JP4616687B2 - 透過電子顕微鏡試料位置検出方法 - Google Patents
透過電子顕微鏡試料位置検出方法 Download PDFInfo
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Description
図1は本発明の実施の形態例を示す構成図である。図において、1はTEM(透過電子顕微鏡)、3はTEM1との通信用のインターフェイス及び画像取り込み用のインターフェイスを備えたコンピュータ、2はTEM1とコンピュータ3間を接続するTEM制御用ケーブル、4はTEM画像を撮影するディジタルカメラ、5は該ディジタルカメラとコンピュータ3をつなぐ画像取り込み用ケーブルである。6はTEM試料中の電子線が透過可能な位置を検出する透過可能位置検出手段である。該透過可能位置検出手段6は、ハードウェアでもソフトウェアでも実現することができる。ここでは、ソフトウェアで実現した場合を示す(以下透過可能位置検出手段をソフトウェアと呼ぶ)。このように構成されたシステムの動作を説明すれば、以下の通りである。
(S1)試料全体像作成
ソフトウェア6は、TEM1を操作し、カメラ4から像を取り込んで(必要ならモンタージュ合成を行なって)、試料全体を俯瞰する像を生成する。
(S2)フーリエ変換
ソフトウェア6は生成した像をフーリエ変換する。
(S3)パワースペクトルのピーク検出
ソフトウェア6は、フーリエ変換した結果の各々のピクセル値である複素数のパワー(実部の二乗と虚部の二乗の和)を求める(図3,図4の左の図)。図3は周期的な構造の例を示す図、図4はパワースペクトルの説明図である。図4において、左の画像(a)は図3に示す画像をフーリエ変換して得られるパワースペクトル、真ん中はその低周波成分の部分の拡大図、右は既知の周期に対応する楕円付近をマスキングしたものである。図3に見られる格子状の構造が、(c)に示すようにパワースペクトルでは楕円上の4つのピークとなる。この4つのピークは、グリッドスクエア(メッシュで囲まれた四角形)の周期に対応している。
(S4)ダミー格子の生成
ソフトウェア6は、ピークの位置から格子構造の正確な周期と方向を得ることができる。この時、フーリエ変換後の複素数の位相から各格子点の位置も計算可能であるので、原理的には各孔の位置を求めることができる。しかしながら、TEMのステージのわずかな非直交性、非線形性や、像のひずみ等のため、実際の格子は試料全体に渡って厳密な格子になっているわけではなく、フーリエ変換の結果から正方格子を仮定して全体の格子の配置を求めると、場所によっては1周期分くらいずれてしまうことがある。
(S5)元の像とダミー格子の相互相関の計算
ソフトウェア6は、元の像とダミー格子の相互相関を計算する。これは、パターン認識の一般的な手法であり、元の像の上で1ピクセルずつずらしながらダミー格子を重ねておき、重なり合ったピクセル同士を比較して、値が似ていれば高い得点を、似ていなければ低い得点を加算することに等しい。この結果、生成された相互相関図(図5の(b))において、白い部分が元の像とダミー格子がよく一致した部分、黒い部分が一致しなかったところを表している。
(S6)孔の位置の決定
ソフトウェア6は、S5で生成した相互相関像において高い相関値となっている部分のピークの位置を求め、これを元の像の孔の位置とする。孔の方向は、パワースペクトルのピークから求まっているので、これにより個々の孔と金属部分を識別できる。図7に示した試料全体像における、本発明による孔の密度検出結果を図8の(b)に示す。なお、図8の(b)において、ソフトウェア6の都合上、検出範囲を直径2mmの円形領域に限定したため、一部検出されていない孔がある。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、個々のピクセル値の情報のみで識別を行なう2値化に対して、パワースペクトルという全体的な情報とダミー格子という局所的であるがピクセル単独よりは広い範囲の情報を用いることによって、ノイズやシェーディングに影響されにくい孔の検出を行なうことができる。
2 TEM制御用ケーブル
3 コンピュータ
4 ディジタルカメラ
5 画像取り込み用ケーブル
6 透過可能位置検出手段(ソフトウェア)
Claims (1)
- 既知の周期で孔が形成された金属メッシュの像を含んだ試料全体像を作成し、
作成した全体像をフーリエ変換し、
フーリエ変換して得られたパワースペクトルのうち、前記周期に対応する楕円または正円上に現れるパワースペクトルのピークを検出し、
パワースペクトルの格子の周期と方向からダミー格子を生成し、
元の像とダミー格子の相互相関像を計算し、
計算した結果から孔の位置を決定する、
ようにしたことを特徴とする透過電子顕微鏡試料位置検出方法。
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