JP2011142282A - 多層セラミック基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のセラミック層s1〜s8、および該セラミック層s1〜s8間に形成された導体層p1〜p7を含む基板本体2と、該本体2の裏面4に形成したメタライズ層7の上に接合材9を介して固定された金具10と、を備えた多層セラミック基板1aであって、該金具10は、接合材9と接触するベース部12の底面積A1が15mm2以上であり、且つ該ベース部12から基板本体2の外側に立設する機能部13の断面積A2がベース部12の底面積A1以下で且つ5mm2以上であり、基板本体2において、金具10が固定されたメタライズ層7を基板本体2の厚み方向に沿って投影した領域(ma×sd)内には、導体層p1〜p7が形成されていないセラミック部SAが配設されている、多層セラミック基板1a。
【選択図】図1
Description
上記セラミック基板では、上記応力緩和層により、ロウ材および金属化層を介して、入出力端子などの金属部材とセラミック基板本体との間で発生する熱応力を緩和できるので、セラミック基板本体の内部に生じる引張応力を緩和し、該基板本体の破壊を防止することが可能である。
例えば、表面に複数のプローブ(弾性接触構造体)を立設させた配線基板(空間変換器)の裏面における中央部にスタッドボルトをロウ付けしている、半導体接触器の平坦化方法および装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
例えば、前記ボルトのような金具がロウ付けされるメタライズ層付近に位置する基板本体の内部に、平面状の導体層が接近して配置されていると、該導体層のメタライズ材料と基板本体のセラミック材料との焼成時における収縮差に起因して、上記導体層の付近に内部応力や微少な空隙が残留している。そのため、上記金具に外力が作用した際に、該金具、ロウ材、およびメタライズ層と共に、該メタライズ層付近の基板本体の脆弱なセラミック層が破壊されるおそれがあった。
即ち、本発明の多層セラミック基板(請求項1)は、セラミックからなる複数のセラミック層、および該セラミック層間に形成された導体層を含む基板本体と、該基板本体の表面、裏面、および側面の少なくとも一つに形成したメタライズ層の上に接合材を介して固定された金具と、を備えた多層セラミック基板であって、上記金具は、上記接合材と接触するベース部の底面の面積が15mm2以上であり、且つ該ベース部から基板本体の外側に立設する機能部における上記底面と平行な位置での断面積が上記ベース部の底面積以下で且つ5mm2以上であると共に、上記基板本体において、金具が固定されたメタライズ層を該基板本体の厚み方向あるいは平面方向に沿って投影した領域内には、上記導体層が形成されていないセラミック部が配設されている、ことを特徴とする。
従って、耐久性に優れた多層セラミック基板とすることが可能となる。
また、上記機能部の断面積は、該機能部においてベース部の底面と平行な位置で且つ該機能部のうち最小の断面積を指している。
更に、前記セラミックは、アルミナなどの高温焼成セラミック、あるいは低温焼成セラミックの一種であるガラス−セラミックを含む。
また、前記導体層は、平面視が当該多層セラミック基板の表面とほぼ相似形の矩形パターンの接地層、電源層、あるいは任意パターンの配線層のほか、これらとは導通せず電気的に独立した所謂ダミーの導体層も含む。
更に、前記基板本体の平面方向は、その厚み方向と直交する方向を指す。
加えて、前記接合材は、ハンダやロウ材のほか、これら以外の低融点金属も含む。
図1は、本発明による一形態の多層セラミック基板1aを示す垂直断面図、図2は、図1中の一点鎖線部分Xの拡大図である。
多層セラミック基板1aは、図1に示すように、例えば、アルミナなどのセラミックからなる複数のセラミック層s1〜s8、および該セラミック層s1〜s8間に形成された平面状などの導体層p1〜p7を含む基板本体2と、該基板本体2の裏面4の中央付近に形成したメタライズ層7の上にロウ材(接合材)9を介して固定されたボルト(金具)10と、を備えている。尚、基板本体2は、四辺に四角形の側面8を有している。
基板本体2の表面3側に位置する導体層p1〜p4は、平面視で該表面3とほぼ相似形の矩形(正方形または長方形)を呈し、裏面4側に位置する導体層p5〜p7は、平面視の外形が上記同様の矩形で且つ中央付近に平面視がほぼ矩形またはほぼ円形の抜き部を有している。かかる導体層p1〜p7は、例えば、表面3側から裏面4側に向かって順に、電源層、接地層、配線層、接地層、配線層、接地層、および電源層であり、セラミック層s2〜s7を個別に貫通するビア導体v2〜v7を介して相互に導通可能とされている。
表面3側の上記パッド5は、該表面3上に搭載するICチップなどの電子部品(図示せず)との導通に用いられ、裏面4側の外部接続端子6は、当該多層セラミック基板1aが実装されるプリント基板などのマザーボード(図示せず)との導通に用いられる。
尚、前記導体層p1〜p7、ビア導体v1〜v8、パッド5、外部接続端子6、およびメタライズ層7は、例えば、W、Mo、Ag、Cuなどの何れか、あるいはこれらの何れかをベースとする合金からなる。
上記ボルト10において、ロウ材9に接触するフランジ12の底面の面積A1は、15mm2以上であり、該底面と平行な位置で且つ機能部において最小径であるネック部13の断面積A2は、5mm2以上で且つ上記底面積A1以下である。また、上記ロウ材9は、例えば、Au−Sn系ハンダやAg系ロウ材などからなり、外部に露出する位置には、中心側に凹んだフィレット9aが円環状に形成されている。
基板本体2において、ボルト10が固定されたメタライズ層7(ma)を、該基板本体2の厚み方向に沿って2mm以上の深さ(厚み:sd)で投影した領域(ma×sd)内には、前記導体層p1〜p7やビア導体v1〜v8の何れも形成されず、下層側のセラミック層s5〜s8を積層したセラミック部SAが配設されている。
従って、耐久性に優れた多層セラミック基板1aを提供することが可能となる。
アルミナ粉末を含む8枚のグリーンシートを用意し、これらの所定位置に設けた貫通孔に導電性ペーストからなる未焼成のビア導体v1〜v8を充填した。次いで、追って最上層のセラミック層s1となるグリーンシートの表面の中央部に、平面視が円形である未焼成のパッド5を、上記ビア導体v1と接続するように形成した。また、追ってセラミック層s2〜s5となるグリーンシートごとの表面に所定パターンで未焼成の導体層p1〜p4を形成し、追ってセラミック層s6〜s8となるグリーンシートごとの表面の周辺部に未焼成の導体層p5〜p7を形成した。次に、最下層のセラミック層s8となるグリーンシートの裏面には、その中央部に未焼成のメタライズ層7を、その周辺部に未焼成の外部接続端子6をそれぞれ形成した。更に、上記8枚のグリーンシートを積層・圧着した後、所定の温度で焼成したことで、前記基板本体2を得た。そして、焼成後のメタライズ層7の上にシート状のロウ材9を介してボルト10のフランジ12を載置した後、上記ロウ材9を溶融することで、多層セラミック基板1aを製造できた。
尚、多層セラミック基板1aは、多数個取りの形態にて製造することもできる。
多層セラミック基板1bは、図3に示すように、前記同様の基板本体2、導体層p1〜p7、パッド5、および外部接続端子6を備えている。該多層セラミック基板1bでは、その基板本体2の裏面4の中央側に、二つのメタライズ層7が隣接して形成され、それらの上にロウ材9を介してボルト10が固定されている。
上記基板本体2において、各ボルト10が接合された二つのメタライズ層7を、該基板本体2の厚み方向に沿って2mm以上の深さで投影した領域(ma×sd)内ごとに、前記導体層p1〜p7およびビア導体v1〜v8の何れもが形成されず、且つ下層側のセラミック層s5〜s8を積層した二つのセラミック部SAが隣接して配設されている。そのため、下層側の導体層p5〜p7の中央部には、前記多層セラミック基板1aよりも大きめの抜き部が形成されている。
図4に示すように、多層セラミック基板1cも、前記同様の基板本体2、導体層p1〜p7、パッド5、および外部接続端子6を備えている。かかる多層セラミック基板1cでは、その基板本体2の裏面4の中央側に、平面視がほぼ長円形である単一のメタライズ層7が形成され、その長径方向の両端部付近にロウ材9を介して2本のボルト10が固定されている。
上記基板本体2において、2本のボルト10が接合された単一のメタライズ層7を、該基板本体2の厚み方向に沿って2mm以上の深さで投影した領域(ma×sd)内には、前記導体層p1〜p7およびビア導体v1〜v8の何れもが形成されず、且つ下層側のセラミック層s5〜s8を積層した一つのセラミック部SAが隣接して配設されている。そのため、下層側の導体層p5〜p7の中央部には、前記多層セラミック基板1aよりもやや大きめの抜き部が形成されている。
多層セラミック基板1dは、図5に示すように、前記同様の基板本体2、導体層p1〜p7、パッド5、および外部接続端子6を備えている。該多層セラミック基板1dは、基板本体2の裏面3側に、前記多層セラミック基板1aと同様なメタライズ層7、その上にロウ材9を介して接合したボルト10、および前記同様な領域(ma1×sd1)内に位置するセラミック部SA1を有している。
更に、上記基板本体2の表面3の中央部に形成した比較的小さなメタライズ層15の上には、ロウ材16を介して全体が円柱形の軸体(金具)18が接合されている。上記基板本体2上の表面3側に形成されたメタライズ層15(ma2)を、該基板本体2の厚み方向に沿って2mm以上の深さ(sd2)で投影した領域(ma2×sd2)内には、前記導体層p1〜p7やビア導体v1〜v8の何れもが形成されず、且つ上層側のセラミック層s1〜s3を積層したセラミック部SA2が配設されている。そのため、上層側の導体層p1,p2の中央部には、導体層p5〜p7よりも狭い抜き部が形成されている。
尚、軸体18は、ロウ材16と接触する底面の底面積A1が15mm2以上であり、且つ径方向に沿った全ての断面積A2も上記底面積A1と同じである。また、セラミック部SA1,SA2間には、中層の導体層p3,p4がセラミック層s4の表・裏面のほぼ全面に形成されている。更に、基板本体2の表面3におけるメタライズ層15の周囲に複数の前記パッド5が形成されている。
図6に示すように、多層セラミック基板1eも、前記同様の基板本体2、導体層p1〜p8、パッド5、および外部接続端子6を備えている。かかる多層セラミック基板1eでは、その基板本体2の表面3と裏面4との中央部ごとに、同じサイズのメタライズ層7,17が対称に形成され、それらの上にロウ材9,19を介してボルト(金具)10a,10bが個別で且つ対称に固定されている。
上記基板本体2において、上下2本のボルト10a,10bが接合された上下のメタライズ層7,17を、それぞれ該基板本体2の厚み方向に沿って2mm以上の深さで投影した厚み方向に連なった二つの領域(ma×sd)内ごとには、前記導体層p1〜p7およびビア導体v1〜v8の何れもが形成されず、且つセラミック層s1〜s8を積層した単一のセラミック部SAが基板本体2を貫通して配設されている。
予め、アルミナ粉、樹脂バインダ、および溶剤などを含む同じ組成のセラミックスラリを作製し、これにドクターブレード法を施して、互いにシート状を呈し且つ厚みが異なる複数のグリーンシートを用意した。該複数のグリーンシートのうち、一部のグリーンシートの表面に対し、W粉末を含む導電性ペーストを平面視が同じ矩形を呈し且つ同じ厚みで未焼成の導体層をスクリーン印刷により形成した。また、追って、一方の表面側のセラミック層となる一部(複数)のグリーンシートの表面の同じ位置に対し、上記と同じ導電性ペーストをスクリーン印刷して、平面視が円形で且つ同じ厚みである未焼成のメタライズ層を形成した。
次に、上記メタライズ層が形成された単一のグリーンシートと、前記導体層が形成され且つ総数を変化させた複数のグリーンシートと、該導体層が形成されておらず且つ総数を変化させた複数のグリーンシートとを、同じ層数ごとに同じ条件で積層・圧着した。更に、得られた同じ厚みを有する複数のグリーンシート積層体を同じ条件で焼成して、複数の多層セラミック基板を得た。
前記複数の多層セラミック基板の基板本体における一方の表面に形成されたメタライズ層の上に、同じAu−Sn系合金からなり、且つ予め同じ厚みのシート状にプリフォームされた同じロウ材を載置し、それらの上ごとに、同じコバール(Fe−29%Ni−17%Co系合金)からなり、フランジの底面積A1が15mm2で且つ雄ネジ部を有するネック部の断面積A2が5mm2で共通するボルト(金具)を載せた。更に、該ボルトを含む複数の多層セラミック基板を、同じ加熱炉に挿入し、且つ同じ条件で加熱しすることで、上記ロウ材を溶融・凝固させて、各ボルトをメタライズ層ごとの上に個別にロウ付けにより接合した。
表1に示すように、前記ボルトが取り付けられたメタライズ層を基板本体の厚み方向に沿って投影した領域において、最外層の導体層が形成されていた位置(深さ)が表面側から1.75mm以下である多層セラミック基板を比較例1〜4とし、最外層の導体層が形成された位置(深さ)が表面側から2.00mm以上である多層セラミック基板を実施例1〜5とした。各例ごとの10個ずつに対して、前記引っ張り試験を行った。
一方、比較例1〜4の多層セラミック基板では、各例ごとの少なくとも1個以上において、前記メタライズ層の周辺付近のセラミック層に、クラックおよび剥離の一方または双方が確認された。
以上の結果は、実施例1〜5の多層セラミック基板(1a)では、ボルトが固定されたメタライズ層を基板本体の厚み方向に沿って2.00mm以上の厚みで投影した領域には、導体層が形成されていない強固なセラミック部(SA)が配設されていたので、上記ボルトを引張った際の応力が内部に加えられても、上記メタライズ層に隣接する最外層のセラミック層やこれに隣接するセラミック層に、該メタライズ層の周辺付近から内部に食い込むクラックや上記セラミック層の部分剥離などの破壊を生じなかった、ものと推定される。
以上のような実施例の結果によって、本発明の効果が裏付けられた。
この多層セラミック基板1fは、図7に示すように、前記同様の基板本体2、その表面3側のセラミック層s1〜s4間に形成された導体層p1〜p3、ビア導体v1〜v3、およびパッド5と、基板本体2の裏面4側の外部接続端子6、メタライズ層7、ロウ材9、およびボルト10とを備えている。
該多層セラミック基板1fが前記多層セラミック基板1aと相違するのは、基板本体2の厚み方向の中間位置であるセラミック層s4,s5間には、前記導体層p4が形成されていない共に、基板本体2の裏面4側のセラミック層s5〜s8間には、電気的に独立した所謂ダミーパターンの導体層p5〜p7が形成されていることである。
以上のような多層セラミック基板1fによっても、前記多層セラミック基板1aと同様の効果を奏することができる。また、前記多層セラミック基板1b〜1eについても、上記多層セラミック基板1fと同様に、基板本体2内の裏面4側に所謂ダミーパターンの導体層p5〜p7を配設した形態としても良い。
例えば、前記セラミック層のセラミックは、アルミナ以外のムライトや窒化アルミニウムなどの高温焼成セラミック、あるいは低温焼成セラミックの一種であるガラス−セラミックとしても良い。
また、本発明の多層セラミック基板は、該多層セラミック基板を平面方向の縦横に複数個併設し、それらの周囲に複数のセラミック層のみからなる捨て代(耳部)を有する多数個取りの形態としても良い。
更に、金具は、42アロイ(Fe−42%Ni)、194合金(Cu−2.3%Fe−0.03%P)、あるいはステンレス鋼からなるものとしても良い。
また、金具のうち、前記軸体は、断面が円形である円柱体の形態に限らず、断面が多角形の多角柱体の形態、あるいは、軸方向に沿った断面の一部に非円形断面を含む形態であっても良い。
加えて、前記金具は、例えば、表面に開口するキャビティを有する基板本体の側面に形成したメタライズ層の上に、ロウ材を介して取り付けた形態しても良い。かかる形態の場合、前記セラミック部は、上記メタライズ層を基板本体の側面から平面(幅)方向に沿って投影した領域内で且つ2mm以上の幅を置いた位置に配設されている。
2…………………基板本体
3…………………表面
4…………………裏面
7,15,17…メタライズ層
8…………………側面
9,16,19…ロウ材(接合材)
10………………ボルト(金具)
12………………フランジ(ベース部)
13………………ネック部(機能部)
14………………雄ネジ部(機能部)
18………………軸体(金具)
A1………………金具のベース部の底面積
A2………………金具の機能部の断面積
SA………………セラミック部
sd………………深さ(厚み)
Claims (2)
- セラミックからなる複数のセラミック層、および該セラミック層間に形成された導体層を含む基板本体と、該基板本体の表面、裏面、および側面の少なくとも一つに形成したメタライズ層の上に接合材を介して固定された金具と、を備えた多層セラミック基板であって、
上記金具は、上記接合材と接触するベース部の底面の面積が15mm2以上であり、且つ該ベース部から基板本体の外側に立設する機能部における上記底面と平行な位置での断面積が上記ベース部の底面積以下で且つ5mm2以上であると共に、
上記基板本体において、金具が固定されたメタライズ層を該基板本体の厚み方向あるいは平面方向に沿って投影した領域内には、上記導体層が形成されていないセラミック部が配設されている、
ことを特徴とする多層セラミック基板。 - 前記セラミック部は、前記金具が接合されたメタライズ層が位置する前記基板本体の表面、裏面、および側面の少なくとも一つから厚み方向または平面方向に沿って2.0mm以上の厚みまたは幅を有している、
ことを特徴とする請求項1に記載の多層セラミック基板。
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Cited By (3)
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KR20190037134A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 전자부품 검사장치용 배선기판 |
-
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105099280A (zh) * | 2014-05-09 | 2015-11-25 | 发那科株式会社 | 电动机驱动装置 |
JP2015216018A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | ファナック株式会社 | 電磁接触器の溶着検出機能を有するモータ駆動装置 |
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