JP2011174874A - 変位計測装置、方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変位計測装置は、所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、変位計測用画像から格子の領域を検出して該格子領域の画像を抽出する格子領域検出部と、抽出した格子領域の画像に対してサンプリングモアレ法により格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、位相分布から求められた所定の位置における変位前後の位相差と、予め定められた格子ピッチとから所定の位置における変位を決定する変位決定部とを備える。
【選択図】図1
Description
まず、サンプリングモアレ法による位相解析の原理について説明する。サンプリングモアレ法とは、撮影された変位計測用画像の中の格子領域の画像に対して、サンプリング点およびサンプリング間隔を変えながら、得られる複数枚の位相シフトされたモアレ縞画像から位相分布を求める位相解析手法である。
次に、格子領域を含む変位計測用画像から格子領域を検出して抽出する方法について説明する。これは、変位計測用画像には上述のサンプリングモアレ法による位相解析に不要な領域が含まれるため、格子領域の画像を抽出することによって処理時間の低減を図るものである。これにより、同じ時間内に平均化する回数を増やすことができるため、計測精度が向上する。また、外乱によってCCDカメラ等の撮影装置の向きが変化した場合にも自動的に撮影領域の変更を行うことができる。
上述の方法または他の適切な方法により2次元格子領域を検出して解析すべき作業領域(格子領域)が決まったら、その領域内の画像を切り出し、上述のサンプリングモアレ法により、モアレの位相分布を導出する。まず、格子領域の画像に対して2次元フーリエ変換を行う。図15に切り出された格子画像を示す。この画像に対して2次元フーリエ変換を行うと、図16に示すようなパワースペクトルが得られる。
ここで、最適な2次元格子のピッチを検出する方法を説明する。まずx方向(横方向)について考えると、上述のように導出された連続化された位相分布は、xy平面に対する位相φxの分布と考えることができる。図18に示すように、位相分布内でy座標を同一とする任意の2点PとQを選択し、その2点間の画素数Dxと位相差Δφxを得る。Δφx/2πが2点PQ間に含まれる格子の本数を意味するため、x方向の格子ピッチpxは、px=2πDx/Δφxとして求めることができる。
続いて、図1における露光時間調整部6による変位計測画像の撮影の際の露光時間の調整方法について説明する。図1の変位計測用画像撮影部1により変位計測用画像を撮影する際に、露光時間を長くしすぎると、格子の明線部分において輝度値の明るさが限界を超えた状態(以降、「オーバーフロー」と称する)となる。明線部分がオーバーフローすると、格子の輝度の波形が変化する。2次調和波のピーク値h2は、波形が上下方向の対称性を失うと大きくなる性質を有しているため、1次調和波に対する2次調和波のピーク値h2の比率によってオーバーフローが発生しているか否かを判定することができる。以下に、この判定結果を使用して変位計測用画像を撮影する際の露光時間を調整する方法について説明する。
まず、ステップS1にて、変位計測用画像撮影部1により、変位を計測する所定の位置に設けられた変位計測用格子を含む画像を撮影する。
以下に、上述の変位計測装置を使用した結果を示す。変位計測に際して2本の杭を用意し、一方を杭A、他方を杭Bとして杭Aに10mmと5mmのピッチの2次元格子を付けた。変位計測は、カメラと杭Aを5m離して行い、杭Aの近くに鉄杭を打ちつけ人為的に変位を与えた。変位前と変位後で1枚ずつ撮影し、サンプリングモアレ法を適用することによって位相分布を求め、変位量を調べた。以下、変位計測処理について説明する。まず、2次元格子が描かれたターゲットをCCDカメラで撮影し(図28参照)、該撮影画像に対して2次元フーリエ変換を施した(図29参照)。続いて、得られたパワースペクトルにおける1次調和波のピークを検出し(図30参照)、検出されたピークを含む領域を抽出した(図31参照)。ピークを検出した後に変位計測用画像の画素数とピークの座標から2次元格子の基準ピッチを求めた。続いて、得られた基準ピッチを間引き間隔として、サンプリングモアレ法を用いてモアレの位相分布(図32参照)とパワーの分布を求め、得られたパワーの分布にしきい値を設けてマスク画像を作成した(図33参照)。作成されたマスク画像に対して、格子領域のみが残るように縮小・膨張処理を施し(図34参照)、縮小・膨張処理を施して得られた画像から矩形領域を作成した(図35参照)。その後、作成した矩形領域を元の変位計測用画像に当てはめて抽出し(図36参照)、抽出された格子領域の画像に対して2次元フーリエ変換を施した(図37参照)。得られたパワースペクトルにおける横方向空間周波数成分のある領域内と縦方向空間周波数成分のある領域に対してそれぞれ逆フーリエ変換を施し、横方向および縦方向の位相分布を求めた(図38および図39参照)。得られた位相分布のそれぞれに対して位相接続を施し、連続化された位相分布を得た(図40および図41参照)。得られた連続化された位相分布から所定の位置における変位前後の位相差を求めることにより、変位を求めた。得られた連続化された位相分布から所定の位置における変位前後の位相差を求めることにより、所定の位置における変位を求めることができる。このようにして、撮影された変位計測用画像から、所定の位置における変位を求めることができた。
2 格子領域検出部
3 位相分布導出部
4 格子領域ピッチ検出部
5 変位決定部
6 露光時間調整部
21,32 フーリエ変換器
22 1次調和波ピーク検出器
23 基準ピッチ決定器
24 パワー分布導出器
25 矩形領域検出器
26 格子領域決定器
31 平滑化処理器
33 1次調和波抽出器
34 逆フーリエ変換器
35 位相接続器
100 変位計測装置
Claims (7)
- 所定の位置における変位を計測するための変位計測装置であって、
前記所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、
前記変位計測用画像から前記格子の領域を検出して該格子領域の画像を抽出する格子領域検出部と、
抽出した前記格子領域の画像に対してサンプリングモアレ法により前記格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、
前記位相分布から求められた前記所定の位置における変位前後の位相差と、予め定められた格子ピッチとから前記所定の位置における変位を決定する変位決定部と、
を備えることを特徴とする変位計測装置。 - 所定の位置における変位を計測するための変位計測装置であって、
前記所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影する撮影部と、
前記変位計測用画像から予め抽出された前記格子の領域の画像に対して、サンプリングモアレ法により前記格子領域の画像に対するモアレの位相分布を導出する位相分布導出部と、
導出した前記位相分布における所定の2地点間の画素数と格子数とから格子ピッチを検出する格子ピッチ検出部と、
前記位相分布から求められた前記所定の位置における位相差と、前記格子ピッチとから前記所定の位置における変位を決定する変位決定部と、
を備えることを特徴とする変位計測装置。 - 前記格子領域検出部は、
前記変位計測用画像に対して2次元フーリエ変換を施してパワースペクトルを出力するフーリエ変換器と、
前記パワースペクトルにおける1次調和波成分のピークを検出し、該ピークの座標を出力する1次調和波ピーク検出器と、
前記変位計測用画像の縦および横方向の画素数を前記ピークの縦および横方向の座標でそれぞれ除算し、その商の整数部分である基準ピッチを出力する基準ピッチ決定器と、
前記基準ピッチを用いてサンプリングモアレ法によりモアレの位相分布とパワー分布を導出し、パワー分布を出力するパワー分布導出器と、
前記パワー分布に対してマスク画像を生成し、該マスク画像に対して膨張および縮小処理を施して前記変位計測用画像中の矩形領域を検出して格子領域決定器に出力する矩形領域検出器と、
前記矩形領域を前記変位計測用画像に当てはめて前記格子領域を決定し、前記格子領域の画像を出力する格子領域決定器と、
を備えることを特徴とする、請求項1に記載の変位計測装置。 - 前記位相分布導出部は、
前記格子領域の画像に対して平滑化処理を施す平滑化処理部と、
平滑化された前記格子領域の画像を入力してフーリエ変換を施して前記パワースペクトルを出力するフーリエ変換器と、
前記パワースペクトルから1次調和波の抽出する1次調和波抽出器と、
抽出した前記1次調和波に対して逆フーリエ変換を施し、各画素に対して得られた複素振幅の実部と虚部の値から位相分布を導出する逆フーリエ変換器と、
導出された前記位相分布に対して位相接続を施し、連続化された位相分布を導出する位相接続器と、
を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の変位計測装置。 - 前記格子領域の画像に対してフーリエ変換を施し、得られたパワースペクトルにおける1次調和波に対する2次調和波のピーク値の比率から変位計測用画像を撮影する際の最適な露光時間を決定する露光時間調整部を更に備えることを特徴とする、請求項1〜4に記載の変位計測装置。
- 所定の位置における変位を計測するための変位計測方法であって、
前記所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影するステップと、
前記変位計測用画像に対して2次元フーリエ変換を施してパワースペクトルを出力するステップと、
前記パワースペクトルにおける1次調和波成分のピークを検出し、該ピークの座標を出力するステップと、
前記変位計測用画像の縦および横方向の画素数を前記ピークの縦および横方向の座標でそれぞれ除算し、その商の整数部分である基準ピッチを出力するステップと、
前記基準ピッチを用いてサンプリングモアレ法によりモアレの位相分布とパワー分布を導出し、パワー分布を出力するステップと、
前記パワー分布に対してマスク画像を生成し、該マスク画像に対して膨張および縮小処理を施して前記変位計測用画像中の矩形領域を検出して格子領域決定器に出力するステップと、
前記矩形領域を前記変位計測用画像に当てはめて前記格子領域を決定し、前記格子領域の画像を出力するステップと、
前記格子領域の画像に対して平滑化処理を施すステップと、
平滑化された前記格子領域の画像を入力してフーリエ変換を施して前記パワースペクトルを出力するステップと、
前記パワースペクトルから1次調和波を抽出するステップと、
抽出した前記1次調和波に対して逆フーリエ変換を施し、各画素に対して得られた複素振幅の実部と虚部の値から位相分布を導出するステップと、
導出された前記位相分布に対して位相接続を施し、連続化された位相分布を導出するステップと、
連続化された前記位相分布における所定の2地点間の画素数と格子数とから格子ピッチを検出するステップと、
連続化された前記位相分布から求められた前記所定の位置における位相差と、前記格子ピッチとから前記所定の位置における変位を決定するステップと、
を含むことを特徴とする変位計測方法。 - 所定の位置における変位を計測するための変位計測装置として構成するコンピュータに、
前記所定の位置に設けられた変位計測用の格子を含む変位計測用画像を撮影するステップと、
前記変位計測用画像に対して2次元フーリエ変換を施してパワースペクトルを出力するステップと、
前記パワースペクトルにおける1次調和波成分のピークを検出し、該ピークの座標を出力するステップと、
前記変位計測用画像の縦および横方向の画素数を前記ピークの縦および横方向の座標でそれぞれ除算し、その商の整数部分である基準ピッチを出力するステップと、
前記基準ピッチを用いてサンプリングモアレ法によりモアレの位相分布とパワー分布を導出し、パワー分布を出力するステップと、
前記パワー分布に対してマスク画像を生成し、該マスク画像に対して膨張および縮小処理を施して前記変位計測用画像中の矩形領域を検出して格子領域決定器に出力するステップと、
前記矩形領域を前記変位計測用画像に当てはめて前記格子領域を決定し、前記格子領域の画像を出力するステップと、
前記格子領域の画像に対して平滑化処理を施すステップと、
平滑化された前記格子領域の画像を入力してフーリエ変換を施して前記パワースペクトルを出力するステップと、
前記パワースペクトルから1次調和波を抽出するステップと、
抽出した前記1次調和波に対して逆フーリエ変換を施し、各画素に対して得られた複素振幅の実部と虚部の値から位相分布を導出するステップと、
導出された前記位相分布に対して位相接続を施し、連続化された位相分布を導出するステップと、
連続化された前記位相分布における所定の2地点間の画素数と格子数とから格子ピッチを検出するステップと、
連続化された前記位相分布から求められた前記所定の位置における位相差と、前記格子ピッチとから前記所定の位置における変位を決定するステップと、
を実行させることを特徴とする変位計測プログラム。
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