JP2011134760A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空冷される光源11を備えた光源側ユニット100と、光源11からの光を露光対象に導く光学素子を備えた光学系側ユニット200とを含む露光装置において、窓材10を介して光源側ユニット100からの光を透過させる。光学系ユニット200は略密閉され、その内部の圧力を、外部よりも高めておく。光源側ユニット100にはノズル14を設け、窓材10に不活性ガスを吹き付ける。窓材10表面に不活性ガスを局所的に連続的に吹き付け、窓材10の表面雰囲気中の窒素ガスを高濃度に保持することにより、硫化物等の不純物や酸素を減少させ、窓材10に発生する曇りを飛躍的に低減させることができる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施形態による露光装置の構成例を示す図である。同図には、露光装置の光源および光学系に関する構成が示されている。なお、同図においては、作図の都合から装置の奥行きを表現していない。
光学系側ユニット200は、光源11からの光の焦点位置近傍に位置する光学素子であるフライアイレンズ22が内部に備えられ、略密閉されている。ここで、「略密閉」とは、ユニット200内が真空ではなく、わずかな隙間が許容される状態を指す。
上述した構成の露光装置において、光源11から出力されたUVは、楕円ミラー12およびミラー13によって反射され、窓材10を介して光源側ユニット100から光学系側ユニット200に入射する。そして、光学系側ユニット200に入射したUVは、ミラー21によって反射され、シリンドリカルレンズ23に入射する。ここで、本例では、フライアイレンズ22の近傍に焦点が位置するように、楕円ミラー12、ミラー13、ミラー21が配置されている。
本実施形態では、光源11を空気の流れによって冷却している。空気の流路を確保するため、光源側ユニット100の底部に吸気のための吸気口(図示せず)、上面に排気のための排気口(図示せず)が設けられている。光源が発熱するため、図示せぬ吸気口からの吸気41および図示せぬ排気口からの熱排気42によって空気流が生じる。この空気流によって、光源11やミラーなど、光源側ユニット100内の設備が冷却される。
ところで、窓材10に曇りが発生した場合は、新たな窓材と交換することができる。窓材10の交換は、例えば、光学系側ユニット200の蓋(図示せず)を開け、その開口部分を介して行われる。
図1では、光源側ユニット100と光学系側ユニット200とが窓材10を介して接触している場合について説明したが、これらのユニットが接触していない場合についても本発明を適用することができる。例えば、図1中のフライアイレンズ22の位置とミラー21の位置とが入れ替わり、図3に示されているように、光源側ユニット100と光学系側ユニット200とが接触していない構成とされている場合においても、ノズル14から窒素ガス44を連続供給することにより、窓材10の表面を高濃度窒素ガス雰囲気に保持することができる。
上記の例では、窓材10にのみ不活性ガスを吹き付けているが、光源側ユニット100内のミラー13の表面や、他の光学素子の表面など、汚れが付着する可能性がある部分についても同様に不活性ガスを吹き付けてもよい。この場合、不活性ガスを吹き付けるためのノズルを、汚れが付着する可能性がある部分の近傍に追加して設け、その部分を高濃度窒素ガス雰囲気に保持すればよい。
本発明によれば、2つのユニット間を窓材によって隔てることにより、各ユニットごとに独立した排気と適切な量のガスでパージ(浄化)が可能である。このため、本発明によれば、露光光源全体をパージするための窒素ガス(N2)を必要としない。窓材表面に不活性ガスである窒素ガスを局所的に連続的に吹き付け、窓材の表面雰囲気中の窒素ガスを高濃度に保持することにより、硫化物等の不純物や酸素(O2)を減少させ、窓材に発生する曇りを飛躍的に低減させることができる。これにより、窓材の交換時期を大幅に伸ばすことが可能であり、かつ、交換にかかる費用のコストダウンが可能である。
11 光源
12 楕円ミラー
13、21 ミラー
14 ノズル
22 フライアイレンズ
23 シリンドリカルレンズ
24 コンデンサレンズ
25 偏光板
26 窓材
41 吸気
42 熱排気
43 CDA
44 窒素ガス
100 光源側ユニット
200 光学系側ユニット
300 露光対象
Claims (2)
- 空冷される光源を備えた光源側筐体と、
前記光源からの光の焦点位置近傍に位置し前記光源からの光を露光対象に導く光学素子を備えた光学系側筐体とを含み、
前記光学系筐体は略密閉され、かつ、該筐体の内部の圧力は該筐体の外部よりも高められており、光を透過する光透過部材を介して前記光源側筐体から前記光学系筐体へ光を透過させ、
前記光源側筐体は、前記光透過部材に不活性ガスを吹き付けるノズルを備えていることを特徴とする露光装置。 - 前記光源側筐体は、該筐体の底部に設けられた吸気口と、該筐体の上面に設けられた排気口とを備え、前記吸気口から前記排気口へ向けて、冷却のための空気流を生じさせることにより、前記光源と前記光源からの光を前記光学系筐体へ導く光学素子とを空冷することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013161082A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-08-19 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
CN107367909A (zh) * | 2017-08-29 | 2017-11-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 曝光机 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03150549A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Orc Mfg Co Ltd | 露光焼付装置用光源ユニット |
JPH03198320A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Nikon Corp | 投影光学装置 |
JPH0419998A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Fujitsu Ltd | 放射線取り出し窓 |
JPH07335516A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 走査型露光装置 |
JPH10135128A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JPH11224839A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-17 | Canon Inc | 露光装置とデバイス製造方法、ならびに該露光装置の光学素子クリーニング方法 |
JPH11329951A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Canon Inc | 光源装置及び露光装置 |
JP2001274054A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Canon Inc | 露光装置、半導体デバイス製造方法および半導体デバイス製造工場 |
JP2001345262A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-12-14 | Canon Inc | 露光装置、ガス置換方法、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
JP2003257845A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Canon Inc | 露光装置 |
JP2005292316A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2005338603A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Orc Mfg Co Ltd | 露光装置 |
JP2008164729A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Ushio Inc | 光照射器及び光照射装置並びに露光方法 |
JP2008221193A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
JP2009238471A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | エキシマランプ |
-
2009
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Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03150549A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Orc Mfg Co Ltd | 露光焼付装置用光源ユニット |
JPH03198320A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Nikon Corp | 投影光学装置 |
JPH0419998A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Fujitsu Ltd | 放射線取り出し窓 |
JPH07335516A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 走査型露光装置 |
JPH10135128A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JPH11224839A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-17 | Canon Inc | 露光装置とデバイス製造方法、ならびに該露光装置の光学素子クリーニング方法 |
JPH11329951A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Canon Inc | 光源装置及び露光装置 |
JP2001274054A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Canon Inc | 露光装置、半導体デバイス製造方法および半導体デバイス製造工場 |
JP2001345262A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-12-14 | Canon Inc | 露光装置、ガス置換方法、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
JP2003257845A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Canon Inc | 露光装置 |
JP2005292316A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2005338603A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Orc Mfg Co Ltd | 露光装置 |
JP2008164729A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Ushio Inc | 光照射器及び光照射装置並びに露光方法 |
JP2008221193A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
JP2009238471A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | エキシマランプ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013161082A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-08-19 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
CN107367909A (zh) * | 2017-08-29 | 2017-11-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 曝光机 |
CN107367909B (zh) * | 2017-08-29 | 2019-01-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 曝光机 |
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Publication number | Publication date |
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