JP2002004086A

JP2002004086A - 電析装置及び電析方法

Info

Publication number: JP2002004086A
Application number: JP2000185597A
Authority: JP
Inventors: Jo Toyama; 上遠山; Yuichi Sonoda; 雄一園田; Yusuke Miyamoto; 祐介宮本; Kozo Arao; 浩三荒尾
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2000-06-21
Filing date: 2000-06-21
Publication date: 2002-01-09

Abstract

(57)【要約】【課題】裏面電極と導電性基板との間の短絡による通
電不良を検知して、通電不良を防止することができ、ま
た裏面電極に付着する酸化物の膜剥がれによる打痕発生
を早期に発見して、打痕発生を防止することができる電
析装置及び電析方法を提供する。【解決手段】導電性基板１００上に酸化物を電析する
電析装置において、電析浴１１１中に少なくとも１つ以
上の対向電極１０９と、導電性基板１００を挟んで対向
電極１０９と反対側に少なくとも１つ以上の裏面電極１
１０とが設けられ、裏面電極１１０の表面に付着する酸
化物の量を検知する手段および／または観察するための
手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電析（電解めっ
き、電解析出）にて酸化物、とりわけ酸化亜鉛を長尺基
板上に堆積する電析装置及び電析方法の改良に関し、詳
しくは生産性に優れ、かつ安定した酸化物の電析を可能
ならしめる電析装置及び電析方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空プロセスに代わり、水溶液の電気化
学反応を利用して酸化物を堆積する方法が、例えば特開
平１０−１９５６９３号公報の「酸化亜鉛薄膜の製造方
法、それを用いた半導体素子基板及び光起電力素子」に
開示されている。ここには長尺基板上に電析する方法も
開示されている。

【０００３】長尺基板はロール基板、ウェブ、フープ
材、コイル、テープ、リール材などさまざまな呼称を持
つが、本発明では長尺基板と呼び、極めて細長い長方形
をした薄板で、長手方向に巻き上げてロールの形に保持
できるものを指す。長尺基板は、連続的に成膜を行える
ため、稼働率やランニングコストを安くできるなど、工
業的には極めて有利なものである。

【０００４】本発明者等は、実際にこの概念に基づき、
ステンレス鋼（ＳＵＳ）を始めとするコイル状に巻かれ
た長尺基板上に酸化亜鉛を形成することを試みた。

【０００５】実際に製作した長尺基板の電析装置を図２
に示す。更に、その分割拡大図を図３から図８に示す。
図２及び図３〜図８では、各部の名称及び番号は同一で
ある。

【０００６】図２に示す装置は大きく分けて、コイル状
に巻かれた長尺基板を送り出す巻出装置２０１２、電析
膜を堆積または処理せしめる電析槽２０６６、電析槽に
加熱された電析浴を循環供給する循環槽２１２０、電析
槽の電析浴を排するに際し一旦浴を貯める排液槽２１７
２、電析槽内の電析浴内の粉を取り除き浴を清浄化する
フィルター循環系（電析槽フィルター循環フィルター２
１６１に繋がる配管系）、電析槽に浴攪拌用の圧搾空気
を送る配管系（圧搾空気導入口２１８２から始まる配管
系）、電析膜を堆積された長尺基板を純水のシャワーで
洗浄する純水シャワー槽２３６０、第一の純水リンス洗
浄を行う第一温水槽２３６１、第二の純水リンス洗浄を
行う第二温水槽２３６２、これら温水槽に必要な純水の
温水を供給するための純水加熱槽２３３９、洗浄された
長尺基板を乾燥させる乾燥部２３６３、膜堆積の完了し
た長尺基板を再びコイル状に巻き上げる巻取装置２２９
６、電析浴や純水の加熱段階あるいは乾燥段階で発生す
る水蒸気の排気系（電析水洗系排気ダクト２０２０また
は乾燥系排気ダクト２３７０で構成される排気系）とか
らなっている。

【０００７】図３に示すように、長尺基板２００６は図
中左から右へ、巻出装置２０１２、電析槽２０６６、純
水シャワー槽２３６０、第一温水槽２３６１、第二温水
槽２３６２、乾燥部２３６３、巻取装置２２９６の順に
流れていき、所定の電析膜が堆積される。

【０００８】巻出装置２０１２は、巻出装置長尺基板ボ
ビン２００１に巻かれたコイル状の長尺基板２００６が
セットされ、巻出装置繰出し調整ローラー２００３、巻
出装置方向転換ローラー２００４、巻出装置排出ローラ
ー２００５を順に経て長尺基板２００６を送出してい
く。コイル状の長尺基板には、殊に下引き層が予め堆積
されている場合には、基板あるいは層保護のために、イ
ンターリーフ（合紙）が巻き込まれた形で供給されてく
る。このため、インターリーフが巻き込まれている場合
には、長尺基板の繰出しと共に巻出装置インターリーフ
巻取りボビン２００２にインターリーフ２００７を巻き
取る。長尺基板２００６の搬送方向は矢印２０１０で示
され、巻出装置長尺基板ボビン２００１の回転方向は矢
印２００９で示され、巻出装置インターリーフ巻取りボ
ビン２００２の巻取り方向は矢印２００８で示される。
図中、巻出装置長尺基板ボビン２００１から排出される
長尺基板と、巻出装置インターリーフ巻取りボビン２０
０２に巻き上げられるインターリーフは、それぞれ搬送
開始時の位置と搬送終了時の位置で干渉が起きていない
ことを示している。巻出装置全体は、防塵のため、ヘパ
フィルターとダウンフローを用いた巻出し装置クリーン
ブース２０１１で覆われた構造となっている。

【０００９】電析槽２０６６は、図４に示すように、電
析浴に対して腐食せず電析浴を保温できる電析浴保持槽
２０６５中に、温度制御された電析浴が電析浴浴面２０
２５となるように保持されている。この浴面の位置は、
電析浴保持槽２０６５内に設けられた仕切板によるオー
バーフローで実現されている。不図示の仕切板は電析浴
を電析浴保持槽２０６５全体で奥側に向かって落とすよ
うに設置されており、樋構造にて電析槽オーバーフロー
戻り口２０２４に集められた溢れた電析浴は、電析槽オ
ーバーフロー戻り路２１１７を経て循環槽２１２０へ至
り、ここで加熱されて、再び電析槽上流循環噴流管２０
６３と電析槽下流循環噴流管２０６４とから電析浴保持
槽２０６５に還流され、オーバーフローを促すに足るだ
けの電析浴の流入を形成する。

【００１０】長尺基板２００６は、電析槽入口折返しロ
ーラー２０１３、電析槽進入ローラー２０１４、電析槽
退出ローラー２０１５を経て、電析槽２０６６内を通過
する。電析槽進入ローラー２０１４と電析槽退出ローラ
ー２０１５との間では、少なくも成膜面である長尺基板
の下側面（本明細書でしばしば「表面（おもてめん）」
と呼ぶ）は、電析浴の中にあって、２８個のアノード２
０２６〜２０５３と対向している。実際の電析は、長尺
基板に負、アノードに正の電位を与えて、電析浴中で両
者の間に、電気化学反応を伴う電析電流を流すことによ
って行う。

【００１１】電析槽２０６６におけるアノードは、４個
ずつが７つのアノード載置台２０５４〜２０６０に載置
されている。アノード載置台は絶縁板を介してそれぞれ
のアノードを置く構造となっており、独立の電源から独
自の電位を印加されるようになっている。また、アノー
ド載置台２０５４〜２０６０は電析浴中で長尺基板とア
ノード２０２６〜２０５３との間隔を保持する機能も担
っている。このため通常、アノード載置台２０５４〜２
０６０は、予め決められた間隔を保持するべく、高さ調
整が出来るように設計製作されている。

【００１２】電析槽退出ローラー２０１５の直前に設け
られた電析槽裏面電極２０６１は、浴中で長尺基板の成
膜面と反対側の面（本明細書でしばしば「裏面（うらめ
ん）」と呼ぶ）に堆積された膜を電気化学的に除去する
ためのもので、長尺基板に対して電析槽裏面電極２０６
１を負側の電位とすることで、これを実現する。電析槽
裏面電極２０６１が実際に効力を持つことは、電界の回
り込みによって長尺基板の成膜面と反対側の裏面に電気
化学的に付着する、長尺基板の成膜面に形成されるのと
同じ材質の膜が、目視下でみるみる除去されていくこと
で確認される。

【００１３】電析槽退出ローラー２０１５を通過し電析
浴から出た長尺基板には、電析槽出口シャワー２２９７
から電析浴をかけられて、成膜面が乾燥してムラを生じ
るのを防止している。また電析槽２１１６と純水シャワ
ー槽２３６０との渡り部分に設けられた純水シャワー槽
折返し進入ローラーカバー２３１８も、電析浴から発生
する蒸気を閉じ込め、長尺基板の成膜面が乾燥するのを
防止している。更に、純水シャワー槽入口表面純水シャ
ワー２２９９や純水シャワー槽入口裏面純水シャワー２
３００も、電析浴を洗浄して落とすだけでなく、同様の
働きを機能する。

【００１４】循環槽２１２０は、電析槽２０６６中の電
析浴の加熱保温ならびに噴流循環を担うものである。前
述のごとく、電析槽２０６６でオーバーフローした電析
浴は、電析槽オーバーフロー戻り口２０２４に集めら
れ、電析槽オーバーフロー戻り路２１１７を通り、電析
槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２１１８を経て、
循環槽加熱貯槽２１２１へと至る。

【００１５】循環槽加熱貯槽２１２１内には、８本の第
一循環槽ヒーター２１２２〜２１２９が設けられてお
り、室温の電析浴を初期加熱する際や、循環によって浴
温の低下する電析浴を再加熱して、所定の温度に電析浴
を保持する際に機能させられる。

【００１６】循環槽加熱貯槽２１２１には２つの循環系
が接続されている。すなわち、循環槽電析浴上流循環元
バルブ２１３０、循環槽電析浴上流循環ポンプ２１３
２、循環槽電析浴上流循環バルブ２１３５、循環槽電析
浴上流循環フレキシブルパイプ２１３６、循環槽電析浴
上流循環フランジ絶縁配管２１３７を経て、電析槽上流
循環噴流管２０６３から電析浴保持槽２０６５に戻る電
析槽上流循環還流系と、循環槽電析浴下流循環元バルブ
２１３９、循環槽電析浴下流循環ポンプ２１４２、循環
槽電析浴下流循環バルブ２１４５、循環槽電析浴下流循
環フレキシブルパイプ２１４８、循環槽電析浴下流循環
フランジ絶縁配管２１４９を経て、電析槽下流循環噴流
管２０６４から電析浴保持槽２０６５に戻る電析槽下流
循環還流系とである。電析槽上流循環噴流管２０６３と
電析槽下流循環噴流管２０６４とから電析槽２０６６に
戻る電析浴は、電析浴保持槽２０６５内での電析浴の交
換を効果ならしめるよう、電析浴保持槽２０６５下部に
設けられた電析槽上流循環噴流管２０６３と電析槽下流
循環噴流管２０６４から、それぞれの噴流管に穿かれた
オリフィスを経て噴流として還流される。それぞれの循
環還流系での還流量は主に、循環槽電析浴上流循環バル
ブ２１３５または循環槽電析浴下流循環バルブ２１４５
の開閉度によって制御され、更に細かい調節は、循環槽
電析浴上流循環ポンプ２１３２または循環槽電析浴下流
循環ポンプ２１４２の出口と入口を短絡して接続したバ
イパス系に設けられた循環槽電析浴上流循環ポンプバイ
パスバルブ２１３３または循環槽電析浴下流循環ポンプ
バイパスバルブ２１４１によって制御される。バイパス
系は、還流量を少なくした場合や、浴温が極めて沸点に
近い時、ポンプ内でのキャビテーションを防止する役目
も果たしている。浴液が沸騰気化して液体を送り込めな
くなるキャビテーションは、ポンプの寿命を著しく短く
してしまう。

【００１７】電析槽上流循環噴流管２０６３と電析槽下
流循環噴流管２０６４とにオリフィスを穿って噴流を形
成する場合、還流量は殆ど電析槽上流循環噴流管２０６
３と電析槽下流循環噴流管２０６４へ戻す浴液の圧力に
よって定まる。これを知るために循環槽電析浴上流循環
圧力ゲージ２１３４と循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ
２１４３が設けられていて、還流量のバランスはこれら
の圧力ゲージにて知ることが出来る。オリフィスから吹
き出す還流浴液量は正確にはベルヌーイの定理に従う
が、噴流管に穿ったオリフィスが数ミリ以下の径の時に
は、電析槽上流循環噴流管２０６３ないし電析槽下流循
環噴流管２０６４全体にわたって噴流量を実質的に一定
とすることができる。更に還流量が充分に大きい場合に
は、浴の交換が極めてスムーズに行われるので、電析槽
２０６６がかなり長くとも、浴の濃度の均一化や温度の
均一化が効果的に図れる。電析槽オーバーフロー戻り路
２１１７がこの充分な還流量を流しうる太さを持つべき
であることは当然である。

【００１８】それぞれの循環還流系に設けられた循環槽
電析浴上流循環フレキシブルパイプ２１３６と循環槽電
析浴下流循環フレキシブルパイプ２１４８は、配管系の
歪みを吸収するものであり、特に歪みに対して機械的強
度が不足しがちなフランジ絶縁配管などを用いる場合に
は有効である。それぞれの循環還流系に設けられた循環
槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２１３７と循環槽電
析浴下流循環フランジ絶縁配管２１４９は、電析槽オー
バーフロー戻り路２１１７途中に設けられた電析槽オー
バーフロー戻り路絶縁フランジ２１１８と共に循環槽２
１２０と電析槽２０６６とを電気的に浮かせるものであ
る。これは、不要な電流経路の形成を絶つことが、迷走
電流を防止して電析電流を電気化学的な成膜反応に殆ど
用いることにつながる。

【００１９】一方の循環還流系には、直接循環槽加熱貯
槽２１２１へと戻る循環槽電析浴バイパス循環フレキシ
ブルパイプ２１４６及び循環槽電析浴バイパス循環バル
ブ２１４７からなるバイパス還流系が設けられており、
これは、電析槽に浴液を還流すること無く浴の循環を行
わしめたい場合、例えば室温から所定温度への昇温時な
どに用いるものである。また、循環槽からの一方の循環
還流系には、電析槽退出ローラー２０１５を通過し電析
浴から出た長尺基板に電析浴をかける電析槽出口シャワ
ー２０６７へと至る送液系が設けられており、電析槽出
口シャワーバルブ２１５０を介して電析槽出口シャワー
２０６７へとつながつている。電析槽出口シャワー２０
６７からの電析液噴霧量は、電析槽出口シャワーバルブ
２１５０の開閉度を調節することによって調整される。

【００２０】循環槽加熱貯槽２１２１は、実際には蓋が
設けられており、蒸気となって水が失われいくのを防止
する構造となっている。浴温が高い場合には、蓋の温度
も高くなるので、断熱材を貼るなどの考慮は作業の安全
面から必要である。

【００２１】電析槽電析浴の粉末除去のために、フィル
ター循環系が設けられている。電析槽に対するフィルタ
ー循環系は、電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパ
イプ２１５１、電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁
配管２１５２、電析槽フィルター循環元バルブ２１５
４、電析槽フィルター循環サクションフィルター２１５
６、電析槽フィルター循環ポンプ２１５７、電析槽フィ
ルター循環ポンプバイパスバルブ２１５８、電析槽フィ
ルター循環圧力スイッチ２１５９、電析槽フィルター循
環圧力ゲージ２１６０、電析槽フィルター循環フィルタ
ー２１６１、電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ
２１６４、電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２１
６５、電析槽フィルター循環バルブ２１６６、電析槽フ
ィルター循環系電析浴上流戻りバルブ２１６７、電析槽
フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ２１６８、電析
槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ２１６９から
なっている。この経路を電析浴は電析槽フィルター循環
方向２１５５、同２１６２、同２１６３の方向に流れて
いく。除去されるべき粉末は、機外から飛び込むことも
有るし、また電析反応に応じて、電極表面や浴中で形成
されることもある。除去されるべき粉末の最小の大きさ
は、電析槽フィルター循環フィルター２１６１のフィル
ターサイズで定まる。

【００２２】電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパ
イプ２１５１ならびに電析槽フィルター循環フレキシブ
ルパイプ２１６４は、配管の歪みを吸収して、配管接続
部からの液漏れを最小化すると共に、機械強度に劣る絶
縁配管を保護し、ポンプを始めとする循環系の構成部品
の配置自由度を上げるためのものである。電析槽フィル
ター循環戻りフランジ絶縁配管２１５２ならびに電析槽
フィルター循環フランジ絶縁配管２１６５は、大地アー
スからフロートとした電析浴保持槽２０６５が大地アー
スに落ちることを防止するため、電気的に浮かせること
を目的としたものである。電析槽フィルター循環サクシ
ョンフィルター２１５６はいわば「茶漉し」のような金
網であり、大きなごみを取り除き、後に続く第一電析槽
フィルター循環ポンプ２１５７や電析槽フィルター循環
フィルター２１６１を保護するためのものである。電析
槽フィルター循環フィルター２１６１はこの循環系の主
役であり、電析浴中に混入あるいは発生した粉体を除去
するためのものである。本循環系の電析浴の循環流量
は、主に電析槽フィルター循環バルブ２１６６で、また
従として電析槽フィルター循環ポンプ２１５７に並列に
設けられた電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ
２１５８で微調整をおこなう。これらのバルブ調整によ
る循環流量を把握するために、電析槽フィルター循環圧
力ゲージ２１６０が設けられている。電析槽フィルター
循環ポンプバイパスバルブ２１５８は流量の微調整の
他、フィルター循環流量全体を絞った時に、キャビテー
ションが発生して電析槽フィルター循環ポンプ２１５７
が破損するのを防止している。

【００２３】電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配
管２１５２を経て電析槽排水バルブ２１５３から排液槽
２１７２に電析浴が移送できる（図５参照）。この移送
は、電析浴交換や装置のメンテナンスや更には緊急時に
行われるものである。移送される排液としての電析浴は
重力落下にて排液槽排液貯槽２１４４に落とされる。メ
ンテナンスや緊急時の目的には、排液槽排液貯槽２１４
４が、電析槽２０６６および循環槽２１２０の浴容量の
合計を貯めるだけの容量をもつことが好ましい。排液槽
排液貯槽２１４４には排液槽排液貯槽上蓋２２７７が設
置されており、電析浴の重力落下移送を効果的ならしめ
るために、排液槽空気抜き２１７１及び排液槽空気抜き
バルブ２１７０が設けられている。一旦、排液槽排液貯
槽２１４４に落とされた電析浴は、温度が下がった後、
排液槽排水バルブ２１７３より建物側の廃水処理に、あ
るいは排液槽排液回収バルブ２１７４、排液回収元バル
ブ２１７５、排液回収サクションフィルター２１７６と
排液回収ポンプ２１７７を経て不図示のドラム缶に回収
され然るべき処分がとりおこなわれる。回収や処理に先
立って排液槽排液貯槽２１４４内で、水による希釈や薬
液による処理など行うことも可能である。

【００２４】電析浴を攪拌し電析成膜を均一化ならしめ
るために、電析浴保持槽２０６５底部に設置された電析
槽攪拌空気導入管２０６２に穿った複数のオリフィスか
ら空気バブルを噴出させるようになっている。空気は、
工場に供給される圧搾空気を圧搾空気導入口２１８２か
ら取り込み、電析浴攪拌用圧搾空気圧力スイッチ２１８
３を経て、電析槽圧搾空気導入方向２１８４に示される
方向で、順に電析槽圧搾空気元バルブ２１８５、電析槽
圧搾空気流量計２１８６、電析槽圧搾空気レギュレータ
ー２１８７、電析槽圧搾空気ミストセパレーター２１８
８、電析槽圧搾空気導入バルブ２１８９、電析槽圧搾空
気フレキシブルパイプ２１９０、電析槽圧搾空気絶縁配
管２１９１、そして電析槽圧搾空気上流側制御バルブ２
１９３または電析槽圧搾空気下流側制御バルブ２１９２
を通り電析槽攪拌空気導入管２０６２へと至る。

【００２５】電析槽２０６６には、予備の液体または気
体が導入できるように、予備導入系が設置されている。
電析槽予備導入口２２１３からの液体または気体は、電
析槽予備導入バルブ２２１４を介して、電析槽予備導入
バルブ２２１５、電析槽予備導入絶縁配管２２１６を経
て電析槽へ導入される。予備導入系で最も可能性の高い
ものは、浴の能力を長時間一定に保つための保持剤や補
充薬であるが、場合によっては、浴に溶かす気体であっ
たり、また粉末を除去する酸であったりする。

【００２６】洗浄は図６に示すように、純水シャワー槽
２３６０、第一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２の
３段で行われる。第二温水槽２３６２に加温された純水
が供給され、その排液が第一温水槽２３６１で用いら
れ、更にその排液が純水シャワー槽２３６０で用いられ
る構成となっている。このことにより、長尺基板は電析
槽２０６６での電析を終了した後、次第に純度の高い水
で洗われていく。

【００２７】第二温水槽２３６２は最も高純度の純水を
用いる。この純水は長尺基板が退出していく直前の第二
温水槽出口裏面純水シャワー２３０９、第二温水槽出口
表面純水シャワー２３１０へ供給される。

【００２８】供給すべき純水は、図７に示すように、水
洗系純水口２３３７から水洗系純水供給元バルブ２３３
８を経て一旦純水加熱槽２３３９に貯められ、純水加熱
槽純水加熱ヒーター２３４０〜２３４３で所定の温度に
暖められ、純水加熱槽純水送出バルブ２３４４、純水加
熱槽純水送出ポンプ２３４６、純水加熱槽圧力スイッチ
２３４７、純水加熱槽カートリッジ式フィルター２３４
９、純水加熱槽流量計２３５０を通り、一方は第二温水
槽出口裏面シャワーバルブ２３５１から第二温水槽出口
裏面純水シャワー２３０９へ、他方は第二温水槽出口表
面シャワーバルブ２３５２から第二温水槽出口純水シャ
ワー２３１０へと至る。加温は洗浄効果を向上させるた
めである。シャワーヘ供給されて第二温水槽温水保持槽
２３１７へ溜まった純水は純水リンス浴を形成し、ここ
で長尺基板は静水での洗浄が行われる。純水の温度が下
がらないように、第二温水槽には第二温水槽温水保温ヒ
ーター２３０７が設けられている。

【００２９】第一温水槽２３６１へは、第二温水槽温水
保持槽２３１７を溢れた純水が、第二温水槽２３６２か
ら温水槽間連結管２３２２を介して供給される。第二温
水槽２３６２同様、第一温水槽温水保温ヒーター２３０
４が設置されており純水の温度を保持するようになって
いる。更に第一温水槽２３６１には超音波源２３０６が
設置されており、積極的に長尺基板表面の汚れを第一温
水槽ローラー２２８２と第二温水槽折返し進入ローラー
２２８３の間で除去するようになっている。

【００３０】第一温水槽温水保持槽２３１６からの純水
は、図７に示すように、純水シャワー槽純水シャワー供
給元バルブ２３２３に続いて、純水シャワー槽純水シャ
ワー供給ポンプ２３２５、純水シャワー槽純水シャワー
供給圧力スイッチ２３２６、純水シャワー槽純水シャワ
ー供給カートリッジ式フィルター２３２８、純水シャワ
ー槽純水シャワー供給流量計２３２９を経て、純水シャ
ワー表面純水シャワーバルブ２３３０から純水シャワー
槽入口表面純水シャワー２２９９へ、純水シャワー槽入
口裏面純水シャワーバルブ２３３１から純水シャワー槽
入口裏面純水シャワー２３００へ、純水シャワー槽出口
裏面純水シャワーバルブ２３３２から純水シャワー槽出
口裏面純水シャワー２３０２へ、純水シャワー槽出口表
面純水シャワーバルブ２３３３から純水シャワー槽出口
表面純水シャワー２３０３へと送られ、純水シャワー槽
２３６０の入口と出口で、それぞれ長尺基板表面と長尺
基板裏面に洗浄用シャワー流がかけられる。

【００３１】シャワーの済んだ水は純水シャワー槽受け
槽２３１５で受けられ、そのまま第一温水槽温水保持槽
２３１６と第二温水槽温水保持槽２３１７の一部と合流
して水洗系排水２３３６に捨てられる。通常は、洗浄済
みの水にはイオンその他が含まれるため、所定の処理を
必要とする。

【００３２】洗浄のための純水シャワー槽２３６０、第
一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２では、長尺基板
は純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９、純水シ
ャワー槽ローラー２２８０、第一温水槽折返し進入ロー
ラー２２８１、第一温水槽ローラー２２８１、第二温水
槽折返し進入ローラー２２８３、第二温水槽ローラー２
２８４、乾燥折返しローラー２２８５へと送られてい
く。純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の直後
には純水シャワー槽裏面ブラシ２２９８が設けられてお
り、長尺基板裏面に付着する比較的大きな粉や付着力の
弱い生成物を取り除けるようになっている。

【００３３】乾燥部２３６３に至った長尺基板２００６
は、まず乾燥部入口で乾燥部入口裏面エアーナイフ２３
１１、乾燥部入口表面エアーナイフ２３１２による水切
りが行われる。エアーナイフヘの空気の導入は、図７に
示すように、乾燥系圧搾空気導入口２３５３、乾燥系圧
搾空気圧力スイッチ２３５４、乾燥系圧搾空気フィルタ
ーレギュレーター２３５５、乾燥系圧搾空気ミストセパ
レーター２３５６、乾燥系圧搾空気供給バルブ２３５
７、その後乾燥部入口裏面エアナイフバルブ２３５８ま
たは乾燥部入口表面エアナイフバルブ２３５９という経
路でなされる。乾燥部に供給される空気は特に水滴など
含むと不都合なので、乾燥系圧搾空気ミストセパレータ
ー２３５６の役割は重要である。

【００３４】続いて乾燥折返しローラー２２８５から巻
取装置進入口ローラー２２８６に搬送される過程で、並
んだＩＲランプ２３１３の幅射熱による乾燥が行われ
る。ＩＲランプ２３１３の幅射熱が充分であれば、電析
膜を成膜後長尺基板２００６をＣＶＤ装置などの真空装
置に投入しても不都合は生じない。乾燥時は、水切りに
よる霧の発生と、ＩＲランプ輻射による水蒸気の発生が
あって、排気ダクトに繋がる乾燥部排気口２３１４は不
可欠である。

【００３５】乾燥系排気ダクト２３７０に集められた水
蒸気は、図８に示すように、乾燥系凝縮器２３７１でそ
のほとんどが水に戻り乾燥系凝縮器排水ドレイン２３７
３へと捨てられ、一部は乾燥系排気２３７４へと捨てら
れていく。水蒸気に有害気体を含む場合には、排気は所
定の処理を行うべきである。

【００３６】巻取装置２２９６は、巻取装置進入ローラ
ー２２８６、巻取装置方向転換ローラー２２８７、巻取
り調整ローラー２２８８を順に経て長尺基板２００６を
長尺基板巻上げボビン２２８９にコイル状に巻取ってい
く。堆積した層保護が必要な場合には、図６に示される
ように、インターリーフ繰出しボビン２２９０からイン
ターリーフを繰出し、長尺基板に巻き込まれていく。長
尺基板２００６の搬送方向は矢印２２９２で示され、長
尺基板巻上げボビン２２８９の回転方向は矢印２２９３
で示され、インターリーフ繰出しボビン２２９０の巻取
り方向は矢印２２９４で示される。

【００３７】図６中、長尺基板巻上げボビン２２８９へ
巻き上げられる長尺基板と、インターリーフ繰出しボビ
ン２２９０から繰り出されるインターリーフは、それぞ
れ搬送開始時の位置と搬送終了時の位置で干渉が起きて
いないことを示している。巻取装置全体は、防塵のた
め、ヘパフィルターとダウンフローを用いた巻取装置ク
リーンブース２２９５で覆われた構造となっている。

【００３８】この巻取装置２２９６にあっては、巻取装
置方向転換ローラー２２８７が長尺基板の蛇行を修正す
る機能を付与されている。巻取装置方向転換ローラー２
２８７と巻取り調整ローラー２２８８との間に設置され
た蛇行検知器（不図示）からの信号に基づいて、油圧の
サーボで巻取装置方向転換ローラー２２８７を巻取装置
進入ローラー２２８６側にセットされた軸を中心として
振ってやることで、蛇行の修正が可能となる。巻取装置
方向転換ローラー２２８７の制御は、図６中、近似的に
手前側あるいは奥側へのローラーの移動であり、その移
動の向きは、蛇行検出器からの長尺基板蛇行検出方向と
逆である。サーボのゲインは、長尺基板の搬送速度によ
るが、一般に大きな物を必要としない。数百メートルの
長さの長尺基板を巻き上げても、その端面はサブミリの
精度で揃えられる。

【００３９】電析浴や温水を室温より高い温度で使うと
必然的に水蒸気が発生する。特に８０℃を越える温度を
用いると、水蒸気の発生はかなりのものとなる。槽の浴
面から発生する水蒸気は、槽の浴面上に溜まり、装置の
隙間から勢いよく吹き出したり、蓋の開閉時に大量の放
出を見たり、また装置の隙間から水滴となって流れ落ち
たり、装置の操作環境を悪化させる。このため、排気ダ
クト２０２０を介して強制的に吸引排気させるのが好ま
しい。電析槽２０６６の電析槽上流排気口２０２１、電
析槽中流排気口２０２２、電析槽下流排気口２０２３、
純水シャワー槽２３６０の純水シャワー槽排気口２３０
１、第一温水槽２３６１の第一温水槽排気口２３０５、
第二温水槽２３０８の第二温水槽排気口２３０８であ
る。

【００４０】電析槽及び水洗槽系排気ダクトに集められ
た水蒸気は、図８に示すように、絶縁フランジ２３６
４，２３６５を通り、電析水洗系排気ダクト凝縮器２３
６６でそのほとんどが水に戻り電析水洗系排気ダクト凝
縮器排水ドレイン２３６８へと捨てられ、一部は電析水
洗系排気２３６９へと捨てられていく。水蒸気に有害気
体を含む場合には、排気は所定の処理を行うべきであ
る。

【００４１】図２（図３乃至図８）に示される装置で
は、排気ダクトをステンレス鋼で構成したので、電析槽
２０６６の電析浴保持槽２０６５を大地アースからフロ
ート電位とするために、電析水洗系排気ダクト基幹絶縁
フランジ２３６５と電析水洗系排気ダクト水洗側絶縁フ
ランジ２３６４を設け、電気的に切り離した。

【００４２】図２に示す装置を用いることにより、次の
ような利点がある。

【００４３】まず、スパッタなどの真空装置と異なり、
膜堆積が極めて簡便なことである。高価な真空ポンプは
必要ないし、プラズマを使用するための電源や電極周り
の設計に気を遣うことが無い。

【００４４】次に、殆どの場合、ランニングコストが安
いことである。これはスパッタでは、ターゲットの作製
に人手と装置を要し、安くない上に、ターゲットの利用
効率も２割程度以下だからである。したがって、装置の
スループットを上げなければならない場合や、成膜厚の
大きい場合には、ターゲット交換の作業がかなりのウエ
イトを占めるようになるからである。スパッタ以外の、
ＣＶＤ法や真空蒸着法に対しても装置やランニングコス
トの点で優位に立つ。

【００４５】また、膜が多くの場合、多結晶の微粒子で
あり、真空法で作るのと遜色ない導電特性・光学特性を
示し、ゾルゲル法や有機物を用いたコーティング法、さ
らにはスプレー・パイロリシス法などに比べて優位に立
つ。

【００４６】更に、酸化物を形成する場合でもこれらの
ことが成り立つ上、廃液を簡単に処理することができ、
環境に及ぼす影響も小さく、環境汚染を防止するための
コストも高くない。

【００４７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図２に示す
装置によって導電性基板上に酸化物の成膜を行うと、次
のような不都合な点が見出された。すなわち、この電析
装置により酸化物の成膜を長時間続けると、裏面電極に
付着する酸化物の量が増えていった。この時の増えかた
は、薄い膜が徐々に層状に増えていくのではなく、デン
ドライト成長と言われる柱状の成長が、特に電界が集中
する裏面電極の端のところで進んだものであった。この
柱状の成長は、やがて導電性基板（長尺基板）に接触す
るまでになった。この接触により、裏面電極と導電性基
板との間に短絡が起きて通電不良となり、導電性基板の
裏面に付着した不要な酸化物を除去することができなく
なった。

【００４８】また、裏面電極に付着する酸化物の量が増
えてきた場合、電析浴の対流や付着した膜応力が原因で
酸化物が、氷柱が折れるように剥がれてしまい、それが
導電性基板の裏面上に落ちて搬送され、ローラーに巻き
込まれることにより、基板に打痕を付けたり、ローラー
を傷つけたりした。

【００４９】本発明の目的は、上記課題に鑑み、裏面電
極と導電性基板との間の短絡による通電不良を検知し
て、通電不良を防止することができ、また裏面電極に付
着する酸化物の膜剥がれによる打痕発生を早期に発見し
て、打痕発生を防止することができる電析装置及び電析
方法を提供することにある。

【００５０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
本発明の電析装置は、導電性基板上に酸化物を電析する
電析装置において、電析浴中に少なくとも１つ以上の対
向電極と、導電性基板を挟んで該対向電極と反対側に少
なくとも１つ以上の裏面電極とが設けられ、該裏面電極
の表面に付着する酸化物の量を検知する手段および／ま
たは観察するための手段を有するものである。

【００５１】上記電析装置において、上記酸化物の量を
検知する手段が、少なくとも１つ以上の裏面電極と導電
性基板との間にそれぞれ独立に設けられた直流電源の短
絡を検知する手段であることが好ましい。

【００５２】また、上記酸化物の量を検知する手段およ
び／または観察するための手段にて裏面電極の表面への
所定量の酸化物の付着を確認後、裏面電極と導電性基板
との間の通電を停止する手段を有することが好ましい。

【００５３】さらに、上記裏面電極が使い捨て可能であ
ることが好ましい。

【００５４】そして、上記導電性基板が長尺基板である
ことが好ましい。

【００５５】加えて、ロール間で長尺基板を掛け渡して
搬送するロール・ツー・ロール装置に備えられているこ
とが好ましい。

【００５６】一方、本発明の電析方法は、導電性基板上
に酸化物を電析する電析方法において、電析浴中に少な
くとも１つ以上の対向電極と、導電性基板を挟んで該対
向電極と反対側に少なくとも１つ以上の裏面電極とを設
け、該裏面電極の表面に付着する酸化物の量を検知およ
び／または観察して裏面電極の表面への所定量の酸化物
の付着を確認後、裏面電極と導電性基板との間の通電を
停止するものである。

【００５７】上記電析方法において、上記酸化物の量を
検知が、少なくとも１つ以上の裏面電極と導電性基板と
の間にそれぞれ独立に設けられた直流電源の短絡を検知
してなされることが好ましい。

【００５８】また、上記裏面電極が使い捨て可能である
ことが好ましい。

【００５９】さらに、上記導電性基板が長尺基板である
ことが好ましい。

【００６０】そして、ロール間で長尺基板を掛け渡して
搬送するロール・ツー・ロール方式を採用することが好
ましい。

【００６１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の電析装置及び電
析方法の好適な実施の形態を説明するが、本発明は本実
施形態に限定されるものではない。

【００６２】本実施形態の電析装置の主要な構成要素
は、基本的には図２及び図３乃至図８に示した電析装置
と同様の構成を有しているが、同装置における課題を解
決するために改良が加えられている。したがって、便宜
上、これらの図と同一の符号を付して説明する。

【００６３】すなわち、本実施形態の電析装置は、長尺
基板２００６上に均一な酸化物膜を連続的に作成する装
置であり、コイル状に巻かれた長尺基板２００６を送り
出す巻出装置２０１２、電析膜を堆積または処理せしめ
る電析槽２０６６、電析槽に加熱された電析浴を循環供
給する循環槽２１２０、電析槽の電析浴を排するに際し
一旦浴を貯める排液槽２１７２、電析槽内の電析浴内の
粉を取り除き浴を清浄化するフィルター循環系（電析槽
フィルター循環フィルター２１６１に繋がる配管系）、
電析槽に浴攪拌用の圧搾空気を送る配管系（圧搾空気導
入口２１８２から始まる配管系）、電析膜を堆積された
長尺基板を純水のシャワーで洗浄する純水シャワー槽２
３６０、第一の純水リンス洗浄を行う第一温水槽２３６
１、第二の純水リンス洗浄を行う第二温水槽２３６２、
これら温水槽に必要な純水の温水を供給するための純水
加熱槽２３３９、洗浄された長尺基板を乾燥させる乾燥
部２３６３、膜堆積の完了した長尺基板を再びコイル状
に巻き上げる巻取装置２２９６、電析浴や純水の加熱段
階あるいは乾燥段階で発生する水蒸気の排気系（電析水
洗系排気ダクト２０２０または乾燥系排気ダクト２３７
０で構成される排気系）とからなっており、特に電析浴
中に少なくとも１つ以上の対向電極と、導電性基板（長
尺基板）を挟んで該対向電極と反対側に少なくとも１つ
以上の裏面電極とが設けられ、該裏面電極の表面に付着
する酸化物の量を検知する手段および／または観察する
ための手段を有するものである。

【００６４】すなわち、本発明の電析装置は、ロール間
で長尺基板２００６を掛け渡して搬送するロール・ツー
・ロール装置に備えられており、ロール間に掛け渡され
た長尺基板２００６は図２において左から右へ、巻出装
置２０１２、電析槽２０６６、純水シャワー槽２３６
０、第一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２、乾燥部
２３６３、巻取装置２２９６の順に流れていき、長尺基
板２００６上に所定の酸化物が堆積される。

【００６５】〔発明に至った実験結果〕本発明者らが、
電析槽２０６６内での通電のための給電手段として巻出
装置排出ローラー２００５を、対向電極として電析槽ア
ノード２０２６〜２０５３を用い、長尺基板２００６へ
の酸化物の電析を行った。裏面電極２０６１と長尺基板
２００６との間には、長尺基板の裏面に回り込んで付着
する不要な酸化物が除去されるように通電を行った。

【００６６】通電時間の経過とともに、裏面電極の端の
表面への柱状の酸化物の付着量が増加していくのが確認
できた。数時間が経過したところで、電析浴の対流か酸
化物の膜応力が原因と思われる裏面電極からの膜剥がれ
に気が付いた。剥がれた膜は、長尺基板上に落ち、多少
は電析浴中に溶解しているようであったが、ほとんどが
長尺基板の搬送とともに運ばれ、電析槽退出ローラー２
０１５と長尺基板との間に挟まれ、つぶれてしまい、長
尺基板に打痕がつくことがわかった。また、この時つぶ
れた酸化物の一部はローラー上に残り、再度長尺基板と
接触した時にも打痕の原因となっていた。

【００６７】そこで、ローラー表面の掃除と裏面電極の
交換を行ったところ、安定して均一な酸化物を堆積する
ことができた。さらに、数時間の成膜を行ったところ、
前回とほぼ同じくらいの時間が経過したところで、再び
電析浴の対流か酸化物の膜応力が原因と思われる裏面電
極からの膜剥がれが発生した。

【００６８】次に、長尺基板の裏面に回り込んで付着す
る不要な酸化物の除去の効果を高める一つの手段とし
て、裏面電極と長尺基板の距離を約半分として成膜を行
った。通電時間の経過とともに、裏面電極の端の表面へ
の柱状の酸化物の付着量が増加していくのが確認でき
た。数時間が経過したところで、通電に使用している直
流電源が短絡していることを示した。この状況では、長
尺基板の裏面に回り込んだ酸化物を除去することができ
なかったので、通電を停止し、成膜をやめ、電析浴の液
面が下がったところで裏面電極と長尺基板の隙間を覗い
てみると、裏面電極の表面に付着した柱状の酸化物が長
尺基板に接触していることが分かった。

【００６９】裏面電極の交換により成膜を続けたとこ
ろ、安定して均一な酸化物を堆積することができた。さ
らに、数時間の成膜を行ったところ、前回とほぼ同じく
らいの時間が経過したところで、再び通電に使用してい
る直流電源が短絡していることを示した。この状況で
は、長尺基板の裏面に回り込んだ酸化物を除去すること
ができなかった。

【００７０】次に、電析槽のほぼ中央付近に、裏面電極
２０６１と同じ裏面電極を追加設置し、成膜を行ったと
ころ、上記の実験のほぼ２倍の時間成膜をすることがで
きた。

【００７１】以下に、本発明の電析装置における各構成
要素について詳細に説明する。

【００７２】〔基板〕図２で示した装置で用いられる基
板材料は、膜成膜面に電気的な導通がとれ、電析浴に侵
されないものなら使用でき、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、
Ａｌ、Ｃｕ、Ｆｅなどの金属が用いられる。金属コーテ
ィングを施したＰＥＴフィルムなども利用可能である。
これらの中で、素子化プロセスを後工程で行うには、Ｓ
ＵＳが長尺基板としては優れている。

【００７３】ＳＵＳは非磁性ＳＵＳ、磁性ＳＵＳいずれ
も適用できる。前者の代表はＳＵＳ３０４であり、研磨
性に優れていて０．１ｓ程度の鏡面とすることも可能で
ある。後者の代表はフェライト系のＳＵＳ４３０であ
り、磁力を利用した搬送には有効に利用される。

【００７４】基板表面は、平滑でも良いし、粗面でもよ
い。ＳＵＳの圧延プロセスにおいて圧延ローラーの種類
を変えたりすることにより表面性が変わる。ＢＡと称す
るものは鏡面に近く、２Ｄにあっては凹凸が顕著であ
る。いずれの面においても、ＳＥＭ（走査型電子顕微
鏡）下での観察では、ミクロン単位の抉れなどが目立つ
ことがある。太陽電池基板としては、大きなうねり状の
凹凸よりも、ミクロン単位の構造の方が太陽電池の特性
には良い方向にも悪い方向にも大きく反映する。

【００７５】さらに、これら基板は別の導電性材料が成
膜されていてもよく、電析の目的に応じて選択される。
場合によっては、酸化亜鉛の極薄層を予め他の方法で形
成しておくことは、電析法での堆積速度を安定的に向上
させることができて好ましい。

【００７６】〔槽・管・その他浴保持材の電気的構成〕
迷走電流を減らし、流れる電流は殆どすべて電析に寄与
する、基板とアノード間に流れる電流となるように、電
析槽、それに繋がる配管、更には浴保持槽内の部品など
は絶縁処理をすることが好ましい。基本的には、アノー
ドと基板とを直接に、あるいは浴を介して接する金属部
分を最小とすることである。

【００７７】また迷走電流は、フロート電位になると少
なくなるため、電析槽や基板搬送ローラーは金属で出来
ている部分を大地アースから浮かした構造となってい
る。絶縁配管や、径の太いフランジ絶縁配管や、オーバ
ーフロー戻り系に製作した絶縁フランジや、排気ダクト
中に設けた絶縁フランジなどはすべてこの目的のための
ものである。

【００７８】〔電析浴〕電析浴は、基本的にビーカーな
どの小さな実験装置で確認したものが使用できる。太陽
電池下引き層に適用する光閉込め効果を有する凹凸を有
する酸化亜鉛の堆積については、特開平１０−１９５６
９３号公報で開示した溶液を使用することができる。酸
化亜鉛を電析する場合には、硝酸亜鉛と添加剤の組み合
わせが良好に使用でき、添加剤が糖類であると膜の均質
性が向上する。殊にデキストリンはその効果が著しい。

【００７９】電析浴が高温で、蒸気の発生が顕著な場合
は、図２に示したように、排気ダクトを設けて蒸気を吸
引するのが、装置の隙間から蒸気やその凝結した水滴が
出てくるのを防止することができるので、好ましい。ま
た、槽に不図示の蓋が設置されていると、蓋を開けた時
に水蒸気が吹き出してきて危険であるので、殊に排気ダ
クトを設けるのが良い。電析浴からの蒸気発生・排気吸
引によって液量が減る場合には、純水を定期的に補給す
るとよい。

【００８０】〔電析条件〕電析を行うにあたっては、長
尺基板に負、アノードに正の電位を印加して、電気化学
反応を駆動する。長尺基板への給電は、長尺基板の裏面
に接触するローラーを用いることができる。膜厚の制御
を行うために、電流制御で電析を行うのが適当である。
電流は電流密度で規定するのが良く、０．３〜１００ｍ
Ａ／ｃｍ²の範囲で設定する。

【００８１】〔アノード〕アノードとしては、溶解性ア
ノードとして純度２Ｎないし４Ｎの亜鉛板が使用でき
る。表面が汚れている場合には、希硝酸で軽く洗ってや
ると良い。アノードヘの給電線は、ＳＵＳボルトで締め
付ける構成にするのが、確実な電気接触を長期間保証で
きて好ましい。非溶解性アノードとして、ＳＵＳやＰｔ
を使うこともできる。

【００８２】特に溶解性アノードを、アノードバッグに
包むことは、発生する酸化亜鉛粉が電析浴中に発塵して
いくことが防ぐことが出来て好ましい。アノードバッグ
の材質としては、浴中で侵されない木綿やアミド樹脂繊
維などが使用でき、適当なメッシュ状とするのがよい。
メッシュの目の大きさは、電析浴が確実に表面に触り、
かつ発塵する粉の最大の大きさを規定して定める。通
常、０．５ｍｍから数ｍｍの目の大きさを選択する。

【００８３】〔電析電源〕各電源はフロート出力を持っ
ていることが好ましい。電圧制御として、所定の電位を
印加した場合に電流が吸い込み方向に流れる可能性があ
る時には、吸い込み型の電源とすべきである。各電源
は、単一の、あるいは取りまとめられた複数のアノード
に電位を印加し、電流を流す。電源同士の干渉を防ぐた
めに、アノード同士を結ぶ電流の経路は、出来るだけ出
現しないようにしておくのがよい。このために、テフロ
ン（登録商標）や塩ビなどの絶縁板を浴中に設置するこ
とは効果がある。

【００８４】〔裏面電極〕裏面電極は、裏面電極に基板
に対して負の電位を印加することにより、導電性基板の
裏面に成膜される不必要な電析膜を除去する。このた
め、特に電析用の電源との干渉を防ぐよう、両者は互い
にフロート出力である必要がある。

【００８５】裏面電極の数は、少なくとも一つ以上あれ
ばよい。少なくとも一つ以上の裏面電極のうちの一つ
は、長尺基板の裏面に不要な電析膜を残さないために、
電析槽の出口付近に設置する方がよい。

【００８６】裏面電極と長尺基板の距離は、近くは裏面
電極が長尺基板に接触しなければ良く、遠くは裏面電極
が電析浴中にあれば良く、概ね３〜５０ｍｍで用いられ
ることが多い。

【００８７】裏面電極の形状は、特に限定されるもので
はないが、長尺基板の裏面に不要な電析膜を残さないと
いう観点から、少なくとも回り込みの多い長尺基板の端
の部分には、長尺基板に平行に平面が形成されている形
状のものが好ましく用いられる。

【００８８】裏面電極の材質は、水素過電圧の高いＴｉ
やＳＵＳなどが用いられる。

【００８９】繰り返し使用するためには、ホーニング等
の物理的、機械的手段、エッチング等の化学的手段によ
って裏面電極に付着した電析膜を除去してもよい。

【００９０】また、繰り返し使用せず、その都度薄い板
状の物を使い捨てにしてもよい。さらには、例えば、カ
メラのフィルムのように少しずつ裏面電極を巻き出して
使用し、巻き終えたら捨ててしまうような形態でもよ
い。

【００９１】裏面電極の表面を荒らすことは、電析膜の
食いつきをよくするため、膜剥がれがおきにくくなり、
裏面電極の一回の寿命を延ばすのに効果のあることもあ
る。

【００９２】〔裏面電極の寿命〕裏面電極に付着した電
析膜が長尺基板に接触して短絡した場合、または電析浴
の対流や膜の応力によって剥離して長尺基板上に落下し
はじめた場合、裏面電極への通電を即座に停止しなけれ
ばならない。

【００９３】短絡、すなわちデンドライト成長した柱状
の酸化物が長尺基板に接触するのを検知する手段として
は、ＣＣＤカメラや肉眼による目視、電源電圧の測定、
電源以外の短絡検知専用の電源を用いた検出等が考えら
れるが、簡便さを考慮すると、電源電圧により短絡を検
知する手段が、多く用いられる。

【００９４】裏面電極に付着した柱状の酸化物の長尺基
板上への落下を確認する手段としては、ＣＣＤカメラや
肉眼による目視による観察が最も有効である。そのため
に、ガラス等の透明な窓、扉等を設けて裏面電極付近を
観察するとよい。酸化物が落下し始めたのを知るには、
裏面電極よりも基板搬送下流側で基板裏面上に少し黄色
昧を帯びた白い粒状のものが見えたり、裏面電極表面で
膜応力によって弾ける瞬間に粉が電析浴中に飛散する様
子から知る事ができる。

【００９５】上記のような短絡の検知、酸化物の落下が
確認された時には、直ちに成膜を中止して、裏面電極を
新しいものに変える必要がある。

【００９６】裏面電極を複数個設置した場合には、それ
ぞれの裏面電極に検知手段および／または観察手段を設
け、独立に制御する必要がある。また、全てを同時に通
電する必要はなく、ある裏面電極の通電を停止したら、
別の裏面電極の通電を開始してもよい。もちろん、一つ
ずつである必要はなく、いくつかの裏面電極の組み合わ
せによって、停止および／または開始をしてもよい。こ
れらの条件の選択は、裏面電極と長尺基板との間の通電
電流密度や距離、通電を継続したい時間等に応じて適宜
決めるとよい。ただし、長尺基板の裏面に不要な電析膜
を残さないために、電析槽の出口付近に設置した裏面電
極が最も長時間持つように条件を選ばなければならな
い。

【００９７】裏面電極が短絡により寿命を迎える場合、
酸化物の剥離により寿命を迎える場合、いずれもそれら
の寿命は、電析浴、裏面電極の形状と配置、電流密度を
一定にすれば、ほとんど同じ成膜時間となる。生産等で
条件が固まった後は、数回のランニングでこの成膜可能
時間を見積る事ができるため、この寿命が来る前に、あ
らかじめ、裏面電極の通電の停止、切り替えを行う事も
できる。ただし、この場合でも、なんらかの原因で設定
する停止、切り替え時間より早く裏面電極に寿命がくる
時に備えて、短絡の検知手段および／または酸化物の剥
離の観察手段を設けた方がよい。

【００９８】

【実施例】以下、本発明に基づく実施例を説明するが、
本発明はこれらの実施例に限られない。

【００９９】〔実施例１〕図１は、実施例1の電析装置
の構成例を示す模式図である。図１において、１００は
長尺基板、１０１は送り出しローラー、１０２は巻き取
りローラー、１０３は給電ローラー、１０４は電析槽、
１０５は水洗槽、１０６は水洗シャワー、１０７はエア
ーナイフ、１０８は乾燥炉、１０９は対向電極、１１０
は裏面電極、１１１は電析浴である。

【０１００】送り出しローラー１０１にコイル状に巻か
れたＳＵＳ４３０の長尺基板１００は、電析槽１０４、
水洗槽１０５、乾燥炉１０８の順に搬送され、巻き取り
ローラー１０２に巻き取られる。基板搬送速度は、１２
０ｃｍ／分とした。

【０１０１】電析槽内の電析浴１１１は、電析槽内に設
けられた不図示の仕切り板によるオーバーフローと不図
示の循環系によって液面が一定の高さとなるように保持
されている。

【０１０２】電析浴１１１は、０．２Ｍ／ｌの硝酸亜鉛
であり、８５℃に保持される。硝酸亜鉛は亜鉛のイオン
もしくは錯イオンを浴中に存在せしめて、また同時に硝
酸イオンを浴中に存在せしめ、これらの共同作用で、電
気化学的に長尺基板表面で酸化亜鉛を電析するためであ
る。電析浴１１１は酸化亜鉛膜の一様性を高めるために
更にデキストリンを０．２ｇ／ｌ含有するものとした。
電析浴１１１の電導度は６５ｍＳ／ｃｍであった。

【０１０３】電析浴１１１内には対向電極は１０９ａ、
１０９ｂ、…、１０９ｓ、１０９ｔの２０個が、基板と
向かい合うように配されている。これらの対向電極は長
尺基板１００との間で電位を掛けられ電気化学反応を進
行させられる。酸化亜鉛形成のためには、対向電極側の
電位を長尺基板側の電位よりも高く維持する。

【０１０４】それぞれの対向電極は不図示の２０個の電
源（ＫＥＮＷＯＯＤ製：直流定電圧定電流電源ＰＳ６−
６０）にそれぞれ対向電極が長尺基板に対して正の電位
となるように繋がれていて、独立の電流を流すことがで
きるようになっている。電流のリターンは、長尺基板に
接して従動する給電ローラー１０３から共用リターンと
して実現されている。電源は定電流源として制御し、基
板１００に向かって流す電析電流密度は、対向電極それ
ぞれで、０．３ｍＡ／ｃｍ²から３０ｍＡ／ｃｍ²の範囲
で設定できるようにした。長尺基板１００の搬送を停止
して、静止成膜にて検討したところ、この範囲の電流密
度で１〜２００Å／ｓの電流にほぼ比例した堆積速度が
得られ、本例では約１１ｍＡ／ｃｍ²の電流密度を用い
た。静止で得られた堆積速度は約８５Å／ｓであった。
それぞれの対向電極の大きさは１４０×３８０ｍｍであ
り、厚みは２０ｍｍとした。対向電極には純度４Ｎの亜
鉛を用いた。対向電極と長尺基板との間の２０個の電源
は、電流設定値６Ａの定電流モードで使用した。

【０１０５】裏面電極１１０は、ＳＵＳ３０４製で大き
さは２５０×３８０×１．０ｍｍの平板を、長尺基板と
の距離が２０ｍｍ程度で長尺基板と平行になるように配
した。不図示の電源（ＫＥＮＷＯＯＤ製：直流定電圧定
電流電源ＰＳ６−６０…この電源の電圧の上限は、６
Ｖ）は、裏面電極側が長尺基板に対して負の電位になる
ように接続した。電流のリターンは、長尺基板に接して
従動する給電ローラー１０３から共用リターンとして実
現されている。電源は定電流源として制御し、基板１０
０に向かって流す電流密度は、０．３ｍＡ／ｃｍ²から
７５ｍＡ／ｃｍ²の範囲で設定できるようにした。本例
では、３６ｍＡ／ｃｍ²とすることにより導電性基板の
裏面に成膜される不必要な電析膜を除去することがで
き、安定的に均一な電析膜を、しかも裏回りのほとんど
ない電析膜を得ることができた。この時の裏面電極の電
源電圧は、約２．６Ｖを示していた。

【０１０６】この状態で、裏面電極の電源電圧をモニタ
ーしながら成膜を続けたところ、３時間を経過したとこ
ろで、電圧が急にドロップし、短絡した。成膜を中止し
て、裏面電極と長尺基板の間を覗き込んだところ、裏面
電極から柱状に延びた電析膜が長尺基板に接触している
のを確認することができた。

【０１０７】裏面電極を取り外してホーニングを行い、
再び装着して同じ条件で成膜を開始したところ安定的に
均一な電析膜を、しかも裏回りのほとんどない電析膜を
得ることができた。

【０１０８】〔実施例２〕図２に示した長尺基板用の電
析装置にて成膜を行った。電析浴は実施例１と同じもの
を用いた。電析槽には、２４個の対向電極を配置した。
対向電極の大きさは１５０×３５０ｍｍであり、厚みは
２０ｍｍ、２４個の電源出力を４．０Ａとした。対向電
極には純度４Ｎの亜鉛を用いた。電析槽２０６６内での
通電のための給電手段としては、巻取装置進入ローラー
２２８６を用いた。

【０１０９】裏面電極と長尺基板との距離を４０ｍｍと
し、電源出力を４０Ａとした。この時の電源電圧は、約
３．２Ｖを示していた。長尺基板の搬送速度は２５００
ｍｍ／分とした。

【０１１０】この状態で、約４時間、安定的に均一な電
析膜を、しかも裏回りのほとんどない電析膜を得ること
ができた。ところが、４時間を過ぎたあたりから巻き取
りローラーに巻き取られる基板に打痕があることに気が
付いた。そこで、電析槽の上部に設けられた不図示の蓋
を開けて裏面電極の付近を観察したところ、裏面電極表
面から落下したと思われる電析膜が基板裏面上に見え
た。この電析膜が電析浴中の電析槽退出ローラー２０１
５との間に巻き込まれて打痕の原因になっていた。

【０１１１】装置を停止し、裏面電極を交換し、電析槽
退出ローラー表面を掃除した後、同じ条件で成膜を開始
したところ安定的に均一な電析膜を、しかも裏回りのほ
とんどない電析膜を得ることができた。

【０１１２】〔実施例３〕図９に示す長尺基板用の電析
装置にて成膜を行った。図９において、３００は長尺基
板、３０１は送り出しローラー、３０２は巻き取りロー
ラー、３０３は給電ローラー、３０４は電析槽、３０５
は水洗槽、３０６は水洗シャワー、３０７はエアーナイ
フ、３０８は乾燥炉、３０９は対向電極、３１０は裏面
電極、３１１は電析浴、３２０は裏面電極である。

【０１１３】図９は、図１とほとんど同じ装置である
が、違う点は、対向電極３０９ｊと対向電極３０９ｋの
間のところに裏面電極３２０を新たに追加設置してある
点である。この裏面電極３２０は、裏面電極３１０と全
く同じものを用意した。それ以外は、すべて実施例１と
同じ装置構成とした。

【０１１４】対向電極と長尺基板との間の２０個の電源
は、電流設定値６Ａの定電流モードで使用した。裏面電
極３１０と長尺基板との間の電源は、電流設定値３５Ａ
の定電流モードで使用し、裏面電極３２０と長尺基板と
の間の電源も、定電流モードで使用した。ただし、この
時の裏面電極３２０と長尺基板との間の距離は２０ｍｍ
とした。

【０１１５】この状態で、裏面電極の電源電圧をモニタ
ーしながら成膜を続けたところ、約６時間を経過したと
ころで、裏面電極３２０と長尺基板との間の電源電圧が
急にドロップし、短絡した。この電源を停止して成膜を
続けたが、約３０分後に裏面電極３１０と長尺基板との
間の電源電圧も急にドロップしたため、成膜を中止し
て、それぞれの裏面電極と長尺基板の間を覗き込んだと
ころ、裏面電極から柱状に延びた電析膜が長尺基板に接
触しているのを確認することができた。

【０１１６】裏面電極を取り外してホーニングを行い、
再び装着して同じ条件で成膜を開始したところ、安定的
に均一な電析膜を、しかも裏回りのほとんどない電析膜
を得ることができた。

【０１１７】〔実施例４〕図１０に示す長尺基板用の電
析装置にて成膜を行った。図１０において、４０１は送
り出しローラー、４０２は巻き取りローラー、４０３は
給電ローラー、４０４は電析槽、４０５は水洗槽、４０
６は水洗シャワー、４０７はエアーナイフ、４０８は乾
燥炉、４０９は対向電極、４１０は裏面電極、４１１は
電析浴、４２０は裏面電極、４３０は裏面電極である。

【０１１８】図１０は、図１とほとんど同じ装置である
が、違う点は、対向電極４０９ｈの直上に裏面電極４３
０を、対向電極４０９ｎと対向電極４０９ｏの間のとこ
ろに裏面電極４２０を新たに追加設置した点と、各裏面
電極と長尺基板との間の距離を２０ｍｍとした点であ
る。これらの裏面電極４２０、４３０は、裏面電極４１
０と全く同じものを用意した。それ以外は、すべて実施
例１と同じ装置構成とした。

【０１１９】まずはじめに、裏面電極４２０と裏面電極
４３０を使わずに、裏面電極４１０のみを使って成膜を
行った。この時、対向電極と長尺基板との間の２０個の
電源は、電流設定値４Ａの定電流モードで使用した。裏
面電極４１０と長尺基板との間の電源は、電流設定値３
５Ａの定電流モードで使用した。この状態で、裏面電極
の電源電圧をモニターしながら成膜を続けたところ、約
４時間を経過したところで、裏面電極４１０と長尺基板
との間の電源電圧が急にドロップし、短絡した。

【０１２０】次に、裏面電極４１０を取り外してホーニ
ングを行い、再び装着し、裏面電極４１０と長尺基板と
の間の電源は電流設定値１５Ａの定電流モードで、裏面
電極４２０と長尺基板との間の電源は電流設定値１０Ａ
の定電流モードで、裏面電極４３０と長尺基板との間の
電源は電流設定値１５Ａの定電流モードで使用した。成
膜を開始して約１０時間後、裏面電極４３０と長尺基板
との間の電源電圧が急にドロップしため、この電源のみ
停止した。この状態では、裏面電極４１０を過ぎても基
板裏面にうっすらと電析膜が付着していたため、裏面電
極４２０と長尺基板との間の電源の電流設定値を徐々に
増やしていき２０Ａの所で、裏面電極４１０を基板が過
ぎても裏面の回り込みがなくなったことを確認できたの
で、引き続き２０Ａで通電を行った。その後、約２時間
を過ぎたところで、ほぼ同時に、裏面電極４１０と長尺
基板との間の電源電圧と、裏面電極４２０と長尺基板と
の間の電源電圧が急にドロップしため電源を停止した。
それぞれの裏面電極と長尺基板の間を覗き込んだとこ
ろ、裏面電極から柱状に延びた電析膜が長尺基板に接触
しているのを確認することができた。

【０１２１】裏面電極を取り外してホーニングを行い、
再び装着して同じ条件で成膜を開始したところ安定的に
均一な電析膜を、しかも裏回りのほとんどない電析膜を
得ることができた。

【０１２２】〔比較例１〕実施例４と全く同じように成
膜を開始した。

【０１２３】まず、裏面電極４１０と長尺基板との間の
電源は電流設定値１５Ａの定電流モードで、裏面電極４
２０と長尺基板との間の電源は電流設定値１０Ａの定電
流モードで、裏面電極４３０と長尺基板との間の電源は
電流設定値１５Ａの定電流モードで使用した。成膜を開
始して約１０時間後、裏面電極４３０と長尺基板との間
の電源電圧が急にドロップしため、この電源のみ停止し
た。この状態では、裏面電極４１０を過ぎても基板裏面
にうっすらと電析膜が付着していた。

【０１２４】次に、実施例４では裏面電極４２０と長尺
基板との間の電源の電流設定値を徐々に増やしていった
が、ここでは裏面電極４１０と長尺基板との間の電源の
電流設定値を徐々に増やしていったところ２５Ａで、裏
面電極４１０を基板が過ぎても裏面の回り込みがなくな
ったことを確認できたので、引き続き２５Ａで通電を行
った。すると、約１時間を過ぎたところで、裏面電極４
１０と長尺基板との間の電源電圧が急にドロップしため
電源を停止した。裏面電極４１０と長尺基板の間を覗き
込んだところ、裏面電極から柱状に延びた電析膜が長尺
基板に接触しているのを確認することができた。

【０１２５】ここで、裏面電極４２０と長尺基板の間を
覗き込んだところ、まだ隙間があったので、もうしばら
く通電が可能であろうと思われたので、３５Ａにて通電
を行った。約１時間後に短絡が起きるまで通電は可能で
あったが、裏面電極４２０以降にある対向電極との通電
による基板裏面への回り込みのために電析槽を出て行く
時には、基板裏面に不要な電析膜が堆積していた。

【０１２６】このように、通電量と通電場所を上手に選
んでやらないと実施例４に比べて約１時間も裏面電極の
寿命を短くしてしまうことが分かった。

【０１２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
裏面電極と導電性基板との間の短絡による通電不良を検
知して、通電不良を防止することができ、また裏面電極
に付着する酸化物の膜剥がれによる打痕発生を早期に発
見して、打痕発生を防止することができる電析装置及び
電析方法を提供することができる。

【０１２８】また、長尺基板へ酸化物を形成するに際
し、裏面への回り込みがほとんどなく、膜特性が優れた
均一な酸化物を安定的に形成することができ、また膜制
御性が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の電析装置の構成を示す模式図であ
る。

【図２】実施例２の電析装置の全体構成を示す模式図で
ある。

【図３】実施例２の電析装置における巻出装置を示す概
略図である。

【図４】実施例２の電析装置における電析槽及び循環槽
を示す概略図である。

【図５】実施例２の電析装置における排液槽を示す概略
図である。

【図６】実施例２の電析装置における純水シャワー槽、
第一温水槽、第二温水槽、乾燥装置、及び巻取装置を示
す概略図である。

【図７】実施例２の電析装置における純水加熱槽等を示
す概略図である。

【図８】実施例２の電析装置における排水系等を示す概
略図である。

【図９】実施例３の電析装置の構成を示す模式図であ
る。

【図１０】実施例４の電析装置の構成を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１００長尺基板１０１送り出しローラー１０２巻き取りローラー１０３給電ローラー１０４電析槽１０５水洗槽１０６水洗シャワー１０７エアーナイフ１０８乾燥炉１０９対向電極１１０裏面電極１１１電析浴３００長尺基板３０１送り出しローラー３０２巻き取りローラー３０３給電ローラー３０４電析槽３０５水洗槽３０６水洗シャワー３０７エアーナイフ３０８乾燥炉３０９対向電極３１０裏面電極３１１電析浴３２０裏面電極４００長尺基板４０１送り出しローラー４０２巻き取りローラー４０３給電ローラー４０４電析槽４０５水洗槽４０６水洗シャワー４０７エアーナイフ４０８乾燥炉４０９対向電極４１０裏面電極４１１電析浴４２０裏面電極４３０裏面電極２００１巻出装置長尺基板ボビン２００２巻出装置インターリーフ巻取りボビン２００３巻出装置繰出し調整ローラー２００４巻出装置方向転換ローラー２００５巻出装置排出ローラー２００６長尺基板２００７巻取りインターリーフ２００８インターリーフ巻取り方向２００９巻出装置長尺基板ボビン回転方向２０１０長尺基板巻出し方向２０１１巻出装置クリーンブース２０１２巻出装置２０１３電析槽入口折返しローラー２０１４電析槽進入ローラー２０１５電析槽退出ローラー２０１７電析槽入口折返しローラーカバー２０１８電析浴保持槽カバー２０２０電析水洗系排気ダクト２０２１電析槽上流排気口２０２２電析槽中流排気口２０２３電析槽下流排気口２０２４電析槽オーバーフロー戻り口２０２５電析浴浴面２０２６〜２０５３電析槽アノード２０５４〜２０６０電析槽アノード載置台２０６１電析槽裏面電極２０６２電析槽攪拌空気導入管２０６３電析槽上流循環噴流管２０６４電析槽下流循環噴流管２０６５電析浴保持槽２０６６電析槽２０６７電析槽出口シャワー２１１７電析槽オーバーフロー戻り路２１１８電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２１１９電析槽オーバーフロー戻り方向２１２０循環槽２１２１循環槽加熱貯槽２１２２〜２１２９循環槽ヒーター２１３０循環槽電析浴上流循環元バルブ２１３１循環槽電析浴上流循環方向２１３２循環槽電析浴上流循環ポンプ２１３３循環槽電析浴上流循環ポンプバイパスバルブ２１３４循環槽電析浴上流循環圧力ゲージ２１３５循環槽電析浴上流循環バルブ２１３６循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ２１３７循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２１３９循環槽電析浴下流循環元バルブ２１４０循環槽電析浴下流循環方向２１４１循環槽電析浴下流循環ポンプバイパスバルブ２１４２循環槽電析浴下流循環ポンプ２１４３循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ２１４４排液槽排液貯槽２１４５循環槽電析浴下流循環バルブ２１４６循環槽電析浴バイパス循環フレキシブルパイ
プ２１４７循環槽電析浴バイパス循環バルブ２１４８循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ２１４９循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管２１５０循環槽出口シャワーバルブ２１５１電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイ
プ２１５２電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２１５３電析槽排水バルブ２１５４電析槽フィルター循環元バルブ２１５５電析槽フィルター循環方向２１５６電析槽フィルター循環サクションフィルター２１５７電析槽フィルター循環ポンプ２１５８電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２１５９電析槽フィルター循環圧力スイッチ２１６０電析槽フィルター循環圧力ゲージ２１６１電析槽フィルター循環フィルター２１６２電析槽フィルター循環方向２１６３電析槽フィルター循環方向２１６４電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ２１６５電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２１６６電析槽フィルター循環バルブ２１６７電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバル
ブ２１６８電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバル
ブ２１６９電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバル
ブ２１７０排液槽空気抜きバルブ２１７１排液槽空気抜き２１７２排液槽２１７３排液槽排水バルブ２１７４排液槽排液回収バルブ２１７５排液回収元バルブ２１７６排液回収サクションフィルター２１７７排液回収ポンプ２１７８排液回収口２１７９排液槽共通排水口２１８２圧搾空気導入口２１８３電析浴攪拌用圧搾空気圧力スイッチ２１８４電析槽圧搾空気導入方向２１８５電析槽庄搾空気元バルブ２１８６電析槽圧搾空気流量計２１８７電析槽圧搾空気レギュレーター２１８８電析槽圧搾空気ミストセパレーター２１８９電析槽圧搾空気導入バルブ２１９０電析槽圧搾空気フレキシブルパイプ２１９１電析槽圧搾空気絶縁配管２１９２電析槽攪拌空気下流側制御バルブ２１９３電析槽攪拌空気上流側制御バルブ２２０３電析槽系純水導入口２２０４電析槽系純水導入バルブ２２０５第一加熱貯槽純水導入フレキシブルパイプ２２０６第一加熱貯槽純水導入バルブ２２０７電析槽純水導入バルブ２２０８電析槽純水導入絶縁配管２２０９第二加熱貯槽純水導入フレキシブルパイプ２２１０第二加熱貯槽純水導入バルブ２２１３電析槽予備導入口２２１４電析槽予備導入バルブ２２１５電析槽予備導入バルブ２２１６電析槽予備導入絶縁配管２２１７第二電析槽予備導入バルブ２２７５第二排液槽空気抜きバルブ２２７６第二排液槽空気抜き２２７７第一排液槽排液貯槽上蓋２２７９純水シャワー槽折返し進入ローラー２２８０純水シャワー槽ローラー２２８１第一温水槽折返し進入ローラー２２８２第一温水槽ローラー２２８３第二温水槽折返し進入ローラー２２８４第二温水槽ローラー２２８５乾燥折返しローラー２２８６巻取装置進入ローラー２２８７巻取装置方向転換ローラー２２８８巻取り調整ローラー２２８９長尺基板巻上げボビン２２９０インターリーフ繰出しボビン２２９２長尺基板巻取り方向２２９３長尺基板巻取りボビン回転方向２２９４インターリーフ繰出しボビン回転方向２２９５巻取装置クリーンブース２２９６巻取装置２２９８純水シャワー槽裏面ブラシ２２９９純水シャワー槽入口表面純水シャワー２３００純水シャワー槽入口裏面純水シャワー２３０１純水シャワー槽排気口２３０２純水シャワー槽出口裏面純水シャワー２３０３純水シャワー槽出口表面純水シャワー２３０４第一温水槽温水保温ヒーター２３０５第一温水槽排気口２３０６第一温水槽超音波源２３０７第二温水槽温水保温ヒーター２３０８第二温水槽排気口２３０９第二温水槽出口裏面純水シャワー２３１０第二温水槽出口表面純水シャワー２３１１乾燥部入口裏面エアーナイフ２３１２乾燥部入口表面エアーナイフ２３１３ＩＲランプ２３１４乾燥部排気口２３１５純水シャワー槽受け槽２３１６第一温水槽温水保持槽２３１７第二温水槽温水保持槽２３１８純水シャワー槽折返し進入ローラーカバー２３１９第一温水槽折返し進入ローラーカバー２３２０第二温水槽折返し進入ローラーカバー２３２１乾燥部カバー２３２２温水槽間連結管２３２３純水シャワー槽純水シャワー供給元バルブ２３２４純水シャワー槽純水シャワー供給ポンプバイ
パスバルブ２３２５純水シャワー槽純水シャワー供給ポンプ２３２６純水シャワー槽純水シャワー供給圧力スイッ
チ２３２７純水シャワー槽純水シャワー供給圧力ゲージ２３２８純水シャワー槽純水シャワー供給カートリッ
ジ式フィルター２３２９純水シャワー槽純水シャワー供給流量計２３３０純水シャワー槽入口表面純水シャワーバルブ２３３１純水シャワー槽入口裏面純水シャワーバルブ２３３２純水シャワー槽出口裏面純水シャワーバルブ２３３３純水シャワー槽出口表面純水シャワーバルブ２３３４第一温水槽温水保持槽排水バルブ２３３５第二温水槽温水保持槽排水バルブ２３３６水洗系排水２３３７水洗系純水口２３３８水洗系純水供給元バルブ２３３９純水加熱槽２３４０〜２３４３純水加熱槽純水加熱ヒーター２３４４純水加熱槽純水送出バルブ２３４５純水加熱槽純水送出ポンプバイパスバルブ２３４６純水加熱槽純水送出ポンプ２３４７純水加熱槽圧力スイッチ２３４８純水加熱槽圧力ゲージ２３４９純水加熱槽カートリッジ式フィルター２３５０純水加熱槽流量計２３５１第二温水槽出口裏面シャワーバルブ２３５２第二温水槽出口表面シャワーバルブ２３５３乾燥系圧搾空気導入口２３５４乾燥系圧搾空気圧力スイッチ２３５５乾燥系圧搾空気フィルターレギュレーター２３５６乾燥系圧搾空気ミストセパレータ２３５７乾燥系圧搾空気供給バルブ２３５８乾燥部入口裏面エアナイフバルブ２３５９乾燥部入口表面エアナイフバルブ２３６０純水シャワー槽２３６１第一温水槽２３６２第二温水槽２３６３乾燥部２３６４電析水洗系排気ダクト水洗側絶縁フランジ２３６５電析水洗系排気ダクト基幹絶縁フランジ２３６６電析水洗系排気ダクト凝縮器２３６７電析水洗系排気ダクト熱交換グリッド２３６８電析水洗系排気ダクト凝縮器排水ドレイン２３６９電析水洗系排気２３７０乾燥系排気ダクト２３７１乾燥系凝縮器２３７２乾燥系熱交換グリッド２３７３乾燥系凝縮器排水ドレイン２３７４乾燥系排気

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮本祐介東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者荒尾浩三東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性基板上に酸化物を電析する電析装
置において、電析浴中に少なくとも１つ以上の対向電極と、導電性基
板を挟んで該対向電極と反対側に少なくとも１つ以上の
裏面電極とが設けられ、該裏面電極の表面に付着する酸
化物の量を検知する手段および／または観察するための
手段を有することを特徴とする電析装置。
【請求項２】前記酸化物の量を検知する手段が、前記
少なくとも１つ以上の裏面電極と前記導電性基板との間
にそれぞれ独立に設けられた直流電源の短絡を検知する
手段であることを特徴とする請求項１に記載の電析装
置。
【請求項３】前記酸化物の量を検知する手段および／
または観察するための手段にて前記裏面電極の表面への
所定量の酸化物の付着を確認後、前記裏面電極と前記導
電性基板との間の通電を停止する手段を有することを特
徴とする請求項１または２に記載の電析装置。
【請求項４】前記裏面電極が使い捨て可能であること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電析装
置。
【請求項５】前記導電性基板が長尺基板であることを
特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電析装置。
【請求項６】ロール間で長尺基板を掛け渡して搬送す
るロール・ツー・ロール装置に備えられていることを特
徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電析装置。
【請求項７】導電性基板上に酸化物を電析する電析方
法において、電析浴中に少なくとも１つ以上の対向電極と、導電性基
板を挟んで該対向電極と反対側に少なくとも１つ以上の
裏面電極とを設け、該裏面電極の表面に付着する酸化物
の量を検知および／または観察して裏面電極の表面への
所定量の酸化物の付着を確認後、裏面電極と導電性基板
との間の通電を停止することを特徴とする電析方法。
【請求項８】前記酸化物の量の検知が、前記少なくと
も１つ以上の裏面電極と前記導電性基板との間にそれぞ
れ独立に設けられた直流電源の短絡を検知してなされる
ことを特徴とする請求項７に記載の電析方法。
【請求項９】前記裏面電極が使い捨て可能であること
を特徴とする請求項７または８に記載の電析方法。
【請求項１０】前記導電性基板が長尺基板であること
を特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の電析方
法。
【請求項１１】ロール間で長尺基板を掛け渡して搬送
するロール・ツー・ロール方式を採用することを特徴と
する請求項７〜１０のいずれかに記載の電析方法。