JP2014207110A - 観察装置および観察方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また,特許文献2には,「異なる撮像条件下で試料を撮像して該試料の複数の画像を取得し,この取得した複数の画像についてそれぞれの画像の劣化関数を生成し、取得した複数の画像と生成したそれぞれの画像に対応する劣化関数とを用いて分解能を向上させた画像を生成し、この分解能を向上させた画像を処理」する方法(要約書)が開示されている。
Claims (12)
- 試料を撮像して複数の撮像画像を取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップにて取得した該複数の撮像画像から一以上の観察対象領域を抽出する観察対象領域抽出ステップと、
前記観察対象領域抽出ステップにて抽出した該一以上の観察対象領域を分類する観察対象領域分類ステップと、
前記観察対象領域分類ステップの分類結果に基づき決定した統合方法により該複数の撮像画像を統合して統合画像を生成する画像統合ステップと、
を備える観察方法。 - 前記観察対象領域分類ステップでは、該観察対象領域に存在する複数の対象物の高さに関する情報に基づき該一以上の観察対象領域を分類し,
前記画像統合ステップは,該対象物の高さに関する情報に基づいて統合方法を決定することを特徴とする請求項1記載の観察方法。 - 前記観察対象領域分類ステップでは、該観察対象領域が上層パターン領域,下層領域,パターン側壁領域のうちの少なくとも二つの領域のいずれの領域に属するかを分類し,
前記画像統合ステップは,前記観察対象領域分類ステップの分類結果に基づいて統合方法を決定することを特徴とする請求項1または2記載の観察方法。 - 前記画像統合ステップは,前記観察対象領域の周辺領域における該複数の撮像画像の間の形状情報に基づいて,該複数の撮像画像のうち少なくとも1枚に対して該観察対象領域および該観察対象領域の周辺領域を変形した後で統合することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の観察方法。
- 前記画像統合ステップは,前記観察対象領域と,前記観察対象領域の周辺領域との明暗関係を保存して統合することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の観察方法。
- さらに、前記画像統合ステップにより生成した該統合画像を表示する表示ステップを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の観察方法。
- 試料を撮像して複数の撮像画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部にて取得した該複数の撮像画像から一以上の観察対象領域を抽出する観察対象領域抽出部と、
前記観察対象領域抽出部にて抽出した該一以上の観察対象領域を分類する観察対象領域分類部と、
前記観察対象領域分類部の分類結果に基づき決定した統合方法により該複数の撮像画像を統合して統合画像を生成する画像統合部と、
を備える観察装置。 - 前記観察対象領域分類部では、該観察対象領域に存在する複数の対象物の高さに関する情報に基づき該一以上の観察対象領域を分類し,
前記画像統合部は,該対象物の高さに関する情報に基づいて統合方法を決定することを特徴とする請求項7記載の観察装置。 - 前記観察対象領域分類部では、該観察対象領域が上層パターン領域,下層領域,パターン側壁領域のうちの少なくとも二つの領域のいずれの領域に属するかを分類し,
前記画像統合部は,前記観察対象領域分類部の分類結果に基づいて統合方法を決定することを特徴とする請求項7または8記載の観察装置。 - 前記画像統合部は,前記観察対象領域の周辺領域における該複数の撮像画像の間の形状情報に基づいて,該複数の撮像画像のうち少なくとも1枚に対して該観察対象領域および該観察対象領域の周辺領域を変形した後で統合することを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の観察装置。
- 前記画像統合部は,前記観察対象領域と,前記観察対象領域の周辺領域との明暗関係を保存して統合することを特徴とする請求項7乃至10のいずれかに記載の観察装置。
- さらに、前記画像統合部により生成した該統合画像を表示する表示部を備えることを特徴とする請求項7乃至11のいずれかに記載の観察装置。
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