JP2019049498A - 電子部品検査装置用配線基板 - Google Patents
電子部品検査装置用配線基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019049498A JP2019049498A JP2017174426A JP2017174426A JP2019049498A JP 2019049498 A JP2019049498 A JP 2019049498A JP 2017174426 A JP2017174426 A JP 2017174426A JP 2017174426 A JP2017174426 A JP 2017174426A JP 2019049498 A JP2019049498 A JP 2019049498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminate
- wiring board
- electronic component
- component inspection
- stud
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 41
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 41
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 41
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 41
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 92
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 15
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002708 Au–Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017518 Cu Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017752 Cu-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017943 Cu—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0268—Marks, test patterns or identification means for electrical inspection or testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
- G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02118—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer carbon based polymeric organic or inorganic material, e.g. polyimides, poly cyclobutene or PVC
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/022—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being a laminate, i.e. composed of sublayers, e.g. stacks of alternating high-k metal oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/041—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L31/00
- H01L25/043—Stacked arrangements of devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0271—Arrangements for reducing stress or warp in rigid printed circuit boards, e.g. caused by loads, vibrations or differences in thermal expansion
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4602—Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated
- H05K3/4605—Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated made from inorganic insulating material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
- H05K3/4629—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15172—Fan-out arrangement of the internal vias
- H01L2924/15174—Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/01—Dielectrics
- H05K2201/0137—Materials
- H05K2201/0154—Polyimide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
また、前記スタッドの接合を樹脂接着剤で行った場合、該樹脂接着剤のスタッドからはみ出す長さを十分に制御できないことにより、上記外部接続端子の一部を上記樹脂接着剤が覆ってしまい、該外部接続端子が外部の電極などとの電気的な接続ができなくなる、おそれがあった。
更に、前記電子部品検査装置用配線基板とするために、複数のプローブ用パッドを表面に有する複数の樹脂絶縁層と、該樹脂絶縁層の裏面側に配置され且つ複数のセラミック層とを積層した構造を有する形態とした場合、最外側の該セラミックの裏面側に設けた金属層に対しスタッドをロウ付けして接合する際に、前記樹脂絶縁層を構成する樹脂が軟化あるいは融解して変形する、おそれがあった。
即ち、本発明の電子部品検査装置用配線基板(請求項1)は、複数の樹脂層を積層してなり、表面に複数のプローブ用パッドを有する第1積層体と、該第1積層体の裏面側に配置され且つ複数のセラミック層を積層してなる第2積層体と、該第2積層体の裏面に接合された複数のスタッドと、を備えた電子部品検査装置用配線基板であって、上記第1積層体の樹脂層は、熱変形温度が300℃以上である樹脂からなり、上記スタッドは、第2積層体の裏面に形成された金属層の表面上にロウ材層を介して接合されている、ことを特徴とする。
(1)前記第1積層体の樹脂層を構成する樹脂を熱変形温度が300℃以上のものとし、且つ前記スタッドを、第2積層体の裏面に形成された金属層の表面上にロウ材層を介して接合することとしたので、上記スタッドをロウ付けする際に前記ロウ材のロウ付け温度が300℃以上であっても、上記第1積層体を構成する樹脂層が軟化したり、融解するなどの変形が皆無となり、形状および寸法精度が優れている。
また、前記第2積層体を構成する前記セラミック層は、例えば、ガラス−セラミックのような低温焼成セラミックからなる。
更に、前記第1積層体や第2積層体の内部には、互いに導通可能な内層配線やビア導体が適宜形成される。かかる内層配線やビア導体は、銅または銅合金、あるいは銀または銀合金からなる。但し、第2積層体の内部に形成される内層配線やビア導体は、タングステンやモリブデンを含むメタライズ層としても良い。
また、前記金属層は、例えば、スバッタリングによるチタンの薄膜層と銅の薄膜層、および銅のメッキ膜とニッケルのメッキ膜を順次積層したものである。
更に、前記ロウ材層は、前記金属層の表面またはスタッドのフランジ部の接合面に溶融状態で供給されるか、あるいは、平面視で前記フランジ部の外形と相似形にプリフォームしたものが配設される。
また、前記スタッドは、例えば、コバール(Fe−29%Ni−17%co)、42アロイ(Fe−42%Ni)、194合金(Cu−2.3%Fe−0.03%P)、あるいは、種々のステンレス鋼からなる。
加えて、前記金属層、接合後のロウ材層、およびスタッドの外部に露出する表面には、例えば、ニッケル膜を介して金膜が電解メッキによって被覆されている。
上記電子部品検査装置用配線基板によれば、以下の効果(2)が得られる。
(2)前記第2積層体の裏面において、複数のスタッドおよび複数の接続端子が高密度で配置されていても、個々のスタッドを接合するためのロウ材層における延出部の長さが、該スタッドの接合面よりも平面視で50μm以下であるため、隣接するスタッドあるいは外部接続端子との間で、不用意なショートを抑制することができる。
これによれば、複数の前記スタッドを接合するためのロウ材層ごとの前記延出部全体の標準偏差σが30μm以下であるので、前記効果(2)を一層確実に得ることが可能となる。
上記電子部品検査装置用配線基板によれば、以下の効果(3)が得られる。
(3)前記ボルト部の雄ネジあるいは前記ナット筒体部の雌ネジにネジ結合する検査装置側のナットあるいはボルトを、前記スタッドごとに調整することによって、検査対象である多数の電子部品に対し、前記プローブ用パッドごとの上面に植設されるプローブピンを確実に接触させ且つ正確な検査を行うことができる。
尚、前記スタッドのフランジ部は、例えば、厚みが約2〜7mmの均一な平板であり、且つ底面視が前記円形(例えば、直径が10〜14mm)のほか、六角形以上の正多角形を呈する形態であっても良い。
また、前記スタッドのボルトやナット筒体の雄ネジや雌ネジは、例えば、M4あるいはM5のネジである。
これによれば、前記効果(1),(2)を一層確実に得ることができる。
また、本発明には、前記第1積層体の樹脂層は、ポリイミドからなる、電子部品検査装置用配線基板(請求項6)も含まれる。
これによれば、上記ポリイミドの熱変形温度が343℃であるため、前記効果(1)をより確実に得ることができる。
これによれば、前記ロウ材層を構成する金ロウ(金合金)や銀ロウ(銀合金)は、ロウ付け温度が前者が約300℃であり、後者が約800℃であるため、前記効果(1)を確実に得ることが可能となる。
尚、前記金ロウは、例えば、Au−Sn合金やAu−Cu合金であり、前記銀ロウは、例えば、Ag−Cu合金やAg−Cu−Zn合金が例示される。
図1は、本発明による一形態の電子部品検査装置用配線基板(以下、単に配線基板と称する)1を示す垂直断面図である。
上記配線基板1は、図1に示すように、複数(3つ)の樹脂層j1〜j3を積層してなり、且つ対向する表面5および裏面6を有する第1積層体3と、該第1積層体3の裏面6側に配置され、複数(3つ)のセラミック層c1〜c3を積層してなり且つ対向する表面7および裏面8を有する第2積層体4と、からなる基板本体2を備えている。
上記表面配線12ごとには、第1積層体3側のビア導体14が個別に接続されている。また、上記裏面8には、上記接続端子15とは200μm以上離れた位置ごとに、複数の金属層16が形成されている。
また、前記表面配線12、内層配線13、接続端子15、およびビア導体14は、銀あるいは銅を主成分としている。
更に、前記金属層16は、前記裏面8側から下側(外側)に向かって、スパッタリングによるチタンの薄膜層、同じく銅の薄膜層、およびこれらの下側に電解金属メッキによる銅膜およびニッケル膜が順次形成されたものであり、更にこれら全体の外側面に金膜(何れも図示せず)が順次被覆されている。
上記金属層16の表面と、これに対向する上記フランジ部21の接合面22との間には、全体が円板形状のロウ材層28が配設され、該ロウ材層28を介して、上記スタッド20aが金属層16に接合されている。
上記ロウ材層28は、図2に示すように、その最外部から前記フランジ部21の接合面22の外周縁までの距離(x)に位置する延出部29を有し、該距離の長さxは、平面視で50μm以下である。かかる延出部29は、上記フランジ部21の外周面に沿って濡れ出て凝固したフィレット形状の断面を有している。
予め、図3に示すように、例えば、Au−Sn合金からなるシート状のロウ材(図示せず)を、平面視で前記フランジ部21の外形よりも僅かに大きな円形に打ち抜く加工などにより、円板形状に成形したプリフォーム材28aを用意した。
次いで、図3中の横向きの矢印で示すように、前記プリフォーム材28aを前記フランジ部21の接合面22の上に載置した。引き続いて、図3中の上向きの矢印で示すように、上記プリフォーム材28aを含むスタッド20aを、金属層16の表面に圧力を伴って接触させた。更に、かかる状態で前記配線基板1を加熱炉(図示せず)内に挿入し、上記プリフォーム材28aの融点付近まで加熱し且つ所定時間に亘って保持した。
その結果、前記図2で示した平面視の最外部側に前記延出部29を有し、平面視で該延出部29が前記フランジ部21の最外部からのはみ出した長さxを50μm以下に抑制した前記ロウ材層28を得られると共に、該ロウ材層28を介して、前記スタッド20aを前記第2積層体4の裏面8に予め設けた金属層16の表面に強固にロウ付け(接合)することができた。しかも、複数のスタッド20aに対して、前記延出部29ごとの長さxのバラツキを示す標準偏差σが、30μm以下となるように調整して接合されていた。
以上のような配線基板1によれば、前記効果(1)〜(3)を有していることが容易に理解される。
一方の配線基板1を実施例とし、該配線基板1の上記金属層16ごとの表面には、前記スタッド20aをそのフランジ部21の接合面22上に、該フランジ部21の直径よりも直径が0.3〜3μm大きな前記プリフォーム材28aを載置したものを、圧力を伴って接触させ、かかる状態で加熱炉内でロウ付けした。
その結果、得られた20個のロウ材層28について、それらの延出部29のフランジ部21の外周縁からのはみ出した最大長さxを個別に測定した。該長さx全部の標準偏差σを算出した結果、該偏差σは、23μmであった。
その結果、得られたアクリル樹脂からなる20個の接着層について、それらの延出部のフランジ部21の外周縁からのはみ出した最大長さxを測定した。該長さx全部の標準偏差σを算出した結果、該偏差σは、992μmであった。
以上のような実施例および比較例によれば、本発明による配線基板1が前記効果(2)を有していることが裏付けられた。
上記スタッド20bは、例えば、コバールからなり、図4に示すように、前記同様のフランジ部21と、該フランジ部21の表面の中央部から垂直に立設された円柱形状のナット筒体部26と、を備えている。該ナット筒体部26の中心軸側には、同軸心で且つM4またはM5の雌ネジ25が内周面に刻設された雌ネジ穴が形成されている。
尚、上記ナット筒体部26の雌ネジ26には、図示しない検査装置側から立設するボルトがネジ結合しつつ進入する。これによって、複数のスタッド20bを第2接合体4の裏面8側に接合した配線基板1の姿勢を、最適な検査が可能なものにすることできる。
上記ナット筒体部26を含むスタッド20bを前記同様に用いた配線基板1によっても、前記効果(1)〜(3)を得ることが可能である。
例えば、前記第1積層体3を構成する樹脂層jnは、2層あるいは4層以上としても良いし、これらを構成する樹脂材料も、熱変形温度が300℃以上であれば、前記ポリイミドに限らず、これ以外の樹脂材料を用いても良い。
また、前記第2積層体4を構成するセラミック層cnも、2層あるいは4層以上としても良いし、これを構成するセラミックも、アルミナ、ムライト、窒化アルミニウムなどの高温焼成セラミックを用いても良い。該高温焼成セラミックを用いる場合、前記配線12,13、ビア導体14、および接続端子15の導電性材料には、タングステンまたはモリブデンが用いられる。
また、前記スタッド20a,20bのフランジ部は、平面視が六角形以上の正多角形を呈するものとしても良い。この場合、前記プリフォーム材も前記正多角形と平面視が相似形のものが用いられる。
更に、前記スタッド20a,20bにおける雄ネジ23や雌ネジ25は、M4,M5以外のネジとしても良い。
加えて、前記ロウ材層28となるロウ材には、前記Au−Sn合金以外の金ロウ、あるいは銀ロウを用いても良い。
3…………………第1積層体
4…………………第2積層体
5…………………表面
6,8……………裏面
9…………………プローブ用パッド
16………………金属層
20a,20b…スタッド
21………………フランジ部
22………………接合面
24………………ボルト部
26………………ナット筒体部
28………………ロウ材層
29………………延出部
j1〜j3………樹脂層
c1〜c3………セラミック層
x…………………長さ
Claims (7)
- 複数の樹脂層を積層してなり、表面に複数のプローブ用パッドを有する第1積層体と、該第1積層体の裏面側に配置され且つ複数のセラミック層を積層してなる第2積層体と、該第2積層体の裏面に接合された複数のスタッドと、を備えた電子部品検査装置用配線基板であって、
上記第1積層体の樹脂層は、熱変形温度が300℃以上である樹脂からなり、
上記スタッドは、第2積層体の裏面に形成された金属層の表面上にロウ材層を介して接合されている、
ことを特徴とする電子部品検査装置用配線基板。 - 前記ロウ材層は、平面視にて該ロウ材層の最外部から前記スタッドの接合面の外周縁までの距離である延出部を有し、該延出部の長さは平面視で50μm以下である、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記複数のスタッドを接合している前記複数のロウ材層は、それぞれ前記延出部を有し、平面視にて複数の該延出部のバラツキである標準偏差σが30μm以下である、
ことを特徴とする請求項2に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記スタッドは、前記金属層と対向する前記接合面を有するフランジ部と、該フランジ部の表面から垂直に立設されたボルト部、あるいは前記フランジ部の表面から垂直に立設されたナット筒体部とからなる、
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記スタッドは、該スタッドのフランジ部が前記第2積層体の裏面に形成された金属層の表面に、前記ロウ材層を介して接合されている、
ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記第1積層体の樹脂層は、ポリイミドからなる、
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記ロウ材層は、金ロウあるいは銀ロウからなる、
ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017174426A JP2019049498A (ja) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 電子部品検査装置用配線基板 |
US16/125,906 US10729006B2 (en) | 2017-09-12 | 2018-09-10 | Wiring substrate for electronic component inspection apparatus |
KR1020180107810A KR102165502B1 (ko) | 2017-09-12 | 2018-09-10 | 전자부품 검사장치용 배선기판 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017174426A JP2019049498A (ja) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 電子部品検査装置用配線基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019049498A true JP2019049498A (ja) | 2019-03-28 |
Family
ID=65632029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017174426A Pending JP2019049498A (ja) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 電子部品検査装置用配線基板 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10729006B2 (ja) |
JP (1) | JP2019049498A (ja) |
KR (1) | KR102165502B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019060817A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 電子部品検査装置用配線基板 |
KR102466911B1 (ko) * | 2020-09-28 | 2022-11-14 | 주식회사 디아이티 | 프레임과의 결합수단을 구비한 다층 세라믹 기판 및 그의 제조 방법 |
TWI798027B (zh) * | 2022-03-14 | 2023-04-01 | 巨擘科技股份有限公司 | 探針卡裝置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070229102A1 (en) * | 2004-06-15 | 2007-10-04 | Formfactor, Inc. | Mechanically reconfigurable vertical tester interface for ic probing |
JP2010266336A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Advantest Corp | 製造方法、製造装置、試験装置、試験方法および接続用基板 |
JP2015025812A (ja) * | 2009-01-15 | 2015-02-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体素子検査用基板 |
WO2015108051A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 株式会社村田製作所 | 積層配線基板およびこれを備える検査装置 |
JP2016050815A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社村田製作所 | 積層配線基板およびこの積層配線基板を備えるプローブカード |
JP2017092105A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5519312B2 (ja) | 2010-02-10 | 2014-06-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 多層セラミック基板及びその製造方法 |
JP2019060817A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 電子部品検査装置用配線基板 |
JP2019060819A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 電子部品検査装置用配線基板 |
-
2017
- 2017-09-12 JP JP2017174426A patent/JP2019049498A/ja active Pending
-
2018
- 2018-09-10 KR KR1020180107810A patent/KR102165502B1/ko active IP Right Grant
- 2018-09-10 US US16/125,906 patent/US10729006B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070229102A1 (en) * | 2004-06-15 | 2007-10-04 | Formfactor, Inc. | Mechanically reconfigurable vertical tester interface for ic probing |
JP2015025812A (ja) * | 2009-01-15 | 2015-02-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体素子検査用基板 |
JP2010266336A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Advantest Corp | 製造方法、製造装置、試験装置、試験方法および接続用基板 |
WO2015108051A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 株式会社村田製作所 | 積層配線基板およびこれを備える検査装置 |
JP2016050815A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社村田製作所 | 積層配線基板およびこの積層配線基板を備えるプローブカード |
JP2017092105A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10729006B2 (en) | 2020-07-28 |
KR102165502B1 (ko) | 2020-10-14 |
KR20190029474A (ko) | 2019-03-20 |
US20190082531A1 (en) | 2019-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20190304702A1 (en) | Electrical connection contact for a ceramic component, a ceramic component, and a component arrangement | |
TWI257832B (en) | Intermediate substrate, intermediate substrate with semiconductor element, substrate with intermediate substrate, and structure having semiconductor element, intermediate substrate and substrate | |
KR20000067943A (ko) | Z축 상호 연결 방법 및 회로 | |
TW200425808A (en) | Intermediate board, intermediate board with a semiconductor device, substrate board with an intermediate board, structural member including a semiconductor device, an intermediate board and a substrate board, and method of producing an intermediate board | |
JP2009076873A (ja) | 多層配線基板及びその製造方法、ic検査装置用基板及びその製造方法 | |
US9170274B2 (en) | Wiring board for electronic parts inspecting device and its manufacturing method | |
KR102165502B1 (ko) | 전자부품 검사장치용 배선기판 | |
JP6502205B2 (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
JP2018133572A (ja) | 多層配線基板およびこれを備えるプローブカード | |
JP2016021550A (ja) | 配線基板及びその製造方法、配線基板用の柱状端子 | |
KR102229729B1 (ko) | 검사장치용 배선기판 | |
KR102164081B1 (ko) | 전자부품 검사장치용 배선기판 | |
KR102165507B1 (ko) | 전자부품 검사장치용 배선기판 | |
US8981237B2 (en) | Wiring board for electronic parts inspecting device and its manufacturing method | |
JP5848901B2 (ja) | 配線基板 | |
JP5848139B2 (ja) | 配線基板およびはんだバンプ付き配線基板ならびに半導体装置 | |
TWI749359B (zh) | 配線基板 | |
JP2015159242A (ja) | 配線基板およびそれを備えた多層配線基板 | |
WO2016114170A1 (ja) | プローブカードおよびこのプローブカードが備える積層配線基板 | |
JP2015002262A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP5507278B2 (ja) | マシナブルセラミックス回路基板及びその製造方法 | |
JP2018181995A (ja) | 配線基板 | |
JP2005011908A (ja) | 中継基板、半導体素子付き中継基板、中継基板付き基板、半導体素子と中継基板と基板とからなる構造体 | |
JP6225057B2 (ja) | 多層セラミック配線基板 | |
TW202326146A (zh) | 測試基板及其製造方法及探針卡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190923 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20200210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210608 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211207 |