JP2011153351A - めっき装置およびめっき装置の配線検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】配線の接続不良の検査を効率的に行うことが可能なめっき装置およびめっき装置の配線検査方法を提供する。
【解決手段】制御部４１３がリレー６１ａをオンにすると、電源装置４１、配線Ｌ１０、抵抗７１ａ、リレー６１ａおよび配線Ｌ１，Ｌ１０ａにより構成される閉回路Ｃ１ａが形成される。それにより、閉回路Ｃ１ａに電流が流れる。電源装置４１は、定電流制御を行う。制御部４１３は、電圧検出回路４１２から出力される測定電圧値を予め設定された基準電圧値と比較する。配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａに接続不良が生じていない場合には、測定電圧値が基準電圧値とほぼ等しくなる。配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａに接続不良が生じている場合には、測定電圧値は基準電圧値よりも大きくなる。
【選択図】図３

Description

本発明は、めっき装置およびめっき装置の配線検査方法に関する。

近年、様々な電子機器に高密度化および小型化された配線回路基板が用いられている。配線回路基板の製造時には、例えば配線パターンの形成工程において、めっき装置を用いて、予め形成されたシード層上に電解めっきが施される。

例えば特許文献１に記載されためっき装置は、めっき液が収容されるめっき槽を備える。めっき槽内には、アノード電極が配置される。めっき槽外には、長尺状基板を挟持するように複数の回転体が設けられる。複数の回転体が回転しながら、めっき槽の側壁に形成されたスリットを通して、長尺状基板がめっき槽内に搬送される。その状態で、アノード電極と長尺状基板の電解めっきを施すべき領域との間に電圧が印加される。それにより、めっき槽内で長尺状基板に電解めっきが施される。

特開２００３−３２１７９６号公報

一般的に長尺状基板の電解めっきを施すべき領域は、回転体および配線を介して整流器等の直流電源の負極に電気的に接続される。この場合、直流電源の負極と複数の回転体とが配線により電気的に接続される。

そのため、複数の回転体が回転することにより配線がねじれないように、各回転体と配線との接続部分には例えばロータリコネクタが設けられる。ロータリコネクタは、回転体とともに回転可能な可動電極および静止した固定電極を有し、可動電極と固定電極との間に導電性流体が充填されている。回転体は可動電極に接続され、配線は固定電極に接続される。それにより、回転体の回転時にも、配線のねじれを生じることなく配線を回転体に電気的に接続することができる。

しかしながら、ロータリコネクタが腐食すると、固定電極に対する可動電極の相対的な回転が円滑に行われない場合がある。この場合、回転体の回転時に、ロータリコネクタの可動電極の回転とともに固定電極が動く可能性がある。それにより、配線に断線または抵抗の増加等の接続不良が生じることになる。

めっき装置の配線に断線が生じると、電解めっきを行うことができない。また、配線の抵抗が増加した状態で電解めっきを行うと、例えば電流が一定に制御されている場合には、アノード電極と長尺状基板の電解めっきを施すべき領域との間に印加される電圧が上昇する。その結果、めっきの品質が低下する。そのため、長尺状基板に電解めっきを行う前に、めっき装置における配線の接続不良を検査する必要がある。

しかしながら、ロールから繰り出される長尺状基板の先端部分には、ポリエチレンテレフタレートまたはポリプロピレン等の非導電性材料が形成されており、導電性材料は形成されていない。したがって、めっき装置において電流を流し得る閉回路が形成されない。

そこで、従来は、テスタ等の計器を用いて作業者の手作業により配線の接続不良の検査を行う必要があった。このような手作業の検査は、非常に非効率的である。

本発明の目的は、配線の接続不良の検査を効率的に行うことが可能なめっき装置およびめっき装置の配線検査方法を提供することである。

（１）第１の発明に係るめっき装置は、めっき対象物に電解めっきを行うめっき装置であって、めっき液を収容するためのめっき槽と、めっき槽内に設けられるアノード電極と、めっき対象物に接触可能な導電部材と、直流電源と、直流電源をアノード電極および導電部材に電気的に接続する配線と、配線の検査時に、めっき液およびめっき対象物を経由せずに配線に電流を流すための閉回路を形成するように構成された検査用回路と、閉回路により配線に電流が流れる状態で配線の接続不良の有無を検出する検出部とを備えたものである。

そのめっき装置においては、めっき液を収容するめっき槽内にアノード電極が設けられる。また、めっき対象物の電解めっき時には、導電部材がめっき対象物に接触する。アノード電極および導電部材は、直流電源に配線を介してそれぞれ電気的に接続される。配線の検査時には、検査用回路によりめっき液およびめっき対象物を経由せずに配線に電流を流すための閉回路が形成される。それにより、配線に電流が流れる状態で検出部により配線の接続不良の有無が検出される。

したがって、作業者が手作業で配線の接続不良を検査する必要がない。その結果、配線の接続不良の検査を効率的に行うことができる。また、検査用回路によりめっき液およびめっき対象物を経由しない閉回路が形成されるので、電解めっき時に検査用回路が電解めっきのための回路に影響を与えることがない。その結果、めっき対象物に安定的に電解めっきを行うことが可能となる。

（２）閉回路は、直流電源を含むように形成されてもよい。

この場合、配線の検査時に、電解めっきに用いられる直流電源により配線に電流が供給される。それにより、配線の検査のために、電解めっきのための直流電源と別に直流電源を設ける必要がない。したがって、めっき装置のコストを増加させることなく、配線の接続不良の検査を効率的に行うことができる。

（３）検査用回路は、負荷およびスイッチを含み、負荷およびスイッチは、スイッチがオンされることにより負荷およびスイッチを含む閉回路が形成されるように接続されてもよい。

この場合、スイッチがオンされることにより、配線、直流電源、負荷およびスイッチを含む閉回路が形成される。それにより、直流電源から配線および負荷に電流が流れる。配線の接続不良がある場合には、配線の抵抗が増加する。したがって、配線の抵抗の増加による電流または電圧の変化に基づいて配線の接続不良の有無を容易に判定することができる。

（４）直流電源は、配線の検査時に閉回路に定電流が流れるように定電流制御を行う機能を有してもよい。

この場合、配線の検査時に、直流電源から配線および負荷に一定の電流が流れ、負荷および配線の抵抗による電圧降下が発生する。配線の接続不良がある場合には、配線の抵抗が増加することにより電圧降下が増大する。したがって、負荷および配線の抵抗による電圧降下に基づいて配線の接続不良の有無を容易かつ正確に判定することができる。

（５）検出部は、直流電源の電圧を検出し、検出した電圧に基づいて配線の接続不良の有無を検出してもよい。

この場合、配線の検査時に、閉回路に一定の電流が流れるので、定電流制御を行う直流電源には、配線の抵抗に依存する電圧が生じる。したがって、直流電源の電圧を検出することにより配線の接続不良の有無を容易かつ正確に判定することができる。

（６）検出部は、検出した電圧の値が予め定められた基準電圧の値よりも大きい場合に配線の接続不良があることを検出してもよい。

配線の接続不良がない場合には、定電流制御を行う直流電源の電圧は、負荷の抵抗値と電流値との積にほぼ等しくなる。一方、配線の接続不良がある場合には、配線の抵抗が増加するので、定電流制御を行う直流電源の電圧が上昇する。したがって、基準電圧の値を配線の接続不良がない場合の直流電源の電圧よりも大きく設定することにより、配線の接続不良を確実に検出することができる。

（７）配線は、アノード電極と直流電源の一方の電極とを接続する第１の配線および導電部材と直流電源の他方の電極とを接続する第２の配線を含み、スイッチおよび負荷は、第１の配線と第２の配線との間に直列に接続してもよい。

この場合、配線の検査時に、直流電源、第１の配線、スイッチ、負荷および第２の配線を含む閉回路が形成される。それにより、簡単な構成で第１および第２の配線に電流を流すことができる。

（８）めっき装置は、検出部により配線の接続不良があることが検出された場合に検出信号を出力する出力部をさらに備えてもよい。

この場合、配線の接続不良があることが検出された場合に検出信号が出力されるので、検出信号を用いて配線の接続不良があることを作業者に容易に知らせることができる。したがって、作業者は、配線の接続不良があることを迅速に把握することができる。

（９）めっき対象物は、長尺状基板であり、めっき装置は、長尺状基板をめっき槽内を通過するように搬送する搬送機構をさらに備え、導電部材は、搬送機構により搬送される長尺状基板に接触するように設けられる導電性ローラでもよい。

この場合、電解めっき時には、長尺状基板が導電性ローラに接触する状態で搬送機構により長尺状基板がめっき槽内を通過するように搬送される。配線の検査時には、めっき液およびめっき対象物を経由することなくアノード電極および導電性ローラをそれぞれ直流電源に接続する配線に電流が流される。それにより、配線の接続不良の検査を効率的に行うことができる。

（１０）第２の発明に係るめっき装置の配線検査方法は、めっき装置のめっき槽内に設けられるアノード電極およびめっき対象物に接触可能な導電部材に直流電源を電気的に接続する配線の接続不良を検査する配線検査方法であって、配線の検査時に、めっき液およびめっき対象物を経由せずに配線に電流を流すための閉回路を形成するステップと、閉回路により配線に電流が流れる状態で配線の接続不良の有無を検出するステップとを備えたものである。

そのめっき装置の配線検査方法においては、めっき液およびめっき対象物を経由せずに配線に電流を流すための閉回路が形成される。それにより、配線に電流が流れる状態で配線の接続不良の有無が検出される。

したがって、作業者が手作業で配線の接続不良を検査する必要がない。その結果、配線の接続不良の検査を効率的に行うことができる。また、めっき液およびめっき対象物を経由しない閉回路が形成されるので、その閉回路は、電解めっき時に電解めっきのための回路に影響を与えることがない。その結果、めっき対象物に安定的に電解めっきを行うことが可能となる。

本発明によれば、配線の接続不良の検査を効率的に行うことができる。また、めっき対象物に安定的に電解めっきを行うことが可能となる。

本発明の一実施の形態に係るめっき装置の模式図である。 図１のめっき装置の１つのめっき部の模式的斜視図である。 図１のめっき装置の１つのめっき部の電気系統の構成を示すブロック図である。 めっき装置の構成の他の例を示す模式図である。 図４のめっき装置における制御部の動作を示すフローチャートである。

以下、本発明の一実施の形態に係るめっき装置およびそのめっき装置の配線検査方法について図面を参照しながら説明する。

（１）めっき装置の全体構成
図１は、本発明の一実施の形態に係るめっき装置の模式図である。

図１に示すように、めっき装置１００は、複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３を含む。めっき部Ｍ１は、めっき槽１１、アノード電極３１、電源装置４１および給電ローラ５１ａ，５１ｂを備える。めっき部Ｍ２は、めっき槽１２、アノード電極３２、電源装置４２および給電ローラ５２ａ，５２ｂを備える。めっき部Ｍ３は、めっき槽１３、アノード電極３３、電源装置４３および給電ローラ５３ａ，５３ｂを備える。

電源装置４１の正極は、配線Ｌ１０を介してアノード電極３１に接続される。電源装置４１の負極は、配線Ｌ１０ａおよび配線Ｌ１を介して給電ローラ５１ａに接続されるとともに、配線Ｌ１０ｂおよび配線Ｌ２を介して給電ローラ５１ｂに接続される。

同様に、電源装置４２の正極は、配線Ｌ２０を介してアノード電極３２に接続される。電源装置４２の負極は、配線Ｌ２０ａおよび配線Ｌ２を介して給電ローラ５２ａに接続されるとともに、配線Ｌ２０ｂおよび配線Ｌ３を介して給電ローラ５２ｂに接続される。

また、電源装置４３の正極は、配線Ｌ３０を介してアノード電極３３に接続される。電源装置４３の負極は、配線Ｌ３０ａおよび配線Ｌ３を介して給電ローラ５３ａに接続されるとともに、配線Ｌ３０ｂおよび配線Ｌ４を介して給電ローラ５３ｂに接続される。

給電ローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂと配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４との接続部分には、ロータリコネクタがそれぞれ設けられる。

給電ローラ５１ａのロータリコネクタとアノード電極３１との間にリレー（電磁開閉器）６１ａおよび抵抗７１ａが直列に接続される。給電ローラ５１ｂのロータリコネクタとアノード電極３１との間にリレー６１ｂおよび抵抗７１ｂが直列に接続される。リレー６１ａがオンすると、電源装置４１、配線Ｌ１０、抵抗７１ａ、リレー６１ａおよび配線Ｌ１，Ｌ１０ａにより構成される閉回路Ｃ１ａが形成される。リレー６１ｂがオンすると、電源装置４１、配線Ｌ１０、抵抗７１ｂ、リレー６１ｂおよび配線Ｌ２，Ｌ１０ｂにより構成される閉回路Ｃ１ｂが形成される。

同様に、給電ローラ５２ａのロータリコネクタとアノード電極３２との間にリレー６２ａおよび抵抗７２ａが直列に接続される。給電ローラ５２ｂのロータリコネクタとアノード電極３２との間にリレー６２ｂおよび抵抗７２ｂが直列に接続される。リレー６２ａがオンすると、電源装置４２、配線Ｌ２０、抵抗７２ａ、リレー６２ａおよび配線Ｌ２，Ｌ２０ａにより構成される閉回路Ｃ２ａが形成される。リレー６２ｂがオンすると、電源装置４２、配線Ｌ２０、抵抗７２ｂ、リレー６２ｂおよび配線Ｌ３，Ｌ２０ｂにより構成される閉回路Ｃ２ｂが形成される。

また、給電ローラ５３ａのロータリコネクタとアノード電極３３との間にリレー６３ａおよび抵抗７３ａが直列に接続される。給電ローラ５３ｂのロータリコネクタとアノード電極３３との間にリレー６３ｂおよび抵抗７３ｂが直列に接続される。リレー６３ａがオンすると、電源装置４３、配線Ｌ３０、抵抗７３ａ、リレー６３ａおよび配線Ｌ３，Ｌ３０ａにより構成される閉回路Ｃ３ａが形成される。リレー６３ｂがオンすると、電源装置４３、配線Ｌ３０、抵抗７３ｂ、リレー６３ｂおよび配線Ｌ４，Ｌ３０ｂにより構成される閉回路Ｃ３ｂが形成される。

本実施の形態では、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂおよび抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂにより検査用回路が構成される。

（２）めっき装置の詳細
図２は図１のめっき装置１００の１つのめっき部の模式的斜視図である。図２には、図１のめっき部Ｍ１が示される。なお、図２では、図１のリレー６１ａ，６１ｂおよび抵抗７１ａ，７１ｂの図示が省略されている。

図２に示すように、めっき部Ｍ１は、箱型のめっき槽１１を備える。めっき槽１１は、底面部および４つの側面部を有する。めっき槽１１の互いに対向する２つの側面部には、上下方向に延びる長尺状の開口２１，２２がそれぞれ設けられる。

一方の開口２１を閉塞するように、上下方向に延びる一対の搬送ローラ２３ａ，２３ｂが回転可能に設けられ、他方の開口２２を閉塞するように、上下方向に延びる一対の搬送ローラ２３ｃ，２３ｄが回転可能に設けられる。この場合、搬送ローラ２３ａ〜２３ｄにより、２つの開口２１，２２が液密に封止される。

めっき槽１１内には、例えば硫酸銅を含むめっき液が収容される。なお、めっき液中の銅イオンが不足する場合、めっき液に粉末状の酸化銅がさらに添加されてもよい。また、めっき槽１１の下部に、めっき槽１１から漏出するめっき液を受ける収納槽（図示せず）が配置されてもよい。その場合、収納槽に溜まっためっき液はポンプを用いてめっき槽１１内に戻される。

一対の搬送ローラ２３ａ，２３ｂおよび一対の搬送ローラ２３ｃ，２３ｄにより長尺状基板１０が挟持される。そして、搬送ローラ２３ａ〜２３ｄおよび給電ローラ５１ａ，５１ｂが回転することにより、長尺状基板１０がめっき槽１１内を通過するように矢印ＭＤで示される方向（以下、搬送方向と呼ぶ）に搬送される。それにより、長尺状基板１０が連続的にめっき槽１１内のめっき液に浸漬される。

長尺状基板１０の搬送方向における搬送ローラ２３ａ，２３ｂよりも上流側の位置に、給電ローラ５１ａが上下方向の軸周りに回転可能に設けられる。また、長尺状基板１０の搬送方向における搬送ローラ２３ｃ，２３ｄよりも下流側の位置に、給電ローラ５１ｂが上下方向の軸周りに回転可能に設けられる。

給電ローラ５１ａ，５１ｂは、長尺状基板１０の一面に接触しつつ回転する。長尺状基板１０の一面には、電解めっきを行うべきめっき領域が設けられる。給電ローラ５１ａ，５１ｂが長尺状基板１０の一面に接触することにより、給電ローラ５１ａ，５１ｂが長尺状基板１０のめっき領域とそれぞれ電気的に接続される。また、給電ローラ５１ａは、配線Ｌ１，Ｌ１０ａを介して電源装置４１の負極に接続される。給電ローラ５１ｂは、配線Ｌ２，Ｌ１０ｂを介して電源装置４１の負極に接続される。電源装置４１は、交流電源（図示せず）に接続される。

めっき槽１１内には、長尺状基板１０に沿ってアノード電極３１が設けられる。この場合、アノード電極３１は、長尺状基板１０の一面（めっき領域が設けられた面）に対向しかつ近接するように配置される。アノード電極３１としては、例えば酸化イリジウムにより被覆されたチタンが用いられる。アノード電極３１は、配線Ｌ１０を介して電源装置４１の正極に接続される。

給電ローラ５１ａ，５１ｂに電気的に接続された長尺状基板１０のめっき領域が陰極（カソード）となるように、電源装置４１によりアノード電極３１と給電ローラ５１ａ，５１ｂとの間に電圧が印加される。それにより、長尺状基板１０のめっき領域に電解めっきが施される。この場合、電源装置４１は、長尺状基板１０のめっき領域に一定の電流が流れるように定電流制御を行う。

（３）めっき装置の動作
図３は図１のめっき装置１００の１つのめっき部Ｍ１の電気系統の構成を示すブロック図である。なお、図１のめっき装置１００の他のめっき部Ｍ２，Ｍ３の構成は、図３のめっき部Ｍ１の構成と同様である。

図３に示すように、電源装置４１は、整流器４１１、電圧検出回路４１２および制御部４１３を含む。

整流器４１１は、交流電源からの交流電流を直流電流に整流し、アノード電極３１と給電ローラ５１ａ，５１ｂとの間に直流電圧を印加する。この整流器４１１は、配線Ｌ１０に流れる電流を一定に制御する定電流制御機能を有する。

電解めっき時には、整流器４１１は、配線Ｌ１０、アノード電極３１、電解槽１１内のめっき液、長尺状基板１０、給電ローラ５１ａ，５１ｂ、配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ１０ａ，Ｌ１０ｂに一定の直流電流を供給する。

電圧検出回路４１２は、整流器４１１の正極と負極との間の電圧を検出し、検出値（以下、測定電圧値と呼ぶ）を制御部４１３に出力する。制御部４１３は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリ、またはマイクロコンピュータ等からなり、作業者の操作に基づくタイミングまたは予め設定されたタイミングでリレー６１ａ，６１ｂをオンおよびオフにする。また、制御部４１３は、電圧検出回路４１２から出力される電圧値に基づいて配線の接続不良の有無を判定する。

ここで、接続不良とは、配線が断線している状態に限らず、配線が部分的に断線していることにより配線の抵抗が増加している状態および配線の接続部分の接触不良により配線の抵抗が増加している状態を含む。

配線検査時には、制御部４１３が最初にリレー６１ａをオンにする。それにより、電源装置４１の整流器４１１、配線Ｌ１０、抵抗７１ａ、リレー６１ａおよび配線Ｌ１，Ｌ１０ａにより構成される閉回路Ｃ１ａ（図１参照）が形成される。その結果、閉回路Ｃ１ａに電流が流れる。整流器４１１は、閉回路Ｃ１ａに流れる電流が一定になるように定電流制御を行う。

制御部４１３は、電圧検出回路４１２から出力される測定電圧値を予め設定された基準電圧値と比較する。基準電圧値は、抵抗７１ａの抵抗値と整流器４１１により供給される電流の値との積に設定される。

ここでは、図１の抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂは抵抗値を有するものとする。例えば、抵抗７１ａの抵抗値が０．５Ω、整流器４１１により供給される電流の値が０．５Ａである場合には、基準電圧値は０．２５Ｖとなる。

配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａに接続不良がない場合には、測定電圧値が基準電圧値とほぼ等しくなる。一方、配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａのいずれかの部分に接続不良がある場合には、配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａのいずれかの部分の抵抗値が増加するため、測定電圧値は基準電圧値よりも大きくなる。例えば、配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａのいずれかの部分が部分的に断線している場合には、測定電圧値は基準電圧値よりも数１０％以上高くなり、配線Ｌ１０，Ｌ１，Ｌ１０ａのいずれかの部分が断線している場合には、測定電圧値は検出上限まで上昇する。

制御部４１３は、測定電圧値が基準電圧値よりも高い場合に、配線の接続不良があることを示す異常検出信号ＥＳを出力する。その後、制御部４１３は、リレー６１ａをオフにする。

次に、制御部４１３はリレー６１ｂをオンにする。それにより、電源装置４１の整流器４１１、配線Ｌ１０、抵抗７１ｂ、リレー６１ｂおよび配線Ｌ２，Ｌ１０ｂにより構成される閉回路Ｃ１ｂ（図１参照）が形成される。その結果、閉回路Ｃ１ｂに電流が流れる。整流器４１１は、閉回路Ｃ１ｂに流れる電流が一定になるように定電流制御を行う。

制御部４１３は、電圧検出回路４１２から出力される測定電圧値を基準電圧値と比較し、測定電圧値が基準電圧値よりも高い場合に、異常検出信号ＥＳを出力する。その後、制御部４１３は、リレー６１ｂをオフにする。

制御部４１３から出力される異常検出信号ＥＳは、パーソナルコンピュータ等の外部機器に与えられる。外部機器では、異常検出信号ＥＳに基づいてめっき部Ｍ１の配線に接続不良があることおよび接続不良があるめっき部Ｍ１を示す情報をディスプレイに表示し、または配線に接続不良があることを示す警報音を発生する。

図１の他のめっき部Ｍ２，Ｍ３においても、同様の配線検査が行われる。この場合、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂが順にオンにされることにより、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３において順に配線検査が行われてもよい。あるいは、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のリレー６１ａ，６２ａ，６３ａが同時にオンされた後、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のリレー６１ｂ，６２ｂ，６３ｂが同時にオンされてもよい。

なお、図１の抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂの抵抗値がそれぞれ異なってもよい。その場合には、抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂにそれぞれ対応する基準電圧値が設定される。

また、抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂの抵抗値および配線検査時に整流器４１１により供給される電流の値は、任意に設定することができる。この場合、抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂの抵抗値と整流器４１１により供給される電流の値との積が整流器４１１の定格電圧を超えないように設定する。

特に、配線の断線の有無の検出を目的とする場合には、整流器４１１により供給される電流の値を０．１Ａ〜０．５Ａ程度と小さく設定することが好ましい。

さらに、基準電圧値を抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂの抵抗値と整流器４１１により供給される電流の値との積よりも所定の余裕度分大きな値に設定してもよい。それにより、電圧の検出誤差に起因する接続不良の誤判定が防止される。

なお、実際には整流器４１１のオンオフを切り替えるためのスイッチが設けられる。配線検査時には、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂのオンオフが切り替えられる毎に、整流器４１１のオンオフが切り替えられてもよく、あるいは、整流器４１１がオンした状態で、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂのオンオフのみが切り替えられてもよい。

（４）実施の形態の効果
本実施の形態に係るめっき装置１００においては、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂをオンにすることにより、複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３に閉回路Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ａ，Ｃ３ｂが形成され、電圧検出回路４１２から出力される測定電圧値に基づいて配線の接続不良の有無が検査される。それにより、作業者が手作業により配線の接続不良を検査する必要がない。したがって、配線の接続不良の検査を効率的に行うことが可能となる。

また、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のいずれかにおいて配線の接続不良が検出された場合に制御部４１３から異常検出信号ＥＳが出力される。この場合、異常検出信号ＥＳに基づいて外部機器により配線の接続不良があることおよび配線の接続不良があるめっき部を示す情報を表示することができる。それにより、作業者は、配線の接続不良の箇所を迅速に把握することができる。また、異常検出信号ＥＳに基づいて外部機器により配線の接続不良があることを示す警報音を出力することができる。それにより、作業者は、配線の接続不良があることを迅速に把握することができる。

さらに、配線検査が終了すると、すべてのリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂはオフしている。すなわち、閉回路Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ａ，Ｃ３ｂは形成されない。したがって、配線検査のための抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂおよびリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂは、電解めっきのための回路から独立している。そのため、配線検査のための回路が電解めっきに影響を与えることがない。例えば配線検査のための回路により電解めっき時の電流が減少することがない。それにより、長尺状基板１０に安定的に電解めっきを行うことができる。

（５）めっき装置の構成の他の例
図４はめっき装置の構成の他の例を示す模式図である。図４のめっき装置１００においては、複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３は、それぞれ電源装置４１０，４２０，４３０を備える。電源装置４１０，４２０，４３０は、図３の制御部４１３を含まない。複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３に共通に制御部３００が設けられる。

制御部３００は、めっき部Ｍ１のリレー６１ａ，６１ｂ、めっき部Ｍ２のリレー６２ａ，６２ｂおよびめっき部Ｍ３のリレー６３ａ，６３ｂのオンおよびオフを制御する。また、制御部３００は、複数の電源装置４１０，４２０，４３０の電圧検出回路４１２（図３参照）から出力される電圧値に基づいて配線の接続不良の有無を判定する。

本例のめっき装置１００においては、共通の制御部３００により複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３における配線検査を自動的に実行することができる。

図５は図４のめっき装置１００における制御部３００の動作を示すフローチャートである。

なお、以下の説明においては、複数のリレーを順に第１〜第ｎ_ｍａｘリレーと称する。ｎ_ｍａｘは複数のリレーの数に等しい。図４の例では、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂを順に第１〜第６リレーと称する。また、図５において、変数ｎは１以上ｎ_ｍａｘ以下の自然数である。

初期状態では、複数のリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂはオフしている。

図５に示すように、まず、制御部３００は、変数ｎを１に設定する（ステップＳ１）。次に、制御部３００は、第ｎリレーをオンにする（ステップＳ２）。最初は、制御部３００は、第１リレー（図４のリレー６１ａ）をオンにする。それにより、閉回路Ｃ１ａが形成される。このとき、電源装置４１０の整流器４１１は、閉回路Ｃ１ａに一定の電流が流れるように定電流制御を行う。

次いで、制御部３００は、電源装置の電圧検出回路から出力される測定電圧値が基準電圧値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ３）。最初は、制御部３００は、めっき部Ｍ１の電源装置４１０の電圧検出回路４１２から出力される測定電圧値が基準電圧値よりも大きいか否かを判定する。

測定電圧値が基準電圧値よりも大きい場合には、制御部３００は、異常検出信号ＥＳを出力する（ステップＳ４）。この場合、異常検出信号ＥＳは、配線の接続不良があることおよび配線の接続不良があるめっき部を示す情報を含んでもよい。その後、制御部３００は、ステップＳ５の処理に進む。

ステップＳ３で測定電圧値が基準電圧値以下の場合には、制御部３００は、ステップＳ５の処理に進む。

制御部３００は、第ｎリレーをオフにする（ステップＳ５）。最初は、制御部３００は、第１リレー（図４のリレー６１ａ）をオフにする。

そして、制御部３００は、変数ｎがｎ_ｍａｘに等しいか否かを判定する（ステップＳ６）。変数ｎがｎ_ｍａｘに等しくない場合には、制御部３００は、変数ｎに１を加算し（ステップＳ７）、ステップＳ２の処理に戻る。最初は、変数ｎは１に設定されているので、制御部３００は、変数ｎを２に設定し、ステップＳ２の処理に戻る。

制御部３００は、変数ｎがｎ_ｍａｘに等しくなるまで、ステップＳ２〜Ｓ７の処理を繰り返す。それにより、複数のリレーが順にオンおよびオフする。図４の例では、複数のリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂが順にオンし、めっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３に順に閉回路Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ａ，Ｃ３ｂが形成される。したがって、複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３において順に配線検査が自動的に行われる。その結果、配線検査時の作業者の作業がさらに軽減される。

（６）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態に係るめっき装置１００は、複数のめっき部Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３を備えるが、めっき装置１００が１つのめっき部を備えてもよい。

（ｂ）上記実施の形態に係るめっき装置１００では、各電源装置４１，４２，４３および各電源装置４１０，４２０，４３０がそれぞれ電圧検出回路４１２を含むが、複数の電源装置４１，４２，４３または複数の電源装置４１０，４２０，４３０に共通の電圧検出回路が用いられてもよい。この場合には、共通の電圧検出回路がスイッチ等により構成される切替回路を用いて複数の電源装置４１，４２，４３または複数の電源装置４１０，４２０，４３０に順次接続される。

（ｃ）上記実施の形態に係るめっき装置１００におけるリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂの代わりに、トランジスタ等のスイッチング素子または機械的スイッチを用いてもよい。

（ｄ）上記実施の形態に係るめっき装置１００における抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂの代わりにトランジスタまたはインダクタ等の他の負荷素子を用いてもよい。

（７）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。

上記実施の形態においては、めっき槽１１，１２，１３がめっき槽の例であり、アノード電極３１，３２，３３がアノード電極の例であり、給電ローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂが導電部材または導電性ローラの例であり、電源装置４１，４２，４３，４１０，４２０，４３０の整流器４１１が直流電源の例である。

また、配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ１０，Ｌ２０，Ｌ３０，Ｌ１０ａ，Ｌ１０ｂ，Ｌ２０ａ，Ｌ２０ｂ，Ｌ３０ａ，Ｌ３０ｂが配線の例であり、抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂおよびリレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂが検査用回路の例であり、閉回路Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ａ，Ｃ３ｂが閉回路の例であり、電圧検出回路４１２が検出部の例である。

また、抵抗７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂが負荷の例であり、リレー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂがスイッチの例であり、配線Ｌ１０，Ｌ２０，Ｌ３０が第１の配線の例であり、配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ１０ａ，Ｌ１０ｂ，Ｌ２０ａ，Ｌ２０ｂ，Ｌ３０ａ，Ｌ３０ｂが第２の配線の例であり、制御部４１３，３００が出力部の例であり、異常検出信号ＥＳが検出信号の例であり、長尺状基板１０がめっき対象物または長尺状基板の例であり、搬送ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄが搬送機構の例である。

請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。

本発明は、種々のめっき装置に有効に利用できる。

１０ 長尺状基板
１１，１２，１３ めっき槽
２１，２２ 開口
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ 搬送ローラ
３１，３２，３３ アノード電極
４１，４２，４３，４１０，４２０，４３０ 電源装置
１００ めっき装置
３００，４１３ 制御部
４１１ 整流器
４１２ 電圧検出回路
５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ 給電ローラ
６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂ リレー
７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂ 抵抗
Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ａ，Ｃ３ｂ 閉回路
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ１０，Ｌ２０，Ｌ３０，Ｌ１０ａ，Ｌ１０ｂ，Ｌ２０ａ，Ｌ２０ｂ，Ｌ３０ａ，Ｌ３０ｂ 配線
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ めっき部

Claims (10)

1. めっき対象物に電解めっきを行うめっき装置であって、
   めっき液を収容するためのめっき槽と、
   前記めっき槽内に設けられるアノード電極と、
   前記めっき対象物に接触可能な導電部材と、
   直流電源と、
   前記直流電源を前記アノード電極および前記導電部材に電気的に接続する配線と、
   前記配線の検査時に、前記めっき液および前記めっき対象物を経由せずに前記配線に電流を流すための閉回路を形成するように構成された検査用回路と、
   前記閉回路により前記配線に電流が流れる状態で配線の接続不良の有無を検出する検出部とを備えたことを特徴とするめっき装置。
2. 前記閉回路は、前記直流電源を含むように形成されることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。
3. 前記検査用回路は、負荷およびスイッチを含み、前記負荷および前記スイッチは、前記スイッチがオンされることにより前記負荷および前記スイッチを含む前記閉回路が形成されるように接続されることを特徴とする請求項２記載のめっき装置。
4. 前記直流電源は、前記配線の検査時に前記閉回路に定電流が流れるように定電流制御を行う機能を有することを特徴とする請求項３記載のめっき装置。
5. 前記検出部は、前記直流電源の電圧を検出し、検出した電圧に基づいて配線の接続不良の有無を検出することを特徴とする請求項４記載のめっき装置。
6. 前記検出部は、前記検出した電圧の値が予め定められた基準電圧の値よりも大きい場合に配線の接続不良があることを検出することを特徴とする請求項５記載のめっき装置。
7. 前記配線は、前記アノード電極と前記直流電源の一方の電極とを接続する第１の配線および前記導電部材と前記直流電源の他方の電極とを接続する第２の配線を含み、
   前記スイッチおよび前記負荷は、前記第１の配線と前記第２の配線との間に直列に接続されたことを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のめっき装置。
8. 前記検出部により配線の接続不良があることが検出された場合に検出信号を出力する出力部をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のめっき装置。
9. 前記めっき対象物は、長尺状基板であり、
   前記長尺状基板を前記めっき槽内を通過するように搬送する搬送機構をさらに備え、
   前記導電部材は、前記搬送機構により搬送される長尺状基板に接触するように設けられる導電性ローラであることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のめっき装置。
10. めっき装置のめっき槽内に設けられるアノード電極およびめっき対象物に接触可能な導電部材に直流電源を電気的に接続する配線の接続不良を検査する配線検査方法であって、
    前記配線の検査時に、めっき液および前記めっき対象物を経由せずに前記配線に電流を流すための閉回路を形成するステップと、
    前記閉回路により前記配線に電流が流れる状態で前記配線の接続不良の有無を検出するステップとを備えたことを特徴とするめっき装置の配線検査方法。

Images