JP2011133306A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この外観検査装置100(検査装置)は、実装済み基板110を撮像する撮像部31と、実装済み基板110上の計測位置にレーザ光を照射して実装済み基板110からの反射光を受光することにより、実装済み基板110の形状を計測する第1レーザ計測部33および第2レーザ計測部34と、撮像部31による実装済み基板110の撮像画像に基づいて、撮像画像中に含まれるレーザ計測に不適な領域(レーザ計測除外領域)を判定し、レーザ計測除外領域を第1レーザ計測部33または第2レーザ計測部34による計測対象から除外する演算処理部41とを備える。
【選択図】図4
Description
32 照明部
33 第1レーザ計測部(レーザ計測装置、正反射型計測装置)
33a 発光部
33b 受光部
34 第2レーザ計測部(レーザ計測装置、拡散反射型計測装置)
34a 発光部
34b 受光部
41 演算処理部(制御部)
100 外観検査装置(検査装置)
110 実装済み基板(検査物)
120 部品(電子部品)
130 プリント基板(基板)
F2 穴部(レーザ計測装置による測定に不適な形状)
F3 急傾斜部(レーザ計測装置による測定に不適な形状)
Claims (13)
- 検査物を撮像する撮像部と、
前記検査物上の計測位置にレーザ光を照射して前記検査物からの反射光を受光することにより、前記検査物の形状を計測するレーザ計測装置と、
前記撮像部による前記検査物の撮像画像に基づいて、前記撮像画像中に含まれる前記レーザ計測装置による計測に不適な領域を判定し、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域を前記レーザ計測装置による計測対象から除外する制御部とを備える、検査装置。 - 前記制御部は、除外された前記レーザ計測装置による計測に不適な領域以外の領域のうち、少なくとも一部を指定して、前記レーザ計測装置による計測を実行するように構成されている、請求項1に記載の検査装置。
- 前記レーザ計測装置による計測に不適な領域は、前記検査物の形状が前記レーザ計測装置による測定に不適な形状である領域を少なくとも含む、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記レーザ計測装置による測定に不適な形状に関する情報を用いて、前記検査物の撮像画像中に含まれる前記レーザ計測装置による測定に不適な形状を検出するように構成されている、請求項3に記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記検査物の撮像画像における光の強度の差異に基づいて、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域を判定するように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記検査物の上方から照明光を照射可能な照明部をさらに備え、
前記撮像部は、前記照明部による前記検査物の上方からの照明光を用いて、前記検査物の上方から撮像を行うように構成されている、請求項5に記載の検査装置。 - 前記検査物は、電子部品が基板上に実装された実装済み基板であり、
前記制御部は、前記検査物のうち少なくとも前記基板上の電子部品の半田接合部について、前記撮像部による前記検査物の撮像画像に基づいて、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域を判定するように構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記レーザ計測装置による計測に不適な領域は、前記検査物の形状が前記レーザ計測装置による測定に不適な形状である領域を少なくとも含み、
前記レーザ計測装置による計測に不適な形状は、半田接合部に形成された穴部または急傾斜部のうち少なくとも1つを含む、請求項7に記載の検査装置。 - 前記制御部は、さらに、前記基板上に実装された電子部品の形状に関する情報に基づいて、前記レーザ計測装置から前記検査物へのレーザ光の入射経路または前記検査物からの反射光の反射経路が前記電子部品により遮られる可能性のある領域を、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域として判定するように構成されている、請求項7または8に記載の検査装置。
- 前記制御部は、前記撮像部による前記検査物の撮像画像に基づき、前記基板上に実装された電子部品の実装位置と、予め設定されている電子部品の設計実装位置との実装位置ずれを算出し、算出された電子部品の前記実装位置ずれにも基づいて、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域を判定するように構成されている、請求項7〜9のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記レーザ計測装置は、前記検査物にレーザ光を出射する発光部と、前記検査物から反射された反射光を受光する受光部とを含み、
前記制御部は、前記レーザ計測装置の前記発光部から前記受光部に向かう方向に基づいて、前記発光部から前記検査物へのレーザ光の入射経路または前記検査物から前記受光部への反射光の反射経路が遮られる可能性のある領域を、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域として判定するように構成されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記レーザ計測装置は、前記検査物から反射された反射光のうち、正反射成分を受光する正反射型計測装置と、拡散反射成分を受光する拡散反射型計測装置とを含み、
前記制御部は、計測を行う前記レーザ計測装置が正反射型計測装置であるかまたは前記拡散反射型計測装置であるかの前記レーザ計測装置の種類に基づいて、前記発光部から前記検査物へのレーザ光の入射経路または前記検査物から前記受光部への反射光の反射経路が遮られる可能性のある領域を、前記レーザ計測装置による計測に不適な領域として判定するように構成されている、請求項1〜11のいずれか1項に記載の検査装置。 - 検査物を撮像するステップと、
撮像された前記検査物の撮像画像に基づいて、前記撮像画像中に含まれるレーザ光による計測に不適な領域を判定し、前記レーザ光による計測に不適な領域を前記レーザ光による計測対象から除外するステップと、
前記検査物上の計測位置にレーザ光を照射して前記検査物からの反射光を受光することにより、前記検査物の形状を計測するステップとを備える、検査方法。
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