JP2011122194A - 電機・電子機器用Pd合金 - Google Patents
電機・電子機器用Pd合金 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011122194A JP2011122194A JP2009279730A JP2009279730A JP2011122194A JP 2011122194 A JP2011122194 A JP 2011122194A JP 2009279730 A JP2009279730 A JP 2009279730A JP 2009279730 A JP2009279730 A JP 2009279730A JP 2011122194 A JP2011122194 A JP 2011122194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- hardness
- electronic equipment
- electric
- added
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000004881 precipitation hardening Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910002668 Pd-Cu Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000575 Ir alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【解決手段】Ag25〜50wt%、Pd25〜50wt%、Cu15〜40wt%からなるAg−Pd−Cu合金に、In0.1〜5wt%を添加し、圧延加工後および析出硬化後の硬さを向上させたことを特徴とする。
【選択図】 なし
Description
また、半導体集積回路等の検査用プローブピン等のように、低い接触抵抗や耐食性の他に、硬さ(耐摩耗性)等が要求される場合があり、そのような場合には、塑性加工を施した状態で高い硬さを示すPt合金やIr合金等が好んで使用され、また、析出硬化するAu合金やPt合金が好んで使用されるようになった(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
また、析出硬化するAu合金やPd合金等は、加工自体は容易であっても、析出硬化によって所望の硬さまで硬化しないものがある。
そこで、低い接触抵抗で耐食性に優れていて、高い硬さでかつ加工性に優れ、比較的に安価な材料が求められている。
本発明は、このような問題を解決することを課題とする。
なお、Inの添加量を0.1〜5wt%とする理由は、硬さを向上させるためであり、0.1wt%未満では硬さの向上の効果が得られず、また、5wt%を超えると加工性を劣化させるためである。
また、Agの比率を25〜50wt%とした理由は、Agは比抵抗を下げる役割があり、25wt%未満だとその効果が少なく、50wt%を超えると硬さが低下するためである。
PdとCuは析出硬化に必要な成分であり、共に硬さの値を向上させるものである。
Pdの比率を25〜50wt%とした理由は、Pdが25wt%未満だとその効果が少なく、50wt%を超えると比抵抗が上がってしまい、電機・電子機器用途に向かないものとなる。
Cuの比率を15〜40wt%とした理由は、Cuが15wt%未満だとその効果が少なく、40wt%を超えると耐食性が低下してしまい、電機・電子機器用途に向かないものとなる。
さらに、上記Ag−Pd−Cu−Inの4元合金に、用途に応じて特性を改善する添加元素として、Au、Pt、Re、Rh、Co、Ni、Si、Sn、ZnもしくはBの少なくとも1種を0.01〜3wt%を添加することができる。この添加理由は、硬さをさらに向上させるためである。また、Auは耐酸化性、Ptは耐化学薬品性についても有用であり、Re、RhおよびNiは結晶粒を微細化させる効果材としても作用する。これらの添加元素の配合量は、0.01wt%未満では硬さの向上の効果が得られず、また、3wt%を超えると加工性が劣化する。
各実施例では、Pd4元合金をガス溶解し、インゴット(高さ10×幅20×長さ30)を作製した。その後、還元雰囲気中(H2とN2の混合雰囲気中)で溶体化処理(800°C×1hr)を施したインゴットを高さ2×幅10×長さ20に切断し、断面減少率が約75%になるように圧延したものを試験片とし、析出硬化の条件はH2とN2の混合雰囲気中にて300〜500°C×1hrで行った。
また、試験片の硬さ測定は、試料の表面を研磨して平滑にした後、ビッカース硬さ試験機でHV0.2にて測定した。表1に、各実施例の組成一覧と圧延加工後および析出硬化後の硬さを示す。
また、比較例2の30Ag−30Pd−40Cu合金に比べて、実施例18のInを1.0wt%、Si0.01wt%およびSnを0.5wt%添加した合金は、圧延加工材、およびH2とN2の混合雰囲気中で340°C×1hrで行った析出硬化材として、共に硬さの向上が確認できた。
また、比較例3の30Ag−40Pd−30Cu合金に比べて、実施例1のInを3.0wt%添加した合金は、圧延加工材、およびH2とN2の混合雰囲気中で360°C×1hrで行った析出硬化材として、共に硬さの向上が確認できた。
さらに、比較例4〜6の各Pd合金に対して、同程度のPd合金にInを0.1〜5wt%添加した合金、又は、同程度のPd合金にInを0.1〜5wt%添加し、さらにAu、Pt、Re、Rh、Co、Ni、Si、Sn、ZnもしくはBの少なくとも1種を0.01〜3wt%を添加した各合金においては、圧延加工材および析出加工材として、共に硬さの向上を確認することができた。
Claims (2)
- Ag−Pd−Cuの3元素を基本成分として有する電機・電子機器用Pd合金において、
Ag25〜50wt%、Pd25〜50wt%、Cu15〜40wt%からなるAg−Pd−Cu合金に、In0.1〜5wt%を添加し、圧延加工後および析出硬化後の硬さを向上させたことを特徴とする電機・電子機器用Pd合金。 - 請求項1のAg−Pd−Cu−Inの4元合金に、Au、Pt、Re、Rh、Co、Ni、Si、Sn、ZnもしくはBの少なくとも1種を0.01〜3wt%を添加したことを特徴とする電機・電子機器用Pd合金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279730A JP5657881B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プローブピン用材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279730A JP5657881B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プローブピン用材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011122194A true JP2011122194A (ja) | 2011-06-23 |
JP5657881B2 JP5657881B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=44286361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009279730A Active JP5657881B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プローブピン用材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5657881B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4878401B1 (ja) * | 2011-05-17 | 2012-02-15 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料、プローブピン及びその製造方法 |
WO2012077378A1 (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-14 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子用材 |
JP2012158811A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sasaki Gem Kk | 銀ベース合金 |
WO2013099682A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用のPd合金 |
WO2014021465A1 (ja) | 2012-08-03 | 2014-02-06 | 山本貴金属地金株式会社 | 合金材料、コンタクトプローブおよび接続端子 |
WO2014049874A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用途のAg‐Pd‐Cu‐Co合金 |
JPWO2013183484A1 (ja) * | 2012-06-06 | 2016-01-28 | 株式会社エンプラス | 電気接触子及び電気部品用ソケット |
WO2017132504A1 (en) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | Deringer-Ney, Inc. | Palladium-based alloys |
WO2019130511A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社徳力本店 | 析出硬化型Ag-Pd-Cu-In-B系合金 |
JP2020008573A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | ブランパン・エス アー | 非磁性合金から作成したシャフト状部分を伴う計時器構成部品 |
JP2020056067A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
TWI722435B (zh) * | 2018-11-06 | 2021-03-21 | 日商德力本店股份有限公司 | 電氣・電子機器用的Pd合金、Pd合金材、探針及其製造方法 |
JP2021080552A (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
EP3960890A1 (de) * | 2020-09-01 | 2022-03-02 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Palladium-kupfer-silber-ruthenium-legierung |
JP2022098087A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
CN118374715A (zh) * | 2024-06-24 | 2024-07-23 | 汕头市骏码凯撒有限公司 | 一种晶圆测试用高强韧度耐磨耗性抗沾黏的探针材料及其制备工艺 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59107050A (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-21 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS59182932A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-17 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS59229445A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-22 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS60131718A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-13 | 田中貴金属工業株式会社 | 摺動接点装置 |
JPS60138868A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-23 | 田中貴金属工業株式会社 | 摺動接点装置 |
JPH0666834A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置 |
-
2009
- 2009-12-09 JP JP2009279730A patent/JP5657881B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59107050A (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-21 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS59182932A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-17 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS59229445A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-22 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 刷子用摺動接点材料 |
JPS60131718A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-13 | 田中貴金属工業株式会社 | 摺動接点装置 |
JPS60138868A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-23 | 田中貴金属工業株式会社 | 摺動接点装置 |
JPH0666834A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置 |
Cited By (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012077378A1 (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-14 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子用材 |
JP2012158811A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Sasaki Gem Kk | 銀ベース合金 |
JP4878401B1 (ja) * | 2011-05-17 | 2012-02-15 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料、プローブピン及びその製造方法 |
WO2013099682A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用のPd合金 |
CN104024448A (zh) * | 2011-12-27 | 2014-09-03 | 株式会社德力本店 | 电气、电子设备用的Pd合金 |
US20140377129A1 (en) * | 2011-12-27 | 2014-12-25 | Tokuriki Honten Co., Ltd. | Palladium Alloy for Electric and Electronic Appliances |
JPWO2013099682A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-05-07 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用のPd合金 |
JPWO2013183484A1 (ja) * | 2012-06-06 | 2016-01-28 | 株式会社エンプラス | 電気接触子及び電気部品用ソケット |
WO2014021465A1 (ja) | 2012-08-03 | 2014-02-06 | 山本貴金属地金株式会社 | 合金材料、コンタクトプローブおよび接続端子 |
US9804198B2 (en) | 2012-08-03 | 2017-10-31 | Yamamoto Precious Metal Co., Ltd. | Alloy material, contact probe, and connection terminal |
US20150197834A1 (en) * | 2012-09-28 | 2015-07-16 | Takuriki Honten Co., Ltd. | Ag-Pd-Cu-Co ALLOY FOR USES IN ELECTRICAL/ELECTRONIC DEVICES |
JPWO2014049874A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-22 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用途のAg‐Pd‐Cu‐Co合金 |
CN104685083A (zh) * | 2012-09-28 | 2015-06-03 | 株式会社德力本店 | 电气-电子设备用途的Ag-Pd-Cu-Co合金 |
WO2014049874A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社徳力本店 | 電気・電子機器用途のAg‐Pd‐Cu‐Co合金 |
TWI707051B (zh) * | 2016-01-29 | 2020-10-11 | 美商德林傑奈股份有限公司 | 以鈀為主的合金 |
WO2017132504A1 (en) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | Deringer-Ney, Inc. | Palladium-based alloys |
JP2019508592A (ja) * | 2016-01-29 | 2019-03-28 | デリンジャー−ニー・インコーポレイテッドDeringer−Ney, Inc. | パラジウム基合金 |
JP7084877B2 (ja) | 2016-01-29 | 2022-06-15 | デリンジャー-ニー・インコーポレイテッド | パラジウム基合金 |
US10385424B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Deringer-Ney, Inc. | Palladium-based alloys |
US11041228B2 (en) | 2016-01-29 | 2021-06-22 | Deringer-Ney, Inc. | Palladium-based alloys |
CN111511939B (zh) * | 2017-12-27 | 2021-09-14 | 株式会社德力本店 | 析出硬化型Ag-Pd-Cu-In-B系合金 |
US11371119B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-06-28 | Tokuriki Honten Co., Ltd. | Precipitation-hardening Ag—Pd—Cu—In—B alloy |
KR20200083609A (ko) | 2017-12-27 | 2020-07-08 | 가부시키가이샤 토쿠리키 혼텐 | 석출경화형 Ag-Pd-Cu-In-B계 합금 |
JPWO2019130511A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2020-12-24 | 株式会社徳力本店 | 析出硬化型Ag−Pd−Cu−In−B系合金 |
CN111511939A (zh) * | 2017-12-27 | 2020-08-07 | 株式会社德力本店 | 析出硬化型Ag-Pd-Cu-In-B系合金 |
KR102533596B1 (ko) * | 2017-12-27 | 2023-05-16 | 가부시키가이샤 토쿠리키 혼텐 | 석출경화형 Ag-Pd-Cu-In-B계 합금 |
WO2019130511A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社徳力本店 | 析出硬化型Ag-Pd-Cu-In-B系合金 |
JP2020008573A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | ブランパン・エス アー | 非磁性合金から作成したシャフト状部分を伴う計時器構成部品 |
JP2020056067A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
JP7141098B2 (ja) | 2018-10-02 | 2022-09-22 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
TWI722435B (zh) * | 2018-11-06 | 2021-03-21 | 日商德力本店股份有限公司 | 電氣・電子機器用的Pd合金、Pd合金材、探針及其製造方法 |
JP2021080552A (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
JP7260910B2 (ja) | 2019-11-22 | 2023-04-19 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
JP2022041921A (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-11 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | パラジウム-銅-銀-ルテニウム合金 |
EP3960890A1 (de) * | 2020-09-01 | 2022-03-02 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Palladium-kupfer-silber-ruthenium-legierung |
US11746397B2 (en) | 2020-09-01 | 2023-09-05 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Palladium-copper-silver-ruthenium alloy |
JP2022098087A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
JP7429011B2 (ja) | 2020-12-21 | 2024-02-07 | 石福金属興業株式会社 | プローブピン用材料およびプローブピン |
CN118374715A (zh) * | 2024-06-24 | 2024-07-23 | 汕头市骏码凯撒有限公司 | 一种晶圆测试用高强韧度耐磨耗性抗沾黏的探针材料及其制备工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5657881B2 (ja) | 2015-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5657881B2 (ja) | プローブピン用材料 | |
WO2013099682A1 (ja) | 電気・電子機器用のPd合金 | |
JP6142347B2 (ja) | 電気・電子機器用途のAg‐Pd‐Cu‐Co合金 | |
JP5320541B2 (ja) | 電気・電子部品用銅合金材 | |
WO2012077378A1 (ja) | 電気・電子用材 | |
JP5261500B2 (ja) | 導電性と曲げ性を改善したCu−Ni−Si−Mg系合金 | |
EP2159581B1 (en) | Method of manufacturing probe pins | |
JP6126791B2 (ja) | Cu−Ni−Si系銅合金 | |
JP2017025354A (ja) | プローブピン用合金材およびその製造方法 | |
KR20130089661A (ko) | 구리 합금 및 구리 합금의 제조 방법 | |
JP6734486B2 (ja) | 電気・電子機器用のPd合金、Pd合金材、プローブピン及び製造方法 | |
KR20140125877A (ko) | Cu-Zn-Sn-Ni-P 계 합금 | |
JP2006233314A (ja) | 高強度銅合金 | |
JP2010031379A (ja) | 曲げ加工性に優れた銅合金板からなる電子部品 | |
JP7260910B2 (ja) | プローブピン用材料およびプローブピン | |
JP2008127668A (ja) | 電子機器用銅合金およびリードフレーム材 | |
JP2007270305A (ja) | 電気・電子部品用Cu−Cr−Si系合金およびCu−Cr−Si系合金箔 | |
JP2006200042A (ja) | 曲げ加工性に優れた銅合金板からなる電子部品 | |
JP6850365B2 (ja) | 析出硬化型Ag−Pd−Cu−In−B系合金 | |
JP7429011B2 (ja) | プローブピン用材料およびプローブピン | |
JP2015083955A (ja) | Pt基合金からなるプローブピン | |
JP2007023313A (ja) | 高強度高導電性銅合金およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141028 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5657881 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |