型フラッシュメモリの動作速度が低下してしまう。
また、この種の関連技術として、ビット線を分割することで、リード及びベリファイ動作を高速化する技術が開示されている(特許文献1参照)。
本発明は、動作速度の高速化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
本発明の一態様に係る不揮発性半導体記憶装置は、第1の方向に延在する複数のビット線と、それぞれが複数のNANDストリングを有する複数のブロックを備え、各NANDストリングは、直列接続されたメモリセル群と、前記メモリセル群の両端にそれぞれ接続された第1及び第2の選択トランジスタとを有し、前記第1の選択トランジスタの電流経路の一端はビット線に接続され、前記第2の選択トランジスタの電流経路の一端はソース線に接続された、メモリセルアレイと、前記メモリセルアレイを2つに分割するようにして、前記メモリセルアレイ内に配置され、かつ前記ビット線の電圧を充電及び放電する電圧制御回路とを具備する。
本発明によれば、動作速度の高速化が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下に示す幾つかの実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置および方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置などによって、本発明の技術思想が特定されるものではない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置としてのNAND型フラッシュメモリ1の構成を示すブロック図である。メモリセルアレイ10は、電気的に書き換えが可能なフラッシュメモリセルがマトリクス状に配置されて構成されている。メモリセルアレイ10には、カラム方向に延在する複数のビット線BL、ロウ方向に延在する複数のワード線WL、及びロウ方向に延在するソース線CELSRCが配設されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置としてのNAND型フラッシュメモリ1の構成を示すブロック図である。メモリセルアレイ10は、電気的に書き換えが可能なフラッシュメモリセルがマトリクス状に配置されて構成されている。メモリセルアレイ10には、カラム方向に延在する複数のビット線BL、ロウ方向に延在する複数のワード線WL、及びロウ方向に延在するソース線CELSRCが配設されている。
ビット線BLには、カラム制御回路11が接続されている。カラム制御回路11は、ビット線BLを選択し、ビット線BLの電圧を制御し、メモリセルのデータ消去、メモリセルへのデータ書き込み、及びメモリセルからのデータ読み出しを行う。カラム制御回路11は、カラムデコーダ、及びセンスアンプSAなどを含んでいる。
ワード線WLには、ロウ制御回路12が接続されている。ロウ制御回路12は、ワード線WLを選択し、また、消去、書き込み及び読み出しに必要な電圧をワード線WLに印加する。ロウ制御回路12は、ロウデコーダ、ワード線ドライバなどを含んでいる。
ソース線制御回路13は、メモリセルアレイ10内に配設されたソース線CELSRCの電圧を制御する。また、ソース線制御回路13は、後述するビット線電圧制御回路20内に配設されたソース線CELSRC1及びCELSRC2の電圧を制御する。Pウェル制御回路14は、メモリセルアレイ10が形成されるPウェルの電圧を制御する。
データ入出力バッファ15は、外部のホストコントローラ2にI/O線を介して接続されており、書き込みデータの受け取り、読み出しデータの出力、アドレスやコマンドの受け取りを行う。データ入出力バッファ15は、外部から受け取った書き込みデータをカラム制御回路11に送り、カラム制御回路11から読み出された読み出しデータを外部に出力する。また、データ入出力バッファ15は、メモリセルを選択するために、外部からのアドレスをカラム制御回路11やロウ制御回路12に制御部17を介して送る。さらに、データ入出力バッファ15は、ホストコントローラ2からのコマンドをコマンドインターフェイス16に送る。
コマンドインターフェイス16は、ホストコントローラ2からの制御信号を受け、データ入出力バッファ15に入力されたデータが書き込みデータ、コマンド及びアドレスのいずれであるかを判断し、コマンドであればこれを受け取り、コマンド信号として制御部17に送る。
制御部17は、NAND型フラッシュメモリ1全体の管理を行う。制御部17は、ホストコントローラ2からのコマンドを受け、読み出し、書き込み、消去、及びデータの入出力管理を行う。そして、制御部17は、これらの動作に必要な制御信号を各回路に送る。
NAND型フラッシュメモリ1は、メモリセルアレイ10内にビット線電圧制御回路20を備えている。ビット線電圧制御回路20は、ビット線BLを充電及び放電し、ビット線BLを所定の電圧に設定する。図2は、ビット線電圧制御回路20の構成を示す回路図である。
ビット線電圧制御回路20は、メモリセルアレイ10を2つに分割するような形で、メモリセルアレイ10内に配置されている。換言すると、ビット線電圧制御回路20は、第1のメモリセルアレイ10−1と第2のメモリセルアレイ10−2との間に設けられている。第1のメモリセルアレイ10−1と第2のメモリセルアレイ10−2とは、共通のビット線に接続されている。カラム制御回路11に含まれるセンスアンプSA1及びSA2は、メモリセルアレイ10を挟むように配置されている。センスアンプSA1とセンスアンプSAとには、2本単位で交互にビット線BLが接続されている。なお、図2には、簡略化のために、4本のビット線BL0〜BL3のみを図示しているが、実際には、さらに多くのビット線がメモリセルアレイ10に配置される。
ビット線電圧制御回路20は、奇数ビット線の本数に対応する数のNチャネルMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)と、偶数ビット線の本数に対応する数のNチャネルMOSFET22とを備えている。NチャネルMOSFET(NMOSFET)21及び22は、E(enhancement)−typeである。NMOSFET21及び22には、20V程度の高電圧が印加されるため、NMOSFET21及び22としては、高耐圧用のMOSFETが用いられる。例えば、NMOSFET21及び22は、NANDストリングに含まれる選択トランジスタと同じ耐電圧を有する。
各NMOSFET21のドレインは、1本の偶数ビット線に接続され、NMOSFET21のソースは、ソース線CELSRC1に接続され、NMOSFET21のゲートは、選択線BLSRC_Eに接続されている。NMOSFET21のオン/オフは、選択線BLSRC_Eを介して制御部17が行う。ソース線CELSRC1の電圧は、ソース線制御回路13が制御する。
各NMOSFET22のドレインは、1本の奇数ビット線に接続され、NMOSFET22のソースは、ソース線CELSRC2に接続され、NMOSFET22のゲートは、選択線BLSRC_Oに接続されている。NMOSFET22のオン/オフは、選択線BLSRC_Oを介して制御部17が行う。ソース線CELSRC2の電圧は、ソース線制御回路13が制御する。
ビット線電圧制御回路20は、望ましくは、ビット線BLの中央に接続され、換言すると、メモリセルアレイ10のビット線方向の中央に配置される。しかし、これに限定されるものではなく、ビット線電圧制御回路20は、メモリセルアレイ10を2つに分割するような形で、メモリセルアレイ10内に配置されていればよい。
図3は、メモリセルアレイ10−1の構成を示す回路図である。メモリセルアレイ10−2の構成も図3と同じである。メモリセルアレイ10−1は、j個(jは、1以上の整数)のブロックBLK0〜BLKj−1を備えている。ブロックBLKは、データ消去の最小単位である。
各ブロックBLKは、ロウ方向に沿って順に配列されたm個のNANDストリングを備えている(mは、1以上の整数)。NANDストリングに含まれる選択トランジスタST1は、ドレインがビット線BLに接続され、ゲートが選択ゲート線SGDに共通接続されている。NANDストリングに含まれる選択トランジスタST2は、ソースがソース線CELSRCに共通接続され、ゲートが選択ゲート線SGSに共通接続されている。
各メモリセルトランジスタ(メモリセルとも言う)MTは、Pウェル上に形成された積層ゲート構造を備えたMOSFETにより構成されている。積層ゲート構造は、Pウェル上にゲート絶縁膜を介在して形成された電荷蓄積層(浮遊ゲート電極)、及び浮遊ゲート電極上にゲート間絶縁膜を介在して形成された制御ゲート電極を含んでいる。メモリセルトランジスタMTは、浮遊ゲート電極に蓄えられる電子の数に応じて閾値電圧が変化し、この閾値電圧の違いに応じてデータを記憶する。メモリセルトランジスタMTは、1ビットデータ(2値データ)を記憶するように構成されていてもよいし、2ビット以上のデータ(多値データ)を記憶するように構成されていてもよい。
メモリセルトランジスタMTは、浮遊ゲート電極を有するフローティングゲート構造に限らず、MONOS(Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)型など、電荷蓄積層としての窒化膜界面に電子をトラップさせることにより閾値電圧が調整可能な構造であってもよい。MONOS構造のメモリセルトランジスタMTについても同様に、2値データを記憶するように構成されていてもよいし、多値データを記憶するように構成されていてもよい。
各NANDストリングにおいて、n個(nは、1以上の整数)のメモリセルトランジスタMTは、選択トランジスタST1のソースと選択トランジスタST2のドレインとの間に、それぞれの電流経路が直列接続されるように配置されている。すなわち、n個のメモリセルトランジスタMTは、隣接するもの同士で拡散領域(ソース領域若しくはドレイン領域)を共有するような形でカラム方向に直列接続される。
各NANDストリングにおいて、最もソース側に位置するメモリセルトランジスタMTから順に、制御ゲート電極がワード線WL0〜WLn−1にそれぞれ接続されている。従って、ワード線WLn−1に接続されたメモリセルトランジスタMTのドレインは選択トランジスタST1のソースに接続され、ワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTのソースは選択トランジスタST2のドレインに接続されている。
ワード線WL0〜WLn−1は、ブロックBLK内のNANDストリング間で、メモリセルトランジスタMTの制御ゲート電極を共通に接続している。つまり、ブロック内において同一行にあるメモリセルトランジスタMTの制御ゲート電極は、同一のワード線WLに接続される。
ビット線BL0〜BLm−1は、ブロックBLK間で、選択トランジスタST1のドレインを共通に接続している。つまり、ブロックBLK0〜BLKj−1内において同一列にあるNANDストリングは、同一のビット線BLに接続される。各ビット線BLは、カラム制御回路11に含まれるセンスアンプSAに接続される。
偶数ビット線と奇数ビット線とは、互いに独立してデータの書き込み及び読み出しが行われる。1本のワード線WLに繋がるm個のメモリセルのうち、偶数ビット線に接続される(m/2)個のメモリセルに対して同時にデータの書き込み及び読み出しが行われる。各メモリセルが記憶する1ビットデータが(m/2)個のメモリセル分集まって、ページという単位を構成する。ページは、書き込み及び読み出しの最小単位である。1個のメモリセルが2ビットデータを記憶する場合、(m/2)個のメモリセルは2ページ分のデータを記憶する。同様に、奇数ビット線に接続される(m/2)個のメモリセルで別の1ページが構成され、ページ内のメモリセルに対して同時にデータの書き込み及び読み出しが行われる。
図4は、センスアンプSAの構成を示す回路図である。なお、図4は、1本のビット線に接続されるセンスアンプSAの構成について示しており、実際には、図4の回路がビット線の本数分用意されている。センスアンプSAは、電荷転送トランジスタ30、キャパシタ31、NチャネルMOSFET32、及びラッチ回路33を備えている。
電荷転送トランジスタ30は、例えば、NチャネルMOSFETから構成される。電荷転送トランジスタ30の電流経路の一端は、ビット線BLに接続されている。電荷転送トランジスタ30の電流経路の他端は、センスノードTDCに接続されている。電荷転送トランジスタ30のゲートは、ビット線クランプ電圧BLCLAMPが供給される。電荷転送トランジスタ30は、クランプ電圧BLCLAMPに応じてビット線の電圧をクランプする。
キャパシタ31の一方の電極はセンスノードTDCに接続され、キャパシタ31の他方の電極は接地されている。MOSFET32の電流経路の一端には、プリチャージ電圧VPREが印加され、MOSFET32の電流経路の他端は、センスノードTDCに接続され、MOSFET32のゲートには、プリチャージ信号PREが供給されている。MOSFET32は、プリチャージ信号PREがハイレベルの時に、センスノードTDCを電源電圧VDD(例えば2V)或いは接地電圧VSS(0V)に設定する。
ラッチ回路33は、センスノードTDCの電圧をデータとして保持する。ラッチ回路33に保持されたデータは、データ入出力バッファ15に送られる。また、ラッチ回路33は、データ入出力バッファ15から送られたデータを保持し、この保持したデータをセンスノードTDCに転送する。
(動作)
このように構成されたNAND型フラッシュメモリ1の動作について説明する。例えば1本のワード線WLに接続されたメモリセルを、偶数側と奇数側とで別々に書き込みを行う場合を考える。図5は、データ書き込み時の電圧関係を説明する図である。偶数ビット線に書き込みを行い、奇数ビット線は非書き込みであるとする。
このように構成されたNAND型フラッシュメモリ1の動作について説明する。例えば1本のワード線WLに接続されたメモリセルを、偶数側と奇数側とで別々に書き込みを行う場合を考える。図5は、データ書き込み時の電圧関係を説明する図である。偶数ビット線に書き込みを行い、奇数ビット線は非書き込みであるとする。
書き込み対象である(選択された)偶数ビット線側では、メモリセルに書き込まれるデータはセンスアンプSAに保持されており、このデータが偶数ビット線に転送される。このため、ビット線電圧制御回路20は、偶数ビット線を充電しない。すなわち、選択線BLSRC_Eはローレベル(接地電圧VSS)に設定され、よって、偶数ビット線に接続された全てのNMOSFET21はターンオフする。偶数ビット線は、センスアンプSAによって、書き込みデータに応じて、電源電圧VDDまたは接地電圧VSSに設定される。
一方、非書き込みである(非選択である)奇数ビット線は、ビット線電圧制御回路20によって充電される。すなわち、選択線BLSRC_Oがハイレベル(例えば4V程度)に設定され、全てのNMOSFET22はターンオンする。そして、NMOSFET22を介して奇数ビット線を電源電圧VDDに充電する。この時、NMOSFET22のソースはソース線CELSRC2に接続されているため、ソース線CELSRC2を電源電圧VDDに設定し、ソース線CELSRC2を介して奇数ビット線が電源電圧VDDに充電されることになる。
なお、非選択である奇数ビット線に接続されたセンスアンプSAは、奇数ビット線を電源電圧VDDに充電するように制御しても良いし、奇数ビット線と電気的に切断されていても良い。センスアンプSAがビット線と電気的に切断されている場合、センスアンプSAは、ビット線の充電を行う必要がなく、次動作の準備や他の動作が可能となる。
この時、ブロックBLK内の全てのワード線は接地電圧VSS、選択ゲート線SGDはハイレベル(例えば3V程度)、選択ゲート線SGSは接地電圧VSS、ソース線CELSRCは電源電圧VDDに設定されている。
この後、図6に示すように、書き込みワード線(例えばワード線WL1)には、書き込み電圧Vpgm(例えば20V程度)が印加され、非書き込みワード線には、中間電圧Vpass(例えば10V程度)が印加される。選択ゲート線SGDはハイレベル(例えば2.5V程度)、選択ゲート線SGSは接地電圧VSS、ソース線CELSRCは例えば1V程度に設定されている。選択線BLSRC_E及びBLSRC_Oはともに接地電圧VSSに設定され、NMOSFET21及び22はターンオフする。これにより、偶数ビット線に接続されたメモリセルにデータが書き込まれる。なお、奇数ビット線が選択ビット線であり、偶数ビット線が非選択ビット線である場合、上記説明と逆の動作が実行される。
次に、ビット線の放電動作について説明する。データの書き込み後、またはデータの読み出し後に、全てのビット線は放電される。本実施形態では、この放電動作をビット線電圧制御回路20によって行うことができる。図7は、ビット線放電時の電圧関係を説明する図である。
ビット線の放電を行う場合は、選択線BLSRC_E及びBLSRC_Oはともにハイレベル(例えば4V)に設定され、全てのNMOSFET21及び22はターンオンする。ソース線CELSRC1及びCELSRC2はともに接地電圧VSSに設定される。これにより、全てのビット線は、ビット線電圧制御回路20によって放電される。この時、センスアンプSAはビット線の放電動作を行っていない。
なお、ソース線CELSRC1及びCELSRC2は、NANDストリングに接続されたソース線CELSRCと統合してもよい。図8は、ビット線電圧制御回路20の他の構成例を示す回路図である。ビット線電圧制御回路20は、1本のソース線CELSRCを備えており、このソース線CELSRCは、メモリセルに接続せれたソース線CELSRCと共通である。NMOSFET21及び22のソースは、ソース線CELSRCに共通接続されている。
この構成の場合、NMOSFET21及び22は、ソース線CELSRCを用いてビット線の充電及び放電を行うため、ビット線電圧制御回路20の領域に電源電圧VDD及び接地電圧VSS用の電源配線を形成することを省くことができる。ソース線CELSRCは、基板の上方に配置される上層配線として形成される。ビット線の充電を行うためには十分に太い電源配線が必要であるが、この上層配線は十分に低抵抗であり、ソース線CELSRCとNMOSFET21及び22との接続も容易である。これにより、ソース線CELSRCとNMOSFET21及び22とを低抵抗で接続することが可能である。
(効果)
以上詳述したように第1の実施形態では、メモリセルアレイ10を2つに分割するようにして、例えばメモリセルアレイ10のビット線方向の中央部、すなわちビット線の中央に、全てのビット線に接続されかつ全てのビット線を充電及び放電するビット線電圧制御回路20を設けるようにしている。ビット線電圧制御回路20は、偶数ビット線とソース線CELSRC1との間に接続されたNMOSFET21と、奇数ビット線とソース線CELSRC2との間に接続されたNMOSFET22とを備えている。そして、各種動作に応じて、偶数ビット線をNMOSFET21を介して充電及び放電し、奇数ビット線をNMOSFET22を介して充電及び放電するようにしている。
以上詳述したように第1の実施形態では、メモリセルアレイ10を2つに分割するようにして、例えばメモリセルアレイ10のビット線方向の中央部、すなわちビット線の中央に、全てのビット線に接続されかつ全てのビット線を充電及び放電するビット線電圧制御回路20を設けるようにしている。ビット線電圧制御回路20は、偶数ビット線とソース線CELSRC1との間に接続されたNMOSFET21と、奇数ビット線とソース線CELSRC2との間に接続されたNMOSFET22とを備えている。そして、各種動作に応じて、偶数ビット線をNMOSFET21を介して充電及び放電し、奇数ビット線をNMOSFET22を介して充電及び放電するようにしている。
従って第1の実施形態によれば、偶数側と奇数側とで別々に書き込みを行う場合、ビット線電圧制御回路20によって非選択ビット線の充電が行えることにより、非選択ビット線の充電を高速化することができる。具体的には、ビット線の中央に接続されたビット線電圧制御回路20によってビット線を充電する場合、このビット線の時定数は、ビット線の一端から充電する場合に比べて、1/4程度になる。また、非選択ビット線が高速に充電されることで、容量カップリングを受ける隣接の選択ビット線も高速に充電することが可能となる。よって、ビット線の充電を高速化できる。この結果、NAND型フラッシュメモリ1の動作を高速化することが可能となる。
また、容量カップリングの影響が大きい場合には、ビット線の充電速度は、隣接ビット線の電圧変化に強く依存する。このため、非選択ビット線が速く目的の電圧レベルに到達することによって、選択ビット線の放電を開始してから容量カップリングにより浮いた電圧を接地電圧VSSに放電するまでの時間を短くすることが可能となる。
また、データの書き込み後、またはデータの読み出し後に、全てのビット線が放電されるが、この場合も充電時と同様にビット線の時定数が1/4となるため、ビット線の放電を高速化することができる。また、従来ではセンスアンプSAをビット線の放電に使用していたが、本実施形態ではビット線電圧制御回路20によってビット線が放電される。このように、センスアンプSAを放電に使用しないことで、センスアンプSAが次動作の準備や他の動作が可能となる。この結果、NAND型フラッシュメモリ1の動作を高速化することが可能となる。
なお、上記説明では、各ビット線BLに1個のセンスアンプSAが接続された構成例を示しているが、2本のビット線に対して1個のセンスアンプSAを配置するようにしてもよい。この場合、隣接する偶数ビット線と奇数ビット線とのペアに対して1個のセンスアンプSAが配置され、このセンスアンプSAに接続するビット線をスイッチ素子によって切り替えるようにすればよい。
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、メモリセルアレイ10を2つに分割し、この分割した部分に高耐圧MOSFETであるNMOSFET21及び22を配置する例を示した。NMOSFET21及び22として高耐圧MOSFETを用いる理由は、データ消去時にビット線BL及びソース線CELSRCが20V程度の高い電圧になり、この高い電圧がNMOSFET21及び22にも印加されるためである。一方、メモリセルアレイ10を分割すると、ウェル分離領域など余分な領域が必要になり、チップサイズの増加を招く。これに対して、第2の実施形態は、チップサイズの増加を抑えつつ、第1の実施形態と同様の効果を実現する技術を開示している。
第1の実施形態では、メモリセルアレイ10を2つに分割し、この分割した部分に高耐圧MOSFETであるNMOSFET21及び22を配置する例を示した。NMOSFET21及び22として高耐圧MOSFETを用いる理由は、データ消去時にビット線BL及びソース線CELSRCが20V程度の高い電圧になり、この高い電圧がNMOSFET21及び22にも印加されるためである。一方、メモリセルアレイ10を分割すると、ウェル分離領域など余分な領域が必要になり、チップサイズの増加を招く。これに対して、第2の実施形態は、チップサイズの増加を抑えつつ、第1の実施形態と同様の効果を実現する技術を開示している。
図9は、ビット線電圧制御回路20に含まれるNMOSFET21及び22の構成を示す斜視図である。図10は、偶数ビット線BL_Oに沿って切断したNMOSFET21及び22の断面図である。
メモリセルが形成されるPウェル40内には、素子分離絶縁層41が設けられている。素子分離絶縁層41は、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)から構成される。Pウェル40の表面領域のうち素子分離絶縁層41が形成されていない領域が、素子が形成されるアクティブ領域(active area)である。
Pウェル40には、NMOSFET21が形成されている。具体的には、Pウェル40内には、互いに離間したドレイン領域42−1及びソース領域42−2が設けられている。ドレイン領域42−1及びソース領域42−2は、Pウェル40内に高濃度のN+型不純物を導入して形成されたN+型拡散領域から構成される。ドレイン領域42−1及びソース領域42−2間かつPウェル40上には、ゲート絶縁膜を介してゲート電極43が設けられている。ゲート電極43は、メモリセルの浮遊ゲート電極と同じ材料からなる第1の電極43−1と、メモリセルの制御ゲート電極と同じ材料からなる第2の電極43−3と、第1の電極43−1と第2の電極43−3とを導通するコンタクト43−2とを含む。
同様に、Pウェル40には、NMOSFET22が形成されている。具体的には、Pウェル40内には、互いに離間したドレイン領域42−3及びソース領域42−2が設けられている。ドレイン領域42−3及びソース領域42−2は、Pウェル40内に高濃度のN+型不純物を導入して形成されたN+型拡散領域から構成される。なお、ソース領域42−2は、NMOSFET21とNMOSFET22とにより共有される。ドレイン領域42−3及びソース領域42−2間かつPウェル40上には、ゲート絶縁膜を介してゲート電極44が設けられている。ゲート電極44は、メモリセルの浮遊ゲート電極と同じ材料からなる第1の電極44−1と、メモリセルの制御ゲート電極と同じ材料からなる第2の電極44−3と、第1の電極44−1と第2の電極44−3とを導通するコンタクト44−2とを含む。
ソース領域42−2上には、コンタクトプラグ45が設けられている。コンタクトプラグ45上には、ロウ方向に延在するソース線CELSRCが設けられている。なお、図9及び図10は、NMOSFET21とNMOSFET22とがソース線CELSRCを共有する構成例である。
ドレイン領域42−1上には、コンタクトプラグ46が設けられている。コンタクトプラグ46上には、カラム方向に延在する偶数ビット線BL_Eが設けられている。ドレイン領域42−3上には、コンタクトプラグ47が設けられている。コンタクトプラグ47上には、カラム方向に延在する奇数ビット線BL_Oが設けられている。Pウェル40とビット線BLとの間は、層間絶縁層48で満たされている。
NMOSFET21及び22は、NANDストリングに含まれる選択トランジスタST1及びST2と同様な構造を有している。この例では、NMOSFET21及び22のアクティブ領域の幅はメモリセルのアクティブ領域の幅と同じであり、NMOSFET21及び22のゲート幅は選択トランジスタST1及びST2のゲート幅と同じである。
データ消去時は、Pウェル40、ソース線CELSRC及びビット線BLは20V程度となる。NMOSFET21及び22はメモリセルアレイ10内に配置されるため、NMOSFET21及び22のゲート電極43及び44をフローティングにすることで、データ消去時、ゲート電極43及び44は、容量カップリングにより20V程度になる。しかし、NMOSFET21及び22は、選択トランジスタST1及びST2と同様な構造を有している、すなわち高耐圧MOSFETで構成されるので、データ消去時でも耐圧的に問題はない。
本実施形態では、2列のNMOSFETをメモリセルアレイ10の中央に配置するだけでよく、2列のNMOSFETのアクティブ領域の幅もメモリセルのアクティブ領域の幅と等しい。このため、ビット線電圧制御回路20を新たに設けたことによる面積増加を非常に小さくすることができる。
なお、アクティブ領域の幅はメモリセルと同様なものに限定するものではなく、例えば、2倍ピッチのNMOSFETを使用した場合は、このNMOSFETを4列並べる必要があり、n倍ピッチのNMOSFETを使用した場合は、2のn乗列のNMOSFETが必要となる。ピッチが広くなるに従いビット線電圧制御回路20用のNMOSFETが占める領域が大きくなる。しかし、図9及び図10の構成を有するビット線電圧制御回路20をメモリセルアレイ10内に配置することにより、ウェル分離領域を省くことが可能であり、チップ面積削減に有効である。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化することが可能である。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、1つの実施形態に開示される複数の構成要素の適宜な組み合わせ、若しくは異なる実施形態に開示される構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても、発明が解決しようとする課題が解決でき、発明の効果が得られる場合には、これらの構成要素が削除された実施形態が発明として抽出されうる。
BL…ビット線、WL…ワード線、CELSRC…ソース線、SGD,SGS…選択ゲート線、BLSRC_E,BLSRC_O…選択線、SA…センスアンプ、BLK…ブロック、MT…メモリセル、ST1,ST2…選択トランジスタ、1…NAND型フラッシュメモリ、2…ホストコントローラ、10…メモリセルアレイ、11…カラム制御回路、12…ロウ制御回路、13…ソース線制御回路、14…Pウェル制御回路、15…データ入出力バッファ、16…コマンドインターフェイス、17…制御部、20…ビット線電圧制御回路、21,22…NMOSFET、30…電荷転送トランジスタ、31…キャパシタ、32…NMOSFET、33…ラッチ回路、40…Pウェル、41…素子分離絶縁層、42…拡散領域、43,44…ゲート電極、45〜47…コンタクトプラグ、48…層間絶縁層。
Claims (6)
- 第1の方向に延在する複数のビット線と、
それぞれが複数のNANDストリングを有する複数のブロックを備え、各NANDストリングは、直列接続されたメモリセル群と、前記メモリセル群の両端にそれぞれ接続された第1及び第2の選択トランジスタとを有し、前記第1の選択トランジスタの電流経路の一端はビット線に接続され、前記第2の選択トランジスタの電流経路の一端はソース線に接続された、メモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイを2つに分割するようにして、前記メモリセルアレイ内に配置され、かつ前記ビット線の電圧を充電及び放電する電圧制御回路と、
を具備することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記電圧制御回路は、
ドレインが複数の偶数ビット線にそれぞれ接続され、ソースが第1のソース線に共通接続され、ゲートが第1の選択線に共通接続された複数の第1のMOSFETと、
ドレインが複数の奇数ビット線にそれぞれ接続され、ソースが第2のソース線に共通接続され、ゲートが第2の選択線に共通接続された複数の第2のMOSFETと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記偶数ビット線を充電する場合、前記第1のMOSFETは、前記第1の選択線を用いてターンオンし、前記第1のソースは、第1の電圧に設定され、
前記奇数ビット線を充電する場合、前記第2のMOSFETは、前記第2の選択線を用いてターンオンし、前記第2のソースは、第1の電圧に設定されることを特徴とする請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記偶数ビット線を放電する場合、前記第1のMOSFETは、前記第1の選択線を用いてターンオンし、前記第1のソースは、第2の電圧に設定され、
前記奇数ビット線を放電する場合、前記第2のMOSFETは、前記第2の選択線を用いてターンオンし、前記第2のソースは、第2の電圧に設定されることを特徴とする請求項2又は3に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1のソース線は、前記第2のソース線と共用されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1及び第2のMOSFETの各々は、前記選択トランジスタと同じ構成を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
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