JP3834041B2 - 学習型分類装置及び学習型分類方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る欠陥分類装置の構成を示す図であり、欠陥領域抽出手段101と、特徴量算出手段102と、分類手段103と、領域統合手段104と、教師データ作成手段105と、教師データ蓄積手段106と、メモリ107と、表示手段108と、入力手段109とから構成される。ここで、欠陥領域抽出手段101と、特徴量算出手段102と、分類手段103と、領域統合手段104と、教師データ作成手段105とはPC100内のCPUにより、教師データ蓄積手段106はPC100内のハードディスクにより、メモリ107はPC100内のメモリにより具現化される。さらに、表示手段108はモニタにより、入力手段109はマウスやキーボード等により具現化される。
以下に本発明の第2実施形態を説明する。第2実施形態の欠陥分類装置は、第1実施形態の欠陥分類装置において、図2のステップS12で妥当でない統合領域を選択する際に、領域再統合のためのクラスタリングに用いる特徴軸を指定可能にしたことを特徴とする。
以下に本発明の第3実施形態を説明する。図14は、第3実施形態の欠陥分類装置の構成を示している。第3実施形態の欠陥分類装置は、第1実施形態の欠陥分類装置の構成に加えて、教師データ数の増加に伴うクラス毎の分類正解率の変化より更なる教師データ作成の必要性を判断する判断手段112を備えていることを特徴とする。
・ 欠陥B=1/1=100%
・ 欠陥C=2/2=100%
・ 欠陥D=0/1=0%
・ 欠陥E=0/1=0%
教師データ作成作業が繰り返される過程において、この正解率を常に算出し、その変化を記録していくと、十分な教師データが得られた欠陥種に対しては正解率が安定して高い数値をとるようになる。そこで分類正解率に、ある閾値を設け、この値を継続して超える正解率が維持される欠陥種に関しては、教師データが十分であると判断し、統合結果表示の際、表示しないようにする(または表示の仕方を他の領域と変える)。これによりユーザーは正解率が低い欠陥種に集中して修正作業を行うことができる。
Claims (8)
- 分類対象となる複数の領域が存在する画像より分類対象の領域を抽出する領域抽出手段と、
前記抽出した分類対象の領域に対する特徴量を算出する特徴量算出手段と、
前記算出した特徴量を基に、前記抽出した分類対象の領域を所定のクラスに分類する分類手段と、
前記分類結果のクラスが同じである領域を統合する領域統合手段と、
前記統合領域の画像及び前記分類結果を表示する表示手段と、
前記分類結果の誤りを修正するための入力手段と、
前記統合領域に対する分類結果を、前記統合領域に含まれる各領域に反映して、各領域毎の教師データを作成する教師データ作成手段と、
を備えることを特徴とする学習型分類装置。 - 前記領域統合手段は、誤った統合がなされた領域が前記入力手段により選択された場合に、その統合領域内の複数の領域を特徴空間内で少なくとも2つ以上のクラスタに分割し、各々のクラスタに属する領域毎に再統合することを特徴とする請求項1に記載の学習型分類装置。
- 前記クラスタの作成は、前記入力手段により指定された特徴軸上での距離を用いて行われることを特徴とする請求項2に記載の学習型分類装置。
- 教師データ数の増加に伴うクラス毎の分類正解率の変化より更なる教師データ作成の必要性を判断する判断手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の学習型分類装置。
- 領域抽出手段と、特徴量算出手段と、分類手段と、領域統合手段と、表示手段と、入力手段と、教師データ作成手段とを具備する分類装置が教師データを作成する学習型分類方法であって、
前記領域抽出手段が、分類対象となる複数の領域が存在する画像より分類対象の領域を抽出するステップと、
前記特徴量算出手段が、前記抽出した領域に対する特徴量を算出するステップと、
前記分類手段が、前記算出した特徴量を基に前記領域を所定のクラスに分類するステップと、
前記領域統合手段が、前記分類結果のクラスが同じである領域を統合するステップと、
前記表示手段が、前記統合した領域の画像及び前記分類結果を表示するステップと、
前記入力手段が、前記分類結果の誤りを修正するための指示情報を取得するステップと、
前記教師データ作成手段が、前記統合領域に対する分類結果を、前記統合領域に含まれる各領域に反映して、各領域毎の教師データを作成するステップと、
を行うことを特徴とする学習型分類方法。 - 前記領域統合手段が、前記入力手段で前記取得した指示情報により誤った統合がなされた領域が選択された場合に、その統合領域内の複数の領域を特徴空間内で少なくとも2つ以上のクラスタに分割し、各々のクラスタに属する領域毎に再統合することを特徴とする請求項5に記載の学習型分類方法。
- 前記クラスタは、前記入力手段により指定された特徴軸上での距離を用いて作成されることを特徴とする請求項5に記載の学習型分類方法。
- 前記分類装置がさらに判断手段を具備し、前記判断手段が、前記教師データ数の増加に伴うクラス毎の分類正解率の変化より更なる教師データ作成の必要性を判断することを特徴とする請求項5記載の学習型分類方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004107738A JP3834041B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 学習型分類装置及び学習型分類方法 |
EP05721668A EP1734456A4 (en) | 2004-03-31 | 2005-03-30 | CLASSIFICATION DEVICE AND METHOD OF LEARNING TYPE |
PCT/JP2005/006170 WO2005096181A1 (ja) | 2004-03-31 | 2005-03-30 | 学習型分類装置及び学習型分類方法 |
US11/520,555 US7773801B2 (en) | 2004-03-31 | 2006-09-13 | Learning-type classifying apparatus and learning-type classifying method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004107738A JP3834041B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 学習型分類装置及び学習型分類方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005293264A JP2005293264A (ja) | 2005-10-20 |
JP3834041B2 true JP3834041B2 (ja) | 2006-10-18 |
Family
ID=35063983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004107738A Expired - Fee Related JP3834041B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 学習型分類装置及び学習型分類方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7773801B2 (ja) |
EP (1) | EP1734456A4 (ja) |
JP (1) | JP3834041B2 (ja) |
WO (1) | WO2005096181A1 (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050226490A1 (en) * | 2002-01-29 | 2005-10-13 | Phillips Brian S | Method and apparatus for improved vision detector image capture and analysis |
US7545949B2 (en) * | 2004-06-09 | 2009-06-09 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method for setting parameters of a vision detector using production line information |
US9092841B2 (en) | 2004-06-09 | 2015-07-28 | Cognex Technology And Investment Llc | Method and apparatus for visual detection and inspection of objects |
US8243986B2 (en) | 2004-06-09 | 2012-08-14 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method and apparatus for automatic visual event detection |
US20050276445A1 (en) | 2004-06-09 | 2005-12-15 | Silver William M | Method and apparatus for automatic visual detection, recording, and retrieval of events |
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EP3721373A1 (en) | 2017-12-07 | 2020-10-14 | Ventana Medical Systems, Inc. | Deep-learning systems and methods for joint cell and region classification in biological images |
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JP7408516B2 (ja) | 2020-09-09 | 2024-01-05 | 株式会社東芝 | 欠陥管理装置、方法およびプログラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4132229B2 (ja) | 1998-06-03 | 2008-08-13 | 株式会社ルネサステクノロジ | 欠陥分類方法 |
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JP4526661B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2010-08-18 | 株式会社日立製作所 | 検査装置および検査方法 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004107738A patent/JP3834041B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-30 EP EP05721668A patent/EP1734456A4/en not_active Withdrawn
- 2005-03-30 WO PCT/JP2005/006170 patent/WO2005096181A1/ja not_active Application Discontinuation
-
2006
- 2006-09-13 US US11/520,555 patent/US7773801B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070009152A1 (en) | 2007-01-11 |
US7773801B2 (en) | 2010-08-10 |
JP2005293264A (ja) | 2005-10-20 |
WO2005096181A1 (ja) | 2005-10-13 |
EP1734456A1 (en) | 2006-12-20 |
EP1734456A4 (en) | 2009-05-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060501 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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