JP2011124612A - 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 - Google Patents
多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011124612A JP2011124612A JP2011051506A JP2011051506A JP2011124612A JP 2011124612 A JP2011124612 A JP 2011124612A JP 2011051506 A JP2011051506 A JP 2011051506A JP 2011051506 A JP2011051506 A JP 2011051506A JP 2011124612 A JP2011124612 A JP 2011124612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film
- multilayer reflective
- conductive film
- reflective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 333
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 72
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 56
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 35
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 20
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 20
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 16
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 11
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 10
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 8
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 84
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 40
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 518
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 11
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910004535 TaBN Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 4
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 description 1
- 229910000500 β-quartz Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3649—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/3665—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties specially adapted for use as photomask
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof
- G03F1/24—Reflection masks; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
- G03F7/70708—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details being electrostatic; Electrostatically deformable vacuum chucks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/32—After-treatment
- C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/32—After-treatment
- C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
- C03C2218/33—Partly or completely removing a coating by etching
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
- G21K2201/067—Construction details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】基板1上に、露光光を反射する多層反射膜3を有し、基板1を挟んで多層反射膜3と反対側に、基板1の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜2が形成されている多層反射膜付き基板10である。導電膜2は例えばクロム(Cr)を含む材料からなり、導電膜2のうち基板1側には窒素(N)を含み、表面側には酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含む。この多層反射膜付き基板10の多層反射膜3上に、露光光を吸収する吸収体膜を形成することにより露光用反射型マスクブランクスが得られる。また、この露光用反射型マスクブランクスの吸収体膜にパターンを形成することにより露光用反射型マスクが得られる。
【選択図】図1
Description
このような反射型マスクは、基板上にEUV光を反射する多層反射膜を有し、更に、多層反射膜上にEUV光を吸収する吸収体膜がパターン状に設けられた構造をしている。このような反射型マスクを搭載した露光機(パターン転写装置)において、反射型マスクに入射した露光光は、吸収体膜パターンのある部分では吸収され、吸収体膜パターンのない部分では多層反射膜により反射された光像が反射光学系を通して半導体基板(レジスト付きシリコンウエハ)上に転写される。
多層反射膜は、基板上に、例えば、イオンビームスパッタ法により形成できる。MoとSiを含む場合、SiターゲットとMoターゲットに交互にイオンビームを照射してイオンビームスパッタし、30〜60周期、好ましくは40周期積層し、最後に保護膜としてSi膜を成膜する。この際、多層反射膜が基板面内において均一な膜厚分布を有するようにするために、スパッタターゲット面に向けて配置された基板を、基板主表面の中心を通る法線を回転軸として基板を回転させながらスパッタ成膜するのが好ましい。
スパッタターゲット支持手段43には、少なくとも2つの材料からなる多層反射膜成膜用のスパッタターゲット44、45が装着されており、スパッタターゲット支持手段43は、何れのターゲットもスパッタ用イオン源41に向けて動かせるように回転機構を備えている。
また、基板支持手段47は、スパッタターゲット面に向けて設けられており、スパッタターゲット面に対して所定の角度になるように配置可能な角度調整手段(図示せず)と、基板主表面の中心を通る方線を回転軸として基板1を回転する回転機構(図示せず)が設けられている。
次に、スパッタターゲット支持手段43を回転させることにより、先程とは別のスパッタターゲット45(又はスパッタターゲット44)をスパッタ用イオン源41に対向させて、交互多層膜を構成する他方の薄膜層を形成する。これらの操作を交互に繰り返すことにより、基板上に数十から数百の層からなる多層反射膜を成膜する。
このような問題を解消するため、特許文献1には、基板の静電チャッキングを促進する層として、Si,Mo,Cr,オキシ窒化クロム(CrON)、又はTaSiのような、ガラス基板よりも高い導電率の物質の裏面コーティング(導電膜)を有するマスク基板が記載されている。
第1に、ガラス基板に対してCrON膜の付着力が弱いので、基板を静電チャックして上記イオンビームスパッタリングにより多層反射膜を形成する際に、ガラス基板とCrON膜との間で膜剥れが生じてパーティクルが発生する。特に、静電チャック50との境界近傍では、基板回転による静電チャック50との境界近傍に加わる力が原因で、膜剥れが発生しやすい。
また第2に、基板1の面取面12と側面13を含む片面全面に導電膜2が形成されているので、とりわけ基板1の面取面12と側面13は、面取面12と側面13に導電膜が斜めに形成されることによる膜付着力が特に弱い状況において、静電チャック時の基板の反りなどにより、膜剥れが発生しやすい。
また第3に、CrONの導電膜2の表面には酸素(O)が含まれているので、成膜条件によっては多層反射膜や吸収体膜の成膜時に異常放電が起きることがある。
(構成1)基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、前記基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜が形成されていることを特徴とする多層反射膜付き基板。
構成1によれば、基板を挟んで多層反射膜と反対側に、基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜を形成し、基板の少なくとも面取面と側面には導電膜が形成されていないため、基板の周縁部にも導電膜を形成した場合の周縁部の膜剥れによるパーティクルの発生を防止することが出来る。従って、例えば静電チャック時に基板の反りが生じても、基板周縁部からのパーティクルの発生を防止することが出来る。
なお、上記基板の周縁部とは、本発明においては、多層反射膜が形成される基板の主表面と直交して設けられた基板の側面及び、主表面と側面の間に設けられた面取面をいうものとする。
構成2によれば、静電チャック時に接触する導電膜表面を実質的に酸素(O)を含まない金属窒化膜とすることにより、多層反射膜や吸収体膜の成膜の際、異常放電の発生を防止することが出来るので、多層反射膜や吸収体膜へのパーティクルの発生を防止することが出来る。
(構成3)前記導電膜は金属窒化膜であることを特徴とする構成2記載の多層反射膜付き基板。
構成3によれば、導電膜全体を金属窒化膜としているので、基板に対する導電膜の密着力が向上し、導電膜の膜剥れも防止できるので、膜剥れによるパーティクルの発生を防止することができる。
(構成4)基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、金属を含む材料からなる導電膜が形成され、該導電膜を形成する材料は導電膜の膜厚方向で組成が異なっており、前記導電膜のうち前記基板側には、窒素(N)を含み、前記導電膜のうち表面側には、酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含むことを特徴とする多層反射膜付き基板。
構成4によれば、基板を挟んで多層反射膜と反対側に、金属を含む材料からなる導電膜であって、該導電膜を形成する材料はその膜厚方向で組成が異なっており、導電膜の基板側には、窒素(N)を含み、表面側には、酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含む導電膜を形成しているので、基板に対する導電膜の密着力並びに静電チャックと基板との密着力の双方を向上させ、導電膜の膜剥れによるパーティクルの発生、或いは、静電チャックと基板との密着力不足により生じる静電チャックと基板との擦れによるパーティクルの発生を防止することが出来る。また、基板回転による静電チャックの境界近傍に加わる力が原因で発生する導電膜の膜剥れも防止できるので、パーティクルの発生を防止することができる。
また、上記導電膜の膜材料は、基板に対する密着力が大きいため、基板の周縁部、つまり基板の面取面や側面に形成された導電膜であっても膜剥れを抑制することができる。
構成5によれば、基板材料がガラスの場合、導電膜を構成する金属の材料は、クロム(Cr)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、珪素(Si)のうちから選ばれる少なくとも一種の材料とすることにより、基板に対する密着力が良いので、膜剥れを防止し、膜剥れによるパーティクルの発生を防止できる。
(構成6)前記導電膜にヘリウム(He)が含まれていることを特徴とする構成1乃至5の何れかに記載の多層反射膜付き基板。
構成6によれば、導電膜にヘリウム(He)が含まれていることにより、導電膜の膜応力がさらに低減するとともに、導電膜表面を更に適度に荒らすことが出来るので、静電チャックと基板との密着力をより向上することができ、パーティクルの発生を防止する。
構成7によれば、構成1乃至6の何れかに記載の多層反射膜付き基板を使用し、その上に露光光を吸収する吸収体膜を形成して露光用反射型マスクブランクスとしているので、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない露光用反射型マスクブランクスとなる。
なお、上記吸収体膜と多層反射膜との間に、吸収体膜へのパターン形成時に多層反射膜を保護するためのエッチングストッパー機能を有するバッファ膜を設けることができる。
(構成8)構成7記載の反射型マスクブランクスにおける前記吸収体膜に転写パターンとなる吸収体膜パターンが形成されていることを特徴とする露光用反射型マスク。
構成8によれば、構成7記載の反射型マスクブランクスを使用し、その吸収体膜にパターンを形成して露光用反射型マスクとしているので、パーティクルによるパターン欠陥の無い露光用反射型マスクとなる。
構成9によれば、基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜を形成した導電膜付き基板を使用し、この導電膜付き基板を静電チャックにより保持し、基板の導電膜と反対側に多層反射膜を形成することにより、静電チャック時の基板周縁部からのパーティクルの発生を防止することが出来るので、パーティクルによる表面欠陥の無い多層反射膜付き基板を得ることができる。
(構成10)前記多層反射膜は、静電チャックにより保持された前記導電膜付き基板を多層反射膜成膜用のスパッタターゲット面に対し対向した状態で回転させながらスパッタ成膜することを特徴とする構成9記載の多層反射膜付き基板の製造方法。
構成10によれば、多層反射膜は、静電チャックにより保持された構成9の導電膜付き基板を多層反射膜成膜用のスパッタターゲット面に対し対向した状態で回転させながらスパッタ成膜するので、多層反射膜が基板面内において均一な膜厚分布を有するように形成される。また、静電チャック時のパーティクルの発生を防止することが出来るので、パーティクルによる表面欠陥の無い多層反射膜付き基板を得ることができる。
構成11によれば、構成9又は10によって得られた多層反射膜付き基板を使用し、その上に露光光を吸収する吸収体膜を形成して露光用反射型マスクブランクスを製造するので、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない露光用反射型マスクブランクスを得ることが出来る。
(構成12)構成11記載の露光用反射型マスクブランクスの製造方法により得られた反射型マスクブランクスの前記吸収体膜に転写パターンとなる吸収体膜パターンを形成することを特徴とする露光用反射型マスクの製造方法。
構成12によれば、構成11によって得られた露光用反射型マスクブランクスを使用し、その吸収体膜にパターンを形成して露光用反射型マスクを製造するので、パーティクルによるパターン欠陥の無い露光用反射型マスクを得ることが出来る。
また、本発明によれば、上述の多層反射膜付き基板を用いて、多層反射膜上に露光光を吸収する吸収体膜を形成することにより、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない高品質の露光用反射型マスクブランクスが得られる。
さらに、本発明によれば、上述の露光用反射型マスクブランクスを用いて、その吸収体膜に転写パターンとなる吸収体膜パターンを形成することにより、パーティクルによるパターン欠陥のない高品質の露光用反射型マスクが得られる。
本発明の多層反射膜付き基板の第1の実施の形態は、基板上に露光光を反射する多層反射膜を有し、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、前記基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜が形成されている多層反射膜付き基板である。
この多層反射膜付き基板は、図1に示すように、基板1上に、該基板1の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜2を形成した導電膜付き基板(同図(a)参照)を準備し、基板1を挟んで導電膜2と反対側に多層反射膜3を形成することによって得られる(同図(b)参照)。多層反射膜3は、上記導電膜付き基板の導電膜2が形成された側を静電チャックにより保持し、静電チャックにより保持された上記導電膜付き基板を多層反射膜成膜用のスパッタターゲット面に対し対向した状態で回転させながらスパッタ成膜することによって形成することができる。基板1としては、ガラス基板が好ましく用いられるので、基板上に導電膜2を形成することにより、低電圧で良好な静電チャック力が得られる。本発明では、基板1の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜2を形成しているので、静電チャック時の基板周縁部からのパーティクルの発生を防止することが出来、これによりパーティクルによる表面欠陥の無い多層反射膜付き基板10が得られる。
また、導電層全体を金属窒化膜とすることにより、基板に対する導電膜の密着力が向上するので、静電チャック時の導電膜の膜剥れも防止でき、膜剥れによるパーティクルの発生を防止することができる。
上記導電膜の膜材料は、基板に対する密着力が大きいため、基板の周縁部、つまり基板の面取面及び側面に導電膜を形成しても膜剥れを起こし難い。但し、基板周縁部からのパーティクル発生をより確実に防止する観点からは、基板の周縁部を除く領域に上記膜材料の導電膜を形成することが好ましい。
また、本発明の多層反射膜付き基板の第3の実施の形態は、基板上に露光光を反射する多層反射膜を有し、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、金属を含む材料からなる導電膜が形成され、該導電膜を形成する材料は導電膜の膜厚方向で組成が異なっており、該導電膜のうち基板側には窒素(N)を含み、表面側には酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含む多層反射膜付き基板である。このような材料からなる導電膜を基板上に形成することで、基板に対する導電膜の密着力並びに静電チャックと基板との密着力の両方を向上できるため、導電膜の膜剥れによるパーティクルの発生、或いは、静電チャックと基板との密着力不足により生じる静電チャックと基板との擦れによるパーティクルの発生を防止することが出来る。上記導電膜の膜材料は、基板に対する密着力が大きいため、基板の周縁部、つまり基板の面取面及び側面に導電膜を形成しても膜剥れを起こし難い。但し、基板周縁部からのパーティクル発生をより確実に防止する観点からは、基板の周縁部を除く領域に上記膜材料の導電膜を形成することが好ましい。
上記金属がクロム(Cr)の場合、上記クロム(Cr)を含む材料であって、更に窒素(N)を含むものとしては、例えば、CrN,CrCN等が挙げられる。この場合、窒素(N)の含有量は、1〜60at%が好ましい。特に、CrNの場合、窒素(N)の好ましい含有量は、40〜60at%である。この範囲内でクロム(Cr)を含む材料に窒素(N)を含有することにより、基板に対する導電膜の密着力が向上し、導電膜の膜応力が低減されるので、静電チャックと基板との密着力を大きくすることが出来る。また、上記導電膜表面が実質的に酸素を含まないクロム窒化膜(例えば、CrN、CrCN)の場合、多層反射膜や吸収体膜の成膜時に異常放電の発生を防止することができる。また、上記クロム(Cr)を含む材料であって、酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含むものとしては、例えば、CrC,CrON等が挙げられる。この場合、酸素(O)の含有量は、0.1〜50at%が好ましく、炭素(C)の含有量は、0.1〜10at%が好ましい。この範囲内で酸素(O)を含有することにより、導電膜表面の表面粗さが適度に大きくなり、静電チャックと基板との密着力を向上することができる。また、炭素(C)をこの範囲内で含有することにより、導電膜の比抵抗を低減することができ、静電チャックと基板との密着力を向上することができる。
上記金属がタンタル(Ta)の場合は、例えば、TaN、TaBN等が挙げられる。また、上記金属がモリブデン(Mo)や珪素(Si)の場合は、例えば、MoN、SiN、MoSiN等が挙げられる。この場合、窒素(N)の含有量は、10〜60at%が好ましい。特に、TaNの場合、窒素(N)の好ましい含有量は、5〜50at%である。上述と同様、この範囲内でタンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、珪素(Si)を含む材料に窒素(N)を含有することにより、基板に対する導電膜の密着力が向上し、導電膜の膜応力が低減されるので、静電チャックと基板との密着力を大きくすることが出来る。
導電膜を異なる材料の積層膜で形成する場合、その材料の組合せによって、導電膜を構成する各層の界面における膜応力を低減でき、静電チャックと基板との密着力を大きくすることができる。また、導電膜を構成する各層の密着力を向上させて、膜剥れを抑制することが出来る。
保持具60は、四隅部が面取りされた方形のプレート61を備えている。プレート61は、例えば図5に示すような4×3のマトリックス状に形成された合計12個の基板用開口62を有している。基板用開口62は全て同一の大きさで、保持具60に挿入する基板1より若干大きい方形に形成されている。また、基板用開口62の内側面には四隅部を除く全周にわたって張出部63が内側に向かって一体に突設され、その上面が基板1の周縁部のマスキング面64を形成している。なお、図5に示すように各列の基板用開口62は、リブ65によってそれぞれ仕切られているが、該リブ65は上記張出部63の2倍の幅を有し、その上面が前後に隣接して配置される各基板1に対して共通のマスキング面を形成している。勿論、張出部63のマスキング面64とリブ65の上記マスキング面とは同一平面を形成する。
従って、基板1の各角部1Aを上記保持部70に載置すると、各角部1Aは図7に示すように前記外側端縁部72の上縁と線接触した状態で支持され、前記張出部63のマスキング面64との間に適当な隙間が出来た状態で支持される。なお、保持部70の外側には、基板1の角部1Aの両側面を支持する支持壁面75a,75bと、加工逃げ部76が形成されている。この加工逃げ部76は支持壁面75a,75b間に設けられている。また、保持部70の内側端縁部73の両端73bは、前記張出部63の側端の幅方向略中央に位置している。従って、基板1の側面は、前記保持部70によって支持される各角部1Aにおいて基板用開口62の内壁面に当接し得るだけで、その以外の側面部分は上記内壁面に当接することがない。
このような構造からなる保持具60において、基板1を各基板用開口62に挿入すると、その角部1Aが前記保持部70の上面外側端縁部72に線接触状態で支持され、且つ、角部1A付近の両側面が保持部70外側の支持壁面75a,75bに当接して位置決めされる。この状態で、例えば図7の下方からスパッタ成膜すると、基板1の少なくとも周縁部は上記張出部63によって覆われているので、基板1の少なくとも周縁部を除く領域に前記導電膜が形成される。なお、上記張出部63の突出幅によって、基板1の少なくとも周縁部を除く導電膜を形成する領域を調節することが出来る。
上述した基板の少なくとも周縁部を成膜時にマスキングするための保持具はあくまでも一例であって、本発明はこのような保持具を用いて導電膜を形成する実施の形態には限定されない。
基板材料としては、ガラス基板を好ましく用いることが出来る。ガラス基板は良好な平滑性と平坦度が得られ、特にマスク用基板として好適であるものの、導電率が低いため、基板を静電チャックにより保持するには高電圧が必要で、絶縁破壊を起こす恐れがあるが、本発明のように、基板の静電チャック側に導電膜を形成することで、低電圧でも十分なチャック力が得られる。ガラス基板材料としては、低熱膨張係数を有するアモルファスガラス(例えばSiO2−TiO2系ガラス等)、石英ガラス、β石英固溶体を析出した結晶化ガラス等が挙げられる。基板は0.2nmRms以下の平滑な表面と100nm以下の平坦度を有していることが高反射率および転写精度を得るために好ましい。尚、本発明において平滑性を示す単位Rmsは、二乗平均平方根粗さであり、原子間力顕微鏡で測定することができる。又本発明における平坦度は、TIR(total indicated reading)で示される表面の反り(変形量)を示す値である。これは、基板表面を元に最小二乗法で定められる平面を焦平面としたとき、この焦平面より上にある基板表面の最も高い位置と、焦平面より下にある最も低い位置の高低差の絶対値である。平滑性は10μm角エリアでの平滑性、平坦度は142mm角エリアでの平坦度で示している。
吸収体膜の材料としては、露光光の吸収率が高く、吸収体膜の下側に位置する膜(通常バッファ膜或いは多層反射膜)とのエッチング選択比が十分大きいものが選択される。例えば、Taを主要な金属成分とする材料が好ましい。この場合、バッファ膜にCrを主成分とする材料を用いれば、エッチング選択比を大きく(10以上)取ることができる。Taを主要な金属元素とする材料は、通常金属または合金である。また、平滑性、平坦性の点から、アモルファス状または微結晶の構造を有しているものが好ましい。Taを主要な金属元素とする材料としては、TaとBを含む材料、TaとNを含む材料、TaとBとOを含む材料、TaとBとNを含む材料、TaとSiを含む材料、TaとSiとNを含む材料、TaとGeを含む材料、TaとGeとNを含む材料等を用いることができる。TaにBやSi,Ge等を加えることにより、アモルファス状の材料が容易に得られ、平滑性を向上させることができる。また、TaにNやOを加えれば、酸化に対する耐性が向上するため、経時的な安定性を向上させることができるという効果が得られる。
これらの吸収体膜は、通常のスパッタ法で形成する事が出来る。
また、上記バッファ膜は、吸収体膜に転写パターンを形成する際に、エッチング停止層として下層の多層反射膜を保護する機能を有し、通常は多層反射膜と吸収体膜との間に形成される。なお、バッファ膜は必要に応じて設ければよい。
バッファ膜の材料としては、吸収体膜とのエッチング選択比が大きい材料が選択される。バッファ膜と吸収体膜のエッチング選択比は5以上、好ましくは10以上、さらに好ましくは20以上である。更に、低応力で、平滑性に優れた材料が好ましく、とくに0.3nmRms以下の平滑性を有していることが好ましい。このような観点から、バッファ膜を形成する材料は、微結晶あるいはアモルファス構造であることが好ましい。
一方、吸収体膜として、Cr単体や、Crを主成分とする材料を用いる場合には、バッファ膜には、Taを主成分とする材料、例えば、TaとBを含む材料や、TaとBとNを含む材料等を用いることができる。
このバッファ膜は、反射型マスク形成時には、マスクの反射率低下を防止するために、吸収体膜に形成されたパターンに従って、パターン状に除去してもよいが、バッファ膜に露光光の透過率の大きい材料を用い、膜厚を十分薄くすることが出来れば、パターン状に除去せずに、多層反射膜を覆うように残しておいてもよい。バッファ膜は、例えば、DCスパッタ、RFスパッタ、イオンビームスパッタ等のスパッタ法で形成することができる。
吸収体膜へのパターン形成は、リソグラフィーの手法を用いて形成することができる。図2を参照して説明すると、まず、本発明による多層反射膜付き基板10(図1(b)参照)の多層反射膜3上に吸収体膜4を形成して得られた反射型マスクブランクス20(図2(a)参照)を準備する。次に、この反射型マスクブランクス20の吸収体膜4上にレジスト層を設け、このレジスト層にパターン描画、現像を行って所定のパターン5を形成する(図2(b)参照)。パターンの描画は、電子線による描画、露光による描画などが挙げられる。次に、このレジストパターン5をマスクとして、吸収体膜4にエッチングなどの手法でパターン4aを形成する。例えばTaを主成分とする吸収体膜の場合には、塩素ガスを含むドライエッチングを適用することが出来る。
本発明によれば、上述の反射型マスクブランクスを使用して反射型マスクとしているので、パーティクルによるパターン欠陥のない反射型マスクが得られる。
次に、実施例により本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。
次に、このガラス基板を前述の図5乃至図7に示す構造の保持具60の所定位置に載置し、インライン型スパッタリング装置により導電膜のスパッタ成膜を行った。まず、クロムターゲットを用いて、アルゴン(Ar)と窒素(N)の混合ガス雰囲気(Ar:72体積%、N2:28体積%、圧力0.3Pa)中で反応性スパッタリングにより、膜厚15nmのCrN膜を形成し、次いで、クロムターゲットを用い、アルゴンとメタンの混合ガス雰囲気(Ar:96.5体積%、CH4:3.5体積%、圧力0.3Pa)中で反応性スパッタリングにより、膜厚25nmのCrC膜を形成し、最後に、クロムターゲットを用い、アルゴンと一酸化窒素の混合ガス雰囲気(Ar:87.5体積%、NO:12.5体積%、圧力0.3Pa)中で反応性スパッタリングにより、膜厚20nmのCrON膜を形成した。得られたCrN膜における窒素の含有量は20at%、CrC膜における炭素の含有量は6at%、CrON膜における酸素の含有量は45at%、窒素の含有量は25at%であった。
次に、上記導電膜を形成した基板上の導電膜とは反対側に、多層反射膜として、露光波長13〜14nmの領域の反射膜として適したMoとSiからなる交互積層膜を形成した。成膜方法は、前述の図4に示した構造のイオンビームスパッタリング装置を用い、上記導電膜付き基板の導電膜が形成された側を静電チャックにより保持し、静電チャックにより保持された上記導電膜付き基板を多層反射膜成膜用のスパッタターゲット面に対し対向した状態で垂直に立てて回転させながらスパッタ成膜した。まずSiターゲットを用いて、Si膜を4.2nm成膜し、その後、Moターゲットを用いて、Mo膜を2.8nm成膜し、これを1周期として40周期積層した後、最後にSi膜を4nm成膜した。合計膜厚は、284nmである。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、Taを主成分とし、BとNを含む膜を形成した。成膜方法は、Ta及びBを含むターゲットを用いて、Arに窒素を10%添加して、DCマグネトロンスパッタ法によって行った。基板は静電チャックにより保持し、ターゲット面に対向させた状態で回転させながら成膜した。厚さは、露光光を十分に吸収できる厚さとして、70nmとした。成膜されたTaBN膜の組成比は、Taは0.8、Bは0.1、Nは0.1であった。
以上のようにして、本実施例の反射型マスクブランクスが得られた。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数についても上記と同様にして測定したところ、0.1個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の殆ど無い反射型マスクブランクスを得ることができた。
まず、上記反射型マスクブランクス上にEBレジストをコートし、EB描画と現像によりレジストパターンを形成した。次に、このレジストパターンをマスクとして、吸収体膜であるTaBN膜を塩素を用いてドライエッチングし、吸収体膜パターンを形成した。
以上のようにして、本実施例の反射型マスクが得られた。前記欠陥検査装置でパターン欠陥を測定したところ、パーティクルによるパターン欠陥の無いことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
得られた本実施例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、1.0個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は殆ど起こらなかった。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、1.5個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない反射型マスクブランクスを得ることができた。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製した。得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、パーティクルによるパターン欠陥が殆ど無いことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
得られた本実施例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、10個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は少なかった。本実施例では、基板の面取面及び側面にも導電膜を形成しているものの、上記積層膜による導電膜は基板に対する密着力が大きいため、基板周縁部でのパーティクルの発生を抑制することができた。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、13個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の発生を低減した反射型マスクブランクスを得ることができた。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製した。得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、問題となるようなパーティクルによるパターン欠陥は非常に少ないことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
得られた本実施例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、5個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は非常に少なかった。本実施例では、基板の面取面及び側面にも導電膜を形成しているものの、上記積層膜による導電膜は基板に対する密着力が大きく、また導電膜にヘリウムを含むことにより静電チャックと基板との密着力をさらに大きくすることが出来るため、基板周縁部でのパーティクルの発生を抑制することができた。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、7個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の発生を抑制した反射型マスクブランクスを得ることができた。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製した。得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、問題となるようなパーティクルによるパターン欠陥は殆ど無いことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
得られた本実施例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、0.03個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は殆ど起こらなかった。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、0.07個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない反射型マスクブランクスを得ることができた。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製した。得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、パーティクルによるパターン欠陥は殆ど無いことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
得られた本実施例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、0.03個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は殆ど起こらなかった。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本実施例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、0.1個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥の極めて少ない反射型マスクブランクスを得ることができた。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製した。得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、パーティクルによるパターン欠陥は殆ど無いことが判った。また、この反射型マスクを用いて半導体基板上へのパターン転写を行ったところ、良好な転写像が得られた。
(比較例)
本比較例では、基板上に形成する導電膜をCrON膜の一層とした。CrON膜の成膜方法は実施例1と同様にし、膜厚については60nmとした。また実施例3と同様に基板の一主表面並びに基板の面取面及び側面を含む片面全面に導電膜を形成した。これらの点以外は、実施例1と同様にして多層反射膜付き基板を作製した。
得られた本比較例の多層反射膜付き基板の多層反射膜表面のパーティクル個数を測定したところ、100個/cm2であり、多層反射膜の成膜時におけるパーティクルの発生は非常に多いことがわかった。これは、CrON膜はガラス基板に対する密着力が弱い上に、基板の面取面及び側面にも導電膜を形成しているので、結果として上記導電膜の膜剥れによる特に基板周縁部からのパーティクルの発生が多かったことによるものと考察される。
次に、上記で得られた多層反射膜付き基板の多層反射膜上に、実施例1と同様、波長13〜14nmの露光光に対する吸収体膜として、TaBN膜を形成して反射型マスクブランクスを得た。本比較例の反射型マスクブランクスの吸収体膜表面のパーティクル個数は、113個/cm2であり、パーティクルによる表面欠陥が非常に多かった。
次に、上記反射型マスクブランクスを用いて、実施例1と同様に、その吸収体膜にパターンを形成し、デザインルールが0.07μmの16Gbit−DRAM用のパターンを有する反射型マスクを作製したが、得られた反射型マスクについて、パターン欠陥を測定したところ、パーティクルによるパターン欠陥が非常に多かった。
尚、上述の実施の形態1の導電膜材料の具体例として、クロム(Cr)を含む材料しか挙げなかったが、それ以外に、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、珪素(Si)、チタン(Ti),タングステン(W),インジウム(In),スズ(Sn)を含む材料であってもよい。
2 導電膜
3 多層反射膜
4 吸収体膜
5 レジストパターン
10 多層反射膜付き基板
20 露光用反射型マスクブランクス
30 露光用反射型マスク
40 イオンビームスパッタリング装置
50 静電チャック
60 基板保持具
Claims (12)
- 基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、前記基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜が形成されていることを特徴とする多層反射膜付き基板。
- 基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、導電膜が形成され、該導電膜表面は、実質的に酸素(O)を含まない金属窒化膜であることを特徴とする多層反射膜付き基板。
- 前記導電膜は金属窒化膜であることを特徴とする請求項2記載の多層反射膜付き基板。
- 基板上に、露光光を反射する多層反射膜を有する多層反射膜付き基板であって、前記基板を挟んで前記多層反射膜と反対側に、金属を含む材料からなる導電膜が形成され、該導電膜を形成する材料は導電膜の膜厚方向で組成が異なっており、前記導電膜のうち前記基板側には、窒素(N)を含み、前記導電膜のうち表面側には、酸素(O)及び炭素(C)の少なくとも何れか一方を含むことを特徴とする多層反射膜付き基板。
- 前記基板はガラス基板であり、前記金属は、クロム(Cr)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、珪素(Si)のうちから選ばれる少なくとも一種の材料であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の多層反射膜付き基板。
- 前記導電膜にヘリウム(He)が含まれていることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の多層反射膜付き基板。
- 請求項1乃至6の何れかに記載の多層反射膜付き基板における前記多層反射膜上に、露光光を吸収する吸収体膜が少なくとも形成されていることを特徴とする露光用反射型マスクブランクス。
- 請求項7記載の反射型マスクブランクスにおける前記吸収体膜に転写パターンとなる吸収体膜パターンが形成されていることを特徴とする露光用反射型マスク。
- 基板上に、該基板の少なくとも周縁部を除く領域に導電膜を形成した導電膜付き基板を準備する工程と、該導電膜付き基板の前記導電膜が形成された側を静電チャックにより保持し、前記基板を挟んで前記導電膜と反対側に、露光光を反射する多層反射膜を形成する工程と、を有することを特徴とする多層反射膜付き基板の製造方法。
- 前記多層反射膜は、静電チャックにより保持された前記導電膜付き基板を多層反射膜成膜用のスパッタターゲット面に対し対向した状態で回転させながらスパッタ成膜することを特徴とする請求項9記載の多層反射膜付き基板の製造方法。
- 請求項9又は10記載の多層反射膜付き基板の製造方法により得られた多層反射膜付き基板の前記多層反射膜上に、露光光を吸収する吸収体膜を形成する工程を有することを特徴とする露光用反射型マスクブランクスの製造方法。
- 請求項11記載の露光用反射型マスクブランクスの製造方法により得られた反射型マスクブランクスの前記吸収体膜に転写パターンとなる吸収体膜パターンを形成することを特徴とする露光用反射型マスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011051506A JP5268168B2 (ja) | 2003-12-25 | 2011-03-09 | 多層反射膜付き基板の製造方法、露光用反射型マスクブランクスの製造方法及び露光用反射型マスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003429072 | 2003-12-25 | ||
JP2003429072 | 2003-12-25 | ||
JP2011051506A JP5268168B2 (ja) | 2003-12-25 | 2011-03-09 | 多層反射膜付き基板の製造方法、露光用反射型マスクブランクスの製造方法及び露光用反射型マスクの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004369863A Division JP2005210093A (ja) | 2003-12-25 | 2004-12-21 | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011124612A true JP2011124612A (ja) | 2011-06-23 |
JP2011124612A5 JP2011124612A5 (ja) | 2011-08-04 |
JP5268168B2 JP5268168B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=35136837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011051506A Active JP5268168B2 (ja) | 2003-12-25 | 2011-03-09 | 多層反射膜付き基板の製造方法、露光用反射型マスクブランクスの製造方法及び露光用反射型マスクの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050238922A1 (ja) |
JP (1) | JP5268168B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013225662A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-10-31 | Hoya Corp | Euvリソグラフィー用多層反射膜付き基板及びeuvリソグラフィー用反射型マスクブランク、並びにeuvリソグラフィー用反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2015015420A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク |
JP2015028999A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク |
WO2021039163A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | Hoya株式会社 | 導電膜付基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP2022069683A (ja) * | 2015-06-17 | 2022-05-11 | Hoya株式会社 | 導電膜付き基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
WO2023054037A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | Agc株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよび導電膜付き基板 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7901842B2 (en) * | 2005-09-30 | 2011-03-08 | Hoya Corporation | Photomask blank and method of producing the same, method of producing photomask, and method of producing semiconductor device |
WO2007069417A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Asahi Glass Company, Limited | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の導電膜付基板 |
US7678511B2 (en) * | 2006-01-12 | 2010-03-16 | Asahi Glass Company, Limited | Reflective-type mask blank for EUV lithography |
US7638393B2 (en) * | 2006-05-02 | 2009-12-29 | Macronix International Co., Ltd. | Non-volatile memory device including nitrogen pocket implants and methods for making the same |
JP4663749B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2011-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 反射型マスクの検査方法および製造方法 |
JP5609663B2 (ja) | 2011-01-18 | 2014-10-22 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板保持手段、およびそれを用いたeuvマスクブランクスの製造方法 |
WO2012105698A1 (ja) | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 旭硝子株式会社 | 導電膜付基板、多層反射膜付基板、およびeuvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
KR20170060379A (ko) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | 국방과학연구소 | 단자외선 영역의 라만 에지 필터 및 이의 제작 방법 |
JP6863169B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2021-04-21 | Agc株式会社 | 反射型マスクブランク、および反射型マスク |
CN110119072B (zh) * | 2018-02-06 | 2021-05-14 | 志圣科技(广州)有限公司 | 曝光组件及曝光装置 |
US10768534B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-09-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Photolithography apparatus and method and method for handling wafer |
US11111176B1 (en) * | 2020-02-27 | 2021-09-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus of processing transparent substrates |
US11829062B2 (en) * | 2020-05-22 | 2023-11-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | EUV photo masks and manufacturing method thereof |
KR102464780B1 (ko) * | 2020-09-02 | 2022-11-09 | 주식회사 에스앤에스텍 | 도전막을 구비하는 블랭크마스크 및 이를 이용하여 제작된 포토마스크 |
US20230064383A1 (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Reticle enclosure for lithography systems |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS593437A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造用基板 |
JPS6039047U (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-18 | 凸版印刷株式会社 | マスクブランク板 |
JPS60195546A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | マスク用基板 |
JPH08305002A (ja) * | 1996-05-08 | 1996-11-22 | Hoya Corp | フォトマスクブランクスの製造方法 |
JPH1152544A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | フォトマスク及びその製造方法、並びにベーキング装置 |
JP2000077306A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Nikon Corp | 反射マスクおよびx線投影露光装置 |
JP2002222764A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-08-09 | Hoya Corp | 多層膜付き基板、露光用反射型マスクブランク、露光用反射型マスクおよびその製造方法、並びに半導体の製造方法 |
JP2003014893A (ja) * | 2001-04-27 | 2003-01-15 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5217815A (en) * | 1975-07-30 | 1977-02-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | Substrate and material using the same |
KR100311704B1 (ko) * | 1993-08-17 | 2001-12-15 | 기타오카 다카시 | 하프톤위상쉬프트포토마스크,하프톤위상쉬프트포토마스크용블랭크스및그블랭크스의제조방법 |
US6033480A (en) * | 1994-02-23 | 2000-03-07 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge deposition elimination |
JP4027458B2 (ja) * | 1996-12-14 | 2007-12-26 | Hoya株式会社 | X線マスクブランク及びその製造方法並びにx線マスクの製造方法 |
US6081318A (en) * | 1998-06-25 | 2000-06-27 | United Microelectronics Corp. | Installation for fabricating double-sided photomask |
US6899979B1 (en) * | 1998-07-31 | 2005-05-31 | Hoyo Corporation | Photomask blank, photomask, methods of manufacturing the same, and method of forming micropattern |
AU5597000A (en) * | 1999-06-07 | 2000-12-28 | Regents Of The University Of California, The | Coatings on reflective mask substrates |
US6737201B2 (en) * | 2000-11-22 | 2004-05-18 | Hoya Corporation | Substrate with multilayer film, reflection type mask blank for exposure, reflection type mask for exposure and production method thereof as well as production method of semiconductor device |
JP4371569B2 (ja) * | 2000-12-25 | 2009-11-25 | 信越化学工業株式会社 | マグネトロンスパッタ装置とそれを用いたフォトマスクブランクの製造方法 |
DE10206143B4 (de) * | 2001-02-14 | 2006-11-16 | Hoya Corp. | Reflektierender Maskenrohling und reflektierende Maske für EUV-Belichtung und Verfahren zum Herstellen der Maske |
US20030000921A1 (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-02 | Ted Liang | Mask repair with electron beam-induced chemical etching |
JP4521753B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2010-08-11 | Hoya株式会社 | 反射型マスクの製造方法及び半導体装置の製造方法 |
-
2004
- 2004-12-22 US US11/017,873 patent/US20050238922A1/en not_active Abandoned
-
2011
- 2011-03-09 JP JP2011051506A patent/JP5268168B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS593437A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造用基板 |
JPS6039047U (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-18 | 凸版印刷株式会社 | マスクブランク板 |
JPS60195546A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | マスク用基板 |
JPH08305002A (ja) * | 1996-05-08 | 1996-11-22 | Hoya Corp | フォトマスクブランクスの製造方法 |
JPH1152544A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | フォトマスク及びその製造方法、並びにベーキング装置 |
JP2000077306A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Nikon Corp | 反射マスクおよびx線投影露光装置 |
JP2002222764A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-08-09 | Hoya Corp | 多層膜付き基板、露光用反射型マスクブランク、露光用反射型マスクおよびその製造方法、並びに半導体の製造方法 |
JP2003014893A (ja) * | 2001-04-27 | 2003-01-15 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013225662A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-10-31 | Hoya Corp | Euvリソグラフィー用多層反射膜付き基板及びeuvリソグラフィー用反射型マスクブランク、並びにeuvリソグラフィー用反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2015015420A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク |
JP2015028999A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク |
JP2022069683A (ja) * | 2015-06-17 | 2022-05-11 | Hoya株式会社 | 導電膜付き基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
JP7296499B2 (ja) | 2015-06-17 | 2023-06-22 | Hoya株式会社 | 導電膜付き基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及び半導体装置の製造方法 |
WO2021039163A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | Hoya株式会社 | 導電膜付基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP2021039144A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-11 | Hoya株式会社 | 導電膜付基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体デバイスの製造方法 |
JP7350571B2 (ja) | 2019-08-30 | 2023-09-26 | Hoya株式会社 | 導電膜付基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体デバイスの製造方法 |
WO2023054037A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | Agc株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよび導電膜付き基板 |
JP7315128B1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-07-26 | Agc株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよび導電膜付き基板 |
US11934093B2 (en) | 2021-09-28 | 2024-03-19 | AGC Inc. | Reflective mask blank for EUV lithography and substrate with conductive film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5268168B2 (ja) | 2013-08-21 |
US20050238922A1 (en) | 2005-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5268168B2 (ja) | 多層反射膜付き基板の製造方法、露光用反射型マスクブランクスの製造方法及び露光用反射型マスクの製造方法 | |
JP2005210093A (ja) | 多層反射膜付き基板、露光用反射型マスクブランクス及び露光用反射型マスク、並びにそれらの製造方法 | |
US8081384B2 (en) | Multilayer reflective film coated substrate, manufacturing method thereof, reflective mask blank, and reflective mask | |
JP5082857B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の導電膜付基板 | |
US7804648B2 (en) | Multilayer reflective film coated substrate, manufacturing method thereof, reflective mask blank, and reflective mask | |
JP4652946B2 (ja) | 反射型マスクブランク用基板の製造方法、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
US7504185B2 (en) | Method for depositing multi-layer film of mask blank for EUV lithography and method for producing mask blank for EUV lithography | |
US9618836B2 (en) | Reflective mask blank for EUV lithography, substrate with funtion film for the mask blank, and methods for their production | |
JP4703354B2 (ja) | 多層反射膜付き基板、その製造方法、反射型マスクブランクおよび反射型マスク | |
US9239515B2 (en) | Reflective mask blank for EUV lithography | |
US20220390826A1 (en) | Reflective mask blank, reflective mask, and method for manufacturing semiconductor device | |
TWI434131B (zh) | Reflective mask base for EUV microfilm | |
JP4834205B2 (ja) | 多層反射膜付き基板の製造方法、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
US11899356B2 (en) | Reflective film coated substrate, mask blank, reflective mask, and semiconductor device manufacturing method | |
JP4703353B2 (ja) | 多層反射膜付き基板、その製造方法、反射型マスクブランクおよび反射型マスク | |
JP7368564B2 (ja) | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法 | |
JP5258368B2 (ja) | 多層反射膜付基板の製造方法、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
US20230051023A1 (en) | Reflective mask blank, reflective mask, and method for manufacturing semiconductor device | |
JP2011023592A (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法 | |
JP2016122751A (ja) | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び半導体装置の製造方法 | |
JP2021039335A (ja) | 反射膜付基板、マスクブランク、反射型マスク、及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP2023053673A (ja) | 反射型マスクブランク用膜付き基板、反射型マスクブランク、及び反射型マスクの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110407 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5268168 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |