JP2011220735A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査電子顕微鏡において、パターンの検査・測長のための合成画像を構成する個々のフレーム画像やサブフレーム画像に対してパターンの有無を判定するパターン有無判定部1012や倍率補正部1014、歪曲補正部1018、画像合成部1015及びそれら画像を動画形式で圧縮保存する記憶部1111を備える。
【選択図】図1
Description
(実施例1)
図1は本発明の実施例に係る走査電子顕微鏡の概念図である。本走査電子顕微鏡は、試料に照射される電子を放出する電子銃1002、電子ビームを収束するコンデンサレンズ1003、電子ビームを走査する偏向器1004、計測対象となる試料1007、試料1007表面に電子ビームを収束される対物レンズ1005、試料1007を移動させるステージ1006、電子ビーム照射により試料1007から二次的に発生した二次電子もしくは反射電子を捕捉する検出器1008、とを有する電子光学系1001と、得られた二次電子もしくは反射電子信号を画像化する画像メモリ1010などを有する演算部1100と、オペレータが入力を行い、走査電子顕微鏡像の表示を行うための表示部1110、過去のデータを格納している記憶部1111、電子線照射条件を電子光学系1001に反映し制御する電子光学系制御部1112、とで構成される。
(1)観察試料の所定領域に電子線を走査する電子光学系と、前記電子線の走査により発生する二次電子または反射電子を検出する検出部と、前記検出器で検出された二次電子または反射電子の情報から観察試料の寸法あるいはピッチを算出する演算部を有する走査電子顕微鏡において、
同一試料上の異なる部位における撮像画像を複数取得する手段と、
前記複数の撮像画像からパターン検査を行う手段と、
前記パターン検査の結果が良好と判定された前記撮像画像を合成して合成画像を作成する手段と、
前記合成画像の強度情報からパターンの寸法を計測する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(2)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
前記取得した撮像画像のそれぞれに倍率補正、歪曲補正をする手段と、
補正を行った後の画像を合成する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(3)前項(2)記載の電子顕微鏡において、
前記演算部は、
計測位置と電子顕微鏡の光軸とのずれ量の算出と、
前記算出結果から前記補正量の算出と、を行う機能を有するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(4)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
前記撮像画像は1フレームもしくはサブフレームで構成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(5)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
前記パターン検査の結果が不良と判定された際に警告を表示する表示部と、
前記検査位置情報を記憶する記憶部と、
前記位置において不良パターン画像を再度取得する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(6)前項(5)記載の電子顕微鏡において、
再度取得される前記不良パターン画像は、前記位置において電子線を複数回走査することで得られる複数の画像を合成した画像であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(7)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
前記複数の撮像画像は動画形式で圧縮保存されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(8)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
前記判定結果が良好であった部位で撮像された複数の前記撮像画像から一つの平均画像を算出する手段と、
前記平均画像から異常を判断する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(9)前項(1)記載の電子顕微鏡において、
取得した前記撮像画像同士の位置ずれ量を算出する手段と、
算出された前記位置ずれ量に応じた補正を行う手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(10)試料を載せるステージと前記試料上において電子線を走査する偏向器と前記偏向器により走査された前記電子線が前記試料に照射されたことに起因する第2の電子を検出する検出器とを備えた電子光学系と、前記第2の電子を前記検出器で検出することにより得られる信号を画像化する画像メモリを備えた演算部と、前記演算部に接続された記憶部とを有する走査電子顕微鏡において、
前記試料には複数の領域に同一パターンがそれぞれ形成されており、
前記演算部は、
前記複数の領域の同一パターンの画像を合成して合成画像を作成する画像合成部と、
前記複数の領域の同一パターンの画像の各々について倍率補正を行う倍率補正部、又は歪曲補正を行う歪曲補正部、或いはその両者と、
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
(11)前項(10)記載の走査電子顕微鏡において、
前記記憶部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々を動画形式で圧縮保存するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(12)前項(10)記載の走査電子顕微鏡において、
前記演算部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々についてパターンの有無を判定するパターン有無判定部を更に有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
(13)前項(12)記載の走査電子顕微鏡において、
前記パターン有無判定部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々の階調値でパターンの有無を判定するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(14)前項(10)記載の走査電子顕微鏡において、
前記合成画像は、前記複数の領域の同一パターンのシステマティックな欠陥検査に用いられるものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
(15)前項(10)記載の走査電子顕微鏡において、
前記合成画像は、前記複数の領域の同一パターンの寸法計測に用いられるものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
Claims (15)
- 観察試料の所定領域に電子線を走査する電子光学系と、前記電子線の走査により発生する二次電子または反射電子を検出する検出部と、前記検出器で検出された二次電子または反射電子の情報から観察試料の寸法あるいはピッチを算出する演算部を有する走査電子顕微鏡において、
同一試料上の異なる部位における撮像画像を複数取得する手段と、
前記複数の撮像画像からパターン検査を行う手段と、
前記パターン検査の結果が良好と判定された前記撮像画像を合成して合成画像を作成する手段と、
前記合成画像の強度情報からパターンの寸法を計測する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記取得した撮像画像のそれぞれに倍率補正、歪曲補正をする手段と、
補正を行った後の画像を合成する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項2記載の電子顕微鏡において、
前記演算部は、計測位置と電子顕微鏡の光軸とのずれ量の算出と、前記算出結果から前記補正量の算出と、を行う機能を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記撮像画像は1フレームもしくはサブフレームで構成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記パターン検査の結果が不良と判定された際に警告を表示する表示部と、
前記検査位置情報を記憶する記憶部と、
前記位置において不良パターン画像を再度取得する手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項5記載の電子顕微鏡において、
再度取得される前記不良パターン画像は、前記位置において電子線を複数回走査することで得られる複数の画像を合成した画像であることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記複数の撮像画像は動画形式で圧縮保存されることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
前記判定結果が良好であった部位で撮像された複数の前記撮像画像から一つの平均画像を算出する手段と、
前記平均画像から異常を判断する手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の電子顕微鏡において、
取得した前記撮像画像同士の位置ずれ量を算出する手段と、
算出された前記位置ずれ量に応じた補正を行う手段と、を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 試料を載せるステージと前記試料上において電子線を走査する偏向器と前記偏向器により走査された前記電子線が前記試料に照射されたことに起因する第2の電子を検出する検出器とを備えた電子光学系と、前記第2の電子を前記検出器で検出することにより得られる信号を画像化する画像メモリを備えた演算部と、前記演算部に接続された記憶部とを有する走査電子顕微鏡において、
前記試料には複数の領域に同一パターンがそれぞれ形成されており、
前記演算部は、
前記複数の領域の同一パターンの画像を合成して合成画像を作成する画像合成部と、
前記複数の領域の同一パターンの画像の各々について倍率補正を行う倍率補正部、又は歪曲補正を行う歪曲補正部、或いはその両者と、
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項10記載の走査電子顕微鏡において、
前記記憶部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々を動画形式で圧縮保存するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項10記載の走査電子顕微鏡において、
前記演算部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々についてパターンの有無を判定するパターン有無判定部を更に有することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項12記載の走査電子顕微鏡において、
前記パターン有無判定部は、前記複数の領域の同一パターンの画像の各々の階調値でパターンの有無を判定するものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項10記載の走査電子顕微鏡において、
前記合成画像は、前記複数の領域の同一パターンのシステマティックな欠陥検査に用いられるものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項10記載の走査電子顕微鏡において、
前記合成画像は、前記複数の領域の同一パターンの寸法計測に用いられるものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
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