JP2011129561A - 光電変換装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】p型のドーパントを含むp型層40、発電層となる微結晶シリコン層であるi型層42及びn型のドーパントを含むn型層44を積層した光電変換ユニットを含む光電変換装置であって、p型層40は、微結晶シリコン層である第1のp型層40aと、微結晶シリコンp型層40aとi型層42との間に配置されたアモルファスシリコンp型層及びアモルファス炭化シリコンp型層の少なくとも一方を含む第2のp型層40bと、の積層構造を有するものとする。第2のp型層40bは、i型層42側に酸化層を備える。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の実施例及び比較例を示す。
透明絶縁基板10として、33cm×43cm角,4mm厚のガラス基板を用いた。透明絶縁基板10上に、熱CVDにより透明導電膜12として表面に凹凸形状を有する600nm厚のSnO2を形成した。この後、透明導電膜12をYAGレーザにて短冊状にパターニングした。YAGレーザは、波長1064nm、エネルギー密度13J/cm2、パルス周波数3kHzのものを用いた。
透明絶縁基板10上に比較例1と同様に透明導電膜12を形成し、YAGレーザにて短冊状にパターニングした。次に、a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層を順に積層した。a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層は、表3に示す成膜条件において形成した。その後、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出すことなく、表3に示す条件で、μc−Siユニット104のp型層40を単層として形成した。
透明絶縁基板10上に比較例1と同様に透明導電膜12を形成し、YAGレーザにて短冊状にパターニングした。次に、a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層を順に積層した。a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層は、表5に示す成膜条件において形成した。その後、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出すことなく、表5に示す条件で、μc−Siユニット104の第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成した。
透明絶縁基板10上に実施例1と同様に透明導電膜12,a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層並びにμc−Siユニット104の第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成した。次に、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出し、μc−Siユニット104の第2のp型層40bを大気に暴露して酸化させた。
透明絶縁基板10上に実施例1と同様に透明導電膜12並びにa−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層を形成した。さらに、表7に示すように、μc−Siユニット104の第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成した。ここで、第2のp型層40bはアモルファス炭化シリコン層とした。次に、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出し、μc−Siユニット104の第2のp型層40bを大気に暴露して酸化させた。
透明絶縁基板10上に実施例3と同様に透明導電膜12,a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層並びにμc−Siユニット104の第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成した。次に、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出し、μc−Siユニット104の第2のp型層40bを大気に暴露して酸化させた。
透明絶縁基板10上に実施例3と同様に透明導電膜12,a−Siユニット102のp型層,i型層及びn型層並びにμc−Siユニット104の第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成した。次に、透明絶縁基板10を成膜室から大気中に取り出し、μc−Siユニット104の第2のp型層40bを大気に暴露して酸化させた。
実施例3において第2のp型層40bの膜厚依存性を調べ実施例6とした。第2のp型層40bを設けない場合に加えて、第2のp型層40bの膜厚を1nm〜10nmまで変化させた場合の光電変換効率を測定した。
実施例3においてバッファ層42aの膜厚依存性を調べ実施例6とした。バッファ層42aを設けない場合に加えて、バッファ層42aの膜厚を300nmまで変化させた場合の光電変換効率を測定した。
実施例3においてバッファ層42aの形成時の水素(H2)/シラン(SiH4)希釈比依存性を調べ実施例8とした。水素(H2)/シラン(SiH4)希釈比は50〜400の範囲で変化させた。
透明絶縁基板10上に比較例1と同様に透明導電膜12を形成し、YAGレーザにて短冊状にパターニングした。次に、a−Siユニット102を形成せず、表2に示す成膜条件でμc−Siユニット104のp型層40、i型層42及びn型層44を形成した。この後、比較例1と同様に、第1裏面電極層16,第2裏面電極層18の形成やパターンニングを行った。
透明絶縁基板10上に比較例1と同様に透明導電膜12を形成し、YAGレーザにて短冊状にパターニングした。次に、a−Siユニット102を形成せず、表7に示す成膜条件で第1のp型層40a及び第2のp型層40bを形成し、第2のp型層40bを大気に暴露して酸化した後、表6に示す成膜条件でμc−Siユニット104のi型層42及びn型層44を形成した。この後、比較例1と同様に、第1裏面電極層16,第2裏面電極層18の形成やパターンニングを行った。
透明絶縁基板10上に比較例1と同様に透明導電膜12を形成し、YAGレーザにて短冊状にパターニングした。次に、比較例1と同様にa−Siユニット102を形成した。その後、一度大気に取り出した後、表10に示すように、μc−Siユニット104のp型半導体層を形成した。p型層は、p型結晶質シリコン半導体層を形成した後、p型のアモルファス炭化シリコン半導体層を形成した。続いてi型の微結晶シリコン層(バッファ層)およびi型微結晶シリコン層およびn型結晶質シリコン層を形成した。その後、比較例1と同様に、第1裏面電極層16,第2裏面電極層18の形成やパターンニングを行った。
Claims (12)
- p型のドーパントを含むp型層、発電層となる微結晶シリコン層であるi型層及びn型のドーパントを含むn型層を積層した光電変換ユニットを含む光電変換装置であって、
前記p型層は、微結晶シリコン層である第1のp型層と、前記微結晶シリコンp型層と前記i型層との間に配置されたアモルファスシリコンp型層及びアモルファス炭化シリコンp型層の少なくとも一方を含む第2のp型層と、の積層構造を有することを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1に記載の光電変換装置であって、
前記第2のp型層は、前記i型層側に酸化層を備えることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1又は2に記載の光電変換装置であって、
前記第2のp型層と前記i型層との間に、前記i型層より結晶性が高くなる条件で成膜された微結晶シリコン層を含むバッファ層を備えることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1又は2に記載の光電変換装置であって、
前記第2のp型層と前記i型層との間に、アモルファスシリコン層と、前記i型層より結晶性が高くなる条件で成膜された微結晶シリコン層と、の積層構造を含むバッファ層を備えることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の光電変換装置であって、
前記第2のp型層の膜厚は、1nm以上4.5nm以下であることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項3に記載の光電変換装置であって、
前記バッファ層の膜厚は、8nm以上100nm以下であることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1に記載の光電変換装置であって、
前記i型層の光入射側に、発電層となるアモルファスシリコン層を積層したことを特徴とする光電変換装置。 - p型のドーパントを含むp型層、発電層となる微結晶シリコン層であるi型層及びn型のドーパントを含むn型層を積層した光電変換ユニットを含む光電変換装置の製造方法であって、
前記p型層として、微結晶シリコン層である第1のp型層を形成し、前記微結晶シリコンp型層と前記i型層との間にアモルファスシリコンp型層及びアモルファス炭化シリコンp型層の少なくとも一方を含む第2のp型層を形成する工程と、
前記第2のp型層の前記i型層側を酸化する工程と、
を備えることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項8に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第2のp型層の前記i型層側を酸化する工程は、前記p型層を形成後に大気暴露する工程であることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項8又は9に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第2のp型層と前記i型層との間に、前記i型層より結晶性が高くなる条件で成膜された微結晶シリコン層を含むバッファ層を形成する工程を備えることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項8又は9に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記第2のp型層と前記i型層との間に、アモルファスシリコン層と、前記i型層より結晶性が高くなる条件で成膜された微結晶シリコン層と、の積層構造を含むバッファ層を形成する工程を備えることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項8に記載の光電変換装置の製造方法であって、
前記i型層の光入射側に、発電層となるアモルファスシリコン層である第2のi型層を積層した光電変換ユニットを含み、
前記第1のp型層及び前記第2のp型層を形成する工程の前に、前記第2のi型層を形成する工程を更に備え、
前記第2のi型層を形成する工程と、前記第1のp型層及び前記第2のp型層を形成する工程と、の間に、既に形成された層を大気に暴露する工程を含まないことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
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